1,83 MB, PDF-Datei - Oerlikon

Produktübersicht 2013 

Innovative 

Vakuumkomponenten 

und -Systeme für 

vielseitige Anwendungen


Die ganze Welt des Vakuums 

Inhalt: 

Vorvakuumpumpen 

Hochvakuumpumpen 

Seite 

Oerlikon Leybold Vacuum Beratung, Vertrieb, Service ............................ 3 

Ölgedichtete Vakuumpumpen: 

Drehschieberpumpen TRIVAC B ............................................................. 3 

Drehschieberpumpen SOGEVAC B/BI/FP ............................................... 3 

Sperrschieberpumpen E/DK ................................................................... 4 

Trockenverdichtende Vakuumpumpen: 

Membranpumpen DIVAC ........................................................................ 4 

Scrollpumpen SCROLLVAC .................................................................... 4 

Schraubenpumpen LEYVAC ................................................................... 5 

Schraubenpumpen- und systeme DRYVAC und SCREWLINE ................ 5 

Wälzkolbenpumpen: 

RUVAC WA/WS und RUVAC WH ........................................................... 6 

Treibmittelpumpen: 

LEYBOJET OB ....................................................................................... 6 

DIP und LEYBOJET................................................................................. 7 

Energieeffizienzregelung für Diffusionspumpen ......................................... 7 

Turbo-Molekularpumpen: 

Mechanisch gelagerte TURBOVAC ......................................................... 8 

Magnetisch gelagerte MAGiNTEGRA ...................................................... 8 

Magnetisch gelagerte MAG digital ........................................................... 8 

Kryopumpen und Refrigerator Kaltköpfe: 

Refrigerator-Kryopumpen COOLVAC ...................................................... 9 

Refrigerator-Kaltköpfe COOLPOWER ......................................................... 9 

Vakuum messen, steuern, regeln Vakuummeter und Druckmesssysteme ................................................... 9 

2006 Inhaltsverzeichnis 

Austauschangebot TRIVAC B 

Vakuumcontroller VACVISION ................................................................. 10 

Dichtheitsprüfgeräte Leckdetektoren PHOENIX L300 und PHOENIX L500i ............................. 10 

Solutions Vakuumlösungen / Engineering ............................................................... 11 

Innovatives Pumpen- und System-Management ...................................... 11 

Mehrstufige Vorvakuum-Systeme (RUTA) ................................................ 12 

Zentralvakuumanlagen CVS .................................................................... 12 

Kalibriersysteme ...................................................................................... 12 

Hochvakuum-Pumpsysteme PT / TURBOLAB ........................................ 13 

Experimentier- und Beschichtungsanlagen UNIVEX ................................ 13 

Thermischer Reaktor für CVD Anwendungen CVD Cube ........................ 13 

Komponenten Flanschsysteme, Verbindungselemente und Bauteile .............................. 14 

LEYCON Ventile ...................................................................................... 14 

Ersatzteile, Verschleißteile, Reparaturmaterial .......................................... 14 

Öle, Fette, Betriebsmittel LEYBONOL Vakuumöle, Treibmittel, Spezialschmierstoffe ...................... 15 

Services Vacuum Academy ................................................................................... 15 

After Sales Support ................................................................................. 15


Globale Unterstützung, ölgedichtete Vakuumpumpen 

Oerlikon Leybold Vacuum 

Beratung, Vertrieb und Service 

Wir unterstützen Sie weltweit. 

Ihre Erwartungen: 

■ Erstklassige Beratung 

■ Ausgezeichnete Produktqualität 

■ Optimales Preis-/Leistungsverhältnis 

Unsere Lösung: 

■ Weltweites Vertriebs- und 

Service-Netz 

■ Hochqualifizierte Mitarbeiter 

■ After Sales Service 

■ Zertifiziert nach DIN ISO 9001/9002 

■ Transparente Preisgestaltung 

■ Applikations- und Produktions- 

Unterstützung 

TRIVAC B 

Zweistufige Drehschieberpumpen 


■ Robuster Vakuumerzeuger 

■ Hohe Zuverlässigkeit 

■ Ex-Schutz gemäß ATEX (Option) 


■ Saugvermögen 2,5 bis 65 m 3 /h 

■ Enddruck 10 -4 mbar 

■ Für Fein- und Hochvakuumanwendungen 

■ Zertifizierung nach ATEX RL 94/9/EG 

Ihr Vorteil: 

Eine bewährte Vakuumpumpe für langjährigen Betrieb. 

