Halbleiterphysik - Robert Caffier, Physiker
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<strong>Halbleiterphysik</strong>: Grundlagen Ohne<br />
Mathematik<br />
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong><br />
2. August 2012<br />
1
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 2<br />
Inhaltsverzeichnis<br />
1 <strong>Halbleiterphysik</strong> I 5<br />
1.1 Elektronen im Festkörper . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5<br />
1.1.1 Elektronen und Löcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8<br />
1.1.2 Energiebanddiagramme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10<br />
1.1.3 Generation und Rekombination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12<br />
1.2 Elektronen und Löcher im Halbleiter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12<br />
1.2.1 Zustandsdichte, Fermiverteilung und Ladungsträgerdichten . . . . 14<br />
1.3 Extrinsische Halbleiter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16<br />
1.3.1 Dotierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16<br />
1.4 Ladungsträgerbewegung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18<br />
1.4.1 Diffusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18<br />
1.4.2 Drift . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18<br />
1.5 pn-Übergang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18<br />
1.5.1 Gleichgewicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19<br />
1.5.2 Nichtgleichgewicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21<br />
1.5.3 Ströme im Halbleiter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 3<br />
Abbildungsverzeichnis<br />
1 Kristallstruktur von Silizium . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5<br />
2 Energieniveaus in einem Atom . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6<br />
3 Vom Atom zum Festkörper . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6<br />
4 elektronisch unterschiedliche Richtungen im Kristall . . . . . . . . . . . . 7<br />
5 Bänder im Silizium . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7<br />
6 Leitungsband für freie Elektronen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8<br />
7 Leitungsband für fast freie Elektronen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9<br />
8 Leitungsband für Kronig-Penney-Modell . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9<br />
9 Geschwindigkeiten und effektive Massen von Elektronen . . . . . . . . . . 10<br />
10 Energiemodell eines Halbleiters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11<br />
11 Banddiagramm . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11<br />
12 Anregung von Elektronen ins Leitungsband . . . . . . . . . . . . . . . . . 12<br />
13 Wirkung eines elektrischen Feldes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13<br />
14 Anziehung ungleichnamiger Ladungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13<br />
15 Neutralität in einem Volumenelement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13<br />
16 Diffusion von Teilchen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13<br />
17 Zustandsdichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14<br />
18 Fermifunktion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14<br />
19 Multiplikation von Zustandsdichte und Fermifunktion liefert Trägerdichte 15<br />
20 energetische Lage von Donatoren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16<br />
21 energetische Lage von Akzeptoren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16<br />
22 Die Trägerdichten bei Donatoren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17<br />
23 Die Trägerdichten bei Akzeptoren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17<br />
24 Diffusion von Teilchen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18<br />
25 Wirkung eines elektrischen Feldes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18<br />
26 Schematisches Bild einer pn-Diode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19<br />
27 Dotierungen in einer pn-Diode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19<br />
