Ultra High Purity - Anwendungen - WIKA Argentina SA
Ultra High Purity - Anwendungen - WIKA Argentina SA
Ultra High Purity - Anwendungen - WIKA Argentina SA
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Druckmesstechnik für<br />
Reinstmedien<br />
Halbleiterindustrie<br />
<strong>Ultra</strong> <strong>High</strong> <strong>Purity</strong> - <strong>Anwendungen</strong>
Wir über uns<br />
<strong>WIKA</strong> – Ihr Spezialist für<br />
<strong>Ultra</strong> <strong>High</strong> <strong>Purity</strong> (UHP) - <strong>Anwendungen</strong><br />
Alexander Wiegand, Geschäftsführer<br />
Fertigung auf höchstem Niveau<br />
Bei der Entwicklung unserer mechanischen und elektronischen<br />
UHP-Druckmessgeräte berücksichtigen wir die<br />
für UHP-Applikationen relevanten Vorgaben, Normen und<br />
Empfehlungen (SEMATECH und SEMI):<br />
Vorgaben der Geräteabmessungen sowie der<br />
Anschlussgeometrie<br />
Material- bzw. Oberflächenspezifikation<br />
Fertigung nach <strong>Ultra</strong> <strong>High</strong> <strong>Purity</strong>-Vorgaben<br />
Reinigung und Spülung medienberührter Teile im<br />
Reinraum<br />
Handling und Doppelverpackung der fertigen Geräte<br />
Seit über 60 Jahren steht der Name <strong>WIKA</strong> für Innovation und Qualität in<br />
der Druck- und Temperaturmesstechnik. Mehr als 5.000 Mitarbeiter<br />
weltweit verwirklichen höchste Qualitätsansprüche und ermöglichen es,<br />
dass <strong>WIKA</strong> auch zukünftig eine Spitzenposition im Weltmarkt einnimmt.<br />
Ein weiterer Faktor, auf den das Unternehmen großen Wert legt, ist<br />
die optimale Kundennähe – deshalb ist <strong>WIKA</strong> rund um den Globus<br />
in 33 Ländern mit eigenen Niederlassungen vertreten.<br />
Heute werden mehr als 30 Millionen Messgeräte Jahr für Jahr in über 100<br />
Länder ausgeliefert – weltweit sind bisher über 300 Millionen Messgeräte<br />
von <strong>WIKA</strong> im Einsatz. Ständige Verbesserungen und Neuentwicklungen<br />
sind die Basis dafür, dass <strong>WIKA</strong> auch im Bereich <strong>Ultra</strong> <strong>High</strong> <strong>Purity</strong>-<br />
<strong>Anwendungen</strong> die Nase vorn hat.<br />
Kundenspezifische Lösungen<br />
Das hohe Innovationspotenzial von über 50 Entwicklungsingenieuren<br />
ist die Grundlage für maßgeschneiderte<br />
Lösungen zu spezifischen Anforderungen der Reinstgasindustrie.<br />
Durch die Kompetenz und individuelle Beratung<br />
unserer Spezialisten entstehen erfolgreiche, kundenorientierte<br />
<strong>Anwendungen</strong>.<br />
Erstklassige Qualität<br />
Umfangreiche Qualitätskontrollen nach strengen Bewertungsmaßstäben<br />
garantieren eine gleich bleibend hohe<br />
Qualität und damit eine lange Lebensdauer unserer<br />
Messinstrumente. Darüber hinaus sorgen unsere langjährigen<br />
Erfahrungen sowie unser weltweit anerkanntes Knowhow<br />
in der Druckmesstechnik für die ständige Verbesserung<br />
und Weiterentwicklung unserer Produkte.
Innovative Sensoren<br />
für höchste Ansprüche<br />
Zuverlässige Sensorik<br />
Das Herz der <strong>WIKA</strong> <strong>Ultra</strong> <strong>High</strong> <strong>Purity</strong>-Transducer sind<br />
speziell entwickelte Dünnfilm-Sensoren aus Elgiloy ® .<br />
Dieses Material hat sich am UHP-Markt etabliert und wird<br />
für nahezu 100 % aller Membranen in UHP-Ventilen und<br />
-Reglern verwendet. Elgiloy ® zeichnet sich besonders aus<br />
durch:<br />
■ Hohe Korrosionsbeständigkeit<br />
Hervorragende Hystereseeigenschaften<br />
Langjährige Erfahrungen sowie ausgereifte Fertigungs-<br />
prozesse bei der Herstellung von Elgiloy ® -Sensoren für<br />
Präzisionsdruckmessgeräte garantieren ein Höchstmaß<br />
an Zuverlässigkeit.<br />
Optimaler Schutz gegen Torsionskräfte<br />
Bei der Entwicklung der Transducer legen wir größten<br />
Wert auf die Nullpunktstabilität der Sensoren – selbst beim<br />
Auftreten von Torsionskräften. Die Auswirkungen solcher<br />
Kräfte, welche insbesondere beim Anschließen von Flow-<br />
Through-Transducern auftreten können, werden durch die<br />
eigens entwickelten <strong>Ultra</strong> <strong>High</strong> <strong>Purity</strong>-Sensoren sowie<br />
