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Ultra High Purity - Anwendungen - WIKA Argentina SA

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Druckmesstechnik für<br />

Reinstmedien<br />

Halbleiterindustrie<br />

<strong>Ultra</strong> <strong>High</strong> <strong>Purity</strong> - <strong>Anwendungen</strong>


Wir über uns<br />

<strong>WIKA</strong> – Ihr Spezialist für<br />

<strong>Ultra</strong> <strong>High</strong> <strong>Purity</strong> (UHP) - <strong>Anwendungen</strong><br />

Alexander Wiegand, Geschäftsführer<br />

Fertigung auf höchstem Niveau<br />

Bei der Entwicklung unserer mechanischen und elektronischen<br />

UHP-Druckmessgeräte berücksichtigen wir die<br />

für UHP-Applikationen relevanten Vorgaben, Normen und<br />

Empfehlungen (SEMATECH und SEMI):<br />

Vorgaben der Geräteabmessungen sowie der<br />

Anschlussgeometrie<br />

Material- bzw. Oberflächenspezifikation<br />

Fertigung nach <strong>Ultra</strong> <strong>High</strong> <strong>Purity</strong>-Vorgaben<br />

Reinigung und Spülung medienberührter Teile im<br />

Reinraum<br />

Handling und Doppelverpackung der fertigen Geräte<br />

Seit über 60 Jahren steht der Name <strong>WIKA</strong> für Innovation und Qualität in<br />

der Druck- und Temperaturmesstechnik. Mehr als 5.000 Mitarbeiter<br />

weltweit verwirklichen höchste Qualitätsansprüche und ermöglichen es,<br />

dass <strong>WIKA</strong> auch zukünftig eine Spitzenposition im Weltmarkt einnimmt.<br />

Ein weiterer Faktor, auf den das Unternehmen großen Wert legt, ist<br />

die optimale Kundennähe – deshalb ist <strong>WIKA</strong> rund um den Globus<br />

in 33 Ländern mit eigenen Niederlassungen vertreten.<br />

Heute werden mehr als 30 Millionen Messgeräte Jahr für Jahr in über 100<br />

Länder ausgeliefert – weltweit sind bisher über 300 Millionen Messgeräte<br />

von <strong>WIKA</strong> im Einsatz. Ständige Verbesserungen und Neuentwicklungen<br />

sind die Basis dafür, dass <strong>WIKA</strong> auch im Bereich <strong>Ultra</strong> <strong>High</strong> <strong>Purity</strong>-<br />

<strong>Anwendungen</strong> die Nase vorn hat.<br />

Kundenspezifische Lösungen<br />

Das hohe Innovationspotenzial von über 50 Entwicklungsingenieuren<br />

ist die Grundlage für maßgeschneiderte<br />

Lösungen zu spezifischen Anforderungen der Reinstgasindustrie.<br />

Durch die Kompetenz und individuelle Beratung<br />

unserer Spezialisten entstehen erfolgreiche, kundenorientierte<br />

<strong>Anwendungen</strong>.<br />

Erstklassige Qualität<br />

Umfangreiche Qualitätskontrollen nach strengen Bewertungsmaßstäben<br />

garantieren eine gleich bleibend hohe<br />

Qualität und damit eine lange Lebensdauer unserer<br />

Messinstrumente. Darüber hinaus sorgen unsere langjährigen<br />

Erfahrungen sowie unser weltweit anerkanntes Knowhow<br />

in der Druckmesstechnik für die ständige Verbesserung<br />

und Weiterentwicklung unserer Produkte.


Innovative Sensoren<br />

für höchste Ansprüche<br />

Zuverlässige Sensorik<br />

Das Herz der <strong>WIKA</strong> <strong>Ultra</strong> <strong>High</strong> <strong>Purity</strong>-Transducer sind<br />

speziell entwickelte Dünnfilm-Sensoren aus Elgiloy ® .<br />

Dieses Material hat sich am UHP-Markt etabliert und wird<br />

für nahezu 100 % aller Membranen in UHP-Ventilen und<br />

-Reglern verwendet. Elgiloy ® zeichnet sich besonders aus<br />

durch:<br />

■ Hohe Korrosionsbeständigkeit<br />

Hervorragende Hystereseeigenschaften<br />

Langjährige Erfahrungen sowie ausgereifte Fertigungs-<br />

prozesse bei der Herstellung von Elgiloy ® -Sensoren für<br />

Präzisionsdruckmessgeräte garantieren ein Höchstmaß<br />

an Zuverlässigkeit.<br />

Optimaler Schutz gegen Torsionskräfte<br />

Bei der Entwicklung der Transducer legen wir größten<br />

Wert auf die Nullpunktstabilität der Sensoren – selbst beim<br />

Auftreten von Torsionskräften. Die Auswirkungen solcher<br />

Kräfte, welche insbesondere beim Anschließen von Flow-<br />

Through-Transducern auftreten können, werden durch die<br />

eigens entwickelten <strong>Ultra</strong> <strong>High</strong> <strong>Purity</strong>-Sensoren sowie<br />