28 konstante Fermienergie einzeichnen, Kontakt pn markiert . . . . . . . . . 20<br />
29 Bänder verschieben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20<br />
30 Bandverbiegung einzeichnen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21<br />
31 Raumladungen im Gleichgewicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22<br />
32 Banddiagramm im Gleichgewicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22<br />
33 Ladungsträger bei Sperrichtung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 4<br />
34 Banddiagramm bei Sperrichtung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23<br />
35 Raumladung in Vorwärtsrichtung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23<br />
36 Banddiagramm in Vorwärtsrichtung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23<br />
37 Ladungsträgerdichten bei Vorwärtsrichtung . . . . . . . . . . . . . . . . . 24<br />
38 Ströme bei Vorwärtsrichtung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24<br />
39 Ladungsträgerdichten bei Rückwärtsrichtung . . . . . . . . . . . . . . . . 25<br />
40 Ströme bei Rückwärtsrichtung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 5<br />
1 <strong>Halbleiterphysik</strong> I<br />
In diesem ersten Teil - <strong>Halbleiterphysik</strong> I - wollen wir die physikalischen Grundlagen kennenlernen,<br />
mit denen wir elektronische Phänomene in Halbleiterstrukturen beschreiben<br />
können. Zu Anfang ist diese Struktur noch sehr einfach: Ein Stückchen Halbleiterkristall<br />
( mit perfekter Kristallstruktur ).<br />
Abbildung 1: Kristallstruktur von Silizium<br />
Ab dem Kapitel »Extrinsische Halbleiter« werden wir diese perfekte Struktur modifizieren<br />
und zwar räumlich unterschiedlich innerhalb eines Halbleiterkristalls. Am Schluss<br />
wollen wir den Stromdurchgang durch eine pn-Struktur mit den entwickelten Modellen<br />
beschreiben. Was brauchen wir dafür an Physik? Zweifellos steht am Anfang eine<br />
quantenmechanisch mathematische Formulierung. Da wir am Ende des Kapitels ein fastklassisches<br />
Modell vorliegen haben werden, spielt auch die klassische Physik eine große<br />
Rolle. Dann noch natürlich die Elektrodynamik ( weil es hauptsächlich um Ladungsträger<br />
geht ) und die statistische Physik ( weil es um viele Teilchen geht ). Für die<br />
Durchführung eines solchen Programmes hier zwei Zitate, die unser Vorgehen bei der<br />
Präsentation kennzeichnen:<br />
Richard Feynman: »It is the facts, not the proofs«.<br />
Albert Einstein: »As simple as possible, but not simpler«.<br />
1.1 Elektronen im Festkörper<br />
Wir können das allgemeine quantenmechanische Problem eines dreidimensionalen Stückchens<br />
Festkörper hier weder formulieren noch ein Lösungsverfahren der Schrödingergleichung,<br />
die dieses System erfüllen muss, anwenden. Aber wir können ein paar allgemeine<br />
Eigenschaften der Lösungen eines solchen ( eindimensionalen ) Systems notieren:<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 6<br />
• Die Lösungen bestehen aus diskreten Wellenfunktionen und zugehörigen Energiewerten<br />
( Zustände ). Dies entspricht den Zuständen in einem Atom. Die Energieniveaus<br />
werden nach dem Pauli-Prinzip mit Elektronen besetzt.<br />
Abbildung 2: Energieniveaus in einem Atom<br />
• Wellenfunktionen und Energiewerte in einem Festkörper können durch den Bandindex<br />
und den Wellenzahlvektor k gekennzeichnet ( abgezählt ) werden. Dies entspricht<br />
den Quantenzahlen eines Atoms.<br />
• In einem Festkörper, der ca.: 10 23 Atome und somit - je nach Ordnungszahl - ein<br />
Vielfaches an Energiewerten und Elektronen enthält, sind diese Energieniveaus in<br />
Bänder angeordnet, die sich auch überlappen können.<br />
Abbildung 3: Vom Atom zum Festkörper<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 7<br />
• Wegen der Periodizitäten des Gitters sind auch die Wellenfunktionen und die Funktion<br />
E = E(k) periodisch. Wegen der Kristallstruktur sind unterschiedliche Richtungen<br />
nicht äquivalent.<br />
Abbildung 4: elektronisch unterschiedliche Richtungen im Kristall<br />
