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LVA 354.028 Integrierte Schaltungstechnik

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Ausarbeitung der gesammelten Fragen der<br />

<strong>LVA</strong> <strong>354.028</strong><br />

<strong>Integrierte</strong> <strong>Schaltungstechnik</strong><br />

Diese Ausarbeitung wurde gemeinsam von Martin Fein und Christian<br />

Schwingenschlögl im Laufe der Prüfungsvorbereitung erstellt und ist<br />

nach bestem Wissen und Gewissen ausgearbeitet worden!


Unterschied zwischen integrierten und diskreten Bauteilen (Seite 1):<br />

Diskrete Bauteile <strong>Integrierte</strong> Bauteile<br />

kleinere Toleranzen der Wiederstandswerte<br />

absolute Genauigkeiten sehr gut<br />

Große Toleranz der Widerstandwerte<br />

Widerstandsbereich: mΩ - GΩ<br />

Widerstandsbereich: Ω - kΩ<br />

Kapazitätsbereich: pF – mF<br />

Kapazitätsbereich: fF – pF<br />

Induktionsbereich: nH – H<br />

Induktionsbereich: nH<br />

große Werte<br />

Kleine Werte<br />

Kombination von verschiedenen<br />

Silizium dominiert (SiGe) bei NMOS, PMOS<br />

Semikonducter-Materialien möglich<br />

(+NPN)<br />

Selection of key device possible<br />

Ungenauigkeiten (mismatch) bleiben mit<br />

(z.B.: low-noise u high-noise HEMT)<br />

high-electron-mobility-transistor “Transistor<br />

mit hoher Elektronenbeweglichkeit“<br />

Laser oder Sicherungen abgleichen<br />

Hoher Preis pro Transistorfunktion Kleiner Preis pro Transistorfunktion<br />

Begrenzte Geschwindigkeit Hohe Geschwindigkeiten (high speed) am<br />

Chip möglich<br />

Warum gibt es Design Regeln? (DRC – Design Rule Checking) (Seite 2)<br />

DRC: (Seite 70) ist ein Layout- u Verifikationstool.<br />

Chiphersteller gibt dem Schaltungsdesigner bestimmte Spezifikationen/Entwurfsregeln für<br />

einen Chip vor (z.B.: Mindestabstände-, Mindestbreiten-, Überlappungen-, Innenlagen der<br />

einzelnen Layer, …) nach dem Entwurf müssen die Einhaltung dieser Regeln überprüft<br />

werden automatisch mittels DRC; falls etwas nicht passen sollte gibt es Re-Design.<br />

Was ist Analog IC Design?<br />

Analog IC Design (Entwurf) ist die erfolgreiche Implementierung analoger Schaltungen und<br />

Systeme unter Verwendung von IC Technologien.<br />

o Geometrie ist sehr wichtig!<br />

Electrical Design Physical Design Test Design<br />

o Für gewöhnlich gemischte Architekturen (analog/digital)<br />

o Analog 20% u digital 80% der Chipfläche<br />

o Jedoch benötigt analoges 80% der Entwurfszeit (im Circuit Level) !!<br />

Zusammenfassung:<br />

o IC kombiniert Funktion und Applikation mittels IC Technologien für eine erfolgreiche<br />

Lösung<br />

o 3 Hauptschritte in der Entwicklung:<br />

Electrical Design: Topologie, W/L (Width u Length), DC Schaltkreise<br />

Physical Design (Layout)<br />

Test Design (Test)<br />

o Komplexe Probleme können durch Knowhow und flexible Designer vereinfacht und<br />

verstanden werden u somit implementiert werden<br />

o IC wird mehr von alt bewährten Technologien getrieben als von ganz neuen<br />

o IC Entwurf hat seine „Reife“ erlangt (ist ausgereifte Technologie)<br />

o Wenn das Problem ökonomisch digital gelöst werden kann, verwende NICHT analoge<br />