speziell darauf abgestimmte Schweißverfahren eliminiert.<br />

Ein weiterer positiver Effekt dieser Maßnahmen: Häufige<br />

Nachkalibrierungen entfallen.<br />

Messtechnik made by <strong>WIKA</strong><br />

Hervorragende Langzeitstabilität<br />

Unsere Sensoren werden in einem speziellen Dünnfilm-<br />

Prozess gefertigt – dem so genannten Sputterverfahren.<br />

Dabei gehen das Membranmaterial und die aufgebrachten<br />

Isolations- und Widerstandsschichten eine atomare Verbindung<br />

ein. Zusammen mit den direkt im Sensorlayout<br />

integrierten Temperaturkompensationswiderständen wird<br />

eine hervorragende Langzeitstabilität erreicht.<br />

3


Transducer<br />

Zuverlässigkeit und Reinheit<br />

Unsere Transducer für Ihre Anforderungen<br />

Aktive Temperaturkompensation<br />

Bei Druckwechselspülung z.B. beim Flaschenwechsel oder<br />

hoher Gasentnahme an Anlagen oder Gaskabinetten entstehen<br />

schnelle Temperaturwechsel die teilweise bis zu<br />

70 °C betragen oder zur Vereisung führen. Eine Temperaturänderung<br />

von 50 °C führt zu Messfehlern, die bei Handelsüblichen<br />

UHP-Transducern zwischen 3,6% und 10%<br />

vom Skalenendwert betragen können.<br />

Die Serie WU-1S verfügt über modernste Digital – Analogtechnik,<br />

welche es ermöglicht Temperaturänderungen im<br />

Gerät zu erfassen und Temperaturfehler aktiv zu kompensieren.<br />

Diese Verrechnung bei Temperaturänderungen von<br />

50°C erreicht eine Fehlerminimierung der Einflüsse auf<br />

max. 1,5 %.<br />

Austauschbare Verstärkerelektronik<br />

Die Elektronik ist mit einem Verpolungs-<br />

und Kurzschlussschutz<br />

ausgestattet, so dass Schäden<br />

durch Fehlbedienung nahezu ausgeschlossen<br />

werden können.<br />

Dennoch wurde bei der Entwicklung<br />

der Verstärker die mögliche<br />

Austauschbarkeit im Falle eines<br />

Verstärkerdefektes berücksichtigt,<br />

um einen kosten- und zeitintensiven Austausch der<br />

Transducer zu vermeiden. Besonders vorteilhaft ist dies bei<br />

eingeschweißten Transducern.<br />

Neben dem Tausch der Elektronik ist auch ein Wechsel<br />

von Strom- zu Spannungsausgang möglich.<br />

Weitere Informationen auf www.wika.de<br />

Flow Through<br />

Single End<br />

Modular<br />

Surface Mount<br />

Keine nachträgliche Spanneeinstellung<br />

Bei <strong>WIKA</strong> Transducern kann nach dem Einbau – z. B. nach<br />

dem Einschweißen der Transducer, aber auch nach einem<br />

Wechsel der Verstärkerplatine – auf eine aufwändige<br />

Spannejustage verzichtet werden. Eine einfache Nullpunktjustage<br />

genügt. Nullpunkt und Spanne der Transducer<br />

werden – dank modernster Kalibriertechnik – unabhängig<br />

voneinander ausgeführt.<br />

mA<br />

20<br />

4<br />

0<br />

WU-15<br />

100 bar<br />

Signal nach Verstärkerwechsel<br />

WU-10<br />

mA<br />

20<br />

4<br />

0<br />

WU-16<br />

100 bar<br />

Signal nach Nullpunktjustage


Die Ex-Schutz-Klassifizierung<br />

Bereits seit Jahrzehnten ist <strong>WIKA</strong> qualifizierter Lieferant<br />