• Die Abhängigkeit der Energie E = E(k) vom Wellenzahlvektor in den verschiedenen<br />
Bändern ist unser fundamentaler ( eindimensionale ) Ausgangspunkt. Dennoch<br />
werden wir nicht ohne weitere Näherungen auskommen.<br />
Abbildung 5: Bänder im Silizium<br />
• Die Energieniveaus werden - bei T = 0 - von unten her besetzt.<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 8<br />
• Für elektronische Vorgänge in Halbleitern sind fast nur das oberste besetzte ( bei<br />
T = 0 ) und das darüber liegende leere ( bei T = 0 ) Band von Interesse. Es ist in<br />
der Abbildung mit E c und E v gekennzeichnet.<br />
Im nächsten Kapitel wollen wir uns mit dieser Dispersionsrelation E = E(k) beschäftigen.<br />
Dafür müssen wir wieder eine starke Näherung vornehmen: Wir werden von den<br />
vielen Bändern nur noch das Valenzband und das Leitungsband betrachten. Weiter machen<br />
wir zwei Vereinfachungen: Valenz- und Leitungsband sollen beim k-Wert 0 liegen.<br />
Beide Bänder sollen annähernd parabolisch sein.<br />
1.1.1 Elektronen und Löcher<br />
Im Folgenden wollen wir zunächst nur das Leitungsband betrachten. Für freie Elektronen<br />
sieht das so aus:<br />
Abbildung 6: Leitungsband für freie Elektronen<br />
Jeder Wert von k ist möglich und liefert den zugehörigen Energiewert.<br />
Die Dispersionsrelation für Elektronenzustände in einem konstanten Potential zeigt<br />
die nächste Abbildung.<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 9<br />
Abbildung 7: Leitungsband für fast freie Elektronen<br />
Dies Ergebnis kennen wir schon, gebundene Zustände sind diskret und nicht mehr<br />
kontinuierlich angeordnet. Die Quantenzahl k nimmt nur noch diskrete Werte an.<br />
Schließlich brauchen wir noch eine letzte Erkenntnis, die wir aber auch schon kennen.<br />
Abbildung 8: Leitungsband für Kronig-Penney-Modell<br />
In einem periodischen Potential, so wie es Silizium zeigt, gibt es eine Verbiegung der<br />
Bänder zum Rand des k-Raumes. Im realen Gitter sind dies die Gitterrichtungen, an<br />
denen die Elektronenwellen reflektiert werden. Solche Elektronenwellen können nicht<br />
zum Stromtransport beitragen.<br />
Wir wollen noch eine weitere eigenartig scheinende Eigenschaft für Elektronen ( Wellen<br />
) im Leitungsband aufzeigen. Wenn eine Elektronenwelle sich unter Einfluss einer Kraft<br />
z.B. nach rechts bewegt, also steigenden k-Wert hat, muss sie in der Nähe der k-Grenze<br />
reflektiert werden und zurück laufen. Wenn wir die Welle als Elektron interpretieren<br />
wollen, müssen wir diesem Elektron dann eine negative Masse zuschreiben. Aus der<br />
Theorie ergibt sich folgendes Bild:<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 10<br />
Abbildung 9: Geschwindigkeiten und effektive Massen von Elektronen<br />
Für das Valenzband gilt Entsprechendes. Im nächsten Abschnitt werden wir feststellen,<br />
dass nur die Unterkante des Leitungsbandes von Elektronen besetzt und die<br />
Oberkante des Valenzbandes von Elektronen entblößt wird. Dann haben Elektronen im<br />
Halbleiter eine negative Ladung und eine positive, konstante Masse m ∗ .<br />
1.1.2 Energiebanddiagramme<br />
Unser Modell für elektronische Vorgänge im Halbleiter sieht jetzt so aus: Eine vertikale<br />
Energieachse mit einer Markierung für die Energie des Leitungsbandes und einige Zehntel<br />
Elektronenvolt Platz nach oben. Entsprechend eine Markierung für die Energie des<br />
Valenzbandes und Platz für ein paar Zehntel Elektronenvolt nach unten. Die x-Achse<br />
hat hier noch keine Bedeutung.<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 11<br />
Abbildung 10: Energiemodell eines Halbleiters<br />
Wir wollen uns die gewaltigen Fortschritte für die Beschreibung elektronischer Eigenschaften<br />
eines Halbleiters klar machen:<br />
• Wir können den Begriff Elektron ( als klassisches Teilchen ) benutzen statt des<br />
Begriffes Elektronenwelle.<br />
• Die komplexe Gitterstruktur wurde eliminiert.<br />
• Die sehr komplexe Bänderstruktur ist reduziert auf die Energielücke und eine kleine<br />
Umgebung davon.<br />