speziell darauf abgestimmte Schweißverfahren eliminiert.<br />
Ein weiterer positiver Effekt dieser Maßnahmen: Häufige<br />
Nachkalibrierungen entfallen.<br />
Messtechnik made by <strong>WIKA</strong><br />
Hervorragende Langzeitstabilität<br />
Unsere Sensoren werden in einem speziellen Dünnfilm-<br />
Prozess gefertigt – dem so genannten Sputterverfahren.<br />
Dabei gehen das Membranmaterial und die aufgebrachten<br />
Isolations- und Widerstandsschichten eine atomare Verbindung<br />
ein. Zusammen mit den direkt im Sensorlayout<br />
integrierten Temperaturkompensationswiderständen wird<br />
eine hervorragende Langzeitstabilität erreicht.<br />
3
Transducer<br />
Zuverlässigkeit und Reinheit<br />
Unsere Transducer für Ihre Anforderungen<br />
Aktive Temperaturkompensation<br />
Bei Druckwechselspülung z.B. beim Flaschenwechsel oder<br />
hoher Gasentnahme an Anlagen oder Gaskabinetten entstehen<br />
schnelle Temperaturwechsel die teilweise bis zu<br />
70 °C betragen oder zur Vereisung führen. Eine Temperaturänderung<br />
von 50 °C führt zu Messfehlern, die bei Handelsüblichen<br />
UHP-Transducern zwischen 3,6% und 10%<br />
vom Skalenendwert betragen können.<br />
Die Serie WU-1S verfügt über modernste Digital – Analogtechnik,<br />
welche es ermöglicht Temperaturänderungen im<br />
Gerät zu erfassen und Temperaturfehler aktiv zu kompensieren.<br />
Diese Verrechnung bei Temperaturänderungen von<br />
50°C erreicht eine Fehlerminimierung der Einflüsse auf<br />
max. 1,5 %.<br />
Austauschbare Verstärkerelektronik<br />
Die Elektronik ist mit einem Verpolungs-<br />
und Kurzschlussschutz<br />
ausgestattet, so dass Schäden<br />
durch Fehlbedienung nahezu ausgeschlossen<br />
werden können.<br />
Dennoch wurde bei der Entwicklung<br />
der Verstärker die mögliche<br />
Austauschbarkeit im Falle eines<br />
Verstärkerdefektes berücksichtigt,<br />
um einen kosten- und zeitintensiven Austausch der<br />
Transducer zu vermeiden. Besonders vorteilhaft ist dies bei<br />
eingeschweißten Transducern.<br />
Neben dem Tausch der Elektronik ist auch ein Wechsel<br />
von Strom- zu Spannungsausgang möglich.<br />
Weitere Informationen auf www.wika.de<br />
Flow Through<br />
Single End<br />
Modular<br />
Surface Mount<br />
Keine nachträgliche Spanneeinstellung<br />
Bei <strong>WIKA</strong> Transducern kann nach dem Einbau – z. B. nach<br />
dem Einschweißen der Transducer, aber auch nach einem<br />
Wechsel der Verstärkerplatine – auf eine aufwändige<br />
Spannejustage verzichtet werden. Eine einfache Nullpunktjustage<br />
genügt. Nullpunkt und Spanne der Transducer<br />
werden – dank modernster Kalibriertechnik – unabhängig<br />
voneinander ausgeführt.<br />
mA<br />
20<br />
4<br />
0<br />
WU-15<br />
100 bar<br />
Signal nach Verstärkerwechsel<br />
WU-10<br />
mA<br />
20<br />
4<br />
0<br />
WU-16<br />
100 bar<br />
Signal nach Nullpunktjustage
Die Ex-Schutz-Klassifizierung<br />
Bereits seit Jahrzehnten ist <strong>WIKA</strong> qualifizierter Lieferant<br />
Ex-geschützter Druck- und Temperaturmessgeräte<br />
für die verschiedensten Industriezweige.<br />
Ob Chemie- oder Petrochemie, Öl- oder Gasanlagen,<br />
Raffinerien oder Kraftwerke – überall dort, wo zuverlässige<br />
und sichere Messtechnik unverzichtbar ist,<br />
kommen Messgeräte made by <strong>WIKA</strong> zum Einsatz.<br />
Typ NWU-1S<br />
Die <strong>WIKA</strong> Transducer der Baureihe NWU-1S sind gemäß<br />
ATEX und FM als „Ex n“ und damit als „nicht funkengebendes<br />
Betriebsmittel“ klassifiziert. Die Geräte sind daher im<br />
Normalbetrieb nicht in der Lage, eine umgebende<br />
explosionsfähige Atmosphäre (ATEX: Zone 2, Kategorie 3G;<br />
FM: Class I, Division 2) zu zünden.<br />
Technische Details<br />
Transducer WU-1S / NWU-1S<br />
(Datenblätter PE 87.05, PE 87.10)<br />
Messbereiche 0 … 2 bis 0 … 400 bar<br />
Genauigkeit £ 0,5 % der Spanne<br />
(£ 0,25 % BFSL)<br />
Zulässige Temperaturen Umgebung: -20 °C ... 85 °C<br />
Messstoff: -40 °C ... 100 °C<br />
Material (medienberührt) 316 L VIM/VAR, Elgiloy ®<br />
Ausgangssignale 4 … 20 mA; 2-Leiter (NWU-1S)<br />
4 ... 20 mA; 2-Leiter (WU-1S)<br />
0,1 … 5,1 V; 3-Leiter (WU-1S)<br />