Schaltungen!<br />

2


Wie wird der Chip im Wafer realisiert? (Seite 25 ff)<br />

Oxidgrowth (Oxidation) Auf dem Silizium Wafer wird eine Schicht<br />

Silizium Oxid ‚aufgewachsen‘. VT:<br />

unterliegende Material wird vor<br />

Verschmutzung geschützt, Isolation zw. 2<br />

Schichten; Maskieren; Gateoxid erstellen;<br />

für dünne Schichten: dry oxidationtechniques<br />

für dicke Schichten: wet oxidationtechniques<br />

Diffusion Hier werden Fehlatome von der Obefläche<br />

des Siliziums in das Innere (Bulk) befördert;<br />

von hoher zu niedriger Konzentration! Bei<br />

hohen Temperaturen (800 - 1200 °C)<br />

Ion Implementation Bei diesem Schritt werden Fehl Ionen<br />

eingepflanzt; dies passiert mit hoher<br />

Geschwindigkeit; VT: gut kontrollierbar u<br />

wiederholbar; Konzentrationsspitze knapp<br />

unter der Oberfläche; bei niedrigen<br />

Temperaturen (im Verhältniss zu Diffusion);<br />

geht durch die Oberfläche;Ausglühen ist<br />

notwendig um die Fehlionen zu ‚aktivieren‘ u<br />

die Kristallstrukturschäden zu reparieren<br />

(500 – 800 °C); bei noch höheren<br />

Temperaturen Difusion<br />

Deposition (Schichtabscheidung) Verschiedene Materialschichten werden am<br />

Silizium Wafer abgeschieden: SiliziunNitrat,<br />

Silizium Oxid, Aluminium, Polysilicon<br />

Verschiedene Arten:<br />

Chemical Vapor Deposition (CVD): chemische<br />

Reaktion das ein Gas als dünnen Film auf der<br />

Oberfläche transformiert<br />

Low Preassure CVD<br />

Plasma Assisted CVD: keine thermische<br />

Energie wird verwendet<br />

Sputter Deposition<br />

Anwendung am ganzen Layer<br />

Etching Selektives beseitigen von Layermaterial:<br />

Mask, Film, Underlying Layer<br />

Etzrate in bestimmte Richtungen (film etch<br />

rate / mask etch rate<br />

Epitaxy Zur Herstellung von Dotierungsschichten die<br />

mit üblichen Verfahren (Diffusion Ion<br />

Implementation) nicht realisiert werden<br />

können; Epitaxyschichten sind viel reiner<br />

Photolithography Um das Layout mittels einer Maske auf den<br />

Chip zu bringen; Photoresist Material, Mask,<br />

Oxid (Wo Maske rauf kommt)<br />

Positiv- u negative photolitograpy<br />

3


CMOS Aufbau: (Seite 36) Complementary Metal Oxyd Semiconducor) PMOS u NMOS auf<br />

einem Substrat<br />

Auch in p-well Technologie realisierbar! (n-substrate p-well)<br />

Well tie & Subtrate tie = Bulk Anschlüsse des PMOS u NMOS Backgate = Bulk<br />

Backgate Effekt:<br />

Mit der Spannung VSB kann die Schwellspannung Vth verändert werden: VSB↑ Vth↑<br />

Herstellung eines PNP Transistors (Seite 52,53): Es gibt 2 Arten:<br />

4


Aufbau MOS Transistor: (Seite 39) (NMOS u PMOS siehe 1.Bild CMOS Aufbau)<br />

+ parasitäre Effekte:<br />

Ist eigentlich ein NMOS auf n-Substrat.<br />

NMOS: Source u Drain n+ dotiert<br />

PMOS: Source u Drain p+ dotiert<br />

CMOS (Complementary Metal….) bedeutet sowohl PMOS als auch NMOS auf einem Substrat<br />

5


BJT NPN u PNP Aufbau:<br />

NPN mit buried Layer:<br />

PNP siehe Frage: Herstellung eines PNP Transistors<br />

Unterschiede zwischen MOS und BJT: (Seite 59)<br />

MOS BJT<br />

Spannungsgesteuert Stromgesteuert<br />

Negativer Temperaturkoeffizient Positiver Temperaturkoeffizient<br />

Majoritätsladungsträger Bauteil Minoritätsladungsträger Bauteil<br />

ID ~ VGS 2 IC ~ exp(VBE)<br />

Gut geeignet für IC Schlecht geeignet für IC<br />

Probleme mit CMOS:<br />

o Längere Transistoren führen zu höheren Strömen<br />

o Schalten von hohen Spannungen mit Standard CMOS ist nicht möglich<br />

BJTs werden für Leistungstransistoren bevorzugt!<br />

Gibt es Bipolartransistoren in reiner CMOS Technologie? (Seite 41)<br />

Ja, natürlich…<br />

6


Performance (Stromverstärkung u Übertragungsfrequenz) können nicht mit dem vertical NPN<br />

Transistor in SBC (Standard Buried Collector) Technologie (Buried Layer: siehe Bild NPN<br />

Aufbau) mithalten.<br />

ESD Schutz (Seite 43):<br />

Um das Gate Oxid vor hohen externen Spannungen zu schützen wird ‚Electrostatic-Discharge<br />

Protection‘ (ESD) verwendet. Hervorgerufen kann dies werden durch:<br />

o Induktivitäten: wenn die Oberfläche von einem nahen el. Feld polarisiert wird<br />

o Capazitiv: wenn die Kapazität des Gehäuse, das auf fixem Potential liegt, steigt<br />

o Reibungselektrizität: wenn zwei Materialien die getrennt werden Ladung als Folge von<br />

Reibung austauschen (z.B.: der Mensch kann eine wesentliche Ladung aufweisen)<br />

Vergleich zwischen MOSFET und BJT:<br />

Analog IC: BJT sind besser<br />

Digital IC: CMOS sind besser<br />

Analog/digital IC: BiCMOS<br />

o Verstärkung und Bandbreite vom BJT sind viel größer als die des MOS Verstärkers<br />

o Steilheit: gm,BJT ≈ 10 * gm,MOS<br />

o Temperaturverhalten:<br />

MOS: T↑ µ↓ gm↓<br />

BJT: T↑ IC↑ gm↑<br />

o Geschwindigkeit: bei BJTs werden Kapazitäten schneller geladen und entladen<br />

o Rauschen: In Transistorschaltungen zur Signalverarbeitung wie Vorverstärker ist das<br />

Rauschen eine wesentliche Störgröße. Es spielt dabei vor allem das thermische<br />

Rauschen, das Schrotrauschen sowie das 1/f-Rauschen eine Rolle. Bei dem MOS-<br />

Feldeffekttransistor ist das 1/f-Rauschen bereits unter ca. 1 MHz besonders groß. Das<br />

unterschiedliche Rauschverhalten bestimmt ebenfalls die möglichen Einsatzbereiche<br />

der Transistortypen, beispielsweise in Niederfrequenzverstärkern oder in speziellen<br />

rauscharmen Hochfrequenzumsetzern.<br />

o Matching: baugleiche Transistoren müssen möglichst gleiche Bauteilparameter<br />

aufweisen.<br />

BJT: IS, β, VA, Emitter area<br />

MOSFET: VT, K‘, λ, Width & Length<br />

7


CMOS BiCMOS Vorteile/Nachteile:<br />

BiCMOS = CMOS + NPN BJT (vertical) (meistens)<br />

Allgemein BiCMOS: Kombination von MOSFET und BJT. Eingang und logische Verknüpfung in<br />