Um auch Prozesse in diesem Energieschema darstellen zu können, wird häufig eine x-<br />
Achse benutzt wie in der nächsten Abbildung.<br />
Abbildung 11: Banddiagramm<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 12<br />
1.1.3 Generation und Rekombination<br />
Bislang haben wir den Halbleiter nur in seiner energetischen Struktur betrachtet. Von einer<br />
Besetzung der Niveaus durch Elektronen wissen wir aber Folgendes: Das Valenzband<br />
ist gefüllt mit Elektronen, das Leitungsband ist leer. Dies gilt bei T=0 und ist eine allgemeine<br />
Eigenschaft von Quantensystemen, deren diskrete Energieniveaus von Elektronen<br />
nach dem Pauli-Prinzip von unten her besetzt werden. Bei Erhöhung der Temperatur<br />
können einzelne Elektronen die Energie ( aus dem Gitter oder durch Einstrahlung )<br />
aufnehmen, um auf ein höheres Niveau zu wechseln. Bei Metallen überlappen sich die<br />
Bänder und auch sehr kleine Energieaufnahmen durch das Elektron führen zu Niveauwechseln.<br />
Bei Halbleitern muss mindestens die Energie des Energielücke aufgebracht<br />
werden. Bei Isolatoren ist das Gap so groß, dass normalerweise keine Anregung erfolgt.<br />
Die Erzeugung von Elektronen ins Leitungsband heißt Generation, der notwendige gegenteilige<br />
Prozess heißt Rekombination. Beide führen stationär zu einem Gleichgewicht.<br />
Abbildung 12: Anregung von Elektronen ins Leitungsband<br />
An obiger Abbildung erkennen wir, warum die komplexe Bänderstruktur im Halbleiter<br />
keine Rolle spielt. Elektronische Anregungsprozesse spielen nur an der Oberkante des<br />
Valenzbandes und an der Unterkante des Leitungsbandes eine Rolle.<br />
1.2 Elektronen und Löcher im Halbleiter<br />
Wenn ein Band ( Valenzband ) vollbesetzt ist, kann es keinen Strom führen. Der Grund<br />
ist ziemlich einsichtig: Zu jeder Elektronenwelle im Band mit Wellenvektor ( Quantenzahl<br />
) k gibt es eine mit Wellenvektor -k. Die Summation aller Beiträge zum Strom ist 0.<br />
Dies gilt auch wenn ein äußeres elektrisches Feld anliegt. Wenn nun Elektronen aus dem<br />
Valenzband ins Leitungsband angeregt wurden, ist diese Summe nicht mehr 0. Ähnliche<br />
Überlegungen, wie wir sie für das Leitungsband angestellt haben, zeigen, dass dann ein<br />
Strombeitrag auftritt ( aller restlichen Elektronen im Valenzband ) und sich dieser wie<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 13<br />
der Beitrag positiv geladener ( elektronenähnlicher ) Teilchen ( Löcher ) verhält. Jetzt<br />
ist unser Halbleitermodell perfekt. Welche Beziehungen gibt es nun zwischen Elektronen<br />
und Löchern? Antwort: Die, die wir für bewegliche positiv und negativ geladene Teilchen<br />
im gleichen Materialstück erwarten, sonst hätten die <strong>Physiker</strong> ein solches Modell nicht<br />
erfunden. Z.B.:<br />
• Bewegung unter Einfluss eines elektrischen Feldes ( Drift ).<br />
Abbildung 13: Wirkung eines elektrischen Feldes<br />
• Gegenseitige Anziehung.<br />
Abbildung 14: Anziehung ungleichnamiger Ladungen<br />
• Neutralität oder Quasineutralität in jedem Volumenelement.<br />
Abbildung 15: Neutralität in einem Volumenelement<br />
• Diffusion ( Anhäufungen von Teilchen über den Gleichgewichtswert hinaus fließen<br />
auseinander ).<br />
Abbildung 16: Diffusion von Teilchen<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 14<br />
Über das Teilchenmodell hinaus geht die Generation und Rekombination dieser Teilchen<br />
( Erzeugung und Vernichtung eines Elektronen-Loch-Paares ). Das gibt es in der klassischen<br />
Welt ja nicht. Das Modell ist in der Lage sogar quantitative Ergebnisse zu liefern<br />
und das ist - in Anbetracht der vielen Näherungen - außerordentlich erstaunlich.<br />
1.2.1 Zustandsdichte, Fermiverteilung und Ladungsträgerdichten<br />
Die Zustandsdichte im Valenz- und -Leitungsband hat einen parabolischen Verlauf:<br />
Abbildung 17: Zustandsdichten<br />
Um Ladungsträgerdichten zu bestimmen, müssen wir noch die Wahrscheinlichkeit kennen,<br />
mit der diese Zustände besetzt sind. Dies leistet die berühmte Fermiverteilung, die<br />
wie keine andere Funktion das Geschehen in einem Halbleiter bestimmt.<br />