0,1 … 10,1 V; 3-Leiter (WU-1S)<br />
Oberflächengüte Elektropoliert; 0,18 £ Ra £ 0,25<br />
Schutzart IP 65 / IP 54<br />
Mittlerer TK des £ 0,1 % d. Spanne kompensiert / 10 K<br />
Nullpunktes:<br />
Mittlerer TK der Spanne £ 0,2 % d. Spanne / 10 K<br />
Weitere Informationen auf www.wika.de<br />
Explosionsschutz<br />
Stoffgruppen:<br />
Gase und Dämpfe treten wahrscheinlich nicht auf,<br />
wenn doch, nur selten oder kurzzeitig.<br />
IEC Zone:<br />
Zone 2 ist ein Bereich, in dem bei Normalbetrieb eine<br />
gefährliche explosionsfähige Atmosphäre als Gemisch<br />
aus Luft und brennbaren Gasen, Dämpfen oder Nebeln<br />
normalerweise nicht oder aber nur kurzzeitig auftritt.<br />
CE Zulassungen:<br />
Zone 2<br />
Gerätegruppe II<br />
Kategorie 3G<br />
US NEC 500 Canada CEC:<br />
Class 1, Division 2<br />
US NEC 505:<br />
Class 1, Zone 2<br />
Optional ist auch die Aufsteckanzeige NWUR-1 für den<br />
Ex-Bereich gemäß ATEX erhältlich – abgestimmt auf die<br />
Ex-Klassifizierung unserer Transducer.<br />
5
Aufsteckanzeige<br />
Kleines Meisterstück:<br />
Die LED-Aufsteckanzeige mit Schaltausgängen<br />
Die Aufsteckanzeige ist die ideale Lösung, um den<br />
gemessenen Systemdruck eines UHP-Transducers<br />
direkt vor Ort anzuzeigen und gleichzeitig das Analogsignal<br />
(Strom bzw. Spannung) sowie die Schaltsignale<br />
zu übertragen.<br />
Optimale Lesbarkeit<br />
Selbst bei ungünstigen Lichtverhältnissen gut<br />
lesbare, rote LED-Anzeige<br />
Komfortable Bedienung<br />
Die Anzeige ist einfach mittels Bedientasten einstellbar.<br />
Ein Öffnen des Gehäuses ist dazu nicht notwendig.<br />
Zwei Schaltausgänge<br />
Mit den beiden Schaltausgängen lassen sich<br />
weitere Überwachungsfunktionen realisieren:<br />
■ Zwei voneinander unabhängige<br />
Schaltausgänge (NPN, open collector)<br />
Potenzialfrei (galvanisch getrennt)<br />
Schließer/Öffner<br />
Top<br />
View<br />
Weitere Informationen auf www.wika.de<br />
6<br />
Frei programmierbar<br />
Freie Programmierbarkeit sowie einfachste Montage<br />
gewährleisten ein leichtes Nachrüsten auch bei bereits<br />
im Einsatz befindlichen Transducern.<br />
Programmierbare Parameter:<br />
Anzeigebereich<br />
■ Dezimalpunkt<br />
Einheit<br />
Schaltpunkte<br />
Schaltfunktionen<br />
Front<br />
View<br />
Technische Details<br />
Aufsteckanzeige WUR-1<br />
(Datenblatt PE 87.20)<br />
Anzeige 7-Segment-LED, rot (4-stellig)<br />
Genauigkeit £ 0,5 % +/- 1 Digit<br />
Zulässige Temperaturen Umgebung: -30 °C ... 85 °C<br />
Material (Gehäuse) ABS<br />
Ausgangssignale 4 … 20 mA; 2-Leiter<br />
(durchgeschleift) 0,1 … 5,1 V; 3-Leiter<br />
0,1 … 10,1 V; 3-Leiter<br />
Schaltausgang 2 x NPN, open collector<br />
Schutzart<br />
Option<br />
IP 65<br />
(Typ NWUR-1, Datenblatt PE 87.21)
Gasflaschenwaage:<br />
zur Füllstandsmessung von Flüssiggasen<br />
Die Gasflaschenwaage ist ein Produkt zur Erweiterung<br />
des UHP-Produktprogrammes. Dadurch kann <strong>WIKA</strong> der<br />
verstärkten Kundennachfrage gerecht werden,<br />
UHP-Produkte aus einer Hand zu beziehen. Bei Reinst-<br />
gasen, die komprimiert gasförmig vorliegen, wird der<br />
Füllstand über den Flaschendruck ermittelt (z. B. mit<br />
Druckmessumformern der WU-Serie).<br />
Bei Gasen, die in flüssiger Form vorliegen, verhält sich der<br />
Dampfdruck des Flüssiggases konstant. Daher muss der<br />
Füllstand der Flasche über das Gewicht ermittelt werden<br />
(dazu dient die Gasflaschenwaage).<br />
Gasflaschenwaage mit Digitalanzeigen<br />
Zubehör:<br />
Digitale Anzeige DI25 (Datenblatt AC 80.02)<br />
Digitale Anzeige DI30 (Datenblatt AC 80.05)<br />
Weitere Informationen auf www.wika.de<br />
Besonderheiten<br />
Gasflaschenwaage<br />
Minimale Baugröße (Höhe: ca. 32 mm)<br />
Erfüllt höchste EMV-Anforderungen<br />
Robust und langzeitstabil<br />
Korrosionsbeständig: Abdeckung, Wägezelle sowie<br />
die meisten innenliegenden mechanischen Bauteile<br />
aus Edelstahl<br />
Geringer Einfluss der Lastverteilung<br />
auf das Messergebnis<br />
Hoher Feuchtigkeitsschutz (IP 65)<br />
Hohe Überlastsicherheit<br />
Komplette Füllstandmessung aus einer Hand<br />
Internationale Zulassungen: ATEX Zone 2<br />