CMOS Technik (Vorteile von CMOS); Ausgangsstufe als BJT realisiert<br />

Vorteil BiCMOS: hohe Stromtreiberfähigkeit und geringe Abhängigkeit von der kap. Last; mit<br />

BiCMOS werden Logikschaltungen mit leistungselektronischen Schaltungen auf einem Chip<br />

vereint. Zum Schalten und Regeln hoher Ströme<br />

Nachteile: BiCMOS können beispielsweise nicht gut in Microprozessoren eingesetzt werden.<br />

Herstellung ist teuer!<br />

BiCMOS bei analog/digitalen Schaltungen<br />

CMOS bei rein digitalen Schaltungen<br />

Vorteile CMOS: nahezu keine Stromaufnahme ohne Zustandsänderung (zB.: BIOS),sehr<br />

niedrige Kosten, extrem niedriger und unkritischer Leistungsbedarf, nahezu unendlich große<br />

Eingangswiderstände, gute Rauscheigenschaften<br />

Nachteil CMOS: Ausgänge sind empfindlich gegen Belastung (speziell kap. Belastung), bei<br />

hohen Frequenzen >5MHz hohe Verluste<br />

Matching/Mismatching (Seite 75-77)<br />

Mismatch tritt auf wenn gleiche Bauteile Abweichungen in deren Parametern haben. Matching<br />

siehe Frage ‚ Vergleich zwischen MOSFET und BJT‘<br />

o MOS: 2 spezielle Modellparameter:<br />

ΔVth (=Schwellspannungs Mismatch) und ΔID/ID (=Drainstrom Mismatch)<br />

σ ΔVth … Standardabweichung von ΔVth<br />

σ ΔVth =<br />

ist ein const technologieabhängiger Faktor. In den meisten Fällen reicht dieser<br />

Faktor aus, um das gesamte Mismatchverhalten zu beschreiben.<br />

σ ΔID/ID … Standardabweichung von ΔID/ID<br />

σ ΔID/ID =<br />

hängt stark von (VGS- VTH) ab. Wenn (VGS- VTH) ↑ ↓<br />

o BJT: 2 spezielle Modellparameter:<br />

ΔIC/IC, ΔIB/IB und deren Standardabweichungen<br />

σ ΔIC/IC =<br />

σ ΔIB/IB =<br />

We u Le… width u length of emitter<br />

o Methoden gegen Mismatch: (Seite 74)<br />

Einheitliche Bauteilgeometrien des selben Materials sollten verwendet werden. Für<br />

kleine Geometrien ist das Matching Verhältnis 2:1; Matching Elemente sollten möglichst<br />

nahe beisammen sein, selbe Orientierung aufweisen, Dummy Elemente sollten am Rand<br />

von Matching Elementen hinzugefügt werden (zwischen 2 verschiedenen). Teile die die<br />

höchsten Anforderungen haben sollten im Zentrum des Chips (die) platziert werden,<br />

thermal sensitive Elemente sollten soweit wie möglich von energieverbrauchenden<br />

Bauteilen entfernt sein.<br />

o Temperatur macht beim BJT Probleme, BJT haben einen pos. Temperaturkoeffizienten<br />

8


<strong>Integrierte</strong> Kapazitäten und Widerstände:<br />

Standard MOS Kapazität:<br />

o D = S = B<br />

o Arbeitet zwischen Accumulation (Vorwärtsbetrieb) und Inversion (Rückwärtsbetrieb),<br />

aber const hohe Kapazität nur bei Accumulation und starker Inversion!<br />

o Nichtlinear u nichtmonoton<br />

o Supply blocking capacitaors on Chip<br />

Inversion Mode MOS Kapazität:<br />

D = S; B = VDD keine Accumulation Region!!<br />

Poly-Poly Kapazität:<br />

Best möglicher Kakazität für analoge IC, niedrige parasitäre Effekte, Spannungsunabhängig<br />

Ploysilicon Widerstand:<br />

o 30 – 100 /square<br />

(unshielded)<br />

o 100 – 500<br />

square(shielded)<br />

o Abs Genauigkeit ±30%<br />

o Rel Genauigkeit 2%<br />

o Temp Koeffizient 500 –<br />

1000 ppm/°C<br />

o Spannungskoeffizient 100<br />

ppm/V<br />

9


Stomspiegel: (Seite 82ff)<br />

Stromspiegel sind sehr wichtig für analoge u digitale ICs!<br />

Mirror Ratio (Spiegelverhältnis) = I0/IREF<br />

Welche Arten:<br />

o Standard Stromspiegel:<br />

MOS bzw. BJT Bauart realisierbar!<br />

MOS:<br />

Für idente Werte von VDS ist I0 = IREF<br />

Jedoch ist dies in der Realität wegen Mismatch nicht gegeben!<br />

Ausgangswiderstand: ROUT = ro2 … Ausgangswiderstand des Transistors M2<br />

BJT:<br />

Da Basisströme vorhanden sind, und die Stromverstärkung endlich ist ( ≈ 100)<br />