Ex-geschützter Druck- und Temperaturmessgeräte<br />

für die verschiedensten Industriezweige.<br />

Ob Chemie- oder Petrochemie, Öl- oder Gasanlagen,<br />

Raffinerien oder Kraftwerke – überall dort, wo zuverlässige<br />

und sichere Messtechnik unverzichtbar ist,<br />

kommen Messgeräte made by <strong>WIKA</strong> zum Einsatz.<br />

Typ NWU-1S<br />

Die <strong>WIKA</strong> Transducer der Baureihe NWU-1S sind gemäß<br />

ATEX und FM als „Ex n“ und damit als „nicht funkengebendes<br />

Betriebsmittel“ klassifiziert. Die Geräte sind daher im<br />

Normalbetrieb nicht in der Lage, eine umgebende<br />

explosionsfähige Atmosphäre (ATEX: Zone 2, Kategorie 3G;<br />

FM: Class I, Division 2) zu zünden.<br />

Technische Details<br />

Transducer WU-1S / NWU-1S<br />

(Datenblätter PE 87.05, PE 87.10)<br />

Messbereiche 0 … 2 bis 0 … 400 bar<br />

Genauigkeit £ 0,5 % der Spanne<br />

(£ 0,25 % BFSL)<br />

Zulässige Temperaturen Umgebung: -20 °C ... 85 °C<br />

Messstoff: -40 °C ... 100 °C<br />

Material (medienberührt) 316 L VIM/VAR, Elgiloy ®<br />

Ausgangssignale 4 … 20 mA; 2-Leiter (NWU-1S)<br />

4 ... 20 mA; 2-Leiter (WU-1S)<br />

0,1 … 5,1 V; 3-Leiter (WU-1S)<br />

0,1 … 10,1 V; 3-Leiter (WU-1S)<br />

Oberflächengüte Elektropoliert; 0,18 £ Ra £ 0,25<br />

Schutzart IP 65 / IP 54<br />

Mittlerer TK des £ 0,1 % d. Spanne kompensiert / 10 K<br />

Nullpunktes:<br />

Mittlerer TK der Spanne £ 0,2 % d. Spanne / 10 K<br />

Weitere Informationen auf www.wika.de<br />

Explosionsschutz<br />

Stoffgruppen:<br />

Gase und Dämpfe treten wahrscheinlich nicht auf,<br />

wenn doch, nur selten oder kurzzeitig.<br />

IEC Zone:<br />

Zone 2 ist ein Bereich, in dem bei Normalbetrieb eine<br />

gefährliche explosionsfähige Atmosphäre als Gemisch<br />

aus Luft und brennbaren Gasen, Dämpfen oder Nebeln<br />

normalerweise nicht oder aber nur kurzzeitig auftritt.<br />

CE Zulassungen:<br />

Zone 2<br />

Gerätegruppe II<br />

Kategorie 3G<br />

US NEC 500 Canada CEC:<br />

Class 1, Division 2<br />

US NEC 505:<br />

Class 1, Zone 2<br />

Optional ist auch die Aufsteckanzeige NWUR-1 für den<br />

Ex-Bereich gemäß ATEX erhältlich – abgestimmt auf die<br />

Ex-Klassifizierung unserer Transducer.<br />

5


Aufsteckanzeige<br />

Kleines Meisterstück:<br />

Die LED-Aufsteckanzeige mit Schaltausgängen<br />

Die Aufsteckanzeige ist die ideale Lösung, um den<br />

gemessenen Systemdruck eines UHP-Transducers<br />

direkt vor Ort anzuzeigen und gleichzeitig das Analogsignal<br />

(Strom bzw. Spannung) sowie die Schaltsignale<br />

zu übertragen.<br />

Optimale Lesbarkeit<br />

Selbst bei ungünstigen Lichtverhältnissen gut<br />

lesbare, rote LED-Anzeige<br />

Komfortable Bedienung<br />

Die Anzeige ist einfach mittels Bedientasten einstellbar.<br />

Ein Öffnen des Gehäuses ist dazu nicht notwendig.<br />

Zwei Schaltausgänge<br />

Mit den beiden Schaltausgängen lassen sich<br />

weitere Überwachungsfunktionen realisieren:<br />

■ Zwei voneinander unabhängige<br />

Schaltausgänge (NPN, open collector)<br />

Potenzialfrei (galvanisch getrennt)<br />

Schließer/Öffner<br />

Top<br />

View<br />

Weitere Informationen auf www.wika.de<br />

6<br />

Frei programmierbar<br />

Freie Programmierbarkeit sowie einfachste Montage<br />

gewährleisten ein leichtes Nachrüsten auch bei bereits<br />

im Einsatz befindlichen Transducern.<br />

Programmierbare Parameter:<br />

Anzeigebereich<br />

■ Dezimalpunkt<br />

Einheit<br />

Schaltpunkte<br />

Schaltfunktionen<br />

Front<br />

View<br />

Technische Details<br />

Aufsteckanzeige WUR-1<br />

(Datenblatt PE 87.20)<br />

Anzeige 7-Segment-LED, rot (4-stellig)<br />

Genauigkeit £ 0,5 % +/- 1 Digit<br />

Zulässige Temperaturen Umgebung: -30 °C ... 85 °C<br />

Material (Gehäuse) ABS<br />

Ausgangssignale 4 … 20 mA; 2-Leiter<br />

(durchgeschleift) 0,1 … 5,1 V; 3-Leiter<br />

0,1 … 10,1 V; 3-Leiter<br />

Schaltausgang 2 x NPN, open collector<br />

Schutzart<br />

Option<br />

IP 65<br />

(Typ NWUR-1, Datenblatt PE 87.21)