bei -10 ... 50 °C<br />
Technische Details<br />
Gasflaschenwaage<br />
(Datenblatt AC 09.13)<br />
Messbereiche 0 … 300 lbs (0 … ca. 136 kg)<br />
0 … 100 lbs (0 … ca. 45 kg)<br />
0 … 60 lbs (0 … ca. 27 kg)<br />
Andere auf Anfrage<br />
Ausgangssignal 4 … 20 mA<br />
Genauigkeit £ +/- 0,1 % der Spanne (0,05 % BFSL)<br />
bei -10 … 50°C<br />
Langzeitstabilität £ +/- 0,05 % / 30 Tage<br />
Nullpunkt- und +/- 5 % der Spanne geschützt<br />
Spanneeinstellung durch Schraubverschluss<br />
Elektrischer Anschluss 2-Leiter Kabelanschluss 6 m (20 ft)<br />
EMV-Festigkeit IEC 61000-4-3 30 V/m, IEC 61000-4-6 10 V<br />
Überlastsicherheit > 2,5 x Messbereich<br />
Aufbau quadratische Edelstahl-, Deckenund<br />
Bodenplatte<br />
Abmessungen 235 mm x 235 mm x 32 mm<br />
(9,25“ x 9,25“ x 1,25“)
Messumformer für Niederdruck<br />
Druckmessumformer für<br />
niedrige Drücke und Differenzdrücke<br />
<strong>Anwendungen</strong><br />
Die Anwendungsbereiche sind vor allem die Überwachung<br />
der Druckverhältnisse in Reinräumen und Luftschleusen<br />
sowie die Erkennung der Verschmutzung von Filteranlagen.<br />
Optional können die Geräte mit einem 3 ½ - stelligen<br />
LC-Display zur Anzeige der aktuellen Messwerte vor Ort<br />
und mit bis zu zwei potentialfreien Umschaltkontakten zur<br />
Signalisierung von Grenzwerten ausgestattet werden.<br />
Die Geräte sind ausschließlich für trockene, saubere und<br />
nicht aggressive Gase geeignet.<br />
Die <strong>WIKA</strong> Druckmessumformer Typ DP-10 dienen zur<br />
Messung von niedrigen, positiven bzw. negativen<br />
Überdrücken sowie von Differenzdrücken.<br />
Technische Details<br />
Druckmessumformer DP-10<br />
(Datenblatt PE 81.06)<br />
Messbereiche Über- und Differenzdruck<br />
0 … 0,5 bis 0 ... 1000 mbar<br />
Absolutdruck<br />
0 ... 500 bis 800 ... 1200 mbar abs.<br />
Genauigkeit 1,0 % der Spanne<br />
optional:<br />
0,5 % der Spanne (ab 0 ... 1 mbar)<br />
0,25 % der Spanne (ab 0 ... 2,5 mbar)<br />
Ausgangssignale 0 ... 10 V, 3- oder 4-Leiter<br />
0 ... 20 mA, 3- oder 4-Leiter<br />
4 ... 20 mA, 2-, 3- oder 4-Leiter<br />
Druckanschlüsse Schlauchanschlüsse 6,6 x 11 mm<br />
für Schläuche mit Innendurchmesser<br />
5 ... 6 mm<br />
Abmessungen 52 x 112 x 118,5 mm (B x H x T)<br />
ohne Kabelverschraubung und<br />
Prozessanschlüsse<br />
Weitere Informationen auf www.wika.de<br />
Besonderheiten<br />
Typ DP-10<br />
Messbereiche von 0 ... 0,5 mbar bis 0 ... 1000 mbar<br />
und 0 ... 500 mbar abs. bis 800 ... 1200 mbar abs.<br />
Verschiedene Industrie-Standardsignale<br />
■ Optional mit integrierter LCD-Anzeige und<br />
Schaltkontakten
Mechanische Druckmessgeräte<br />
Millionenfach bewährt:<br />
Unsere mechanischen Druckmessgeräte<br />
Neben einem umfangreichen Programm in der<br />
elektronischen Druckmesstechnik bieten wir auch<br />
für UHP-<strong>Anwendungen</strong> im Bereich der mechanischen<br />
Druckmesstechnik zuverlässige Lösungen an: Je nach<br />
Anwendungsbereich stehen Druckmessgeräte in<br />
unterschiedlichen Ausführungen zur Verfügung.<br />
Perfekte Verarbeitung<br />
Manche Unterschiede sind auf den ersten Blick nicht<br />
erkennbar: Jedes unserer Mess-Systeme wird auch innen<br />
elektro-chemisch entgratet, strömungsgeschliffen und<br />
teilweise elektropoliert. Das garantiert die bestmögliche<br />
Oberflächenqualität.<br />
Geräte mit Grenzsignalgebern<br />
Besonders in Sicherheitsanwendungen werden Druckmessgeräte<br />
mit Grenzsignalgebern eingesetzt, da mit<br />
ihrer Hilfe Prozesse sicher überwacht und gesteuert werden<br />
können. Sie zeichnen sich durch hohe Lebensdauer und<br />
Zuverlässigkeit aus.<br />
Komplettes Programm Vielfältige <strong>Anwendungen</strong><br />
■ Unterschiedliche Nenngrößen<br />
Druckbereiche von 1 bar bis 400 bar<br />
Verschiedene Prozessanschlüsse<br />
Erhältlich mit unterschiedlichen<br />
Grenzsignalgeber-Ausführungen<br />
Kundenspezifische Sonderlösungen<br />
Weitere Informationen auf www.wika.de<br />
■ Mangelanzeiger an Gasflaschen<br />
■ Bulk-Gas-Versorgungssysteme<br />
■ Ventilsteuerungen<br />
■ Isolationskammern<br />
■ Prozessgasregelungen<br />
■ Gas-Sticks<br />
usw.