Breites Zubehörprogramm, wie z.B. Staubfilter, Adsorptionsfallen- und filter. 

SOGEVAC B/BI/FP 

Einstufige Drehschieberpumpen 


■ Industrieller Grobvakuumerzeuger 

■ Gutes Preis-/Leistungsverhältnis 

■ Leiser Betrieb 

■ Hohe Zuverlässigkeit 

■ Einfache Wartung 

■ Eignung als Vorvakuumpumpe 



■ Saugvermögen 10 bis 1.200 m 3 /h 

■ Enddruck ≤ 5 · 10 -2 mbar 

■ Für alle Applikationen 

■ O 2 

-kompatible Varianten 

■ Spezielle Produktreihe für den 

Lebensmittel-/Verpackungsmarkt 

■ Flexible Pumpenauslegung 


Ihr Vorteil: 

Günstige Investition, lange Lebensdauer. Kein Ölverlust, geringe Leistungsaufnahme. 

leybold 

Oerlikon Leybold Leybold Vacuum Vacuum Gesamtkatalog Beratung 2012 und Vertrieb weltweit, Vorvakuumpumpen 4 3


Ölgedichtete Vakuumpumpen 

Trockenverdichtende Vakuumpumpen 

E / DK 

Sperrschieberpumpen 


■ Robuster Vakuumerzeuger 

■ Großes Saugvermögen, 

geringer Enddruck 

■ Unempfindlich gegen Schmutz 


■ Saugvermögen 200 und 250 m 3 /h 

■ Enddruck < 10 -3 mbar 

■ Einstufig und zweistufig lieferbar 

■ Mit Wälzkolbenvakuumpumpe zum 

Pumpstand erweiterbar 

Ihr Vorteil: 

Die Pumpe für harte Anwendungen 

DIVAC 

Membranpumpen 


■ Vorpumpe zu Turbo-Molekularpumpen 

■ Korrosionsbeständige Vakuumpumpe 

für das Labor 


■ Saugvermögen 0,8 bis 4,8 m 3 /h 

■ Enddruck ≤ 1 mbar 

■ Trocken arbeitend, ölfrei 

■ Saugvermögen 0,6 to 2,2 m 3 /h 

für korrosive Medien 

■ Medienberührte Teile aus PTFE 

und PVDF 

Ihr Vorteil: 

Umweltfreundlich, geringe Betriebskosten 

SCROLLVAC 

Ölfreie Scrollpumpen 


■ Ölfreie Vakuumpumpe 

■ Leiser, schwingungsarmer Betrieb 

■ Lange Wartungsintervalle 

■ Niedrige Partikelgenerierung 


■ Saugvermögen 5 bis 60 m 3 /h 


■ Robuste und wartungsfreundliche 

Konstruktion 

■ Hohes Saugvermögen auch bei 

1000 mbar 

Ihr Vorteil: 

Trockene, vielseitig einsetzbare Lösung, geringe Betriebskosten 

4 Vorvakuumpumpen


Trockenverdichtende Vakuumpumpen 

LEYVAC 

Trockenverdichtende Schraubenpumpen und -systeme 


■ Industrieller Vakuumerzeuger 

■ Lange Systemlaufzeiten 

■ Hohe Prozessdurchsätze 

■ Kompakte Einheit 




■ Optimierte Leistung für leichte Gase 

■ Hermetisch dichte Pumpe 

■ Leiser Betrieb, geringe Wärmeabgabe 

■ Direkter Anschluss von Wälzkolbenpumpen 

RUVAC via Adapter 

Ihr Vorteil: 

Robuste Vakuumpumpen für raue Anwendungen und hohe Prozessdurchsätze. 

Einfache Erweiterung der Vakuumleistung mit RUVAC Wälzkolbenpumpen. 