Abbildung 18: Fermifunktion<br />
Das Produkt aus Zustandsdichte und Fermifunktion liefert die Ladungsträgerdichte.<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 15<br />
Abbildung 19: Multiplikation von Zustandsdichte und Fermifunktion liefert Trägerdichte<br />
Für die Justierung der Fermifunktion auf der Energie-Skala ( den 0-Punkt haben wir<br />
bisher ja nicht festgelegt ) gilt: E F liegt bei der obersten besetzten Energie wenn sie in<br />
einem Band liegt und bei Energielücken in der Mitte zwischen E V und E C . Wir machen<br />
uns noch einmal klar:<br />
• Ist T=0, dann ist das Valenzband vollbesetzt, das Leitungsband ist leer.<br />
• Ist T=300, dann finden wir eine gewisse Dichte an Elektronen an der Unterkante<br />
des Leitungsbandes und - wegen der Symmetrie - die gleiche Dichte an Löchern<br />
an der Oberkante des Valenzbandes. Jedes Elektron das vom Valenzband in das<br />
Leitungsband angeregt wird hinterlässt im Valenzband ein Loch.<br />
• Erhöhen wir die Temperatur weiter, steigen beide Dichten.<br />
• Verändern wir den Halbleiter ( weg vom reinen Halbleiter ) dann müssen wir die<br />
Fermifunktion entlang der Energie-Achse nach oben oder unten verschieben. Dann<br />
können die Dichten von Löchern und Elektronen ungleich werden. Eine kann die<br />
andere um viele Zehnerpotenzen überbieten. Dies erreicht man mit Dotieren; Der<br />
Halbleiter wird dann extrinsisch ( vorher intrinsisch ) genannt.<br />
• Die Fermienergie, ihre Lage auf der Energieskala und die Temperatur bestimmen<br />
also die Ladungsträgerdichten.<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 16<br />
1.3 Extrinsische Halbleiter<br />
Was passiert, wenn wir den Halbleiter dotieren? Bei Dotierung ersetzen wir einen Teil der<br />
Silizium Atome durch die Dotieratome. Energetisch liegen diese Atome einige Zehntel eV<br />
unterhalb der Leitbahnkante ( im Fall von n-Dotierung ) oder einige Zehntel eV oberhalb<br />
der Valenzbandkante.<br />
1.3.1 Dotierung<br />
Bei Dotierung mit z.B. Phosphor sieht das so aus:<br />
Abbildung 20: energetische Lage von Donatoren<br />
Bei Dotierung mit z.B. Bor so:<br />
Abbildung 21: energetische Lage von Akzeptoren<br />
Die Zustandsdichte und die Fermifunktion werden dabei nicht verändert. Das Verhältnis<br />
von Löcherdichte zu Elektronendichte hat sich aber sehr geändert, weil jetzt<br />
Elektronen aus den Donatorniveaus leicht ins Leitband wechseln können. Für Löcher<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 17<br />
gilt Entsprechendes. Folglich muss die gesamte Fermifunktion im Falle von Elektronen<br />
nach oben und im Falle von Löchern nach unten verschoben werden. Dann werden die<br />
Dichten wieder richtig dargestellt.<br />
Abbildung 22: Die Trägerdichten bei Donatoren<br />
Im obigen Fall bezeichnet man die ( in der Überzahl vorhandenen ) Elektronen als<br />
Majoritätsträger, die ( in der Minderzahl vorhandenen ) Löcher als Minoritätsträger.<br />
Abbildung 23: Die Trägerdichten bei Akzeptoren<br />
Hier sind die Löcher die Majoritätsträger und die Elektronen die Minoritätsträger.<br />
Es gilt: Wenn wir das Banddiagramm ( im wesentlichen die Energie der Bandlücke ),<br />
die Dichte der Donatoren und Akzeptoren und die Zustandsdichten kennen, können wir<br />
alle elektronischen Fragen bezüglich des Halbleiters beantworten. Da die Fermifunktion<br />
das thermodynamische Potential für Elektronen im Festkörper ist, hat sie eine sehr<br />
wertvolle Eigenschaft: E F ist in miteinander verbundenen Festkörpern konstant. Wir<br />
werden diese Aussage bei der Darstellung des pn-Überganges brauchen.<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 18<br />
1.4 Ladungsträgerbewegung<br />
Die beiden wesentlichen Möglichkeiten Ladungsträger im Halbleiter in Bewegung zu<br />
setzen sind:<br />
• Abweichung der Trägerdichten vom Gleichgewicht. Bei Konzentrationsgradienten<br />
müssen die Träger gegen die Gradienten diffundieren ( Ficksches Gesetz ). Also<br />
von der hohen Konzentration zur niedrigen.<br />
• Unter dem Einfluss eines elektrischen Feldes bewegen sich Löcher in Richtung des<br />