resultiert ein Errorfaktor beim Ausgangsstrom: (für ≈ 100 Fehler = 2%)<br />

Ausgangswiderstand: ROUT = ro2 … Ausgangswiderstand des Transistors Q2<br />

Um die Leistung zu erhöhen, kann die Mirrorratio verändert werden:<br />

MOS: es werden W/L der beiden NMOS verändert:<br />

BJT: die Emitterflächen werden in ein Verhältnis zueinander gesetzt:<br />

Im Idealfall (Verstärkung ): I0/IREF = M<br />

10


Sonst:<br />

o Multable Current Sources:<br />

Wird benötigt, wenn mehrere verschiedene Stromquellen verwendet werden.<br />

Problem: für BJT würde der Fehler bei endlichem unakzeptabel groß werden!<br />

Buffered Current Mirror<br />

o Buffered Current Mirror:<br />

Erweiterung um einen BJT Q3: es wird dadurch der Basisstrom IB1 und IB2 reduziert <br />

Errorterm wird kleiner!!<br />

o Widlar Current Source (BJT):<br />

Erweitert den Standard-Stromspiegel um einen Widerstand im Emitterzweig 2. Dies<br />

schafft einen zusätzlichen Freiheitsgrad für die Mirror Ratio. Durch R wird der<br />

Ausgangsstrom IO festgelegt.<br />

11


Ausgangswiderstand: ROUT = K*ro2 … Faktor K * Ausgangswiderstand des Transistors Q2<br />

ROUT ist bei der Widlar Source um das 1 bis 10 fache Größer als beim Standard-<br />

Stromspiegel!!<br />

Widlar Source ist auch mit MOS realisierbar! (Seite 96 ff)<br />

Erweitert den Standard-Stromspiegel um einen Widerstand im Sourcezweig 2<br />

ROUT = ro2(1+gm2*R)<br />

o Wilson Source: (Seite 98ff)<br />

Die Wilson Source ist ein Stromspiegel mit sehr hohem Ausgangswiderstand! Wird<br />

benötigt für hohes CMRR bei OPAMPs.<br />

MOS:<br />

Ausgangswiderstand: ROUT = µf2*ro3<br />

Als BJT:<br />

Ausgangswiderstand: ROUT =<br />

Dieser Ausgangswiderstand ist im Verhältnis zum Standard-Stromspiegel um den<br />

Faktor<br />

erhöht!!<br />

12


Um jedoch bessere Ergebnisse bei Präzisionsschaltungen zu erlangen wird ein weiterer<br />

Transistor hinzugefügt:<br />

o Cascode Current Sources (MOS u BJT):<br />

Hier werden 2 Standard-Stromspiegel kaskadiert:<br />

MOS: Ausgangswiderstand: ROUT = µf4*ro2<br />

BJT: Ausgangswiderstand: ROUT =<br />

Die Cascode Source und die Wilson Source sind die besten Stromspiegel, da sie hohe<br />

Werte von VCS und hohe Ausgangswiderstände gewährleisten!<br />

Referenzstromquelle: (Seite 108)<br />

Alle bisher besprochenen Stromspiegel benötigen eine Referenzstromquelle:<br />

Einfachste Möglichkeit ist: Widerstand R vorschalten (a) oder 2 MOSFETs in Serie (b):<br />

13


Bandgap Referenzquelle (BGR): (Seite 115)<br />

o Ziel ist es, die<br />

Referenzspannungsquelle<br />

unabhängig von der Temperatur<br />

zu machen<br />

Prinzip: Kombination von VBE und<br />

VT: VBE↓ mit T↑ Generation<br />

einer Spannung VT die diesen<br />

Abfall von VBE kompensiert<br />

o Praktische Realisierung eines BGR:<br />

(a) Ohne OPAMP: Feedbackloop<br />

mit Q4 wird verwendet, um<br />

den Arbeitspunkt festzulegen;<br />

VOUT ist von der<br />

Versorgungsquelle abhängig.<br />

(b) Mit OPAMP: I1 und I1<br />

verhalten sich wie R1 und R2;<br />

OPAMP ist ideal kein Offset!)<br />

o Kompabilität mit CMOS Technologie:<br />

Die meisten CMOS Prozesse sind N-well Prozesse!<br />

Daher ergeben sich nur PNP Transistoren!! Mit<br />

Collector = Substrate (= Ground)<br />

o Problem mit BGR:<br />

In der Realität hat der OPAMP eine<br />

Offsetspannung VOS Fehler in VOUT<br />

VOS (ist auch temperaturabhängig) wird mit einem<br />

Faktor (1+R2/R1) verstärkt!<br />

LÖSUNG:<br />

Es gibt 3 Möglichkeiten:<br />

(1) Einbinden großer Bauelemente um Offset zu minimieren<br />

(2) Collectorstrom von Q1 und Q2 kann mit<br />

einem Faktor m ins Verhältnis gebracht<br />

werden<br />

(3) ein zusätzlicher PNP Transistor wird in jeden<br />

Zweig hinzugefügt um ΔVBE zu verdoppeln.<br />

( jedoch nicht realisierbar in Standard-<br />

CMOS Q2 u Q4 sind nicht geerdet in<br />

Emitterfolger konvertieren!!)<br />

14


PTAT (Proportional To Absolute Temperature): (Seite 119 u 125)<br />

Prinzip: wenn 2 BJT mit unterschiedlichen<br />

Kollektorströmen arbeiten, dann ergibt sich eine<br />

Differenz ΔVBE ihrer Basis-Emitter-Spannungen,<br />

die ebenso von der absoluten Temperatur<br />

abhängig ist! (PTAT)<br />

ΔVBE = VBE1 - VBE2 = VT*ln(n)<br />

daraus ergibt sich ein pos.<br />

Temperaturkoeffizient (TC):<br />

In BGR Schaltungen sind die Bias Ströme der<br />

Transistoren ebenfalls proportional zur<br />

absoluten Temperatur. Dadurch ist es möglich eine Strombasierende PTAT Bandgap Quelle zu<br />