Gasflaschenwaage:<br />

zur Füllstandsmessung von Flüssiggasen<br />

Die Gasflaschenwaage ist ein Produkt zur Erweiterung<br />

des UHP-Produktprogrammes. Dadurch kann <strong>WIKA</strong> der<br />

verstärkten Kundennachfrage gerecht werden,<br />

UHP-Produkte aus einer Hand zu beziehen. Bei Reinst-<br />

gasen, die komprimiert gasförmig vorliegen, wird der<br />

Füllstand über den Flaschendruck ermittelt (z. B. mit<br />

Druckmessumformern der WU-Serie).<br />

Bei Gasen, die in flüssiger Form vorliegen, verhält sich der<br />

Dampfdruck des Flüssiggases konstant. Daher muss der<br />

Füllstand der Flasche über das Gewicht ermittelt werden<br />

(dazu dient die Gasflaschenwaage).<br />

Gasflaschenwaage mit Digitalanzeigen<br />

Zubehör:<br />

Digitale Anzeige DI25 (Datenblatt AC 80.02)<br />

Digitale Anzeige DI30 (Datenblatt AC 80.05)<br />

Weitere Informationen auf www.wika.de<br />

Besonderheiten<br />

Gasflaschenwaage<br />

Minimale Baugröße (Höhe: ca. 32 mm)<br />

Erfüllt höchste EMV-Anforderungen<br />

Robust und langzeitstabil<br />

Korrosionsbeständig: Abdeckung, Wägezelle sowie<br />

die meisten innenliegenden mechanischen Bauteile<br />

aus Edelstahl<br />

Geringer Einfluss der Lastverteilung<br />

auf das Messergebnis<br />

Hoher Feuchtigkeitsschutz (IP 65)<br />

Hohe Überlastsicherheit<br />

Komplette Füllstandmessung aus einer Hand<br />

Internationale Zulassungen: ATEX Zone 2<br />

bei -10 ... 50 °C<br />

Technische Details<br />

Gasflaschenwaage<br />

(Datenblatt AC 09.13)<br />

Messbereiche 0 … 300 lbs (0 … ca. 136 kg)<br />

0 … 100 lbs (0 … ca. 45 kg)<br />

0 … 60 lbs (0 … ca. 27 kg)<br />

Andere auf Anfrage<br />

Ausgangssignal 4 … 20 mA<br />

Genauigkeit £ +/- 0,1 % der Spanne (0,05 % BFSL)<br />

bei -10 … 50°C<br />

Langzeitstabilität £ +/- 0,05 % / 30 Tage<br />

Nullpunkt- und +/- 5 % der Spanne geschützt<br />

Spanneeinstellung durch Schraubverschluss<br />

Elektrischer Anschluss 2-Leiter Kabelanschluss 6 m (20 ft)<br />

EMV-Festigkeit IEC 61000-4-3 30 V/m, IEC 61000-4-6 10 V<br />

Überlastsicherheit > 2,5 x Messbereich<br />

Aufbau quadratische Edelstahl-, Deckenund<br />

Bodenplatte<br />

Abmessungen 235 mm x 235 mm x 32 mm<br />

(9,25“ x 9,25“ x 1,25“)


Messumformer für Niederdruck<br />

Druckmessumformer für<br />

niedrige Drücke und Differenzdrücke<br />

<strong>Anwendungen</strong><br />

Die Anwendungsbereiche sind vor allem die Überwachung<br />

der Druckverhältnisse in Reinräumen und Luftschleusen<br />

sowie die Erkennung der Verschmutzung von Filteranlagen.<br />

Optional können die Geräte mit einem 3 ½ - stelligen<br />

LC-Display zur Anzeige der aktuellen Messwerte vor Ort<br />

und mit bis zu zwei potentialfreien Umschaltkontakten zur<br />

Signalisierung von Grenzwerten ausgestattet werden.<br />

Die Geräte sind ausschließlich für trockene, saubere und<br />

nicht aggressive Gase geeignet.<br />

Die <strong>WIKA</strong> Druckmessumformer Typ DP-10 dienen zur<br />

Messung von niedrigen, positiven bzw. negativen<br />

Überdrücken sowie von Differenzdrücken.<br />

Technische Details<br />

Druckmessumformer DP-10<br />

(Datenblatt PE 81.06)<br />

Messbereiche Über- und Differenzdruck<br />

0 … 0,5 bis 0 ... 1000 mbar<br />

Absolutdruck<br />

0 ... 500 bis 800 ... 1200 mbar abs.<br />

Genauigkeit 1,0 % der Spanne<br />

optional:<br />

0,5 % der Spanne (ab 0 ... 1 mbar)<br />

0,25 % der Spanne (ab 0 ... 2,5 mbar)<br />

Ausgangssignale 0 ... 10 V, 3- oder 4-Leiter<br />

0 ... 20 mA, 3- oder 4-Leiter<br />

4 ... 20 mA, 2-, 3- oder 4-Leiter<br />

Druckanschlüsse Schlauchanschlüsse 6,6 x 11 mm<br />

für Schläuche mit Innendurchmesser<br />

5 ... 6 mm<br />

Abmessungen 52 x 112 x 118,5 mm (B x H x T)<br />

ohne Kabelverschraubung und<br />

Prozessanschlüsse<br />

Weitere Informationen auf www.wika.de<br />

Besonderheiten<br />

Typ DP-10<br />

Messbereiche von 0 ... 0,5 mbar bis 0 ... 1000 mbar<br />

und 0 ... 500 mbar abs. bis 800 ... 1200 mbar abs.<br />

Verschiedene Industrie-Standardsignale<br />

■ Optional mit integrierter LCD-Anzeige und<br />

Schaltkontakten


Mechanische Druckmessgeräte<br />

Millionenfach bewährt:<br />

Unsere mechanischen Druckmessgeräte<br />

Neben einem umfangreichen Programm in der<br />

elektronischen Druckmesstechnik bieten wir auch<br />

für UHP-<strong>Anwendungen</strong> im Bereich der mechanischen<br />

Druckmesstechnik zuverlässige Lösungen an: Je nach<br />

Anwendungsbereich stehen Druckmessgeräte in<br />

unterschiedlichen Ausführungen zur Verfügung.<br />

Perfekte Verarbeitung<br />

Manche Unterschiede sind auf den ersten Blick nicht<br />

erkennbar: Jedes unserer Mess-Systeme wird auch innen<br />

elektro-chemisch entgratet, strömungsgeschliffen und<br />

teilweise elektropoliert. Das garantiert die bestmögliche<br />

Oberflächenqualität.<br />

Geräte mit Grenzsignalgebern<br />

Besonders in Sicherheitsanwendungen werden Druckmessgeräte<br />

mit Grenzsignalgebern eingesetzt, da mit<br />

ihrer Hilfe Prozesse sicher überwacht und gesteuert werden<br />

können. Sie zeichnen sich durch hohe Lebensdauer und<br />

Zuverlässigkeit aus.<br />

Komplettes Programm Vielfältige <strong>Anwendungen</strong><br />

■ Unterschiedliche Nenngrößen<br />

Druckbereiche von 1 bar bis 400 bar<br />

Verschiedene Prozessanschlüsse<br />

Erhältlich mit unterschiedlichen<br />

Grenzsignalgeber-Ausführungen<br />

Kundenspezifische Sonderlösungen<br />

Weitere Informationen auf www.wika.de<br />

■ Mangelanzeiger an Gasflaschen<br />

■ Bulk-Gas-Versorgungssysteme<br />

■ Ventilsteuerungen<br />

■ Isolationskammern<br />

■ Prozessgasregelungen<br />

■ Gas-Sticks<br />

usw.