Feldes, Elektronen gegen die Feldrichtung.<br />
1.4.1 Diffusion<br />
Abbildung 24: Diffusion von Teilchen<br />
1.4.2 Drift<br />
Abbildung 25: Wirkung eines elektrischen Feldes<br />
1.5 pn-Übergang<br />
Ein erstes Beispiel für unterschiedliche Dotierung ist der pn-Übergang. Was ist ein pn-<br />
Übergang und wie konstruiert man ( qualitativ ) das Banddiagramm ohne angelegte<br />
Spannung?<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 19<br />
Abbildung 26: Schematisches Bild einer pn-Diode<br />
Abbildung 27: Dotierungen in einer pn-Diode<br />
1.5.1 Gleichgewicht<br />
Nun wollen wir das Banddiagramm einer Diode konstruieren:<br />
• zeichne eine horizontale Gerade, die Enden sind die Kontakte. Die Gerade wird<br />
mit E F beschriftet.<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 20<br />
Abbildung 28: konstante Fermienergie einzeichnen, Kontakt pn markiert<br />
• Zeichne weit links vom Kontakt zwischen n- und p-Material das Banddiagramm<br />
von Material 1; weit rechts das von Material 2; immer relativ zu der bereits festgelegten<br />
Fermienergie.<br />
Abbildung 29: Bänder verschieben<br />
• Verbinde Leitungs- und Valenzband durch eine gefühlsmäßig gezeichnete Bandverbiegung.<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 21<br />
Abbildung 30: Bandverbiegung einzeichnen<br />
Was kann man ablesen:<br />
• Das Ferminiveau liegt links dicht am Valenzband; dieses Material ist ein p-Leiter;<br />
viele Löcher; wenig Elektronen; fast alle Löcher entstammen der Dotierung.<br />
• Für die rechte Seite gilt Entsprechendes.<br />
• Elektronen, die rechts ja in großer Zahl vorhanden sind, diffundieren nach links.<br />
Löcher, deren Anzahl links sehr groß ist diffundieren nach rechts. Beide hinterlassen<br />
dann die geladenen und ortsfesten Donator- und Akzeptor-Niveaus.<br />
• Dadurch entsteht ein inneres elektrisches Feld, das nun seinerseits einen Elektronenfluss<br />
nach rechts und einen Löcherstrom nach links antreibt. Es stellt sich ein<br />
dynamisches Gleichgewicht ein. Das elektrische Feld bedingt die Verbiegung der<br />
Bandkanten. Umgekehrt ist daran das Vorhandensein eines elektrischen Feldes zu<br />
erkennen. Das Halbleitergebiet, in dem diese Verbiegung stattfindet, heißt Raumladungszone.<br />
1.5.2 Nichtgleichgewicht<br />
Es ist nützlich, sich die Raumladung und das Banddiagramm für die drei Betriebszustände<br />
Gleichgewicht, Sperrspannung und Spannung in Vorwärtsrichtung vergleichend<br />
anzusehen:<br />
• Raumladung und Banddiagramm im Gleichgewicht:<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 22<br />
Abbildung 31: Raumladungen im Gleichgewicht<br />
Abbildung 32: Banddiagramm im Gleichgewicht<br />
• Raumladung und Banddiagramm in Sperrichtung<br />
Abbildung 33: Ladungsträger bei Sperrichtung<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 23<br />
Abbildung 34: Banddiagramm bei Sperrichtung<br />
• Raumladung und Banddiagramm in Vorwärtsrichtung<br />
Abbildung 35: Raumladung in Vorwärtsrichtung<br />
Abbildung 36: Banddiagramm in Vorwärtsrichtung<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 24<br />
1.5.3 Ströme im Halbleiter<br />
In Vowärtsrichtung ist an jeder Seite der Raumladungszone der Minoritätsträgerstrom<br />
ein Diffusionsstrom, der vom pn-Übergang wegführt. Wird die Potenzialbarriere veringert,<br />
werden mehr Majoritätsträger in die gegenüberliegenden Seiten injiziert, in denen<br />
sie dann Minoritätsträger sind. Sie diffundieren vom Rand der Raumladungszone weg<br />
und rekombinieren dabei mit Majoritätsträgern. Für die Rückwärtsrichtung gilt Entsprechendes.<br />
• Ladungsträgerdichten und Ströme bei Vorwärtsrichtung:<br />
Abbildung 37: Ladungsträgerdichten bei Vorwärtsrichtung<br />
Abbildung 38: Ströme bei Vorwärtsrichtung<br />
• Dichten und Ströme bei Rückwärtsrichtung<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25
<strong>Robert</strong> <strong>Caffier</strong> Seite 25<br />
Abbildung 39: Ladungsträgerdichten bei Rückwärtsrichtung<br />
Abbildung 40: Ströme bei Rückwärtsrichtung<br />
Datum: 2. August 2012 Gesamtseiten: 25