Mechanische Druckmessgeräte<br />
Auf einen Blick: Druckmessgeräte für<br />
HP UHP<br />
Typ 130.15 230.15<br />
Nenngröße 1 1/2“ 2“ 1 1/2“ 2“<br />
Sichtscheibe / Material<br />
Anzeigebereich<br />
Genauigkeit<br />
Schnappscheibe /<br />
Polycarbonat<br />
Twist-Lock / Polycarbonat<br />
Schnappscheibe /<br />
Polycarbonat<br />
-1 … 0 bar -30 inHG ... 0 psi<br />
0 … 400 bar 0 ... 6000 psi<br />
Twist-Lock / Polycarbonat<br />
Klasse nach ASME B 0.1 Grade B Grade A Grade B Grade A<br />
% der Spanne ± 3/2/3 ± 2/1/2 ± 3/2/3 ± 2/1/2<br />
Design<br />
Messgerät-Typ Rohrfeder-Messgerät<br />
Rohr- oder Membran-<br />
Material<br />
Messsystem-Design Standard-Ausführung spaltfreie Ausführung<br />
316 L<br />
Federträger-Werkstoff 316 L<br />
Zeiger Aluminium, schwarz<br />
Zifferblatt Aluminium, weiß<br />
Gehäuse elektropoliert<br />
Sichtscheibe Polycarbonat<br />
Medienberührte Oberflächen<br />
Rohrfeder<br />
Messsystem<br />
Prozessanschluss<br />
Standard<br />
Option<br />
Reinigung und Justage<br />
gereinigt für Sauerstoffeinsatz gemäß ASME Level IV<br />
Reinstgasverschraubung (VCR ® kompatibel)<br />
messstoffberührte Oberfläche Ra < 0,25 µm (Ra < 10 µinch)<br />
1/4 NPT<br />
Schweißanschluss<br />
Herstellung Standard-Produktion<br />
Justage-Medium reiner Stickstoff<br />
innen passiviert (ASTM A967)<br />
nach dem Schweißen strömungsgeschliffen und passiviert<br />
Ra < 0,5 µm (Ra < 20 µinch)<br />
Reinigung gereinigt für Sauerstoffeinsatz gemäß ASME Level IV speziell gereinigt entsprechend der SEMI Norm<br />
Verpackung einfach verpackt<br />
Grenzsignalgeber<br />
Elektronikkontakt ---<br />
830.xE(NPN)<br />
830.xE(PNP)<br />
gereinigt, mit Stickstoff gespült und zweifach verpackt<br />
im Reinraum<br />
---<br />
830.xE(NPN)<br />
830.xE(PNP)<br />
Reedkontakt --- 851.3 --- 851.3<br />
Weitere Informationen auf www.wika.de<br />
10
HP / UHP <strong>Anwendungen</strong><br />
UHP UHP Flow-through gauges<br />
230.25 432.25<br />
Mechanische Druckmessgeräte<br />
1 1/2“ 2“ 1 1/8“ 1 1/2“ 2“<br />
Schnappscheibe /<br />
Polycarbonat<br />
-1 … 0 bar -30 inHG ... 0 psi<br />
0 … 400 bar 0 ... 6000 psi<br />
Twist-Lock / Polycarbonat Schnappscheibe / Polycarbonat Twist-Lock / Polycarbonat<br />
-1 ... 4 bar -30 inHG ... 60 psi<br />
-1 ... 9 bar -30 inHG ... 130 psi<br />
Grade B Grade A Grade C Grade B<br />
± 3/2/3 ± 2/1/2 ± 4/3/4 ± 3/2/3<br />
Rohrfeder-Messgerät Plattenfeder-Messgerät<br />
316 L Inconel <br />
spaltfreie Ausführung totraumfrei<br />
316 L VIM/ VAR 316 L<br />
Aluminium, schwarz<br />
Aluminium, weiß<br />
elektropoliert<br />
Polycarbonat<br />
innen passiviert (ASTM A967) ---<br />
nach dem Schweißen strömungsgeschliffen,<br />
passiviert und elektropoliert<br />
Ra < 0,25 µm (Ra < 10 µinch)<br />
---<br />
messstoffberührte Bauteile elektropoliert<br />
Ra < 0,25 µm (Ra < 10 µinch)<br />
1/4“ VCR original Swagelok ® MSM 1 1/8‘‘ Außengewinde 9/16-18 UNF<br />
MSM 316L VIM/VAR<br />
Schweißanschluss<br />
830.xE(NPN)<br />
830.xE(PNP)<br />
messstoffberührte Oberfläche Ra < 0,25 µm (Ra < 10 µinch)<br />
hergestellt im Reinraum<br />
reiner Stickstoff<br />
speziell gereinigt entsprechend der SEMI Norm<br />
gereinigt, mit Stickstoff gespült und zweifach verpackt<br />
im Reinraum<br />
höhere Genauigkeit auf Anfrage<br />
1/4‘‘ oder 1/2‘‘ VCR <br />
kompatibel<br />
--- Schweißanschluss<br />
--- --- ---<br />
--- 851.3 --- --- ---<br />
Weitere Informationen auf www.wika.de<br />
11
Chemie-Versorgungssysteme<br />
Patentiert:<br />
<strong>WIKA</strong>s doppelte PFA-Membrane<br />
Unsere Druckmessgeräte der Produktreihe Hydra-Line<br />
wurden in Zusammenarbeit mit namhaften Kunden<br />