Mechanische Druckmessgeräte<br />

Auf einen Blick: Druckmessgeräte für<br />

HP UHP<br />

Typ 130.15 230.15<br />

Nenngröße 1 1/2“ 2“ 1 1/2“ 2“<br />

Sichtscheibe / Material<br />

Anzeigebereich<br />

Genauigkeit<br />

Schnappscheibe /<br />

Polycarbonat<br />

Twist-Lock / Polycarbonat<br />

Schnappscheibe /<br />

Polycarbonat<br />

-1 … 0 bar -30 inHG ... 0 psi<br />

0 … 400 bar 0 ... 6000 psi<br />

Twist-Lock / Polycarbonat<br />

Klasse nach ASME B 0.1 Grade B Grade A Grade B Grade A<br />

% der Spanne ± 3/2/3 ± 2/1/2 ± 3/2/3 ± 2/1/2<br />

Design<br />

Messgerät-Typ Rohrfeder-Messgerät<br />

Rohr- oder Membran-<br />

Material<br />

Messsystem-Design Standard-Ausführung spaltfreie Ausführung<br />

316 L<br />

Federträger-Werkstoff 316 L<br />

Zeiger Aluminium, schwarz<br />

Zifferblatt Aluminium, weiß<br />

Gehäuse elektropoliert<br />

Sichtscheibe Polycarbonat<br />

Medienberührte Oberflächen<br />

Rohrfeder<br />

Messsystem<br />

Prozessanschluss<br />

Standard<br />

Option<br />

Reinigung und Justage<br />

gereinigt für Sauerstoffeinsatz gemäß ASME Level IV<br />

Reinstgasverschraubung (VCR ® kompatibel)<br />

messstoffberührte Oberfläche Ra < 0,25 µm (Ra < 10 µinch)<br />

1/4 NPT<br />

Schweißanschluss<br />

Herstellung Standard-Produktion<br />

Justage-Medium reiner Stickstoff<br />

innen passiviert (ASTM A967)<br />

nach dem Schweißen strömungsgeschliffen und passiviert<br />

Ra < 0,5 µm (Ra < 20 µinch)<br />

Reinigung gereinigt für Sauerstoffeinsatz gemäß ASME Level IV speziell gereinigt entsprechend der SEMI Norm<br />

Verpackung einfach verpackt<br />

Grenzsignalgeber<br />

Elektronikkontakt ---<br />

830.xE(NPN)<br />

830.xE(PNP)<br />

gereinigt, mit Stickstoff gespült und zweifach verpackt<br />

im Reinraum<br />

---<br />

830.xE(NPN)<br />

830.xE(PNP)<br />

Reedkontakt --- 851.3 --- 851.3<br />

Weitere Informationen auf www.wika.de<br />

10


HP / UHP <strong>Anwendungen</strong><br />

UHP UHP Flow-through gauges<br />

230.25 432.25<br />

Mechanische Druckmessgeräte<br />

1 1/2“ 2“ 1 1/8“ 1 1/2“ 2“<br />

Schnappscheibe /<br />

Polycarbonat<br />

-1 … 0 bar -30 inHG ... 0 psi<br />

0 … 400 bar 0 ... 6000 psi<br />

Twist-Lock / Polycarbonat Schnappscheibe / Polycarbonat Twist-Lock / Polycarbonat<br />

