S m t - UMEL
S m t - UMEL
S m t - UMEL
- No tags were found...
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Měření tloušťky vrstev - Metody založené na změně elektrických veličinZměna elektrického odporu- vhodné pro vodivé,odporové a polovodivé materiály – nepřesnosti, pro tenkouvrstvu jiná měrná resistivita, současně se za stejných podmínek nanáší měřícívrstva – namalovat obrázek-přesnost měření -+ 0.01% měření odporu, -+ 5% měření odporuZměna kapacity – napařování mezi hřebenový systém elektrodZměna jakosti cívky – měří se tlumení a rozladění resonančníhoobvoduVacuum Technology J.Šandera, FEEC, TU Brno 13
Change language