aus der Halbleiterindustrie entwickelt. Das gesamte<br />
Produktkonzept ist auf die besonderen Anforderungen<br />
in den Bereichen Prozessequipment und Reinstchemieversorgungssysteme<br />
abgestimmt.<br />
Doppelte Sicherheit<br />
Das patentierte Hydra-Doppelmembransystem ermöglicht<br />
eine sichere Trennung des Drucksensors vom Prozessmedium<br />
und somit wird Diffusion zum Sensorraum erheblich<br />
vermindert.<br />
Gleichzeitig werden diffundierende Prozessmedien wie z. B.<br />
HF- oder HCl-Dämpfe an die Umgebung abgeführt. Eine<br />
Verfälschung des Messergebnisses oder eine Zerstörung<br />
des Sensorelements wird verhindert.<br />
Größte Zuverlässigkeit<br />
■ Bewährte <strong>High</strong>-End-Sensorik aus der Prozessinstru-<br />
mentierung der chemischen Verfahrenstechnik<br />
■ Hohe Schutzart IP 65 bzw. IP 67<br />
■ Korrosionsfeste, umhüllende Bauteile<br />
Höchste Reinheit<br />
■ Alle messstoffberührten Teile bestehen aus PFA oder<br />
PTFE UHP-grade<br />
■ Produktion aller messstoffberührten Teile im Reinraum<br />
Klasse 100<br />
■ Montage, Justage, Reinigung und Verpackung im<br />
Reinraum Klasse 100<br />
Weitere Informationen auf www.wika.de<br />
1<br />
PFA<br />
Luftspalt/<br />
Netzgewebe<br />
HF- und<br />
HCL-Dämpfe<br />
Belüftungsöffnung und<br />
Leckagenüberwachung
Ausgereift bis ins Detail:<br />
Die Hydra-Line<br />
Hydra-Gauge<br />
Prozessanschlüsse 3/8“ bis 1 1/4“-flare, 1/4“ NPT<br />
1/2“ NPT, PFA, PTFE UHP-grade<br />
Messbereiche 0 ... 2,5 bis 0 ... 6 bar<br />
Genauigkeit 1,6<br />
Messgerät Druckmessgerät mit Rohrfeder, NG 63,<br />
Gehäuse mit Teflon ® beschichtet<br />
Option Grenzsignalgeber Typ 830 E<br />
Schutzart IP 65<br />
Hydra-Dry<br />
Prozessanschlüsse 3/8“ bis 1 1/4“-flare, 1/4“ NPT<br />
1/2“ NPT, PFA, PTFE UHP-grade<br />
Messbereiche 0 ... 1 bis 0 ... 6 bar<br />
Genauigkeit 0,5 % der Spanne<br />
Ausgangssignal 4 … 20 mA; 2-Leiter<br />
Sensorik trockene keramische Messzelle, keine<br />
Druckübertragungsflüssigkeit<br />
Gehäuse PVDF, Kabel mit FEP ummantelt<br />
Schutzart IP 67, für stark korrosive Umgebung<br />
Weitere Informationen auf www.wika.de<br />
360° drehbar 360° drehbar<br />
Hydra-Sensor<br />
Chemie-Versorgungssysteme<br />
Prozessanschlüsse 3/8“ bis 1 1/4“-flare, 1/4“ NPT<br />
1/2“ NPT, PFA, PTFE UHP-grade<br />
Messbereiche 0 ... 2,5 bis 0 ... 6 bar<br />
Genauigkeit 0,5 % d. Spanne<br />
Ausgangssignal 4 ... 20 mA, 2-Leiter<br />
Elektrischer Anschluss Winkelsteckverbinder nach<br />
DIN 175301-803, Form A<br />
Schutzart IP 65<br />
270° drehbar<br />
Hydra-Indicator<br />
Anzeige 7-Segment-LED, rot (4-stellig)<br />
Genauigkeit 0,5 % +/- 1 Digit<br />
Ein-/Ausgangssignal Schleifenanzeige für 4 … 20 mA-Signal<br />
Spannungsversorgung ohne, Versorgung aus Schleifenstrom<br />
Gehäuse PFA, PP, Kabel mit FEP ummantelt<br />
Schutzart IP 67, für stark korrosive Umgebung<br />
Einbau Schalttafeleinbau; Vor-Ort-Anzeige<br />
auf Hydra-Dry integriert<br />
13
<strong>WIKA</strong> weltweit zuhause in 33 Ländern<br />
Europa<br />
Austria<br />
<strong>WIKA</strong> Messgerätevertrieb<br />
Ursula Wiegand<br />
GmbH & Co. KG<br />
1230 Wien<br />
Phone: (+43) 1-86 91 631<br />
Fax: (+43) 1-86 91 634<br />
E-mail: info@wika.at<br />
www.wika.at<br />
Benelux<br />
<strong>WIKA</strong> Benelux<br />
6101 WX ECHT<br />
Phone: (+31) 475-535 500<br />
Fax: (+31) 475-535 446<br />
E-mail: info@wika.nl<br />
www.wika.nl<br />
Bulgaria<br />
<strong>WIKA</strong> Bulgaria EOOD<br />
1309 Sofia<br />
Phone: (+359) 2 82138-10<br />
Fax: (+359) 2 82138-13<br />
E-Mail: t.antonov@wika.bg<br />
