Luchtemissies Nijmegen-West / Weurt in 2004 - Nijmegen-West en ...

9 PHILIPS SEMICONDUCTORS B.V.
9.1 Inleiding
PSN produceert in Nijmegen discrete elektrische componenten, zoals diodes, transistoren en
geïntegreerde schakelingen (IC’s), ook wel chips genoemd. IC’s zijn elektrische schakelingen
die zijn opgebouwd uit bouwstenen zoals transistoren, weerstanden en condensatoren.
IC’s worden met velen tegelijk gemaakt op een siliciumschijf, ook wel Si-plak of wafer genoemd.
Tijdens de productie kunnen diverse processtappen worden onderscheiden, waarbij
een grote verscheidenheid aan chemicaliën wordt gebruikt. Productie vindt plaats in verschillende
productiefabrieken. De emissiesituatie bij PSN is complex. Er vindt emissie plaats van
een groot aantal stoffen op zeer veel verschillende bronnen. Om de jaarvracht te bepalen is
door PSN een meetprogramma en bepalingsprotocol opgesteld in overleg met de Provincie
Gelderland. In het kader van dit project is de emissie van fluoride bepaald bij een bron van
de productiefabriek MOS-2. Voor de fluoridenhoudende afgassen zijn de natchemische
(AF50 afzuigsysteem) en de plasmabewerkingen (AF60 afzuigsysteem) relevant.
Van 17 tot en met 20 februari zijn emissiemetingen aan de uitlaat van de AF50 en AF60 uitgevoerd.
Hierbij zijn de fluoridenemissies bepaald. Vanwege de te verwachten lage concentraties
zijn lange monsternemingstijden van 24 uur toegepast. De fluoridenemissies zijn alleen
uitgevoerd voor de vaststelling van de concentratie en ter vergelijking van de resultaten
van de bedrijfsmetingen van Philips die tegelijkertijd hebben plaatsgevonden.
9.2 Resultaten emissiemetingen
De fluoridenemissie van het AF50-afzuigsysteem heeft een gemiddelde emissie van 0,75
mg/m0 3 overeenkomend met een vracht van 23 g/h. De resultaten van de bedrijfsmetingen
zijn hierbij respectievelijk 0,16 mg/m0 3 en 4,4 g/h.
De fluoridenemissie van het AF60-afzuigsysteem heeft een gemiddelde emissie van 36
mg/m0 3 overeenkomend met een vracht van 3,6 g/h. De resultaten van de bedrijfsmetingen
zijn hierbij respectievelijk 17 mg/m0 3 en 1,6 g/h.
De verschillen in de resultaten zijn opvallend. Een cross-check op eventuele verschillen ten
gevolge van alleen de analyse toont geen directe oorzaak aan. Het verschil dient daarom
gelegen te zijn in de monsterneming. Het verschil in monsterneming van de bedrijfsmetingen
is op enkele belangrijke punten afwijkend met die van bureau Milieumetingen. In samenwerking
met de provincie zal aanpassing van de wijze van monsterneming doorgevoerd worden
bij het bedrijf.
9.3 Resultaten milieucontrole
Tijdens de milieucontrole van 17 februari is opvraag gedaan naar de status van onderhoud
van de BEES-installaties. Uit de opgestuurde documenten blijkt dat Philips 3 relevante
stookketels beheert. Deze worden jaarlijks onderhouden en 1 maal per 2 jaar geïnspecteerd
50