-1 ... 4 bar -30 inHG ... 60 psi<br />

-1 ... 9 bar -30 inHG ... 130 psi<br />

Grade B Grade A Grade C Grade B<br />

± 3/2/3 ± 2/1/2 ± 4/3/4 ± 3/2/3<br />

Rohrfeder-Messgerät Plattenfeder-Messgerät<br />

316 L Inconel <br />

spaltfreie Ausführung totraumfrei<br />

316 L VIM/ VAR 316 L<br />

Aluminium, schwarz<br />

Aluminium, weiß<br />

elektropoliert<br />

Polycarbonat<br />

innen passiviert (ASTM A967) ---<br />

nach dem Schweißen strömungsgeschliffen,<br />

passiviert und elektropoliert<br />

Ra < 0,25 µm (Ra < 10 µinch)<br />

---<br />

messstoffberührte Bauteile elektropoliert<br />

Ra < 0,25 µm (Ra < 10 µinch)<br />

1/4“ VCR original Swagelok ® MSM 1 1/8‘‘ Außengewinde 9/16-18 UNF<br />

MSM 316L VIM/VAR<br />

Schweißanschluss<br />

830.xE(NPN)<br />

830.xE(PNP)<br />

messstoffberührte Oberfläche Ra < 0,25 µm (Ra < 10 µinch)<br />

hergestellt im Reinraum<br />

reiner Stickstoff<br />

speziell gereinigt entsprechend der SEMI Norm<br />

gereinigt, mit Stickstoff gespült und zweifach verpackt<br />

im Reinraum<br />

höhere Genauigkeit auf Anfrage<br />

1/4‘‘ oder 1/2‘‘ VCR <br />

kompatibel<br />

--- Schweißanschluss<br />

--- --- ---<br />

--- 851.3 --- --- ---<br />

Weitere Informationen auf www.wika.de<br />

11


Chemie-Versorgungssysteme<br />

Patentiert:<br />

<strong>WIKA</strong>s doppelte PFA-Membrane<br />

Unsere Druckmessgeräte der Produktreihe Hydra-Line<br />

wurden in Zusammenarbeit mit namhaften Kunden<br />

aus der Halbleiterindustrie entwickelt. Das gesamte<br />

Produktkonzept ist auf die besonderen Anforderungen<br />

in den Bereichen Prozessequipment und Reinstchemieversorgungssysteme<br />

abgestimmt.<br />

Doppelte Sicherheit<br />

Das patentierte Hydra-Doppelmembransystem ermöglicht<br />

eine sichere Trennung des Drucksensors vom Prozessmedium<br />

und somit wird Diffusion zum Sensorraum erheblich<br />

vermindert.<br />

Gleichzeitig werden diffundierende Prozessmedien wie z. B.<br />

HF- oder HCl-Dämpfe an die Umgebung abgeführt. Eine<br />

Verfälschung des Messergebnisses oder eine Zerstörung<br />

des Sensorelements wird verhindert.<br />

Größte Zuverlässigkeit<br />

■ Bewährte <strong>High</strong>-End-Sensorik aus der Prozessinstru-<br />

mentierung der chemischen Verfahrenstechnik<br />

■ Hohe Schutzart IP 65 bzw. IP 67<br />

■ Korrosionsfeste, umhüllende Bauteile<br />

Höchste Reinheit<br />

■ Alle messstoffberührten Teile bestehen aus PFA oder<br />

PTFE UHP-grade<br />

■ Produktion aller messstoffberührten Teile im Reinraum<br />

Klasse 100<br />

■ Montage, Justage, Reinigung und Verpackung im<br />

Reinraum Klasse 100<br />

Weitere Informationen auf www.wika.de<br />

1<br />

PFA<br />

Luftspalt/<br />

Netzgewebe<br />

HF- und<br />

HCL-Dämpfe<br />

Belüftungsöffnung und<br />

Leckagenüberwachung


Ausgereift bis ins Detail:<br />

Die Hydra-Line<br />

Hydra-Gauge<br />

Prozessanschlüsse 3/8“ bis 1 1/4“-flare, 1/4“ NPT<br />

1/2“ NPT, PFA, PTFE UHP-grade<br />

Messbereiche 0 ... 2,5 bis 0 ... 6 bar<br />

Genauigkeit 1,6<br />

Messgerät Druckmessgerät mit Rohrfeder, NG 63,<br />

Gehäuse mit Teflon ® beschichtet<br />

Option Grenzsignalgeber Typ 830 E<br />

Schutzart IP 65<br />

Hydra-Dry<br />

Prozessanschlüsse 3/8“ bis 1 1/4“-flare, 1/4“ NPT<br />

1/2“ NPT, PFA, PTFE UHP-grade<br />

Messbereiche 0 ... 1 bis 0 ... 6 bar<br />

Genauigkeit 0,5 % der Spanne<br />

Ausgangssignal 4 … 20 mA; 2-Leiter<br />

Sensorik trockene keramische Messzelle, keine<br />

Druckübertragungsflüssigkeit<br />

Gehäuse PVDF, Kabel mit FEP ummantelt<br />

Schutzart IP 67, für stark korrosive Umgebung<br />

Weitere Informationen auf www.wika.de<br />

360° drehbar 360° drehbar<br />

Hydra-Sensor<br />

Chemie-Versorgungssysteme<br />

Prozessanschlüsse 3/8“ bis 1 1/4“-flare, 1/4“ NPT<br />

1/2“ NPT, PFA, PTFE UHP-grade<br />

Messbereiche 0 ... 2,5 bis 0 ... 6 bar<br />

Genauigkeit 0,5 % d. Spanne<br />

Ausgangssignal 4 ... 20 mA, 2-Leiter<br />

Elektrischer Anschluss Winkelsteckverbinder nach<br />

DIN 175301-803, Form A<br />

Schutzart IP 65<br />

270° drehbar<br />

Hydra-Indicator<br />

Anzeige 7-Segment-LED, rot (4-stellig)<br />

Genauigkeit 0,5 % +/- 1 Digit<br />