Finland<br />
<strong>WIKA</strong> Finland Oy<br />
00210 Helsinki<br />
Phone: (+358) 9-682 49 20<br />
Fax: (+358) 9-682 49 270<br />
E-mail: info@wika.fi<br />
www.wika.fi<br />
1<br />
France<br />
<strong>WIKA</strong> Instruments s.a.r.l.<br />
95610 Eragny-sur-Oise<br />
Phone: (+33) 1-34 30 84 84<br />
Fax: (+33) 1-34 30 84 94<br />
E-mail: info@wika.fr<br />
www.wika.fr<br />
Germany<br />
<strong>WIKA</strong><br />
Alexander Wiegand<br />
GmbH & Co. KG<br />
63911 Klingenberg<br />
Phone: (+49) 93 72-13 20<br />
Fax: (+49) 93 72-13 24 06<br />
E-mail: info@wika.de<br />
www.wika.de<br />
Italy<br />
<strong>WIKA</strong> Italiana SRL<br />
20020 Arese (Milano)<br />
Phone: (+39) 02-93 86 11<br />
Fax: (+39) 02-93 86 174<br />
E-mail: info@wika.it<br />
www.wika.it<br />
Poland<br />
Kujawska Fabryka Manometrow<br />
-KFM S.A.<br />
87-800 Wloclawek<br />
Phone: (+48) 542 30 11 00<br />
Fax: (+48) 542 30 11 01<br />
E-mail:<br />
gawel@manometry.com.pl<br />
www.manometry.com.pl<br />
Romania<br />
<strong>WIKA</strong> Instruments Romania S.R.L.<br />
Bucuresti, Sector 5<br />
Calea Rahovei Nr. 266-268<br />
Corp 61, Etaj 1<br />
Phone: (+40) 21 4563138<br />
Fax: (+40) 21 4563137<br />
E-mail: m.anghel@wika.ro<br />
Russia<br />
ZAO „<strong>WIKA</strong> MERA“<br />
127015 Moskau<br />
Phone: (+7) 495-786 21 25<br />
Fax: (+7) 495-786 21 23<br />
E-mail: info@wika.ru<br />
www.wika.ru<br />
Serbia and Montenegro<br />
<strong>WIKA</strong> Merna Tehnika d.o.o.<br />
11060 Belgrad<br />
Phone: (+381) 11 27 63 722<br />
Fax: (+381) 11 75 36 74<br />
Mail: info@wika.co.yu<br />
www.wika.co.yu<br />
Spain<br />
Instrumentos <strong>WIKA</strong>, S.A.<br />
C/Josep Carner, 11-17<br />
08205 Sabadell (Barcelona)<br />
Phone: (+34) 902 902 577<br />
Fax: (+34) 933 938 666<br />
E-Mail: info@wika.es<br />
www.wika.es<br />
Switzerland<br />
MANOMETER AG<br />
6285 Hitzkirch<br />
Phone: (+41) 41-919 72 72<br />
Fax: (+41) 41-919 72 73<br />
E-mail: info@manometer.ch<br />
www.manometer.ch<br />
Ukraine<br />
<strong>WIKA</strong> Pribor GmbH<br />
83016 Donetsk<br />
Phone: (+38) 062 345 34 16<br />
Fax: (+38) 062 345 34 16<br />
E-mail: info@wika.donetsk.ua<br />
United Kingdom<br />
<strong>WIKA</strong> Instruments Ltd<br />
Merstham, Redhill RH13LG<br />
Phone: (+44) 17 37 64 40 08<br />
Fax: (+44) 17 37 64 44 03<br />
E-mail: info@wika.co.uk<br />
www.wika.co.uk<br />
Nord Amerika<br />
Canada<br />
<strong>WIKA</strong> Instruments Ltd.<br />
Head Office<br />
Edmonton, Alberta, T6N 1C8<br />
Phone: (+1) 780-463 70 35<br />
Fax: (+1) 780-462 00 17<br />
E-mail: info@wika.ca<br />
www.wika.ca<br />
<strong>WIKA</strong> Instruments Canada Ltd.<br />
Oakville, Ontario, L6H-6Z8<br />
Phone: (+1) 905-337 16 11<br />
Fax: (+1) 905-337 27 16<br />
E-mail: info@wika.ca<br />
www.wika.ca<br />
Mexico<br />
Instrumentos <strong>WIKA</strong> Mexico S.A.<br />
de C.V.<br />
01219 Mexico D.F.<br />
Phone: (+52) 555 020 53 00<br />
Fax: (+52) 555 020 53 01<br />
E-Mail: ventas@wika.com.mx<br />
www.wika.com.mx<br />
U<strong>SA</strong><br />
<strong>WIKA</strong> Instrument Corporation<br />
Lawrenceville, GA 30043<br />
Phone: (+1) 770-513 82 00<br />
Fax: (+1) 770-338 51 18<br />
E-mail: info@wika.com<br />
www.wika.com
Süd Amerika<br />
<strong>Argentina</strong><br />
<strong>WIKA</strong> <strong>Argentina</strong> S.A.<br />
Buenos Aires<br />
Phone: (+54) 11-4730 18 00<br />
Fax: (+54) 11-4761 00 50<br />
E-mail: info@wika.com.ar<br />
www.wika.com.ar<br />
Brazil<br />
<strong>WIKA</strong> do Brasil Ind. e Com.<br />
Ltda.<br />
CEP 18560-000 Iperó - SP<br />
Phone: (+55) 15-3266 16 55<br />