generieren.<br />

Was ist ein einfacher OTA (Operational Transconductance Amplifier) (Seite 147)<br />

o Ein OTA ist ein OPAMP der die Differenzspannung an den beiden Eingängen in einen<br />

proportionalen Ausgangsstrom umwandelt.<br />

T1 und T2 sind matching Transistoren (gleiches W/L); keine Vorspannungs-Schaltungen<br />

für Lasten nötig; T3 und T4 sind ebenso matching Transistors; IB bestimmt alle<br />

Stromstärken; Alle wells sind mit den Sources verbunden (ebenso Bulk = Source) VBS =<br />

0 , d.h.: kein Body-Effekt! Somit wird Matching verbessert;<br />

o Gain-Bandwidth (GBW):<br />

Es existieren 2 Pole: ein dominanter (fd) und ein nicht-dominanter (fnd) (Knoten (5) und<br />

(4) im vorherigen Bild)<br />

und<br />

Dadurch ergibt sich die Spannungsverstärkung zu AV = gm1 * ROUT !!<br />

Phasenrand ist im Frequenzgangdiagramm die Differenz zu -180° Phasenlage (PM ist pos.<br />

für arg. > -180°<br />

15


Phasenrand (Phase Margin): PM = 90° - arctan(GBW/fnd)<br />

Es ist ersichtlich, dass sowohl die Bandbreite (GBW), die Spannungsverstärkung (AV)<br />

und der Phasenrand (PM) von der Steilheit (gm1) abhängen<br />

o Funktionsweise einfacher OTA:<br />

IOUT = UIN * gm<br />

Eine Ausgangsspannung kann durch eine externe Last generiert werden.<br />

Funktion ohne Widerstände sondern nur mit Transistoren realisiert!<br />

o Funktionsweise Miller OTA (2-Stufen Miller OTA):<br />

Der Miller OTA ist eine Erweiterung des Standard-OTAs. (siehe nächste Grafik)<br />

Die Erweiterung betrifft einen zusätzlichen invertierenden Verstärker und somit wird der<br />

Miller OTA ziemlich schnell. Die Pole und Nullstellen des Miller OTAs heben sich soweit<br />

auf, jedoch gibt es ein Problem bei sprunghaften Eingangssignalen Dominate Pol<br />

ändert kurzfristig seine Frequenz höheres Überschwingen<br />

Allgemeines (Seite 164): Die Pole f1 und f4 liegen nahe beisammen negativer<br />

Phasenrand (PM)! Durch die zusätzliche Kapazität CC wird der Phasenrand wieder<br />

positiv. Die GBW hängt beim Miller OTA nur mehr vom CC ab und NICHT vom CL siehe<br />

nächste Formel.<br />

und Phasenrand (Phase Margin): PM = 90° - arctan(GBW/fnd)<br />

Spannungs-Verstärkung des Miller OTA:<br />

1. Stufe: Niederfrequenzverstärkung: Av10 = gm1/(gOUT2+gOUT4)<br />

2. Stufe: Niederfrequenzverstärkung: Av20 = gm6/G’L mit G’L = 1/RL + gOUT5 + gOUT6<br />

Av0 = Av10 * Av2<br />

BW = GBW/AV<br />

o VT/NT Miller OTA und einfacher OTA:<br />

Miller OTA Einfacher OTA<br />

VORTEILE<br />

Maximale Leistungsvertärkung Keine zusätzliche Kompensationskapazität<br />

Maximales Signalschwingen Niedrigerer Leistungsverbrauch<br />

Besserers PSRR (Power Suppl Rejection<br />

Ratio = Netzstörunterdrückungsverhältnis)<br />

NACHTEILE<br />

Benötigt zusätzliche Kapazität für<br />

Kleineres Signalschwingen<br />

Frequenzkompensation<br />

Größerer Leistungsverbrauch<br />

16


o Eigenschaften Miller OTA:<br />

Slew Rate: maximale Anstiegsrate. Bei niedrigen Frequenzen wird<br />

Ausgangsspannung von der Versorgungsspannung begrenzt; bei hohen<br />

Frequenzen limitiert die SR die Ausgangsspannung<br />

Settling Time: (Zeit bis Error < 0,1%) entweder durch SR oder τd (durch BW<br />

gegeben) begrenzt<br />

Input Impedanz: RIN ZIN ist kapazitiv und fällt mit f<br />

Ausgangswiderstand: für kleine Frequenzen ZOUT ~ 550k ; für hohe Frequenzen<br />

ZOUT ~ 5k;<br />

Temperaturverhalten: nur der Faktor Kn‘ ist temp.abhängig T - mit <br />

Rauchverhalten: jeder MOS besitzt thermisches und 1/f Rauschen:<br />

Niedrige u mittlere Frequenzen: 1/f Rauschen ist dominant!<br />

Für hohe Frequenzen: 1/f Rauschen spielt keine so große Rolle und die<br />

Kapazitäten müssen betrachtet werden<br />

o Miller-Effekt:<br />

Als Millereffekt wird die Vergrößerung der Eingangskapazität eines invertierenden<br />