Ein-/Ausgangssignal Schleifenanzeige für 4 … 20 mA-Signal<br />

Spannungsversorgung ohne, Versorgung aus Schleifenstrom<br />

Gehäuse PFA, PP, Kabel mit FEP ummantelt<br />

Schutzart IP 67, für stark korrosive Umgebung<br />

Einbau Schalttafeleinbau; Vor-Ort-Anzeige<br />

auf Hydra-Dry integriert<br />

13


<strong>WIKA</strong> weltweit zuhause in 33 Ländern<br />

Europa<br />

Austria<br />

<strong>WIKA</strong> Messgerätevertrieb<br />

Ursula Wiegand<br />

GmbH & Co. KG<br />

1230 Wien<br />

Phone: (+43) 1-86 91 631<br />

Fax: (+43) 1-86 91 634<br />

E-mail: info@wika.at<br />

www.wika.at<br />

Benelux<br />

<strong>WIKA</strong> Benelux<br />

6101 WX ECHT<br />

Phone: (+31) 475-535 500<br />

Fax: (+31) 475-535 446<br />

E-mail: info@wika.nl<br />

www.wika.nl<br />

Bulgaria<br />

<strong>WIKA</strong> Bulgaria EOOD<br />

1309 Sofia<br />

Phone: (+359) 2 82138-10<br />

Fax: (+359) 2 82138-13<br />

E-Mail: t.antonov@wika.bg<br />

Finland<br />

<strong>WIKA</strong> Finland Oy<br />

00210 Helsinki<br />

Phone: (+358) 9-682 49 20<br />

Fax: (+358) 9-682 49 270<br />

E-mail: info@wika.fi<br />

www.wika.fi<br />

1<br />

France<br />

<strong>WIKA</strong> Instruments s.a.r.l.<br />

95610 Eragny-sur-Oise<br />

Phone: (+33) 1-34 30 84 84<br />

Fax: (+33) 1-34 30 84 94<br />

E-mail: info@wika.fr<br />

www.wika.fr<br />

Germany<br />

<strong>WIKA</strong><br />

Alexander Wiegand<br />

GmbH & Co. KG<br />

63911 Klingenberg<br />

Phone: (+49) 93 72-13 20<br />

Fax: (+49) 93 72-13 24 06<br />

E-mail: info@wika.de<br />

www.wika.de<br />

Italy<br />

<strong>WIKA</strong> Italiana SRL<br />

20020 Arese (Milano)<br />

Phone: (+39) 02-93 86 11<br />

Fax: (+39) 02-93 86 174<br />

E-mail: info@wika.it<br />

www.wika.it<br />

Poland<br />

Kujawska Fabryka Manometrow<br />

-KFM S.A.<br />

87-800 Wloclawek<br />

Phone: (+48) 542 30 11 00<br />

Fax: (+48) 542 30 11 01<br />

E-mail:<br />

gawel@manometry.com.pl<br />

www.manometry.com.pl<br />

Romania<br />

<strong>WIKA</strong> Instruments Romania S.R.L.<br />

Bucuresti, Sector 5<br />

Calea Rahovei Nr. 266-268<br />

Corp 61, Etaj 1<br />

Phone: (+40) 21 4563138<br />

Fax: (+40) 21 4563137<br />

E-mail: m.anghel@wika.ro<br />

Russia<br />

ZAO „<strong>WIKA</strong> MERA“<br />

127015 Moskau<br />

Phone: (+7) 495-786 21 25<br />

Fax: (+7) 495-786 21 23<br />

E-mail: info@wika.ru<br />

www.wika.ru<br />

Serbia and Montenegro<br />

<strong>WIKA</strong> Merna Tehnika d.o.o.<br />

11060 Belgrad<br />

Phone: (+381) 11 27 63 722<br />

Fax: (+381) 11 75 36 74<br />

Mail: info@wika.co.yu<br />

www.wika.co.yu<br />

Spain<br />

Instrumentos <strong>WIKA</strong>, S.A.<br />

C/Josep Carner, 11-17<br />

08205 Sabadell (Barcelona)<br />

Phone: (+34) 902 902 577<br />

Fax: (+34) 933 938 666<br />

E-Mail: info@wika.es<br />

www.wika.es<br />

Switzerland<br />

MANOMETER AG<br />

6285 Hitzkirch<br />

Phone: (+41) 41-919 72 72<br />

Fax: (+41) 41-919 72 73<br />

E-mail: info@manometer.ch<br />

www.manometer.ch<br />

Ukraine<br />

<strong>WIKA</strong> Pribor GmbH<br />

83016 Donetsk<br />

Phone: (+38) 062 345 34 16<br />

Fax: (+38) 062 345 34 16<br />

E-mail: info@wika.donetsk.ua<br />

United Kingdom<br />

<strong>WIKA</strong> Instruments Ltd<br />

Merstham, Redhill RH13LG<br />

Phone: (+44) 17 37 64 40 08<br />

Fax: (+44) 17 37 64 44 03<br />

E-mail: info@wika.co.uk<br />

www.wika.co.uk<br />

Nord Amerika<br />

Canada<br />

<strong>WIKA</strong> Instruments Ltd.<br />

Head Office<br />

Edmonton, Alberta, T6N 1C8<br />

Phone: (+1) 780-463 70 35<br />

Fax: (+1) 780-462 00 17<br />

E-mail: info@wika.ca<br />

www.wika.ca<br />

<strong>WIKA</strong> Instruments Canada Ltd.<br />

Oakville, Ontario, L6H-6Z8<br />

Phone: (+1) 905-337 16 11<br />

Fax: (+1) 905-337 27 16<br />

E-mail: info@wika.ca<br />

www.wika.ca<br />

Mexico<br />

Instrumentos <strong>WIKA</strong> Mexico S.A.<br />

de C.V.<br />

01219 Mexico D.F.<br />

Phone: (+52) 555 020 53 00<br />

Fax: (+52) 555 020 53 01<br />

E-Mail: ventas@wika.com.mx<br />

www.wika.com.mx<br />

U<strong>SA</strong><br />

<strong>WIKA</strong> Instrument Corporation<br />

Lawrenceville, GA 30043<br />

Phone: (+1) 770-513 82 00<br />