Fax: (+55) 15-3266 16 50<br />
E-mail: marketing@wika.com.br<br />
www.wika.com.br<br />
Afrika/Mittlerer Osten<br />
Egypt<br />
<strong>WIKA</strong> Alexander Wiegand<br />
GmbH & Co. KG<br />
Representative Office<br />
11 El Sheikh Ahmed El - Sawy<br />
from Makram Ebaid<br />
Nasr City, Cairo<br />
Phone: (+20) 2 - 227 33 140<br />
Fax: (+20) 2 - 227 33 140<br />
E-mail: ahmed.azab@wika.de<br />
Iran<br />
<strong>WIKA</strong> Instrumentation Pars<br />
Kish Ltd.<br />
4th Alley, Ghaem Magham Ave<br />
Tehran<br />
Phone: (+98) 21 8852 6730-3<br />
Fax: (+98) 21 8875 7413<br />
E-mail: info@wika.ir<br />
www.wika.ir<br />
South Africa<br />
<strong>WIKA</strong> Instruments (Pty.) Ltd.<br />
Gardenview, Johannesburg<br />
2047<br />
Phone: (+27) 11-621 00 00<br />
Fax: (+27) 11-621 00 59<br />
E-mail: sales@wika.co.za<br />
www.wika.co.za<br />
United Arab Emirates<br />
<strong>WIKA</strong> Middle East FZE<br />
Jebel Ali, Dubai<br />
Phone: (+971) 4 - 883 90 90<br />
Fax: (+971) 4 - 883 91 98<br />
E-mail: wikame@emirates.net.ae<br />
Asien<br />
China<br />
<strong>WIKA</strong> International Trading<br />
(Shanghai) Co., Ltd.<br />
200001 Shanghai<br />
Phone: (+86) 21 - 53 85 25 73<br />
Fax: (+86) 21 - 53 85 25 75<br />
E-mail: info@wika.com.cn<br />
<strong>WIKA</strong> Instrumentation<br />
(Suzhou) Co., Ltd.<br />
215011 Suzhou<br />
Phone: (+86) 512 - 68 25 98 41<br />
Fax: (+86) 512 - 68 25 44 62<br />
E-mail:<br />
public@wikachina.com<br />
India<br />
<strong>WIKA</strong> Instruments India Pvt. Ltd.<br />
Village Kesnand, Wagholi<br />
Pune - 412 207<br />
Phone: (+91) 20 - 66 29 32 00<br />
Fax: (+91) 20 - 66 29 33 50<br />
E-mail: sales@wika.co.in<br />
www.wika.co.in<br />
Japan<br />
<strong>WIKA</strong> Japan K. K.<br />
Tokyo 105-0023<br />
Phone: (+81) 3-54 39 66 73<br />
Fax: (+81) 3-54 39 66 74<br />
E-mail: t-shimane@wika.co.jp<br />
Kazakhstan<br />
TOO <strong>WIKA</strong> Kazakhstan<br />
050050 Almaty<br />
Phone: (+7) 32 72 33 08 48<br />
Fax: (+7) 32 72 78 99 05<br />
E-mail: info@wika.kz<br />
wika-kazakhstan@nursat.kz<br />
Korea<br />
<strong>WIKA</strong> Korea Ltd.<br />
Seoul 153-023<br />
Phone: (+82) 2 - 8 69 05 05<br />
Fax: (+82) 2 - 8 69 05 25<br />
E-mail: info@wika.co.kr<br />
Malaysia<br />
<strong>WIKA</strong> Instrumentation (M) Sdn.<br />
Bhd.<br />
Selangor Darul Ehsan<br />
Phone: (+60) 3 - 56 36 88 58<br />
Fax: (+60) 3 - 56 36 90 72<br />
E-mail: info@wika.com.my<br />
www.wika.com.my<br />
Singapore<br />
<strong>WIKA</strong> Instrumentation Pte. Ltd.<br />
569625 Singapore<br />
Phone: (+65) 68 44 55 06<br />
Fax: (+65) 68 44 55 07<br />
E-mail: info@wika.com.sg<br />
www.wika.com.sg<br />
Taiwan<br />
<strong>WIKA</strong> Instrumentation Taiwan<br />
Ltd.<br />
Pinjen, Taoyuan<br />
Phone: (+886) 034 20 60 52<br />
Fax: (+886) 034 90 00 80<br />
E-mail: info@wika.com.tw<br />
www.wika.com.tw<br />
Australien<br />
Australia<br />
<strong>WIKA</strong> Australia Pty. Ltd.<br />
Rydalmere, NSW 2116<br />
Phone: (+61) 2 - 88 45 52 22<br />
Fax: (+61) 2 - 96 84 47 67<br />
E-mail: sales@wika.com.au<br />
www.wika.com.au<br />
<strong>WIKA</strong> Australia Pty. Ltd.<br />
Burwood East, VIC 3151<br />
Phone: (+61) 3 - 88 47 20 00<br />
Fax: (+61) 3 - 98 02 95 59<br />
E-mail: sales@wika.com.au<br />
www.wika.com.au<br />
15
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Alexander-Wiegand-Straße 30<br />
63911 Klingenberg<br />
Tel. (+49) 93 72/132-0<br />
Fax (+49) 93 72/132-406<br />
E-Mail info@wika.de<br />
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9025219 07/2007 D<br />
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