Verstärkers bezeichnet, die aufgrund der effektiven Verstärkung der Kapazität zwischen<br />

Ein- und Ausgang dieses Verstärkers auftritt. Dieser Effekt ist meist störend, kann aber<br />

auch zum Erzeugen größerer effektiver Kapazitätswerte vorteilhaft genutzt werden. <br />

Miller OTA<br />

CMRR (Common Mode Rejection Ratio) (Seite 201):<br />

o = Gleichtaktunterdrückung gibt an, wie wenig sich die Ausgangsspannung ändert, wenn<br />

sich die beiden Eingangsspannungen eines elektrischen Differenzverstärkers um den<br />

gleichen Betrag (=„Gleichtakt“) ändern. Im Idealfall sollte sich dann die<br />

Ausgangsspannung des Differenzverstärkers nicht ändern, weil sie nur von der Differenz<br />

der beiden Eingangsspannungen abhängt.<br />

CMRR und der Offset hängen vom Matching der Transistoren ab.<br />

CMRR = Add/Adc<br />

Add … Verstärkung für einen reinen Differenzverstärker = gm1 * RL<br />

Adc … Verstärkung für einen reinen Gleichtaktverstärker Eingänge auf gleiches<br />

Potential!<br />

CMRR kann verbessert werden durch: hohe Eingangs Transkonduktanz (Steilheit) gm1 und<br />

hohen Ausgangswiderstand (RB) der Stromquelle.<br />

Zusammenhang mit dem Offset: VOS * CMRR = IB * RB<br />

17


o Offset und CMRR bei Bipolar Differenz Verstärkern im Gegensatz zu MOS:<br />

Der Offset ist bei Bipolar Differenzverstärkern um eine Größenordnung (Faktor 10)<br />

KLEINER als bei MOS Differenzverstärkern! Offset u CMRR:<br />

VOS * CMRR = 2gm * RB *(k*T)/q CMRR ist für typische Werte um einen Faktor 10<br />

GRÖßER als beim MOS!<br />

o Kann man die Eingangsströme (bias current) von bipolaren Differenzverstärkern<br />

kompensieren? (Seite 207 - 209):<br />

Die Differenz der beiden Eingangsströme Ibias ist Ibos. Der Offset Ibos ist ca. 5 – 10 % von<br />

Ibias . Kann zwar nicht auf 0, aber auf 1/10tel bis 1/20tel. (5 – 10%) reduziert werden.<br />

2 verschiedene Schaltungen im Skriptum:<br />

18


o PSRR (Power Supply Rejection Ratio): (Seite 210)<br />

= Netzstörunterdrückungsverhältnis<br />

Digitale Schaltungen in Mixed-Signal Chips verursachen Spannungsspitzen an VDD und<br />

VSS; mittels einer hohen PSRR kann nur das Einkoppeln dieser Spannungsspitzen in<br />

analogen Schaltkreisen vermindert werden.<br />

PSRRDD = Av/ADD = vDD/vIN<br />

PSRRSS = Av/ASS = vSS/vIN<br />

(vDD und vSS sind die jeweiligen Spannungsspitzen)<br />

19


Symmetrischer CMOS OTA (SOTA): (Seite 215)<br />

Die Transistoren T5 und T6 sind um den Faktor B weiter als T3 und T4. Dieser Faktor B bedingt<br />

einen größeren Leitwert (Steilheit) G B * gm1 als beim einfachen OTA.<br />

Verstärkung: Av = B * gm1 * ROUT<br />

Aber gleichzeitig wird ROUT um den Faktor B kleiner<br />

Die GBW eines SOTAs ist um den Faktor B größer als die eines einfachen OTAs.<br />

Der totale Stromverbrauch ist um den Faktor (B + 1) größer als beim einfachen OTA.<br />

Wegen des Phasenrands kann der Faktor B nicht besonders groß gemacht werden.<br />

PM↑ für: Cn5↓ bzw Cn6↓; B↓; (W/L)7↑<br />

Die Slew Rate (SR) des SOTAs ist um das B fache größer als die des einfachen OTAs<br />

o Symmetrical BiCMOS OTA:<br />

Die NMOS (eher PMOS?)Transistoren werden durch NPN Transistoren ersetzt<br />

Die PMOS Transistoren als Eingang auf Grund des hohen Eingangswiderstandes und des<br />

hohen SR/GBW Verhältnisses;<br />

Vorteil: größerer Output swing u Knoten 4 u 5 haben kleinere Impedanz<br />

Nachteil: Rauscheigenschaft ist schlecht, da Av1 kleiner wird<br />

o Komplementäre SOTA:<br />

normaler SOTA, jedoch ist die Schaltung auf den Kopf gestellt und die Eingangstransistoren<br />

20


werden durch PMOS Transistoren ersetzt.<br />

o Kaskaden SOTA: (Cascoded SOTA) (Seite 220)<br />

Transistoren M7 – M10 erhöhen die open Loop Verstärkung (VORTEIL). Sie werden von den<br />

Transistoren M15 – M18 mittels der Stromquelle IB und M14 beeinflusst;<br />

Nur der Ausgangsknoten hat hohe Impedanz;<br />

Av0 = gm1 * ROUT<br />

GBW ~ GBW von SOTA jedoch wird die Steilheit um gmb1 erhöht<br />

o Folded Cascode CMOS SOTA: (Gefalteter Kaskaden CMOS OTA) (Seite 223):<br />

Der Output Swing wird durch das Falten erhöht (VORTEIL)<br />

M7 – M9 sind kaskadierte Stromspiegel<br />

Der Strom von M3 ist doppelt so groß als jener von M1<br />

Verstärkung: die einzig hohe Impedanz ist wieder der Ausgangsknoten Av0 = gm1 * ROUT<br />

wobei ROUT sehr groß werden kann! (VORTEIL)<br />

Slew Rate: SR =<br />

o Folded Cascode BiCMOS SOTA: (Gefalteter Kaskaden BiCMOS OTA) (Seite 226):<br />