Fax: (+1) 770-338 51 18<br />

E-mail: info@wika.com<br />

www.wika.com


Süd Amerika<br />

<strong>Argentina</strong><br />

<strong>WIKA</strong> <strong>Argentina</strong> S.A.<br />

Buenos Aires<br />

Phone: (+54) 11-4730 18 00<br />

Fax: (+54) 11-4761 00 50<br />

E-mail: info@wika.com.ar<br />

www.wika.com.ar<br />

Brazil<br />

<strong>WIKA</strong> do Brasil Ind. e Com.<br />

Ltda.<br />

CEP 18560-000 Iperó - SP<br />

Phone: (+55) 15-3266 16 55<br />

Fax: (+55) 15-3266 16 50<br />

E-mail: marketing@wika.com.br<br />

www.wika.com.br<br />

Afrika/Mittlerer Osten<br />

Egypt<br />

<strong>WIKA</strong> Alexander Wiegand<br />

GmbH & Co. KG<br />

Representative Office<br />

11 El Sheikh Ahmed El - Sawy<br />

from Makram Ebaid<br />

Nasr City, Cairo<br />

Phone: (+20) 2 - 227 33 140<br />

Fax: (+20) 2 - 227 33 140<br />

E-mail: ahmed.azab@wika.de<br />

Iran<br />

<strong>WIKA</strong> Instrumentation Pars<br />

Kish Ltd.<br />

4th Alley, Ghaem Magham Ave<br />

Tehran<br />

Phone: (+98) 21 8852 6730-3<br />

Fax: (+98) 21 8875 7413<br />

E-mail: info@wika.ir<br />

www.wika.ir<br />

South Africa<br />

<strong>WIKA</strong> Instruments (Pty.) Ltd.<br />

Gardenview, Johannesburg<br />

2047<br />

Phone: (+27) 11-621 00 00<br />

Fax: (+27) 11-621 00 59<br />

E-mail: sales@wika.co.za<br />

www.wika.co.za<br />

United Arab Emirates<br />

<strong>WIKA</strong> Middle East FZE<br />

Jebel Ali, Dubai<br />

Phone: (+971) 4 - 883 90 90<br />

Fax: (+971) 4 - 883 91 98<br />

E-mail: wikame@emirates.net.ae<br />

Asien<br />

China<br />

<strong>WIKA</strong> International Trading<br />

(Shanghai) Co., Ltd.<br />

200001 Shanghai<br />

Phone: (+86) 21 - 53 85 25 73<br />

Fax: (+86) 21 - 53 85 25 75<br />

E-mail: info@wika.com.cn<br />

<strong>WIKA</strong> Instrumentation<br />

(Suzhou) Co., Ltd.<br />

215011 Suzhou<br />

Phone: (+86) 512 - 68 25 98 41<br />

Fax: (+86) 512 - 68 25 44 62<br />

E-mail:<br />

public@wikachina.com<br />

India<br />

<strong>WIKA</strong> Instruments India Pvt. Ltd.<br />

Village Kesnand, Wagholi<br />

Pune - 412 207<br />

Phone: (+91) 20 - 66 29 32 00<br />

Fax: (+91) 20 - 66 29 33 50<br />

E-mail: sales@wika.co.in<br />

www.wika.co.in<br />

Japan<br />

<strong>WIKA</strong> Japan K. K.<br />

Tokyo 105-0023<br />

Phone: (+81) 3-54 39 66 73<br />

Fax: (+81) 3-54 39 66 74<br />

E-mail: t-shimane@wika.co.jp<br />

Kazakhstan<br />

TOO <strong>WIKA</strong> Kazakhstan<br />

050050 Almaty<br />

Phone: (+7) 32 72 33 08 48<br />

Fax: (+7) 32 72 78 99 05<br />

E-mail: info@wika.kz<br />

wika-kazakhstan@nursat.kz<br />

Korea<br />

<strong>WIKA</strong> Korea Ltd.<br />

Seoul 153-023<br />

Phone: (+82) 2 - 8 69 05 05<br />

Fax: (+82) 2 - 8 69 05 25<br />

E-mail: info@wika.co.kr<br />

Malaysia<br />

<strong>WIKA</strong> Instrumentation (M) Sdn.<br />

Bhd.<br />

Selangor Darul Ehsan<br />

Phone: (+60) 3 - 56 36 88 58<br />

Fax: (+60) 3 - 56 36 90 72<br />

E-mail: info@wika.com.my<br />

www.wika.com.my<br />

Singapore<br />

<strong>WIKA</strong> Instrumentation Pte. Ltd.<br />

569625 Singapore<br />

Phone: (+65) 68 44 55 06<br />

Fax: (+65) 68 44 55 07<br />

E-mail: info@wika.com.sg<br />

www.wika.com.sg<br />

Taiwan<br />

<strong>WIKA</strong> Instrumentation Taiwan<br />

Ltd.<br />

Pinjen, Taoyuan<br />

Phone: (+886) 034 20 60 52<br />

Fax: (+886) 034 90 00 80<br />

E-mail: info@wika.com.tw<br />

www.wika.com.tw<br />

Australien<br />

Australia<br />

<strong>WIKA</strong> Australia Pty. Ltd.<br />

Rydalmere, NSW 2116<br />

Phone: (+61) 2 - 88 45 52 22<br />

Fax: (+61) 2 - 96 84 47 67<br />

E-mail: sales@wika.com.au<br />

www.wika.com.au<br />

<strong>WIKA</strong> Australia Pty. Ltd.<br />

Burwood East, VIC 3151<br />

Phone: (+61) 3 - 88 47 20 00<br />

Fax: (+61) 3 - 98 02 95 59<br />

E-mail: sales@wika.com.au<br />

www.wika.com.au<br />

15


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<strong>WIKA</strong> Alexander Wiegand GmbH & Co. KG<br />

Alexander-Wiegand-Straße 30<br />

63911 Klingenberg<br />

Tel. (+49) 93 72/132-0<br />

Fax (+49) 93 72/132-406<br />

E-Mail info@wika.de<br />

www.wika.de<br />

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