In Vergleich zum Folded Cascode CMOS SOTA werden die Transistoren M5 u M6 durch NPN<br />

Transistoren ersetzt. Dadurch werden die Knoten 8 u 9 niederohmig. Dadurch kann ein hoher<br />

Phasenrand (PM) realisiert werden.<br />

21


Komparatoren: (Seite 243)<br />

Komparatoren sind die grundlegenden Bauelement für ADCs. Allgemein: Am Ausgang des<br />

Komparators steht ein Signal zur Verfügung, das anzeigt, welche der Eingangsspannungen höher<br />

ist. Wenn die Spannung am positiven, nicht-invertierenden Eingang höher ist als die Spannung am<br />

negativen, invertierenden Eingang, so nähert sich die Ausgangsspannung der positiven<br />

Versorgungsspannung. Bei umgekehrten Verhältnissen geht die Ausgangsspannung gegen die<br />

negative Versorgungsspannung.<br />

Reale Komparatoren:<br />

o Endliche Empfindlichkeit<br />

o Offset<br />

o Endliche Geschwindigkeit<br />

2 Typen von Komparatoren:<br />

o Kontinuierlicher Betrieb (OPAMP): hohe Verstärkung notwendig<br />

o Sample Betrieb (S&H, Verstärker A, Latch): kleine Verstärkung von A ist ausreichend (ist<br />

schneller!)<br />

Empfindlichkeit: das ist die kleinste Eingangsspannung / der kleinste Eingangsstrom, der nötig ist,<br />

um einen konsistenten Ausgang zu bekommen.<br />

Input Offset Spannung VOS: Spannung die am Eingang anliegen muss, damit der Ausgang Null<br />

liefert.<br />

Verstärker Antwortzeit tr: benötigte minimale Verarbeitungszeit um einen richtigen logischen<br />

Ausgang zu erlangen<br />

Hysterese: sollte größer als das Rauschlevel sein.<br />

o Offset Compensation:<br />

die benötigte Empfindlichkeit beträgt ~ 1mV. CMOS haben jedoch einen Offset in der<br />

Größenordnung von 10 mV!! Auto zero techniques sind notwendig<br />

allgemein: in der 1. Phase wird VOS vom S&H Glied gelesen; im der 2. Phase wird die<br />

Eingangsspannung durchgeschaltet und mit dem Betrag des S&H Glieds (VOS) summiert;<br />

dann wird die Summe am invertierenden Eingang des Verstärkers angelegt VOS kürzt<br />

sich raus; Implementierung erfolgt mittels Kapazität am Eingang (siehe Bild unten)<br />

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o Latch (Aufbau): (Seite 254)<br />

Latch steuert eine weitere Verstärkung hinzu, es generiert einen logischen Ausgang, es<br />

gewährleistet stabilen Ausgang der synchron zum Takt ist;<br />

TODO Funktionsweise<br />

o Seite 249 ff !!!<br />

Sample & Hold Glied: (Seite 271)<br />

Anwendung in: ADCs, Switched Capacitor (SC) Filters, Komparatoren<br />

Schaltet, um das Sampeln durchführen zu können.<br />

Hohe Eingangsimpedanz<br />

Vorteile von MOSFET gegenüber BJT:<br />

o eingeschaltet aber kein Stromfluss<br />

o S/D Spannungen sind nicht mit der Gate Spannung verknüpft<br />

o Leitet in beide Richtungen<br />

MOSFET Schalter Fehler:<br />

o Endliche Aufnahme (acquisition) Zeit<br />

o Endliche Bandbreite in Samplemode<br />

o DC Offset in Samplemode (VOS1)<br />

o Endliche Aperturzeit (t)<br />

o Abfall in Hold Mode<br />

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RON =<br />

des MOSFET<br />

… im linearen Bereich Widerstand ergibt sich ja aus den Parametern<br />

Wenn der Schalter ON ist, lädt sich der Kanal mit einer bestimmten Ladung. Nach dem<br />

Ausschalten muss sich die Ladung abbauen ca. 50% gehen zum Ausgangsknoten (der genaue<br />

Wert ist sehr von bestimmten Parametern abhängig), falls die Taktrate zu klein ist, wird die<br />

gesamte Ladung vom Eingang absorbiert;<br />

Clock feed-through:<br />

Beim Ausschalten des Schalters wird eine zusätzliche Kapazität (abhängig von Bauteil Parametern<br />

des MOS) auf den Ausgang wirksam. Bei kleiner Clockrate ist diese jedoch sehr klein.<br />

Um Ladungsinjektion zu verhindern, wird ein weiterer MOSFET als Schalter hinzugefügt (Dummy<br />

Switch), jedoch mit entgegengesetztem Clock und W2 = W1/2 !<br />

o kT/C Rauschen: (Seite 275)<br />

äquivalente Schaltung mit Rauschquelle:<br />

Mittelwert von vn² = 4*k*T*RON*f<br />

Mittelwert von vOT² = k*T/CH<br />

vOT(rms) =<br />

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Unabhängig vom Eingang liegt am Ausgang immer diese Rausschspannung vOT(rms) an.<br />

Switch Capacitor (SC): (Seite 278)<br />

… sind elektronische Filter, die in ihrem Schaltungsaufbau statt ohmschen Widerständen<br />

geschaltete Kondensatoren besitzen.<br />

Prinzip: Widerstand kann als geschaltet Kapazitäten realisiert werden!<br />

o Vorteile:<br />

Kondensatoren sind in CMOS leichter zu realisieren als Widerstände<br />

Wert der Kapazität ist temperaturunabhängig<br />

Kapazität verbunden mit dem Ausgang eines OPAMP wirkt sich nicht auf dessen<br />

Widerstand aus und folglich auch nicht auf die open loop Verstärkung<br />

o Nachteile:<br />

Clock feed-through ist ein Thema<br />

Die 2 Taktraten dürfen sich nicht überlappen<br />

Bandbreite des Signals muss kleiner als die Taktfrequenz sein<br />

Der äquivalente Widerstand ergibt sich zu: Requ = T/C mit T = Periodendauer<br />

Wird beispielsweise bei S&H Glied verwendet<br />

Oszillatoren<br />

Verwendung: als Taktgenerator in Microprozessoren; zur Trägersignalgenerierung bei<br />

Mobiltelefonen;<br />

Realisierung ist in CMOS noch immer eine Herausforderung, oft in Phase locked Loop Systemen<br />

realisiert<br />

Arten von Oszillatoren:<br />

Ringoszillator, LC Oszillator, VCO, …<br />

Systeme mit negativer Rückführung oszillieren möglicherweise;<br />

„Ein Oszillator ist ein schlecht designter Rückkopplungs-Verstärker….“<br />

„In der Hochfrequenzwelt sind Verstärker Oszillatoren, und eigentliche Oszillatoren sind keine…“<br />

VOUT/Vin(s) = H(s)/(1 + H(s))<br />

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Oszillation für s = j0, H(j0)=-1<br />

closed loop Verstärkung = für 0<br />

Verstärker verstärkt seine eigene Rauschkomponente bei 0<br />

Barkhausen Kriterium (nicht notwendig, aber hinreichend):<br />

| H(j0)| ≥ 1<br />

Arg(H(j0)) 180°<br />

o Ringoszillator:<br />

Single Common source schwingt nicht, da das Barkhausenkriterium nicht erfüllt ist<br />

90° (1Pol) + 180° (CS-stage) = 270° ≠ 180°<br />

2-Pol-Feedback-System schwingt nicht weil : zwar Phasenlage = 180° ABER pos.<br />

Rückkopplung (siehe Grafik) und falls der Winkel stimmt (mit zusätzlicher Signal<br />

Inversion) passt |H(j0)| (loop-gain) nicht!<br />

LÖSUNG ist eine dritte Stufe, um Phase shift zu erhöhen<br />

jede Stufe muss eine Phaseshift von 60° aufweisen damit in Summe ein Winkel von<br />

180° realisiert werden kann<br />

0… -3dB Bandbreite OSC… Frequenz, bei der der Oszillator schwingt<br />

arctan(OSC / 0) = 60°<br />

OSC = *0<br />

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o Ringoszillator mit CMOS Inverters:<br />

Vorteile: kein Widerstand notwendig, Rail to Rail Swing ist möglich<br />

-) Singleended ring Oscillator: ungerade Zahl an Inverter sind notwendig<br />

-) Differential Ringoszillator: eine gerade Zahl an Stages ist möglich falls eine Stage nicht<br />

invertiert<br />

Optimal sind 3 – 5 Stages bezüglich Geschwindigkeit, Energieverbrauch,<br />

Rauschunempfindlichkeit<br />

o LC Oszillator (Seite 302):<br />

Oszillator mit Spule und Kapazität<br />

o Voltage Controlled Oscillator (VCO) (Seite 303) :<br />

VCO handelt es sich um einen elektrischen Schwingungserzeuger, dessen Frequenz durch<br />

die Größe einer anliegenden Spannung (Steuer- oder Regelspannung) verändert werden<br />

kann.<br />

KVCO ≥<br />

entspricht der Verstärkung<br />

Für Versorgungsspannung↓ KVCO↑ Oszillator wird empfindlicher (für geg. 2-1)<br />

gegenüber Rauschen bezüglich der Steuerspannung<br />

Im Folgenden werden Kombinationen aus VCOs und Ringoszillator bzw VCOs und LC<br />

Oszillator verwendet<br />

VCO + Ringoszillator: fOSC kann um 4 Größenordnungen variiert werden; bei großen<br />

Veränderungen von ISS bleibt ein relativ konstanter Output swing;<br />

VCO + LC Oszillator: fOSC =<br />

Kapazität (Varactor) realisiert<br />

; L ist const und C wird als spannungsabhängige<br />

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Dioden in CMOS realisieren (Seite 308) :<br />

(a) Anode ist unvermeidlich geerdet<br />

(b) Beide Anschlüsse können verwendet werden<br />

<strong>Integrierte</strong> Induktivitäten: (Seite 309 ff)<br />

Range für on-chip Induktivitäten: 5 – 25 GHz 5 – 1 nH<br />

Mögliche Realisierungen:<br />

o Bond wire Inductors: 2 – 5 nH<br />

o Planar Spiral inductors: 1 – 8 nH<br />

o Multi level spiral inductor (3D): gut für hohe Induktivität pro Fläche<br />

o Solenuid Inductors (3D): magn Fluss in einem kleinen Bereich, potentiell am besten mit<br />

ferromagn. Kern<br />

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