DRYVAC 

Trockenverdichtende Schraubenpumpen und -systeme 


■ Maximale Anlagenverfügbarkeit 

■ Niedrige Gesamtbetriebskosten 

(Cost of Ownership) 

■ Minimaler Platzbedarf 

■ Selbstschutz der Pumpe und 

einfache Kommunikation 


■ Robust, für anspruchsvolle Prozesse 

■ Höchste Energieeffizienz 

■ Flexibler Baukasten für kompakte 

vertikale und horizontale Anordnung 

■ Saugvermögen von 450 - 5000 m 3 /h 

■ Integrierte intelligente Überwachung 

von Vitalparametern; i-Versionen mit 

Touch Screen-Steuerung und Profibus 

Ihr Vorteil: 

Robuste, extrem kompakte Vakuumlösungen mit intelligenter Steuerung für 

Beschichtungs-, Photovoltaik- und prozessindustrielle Anwendungen. 

SCREWLINE 

Trockenverdichtende Schraubenpumpen 


■ Trockenverdichtende 

Vakuumpumpe 

■ Großes Saugvermögen 

■ Leichte Reinigung 

■ Luftkühlung 



■ Saugvermögen 250 und 630 m 3 /h 

■ Enddruck ≤ 1 x10 -2 mbar 

■ Mit Wälzkolbenvakuumpumpen zum 

Pumpsystem erweiterbar 

■ Monitoring-System 

■ Leicht demontierbarer Schöpfraum 

ermöglicht schnelle Reinigung 


Ihr Vorteil: 

Besonders robust - für härteste Industrieapplikationen, einfache Wartung vor Ort 

leybold 

Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2012 Vorvakuumpumpen 6 5


Wälzkolben Vakuumpumpen 

Treibmittelpumpen 

RUVAC WA/WS 

Wälzkolbenpumpen 


■ Saugvermögenssteigerung bei 

niedrigen Drücken 

■ Einfache Handhabung 

■ Ölfreie Gasförderung 

■ Ex-Schutz gemäß ATEX 


■ Saugvermögen von 250 - 4.000 

m 3 /h 

■ Betriebssicher und robust 

■ Verfügbar mit Flanschmotor oder mit 

hermetisch dichtem Antrieb 

■ Für 100% O 2 

-Anwendungen 


Ihr Vorteil: 

Langlebig und zuverlässig; kombinierbar mit beliebigen Vorpumpen bzw. 

Vorpumpsystemen. 

RUVAC WH 

Wälzkolbenpumpen 


■ Flexibles Saugvermögen 

durch den Betrieb mit 

Frequenzumrichter 

■ Schnelle Auspumpzeiten 

■ Kompakte Bauweise 

■ Ölfreie Gasförderung 

■ Systemkompatibilität 

■ Geringer Stromverbrauch 


■ Saugvermögen von 720 - 9.800 m 3 /h 

(mit Frequenzumrichter) 

■ Optimale Leistungs- und Verbrauchsdaten 

■ Hermetisch dichter Antrieb nach IE2 

■ Minimaler Platzbedarf 

■ Innovatives Bypassventil 

■ Direkter Anschluss von großen 

Vorvakuumpumpen via Adapter 

Ihr Vorteil: 

Eine innovative Produktreihe, leistungsstark für moderne Prozessanforderungen 

LEYBOJET OB 

Öl-Dampfstrahlpumpen 


■ Hochvakuum 

■ Sehr hohe Vorvakuumbeständigkeit 


■ Sicher und sparsam 

■ CE konforme Elektronikversorgung 


■ Saugvermögen: 6.000 - 18.000 l/s 

■ Arbeitsbereich: < 10 -1 bis 10 -4 mbar 

■ Stabiles Saugvermögen in tiefen 

Druckbereichen 

■ Kein Verschleiß durch drehende Teile 

■ Kompakte Bauform 

■ Einfache Bedienung 

Ihr Vorteil: 

Lange Wartungsintervalle, verschleißfrei. Hoher Sicherheitsstandard. 

6 Vorvakuumpumpen, Hochvakuumpumpen


Treibmittelpumpen 

DIP 

Öl-Diffusionspumpen 


■ Stabiles Hochvakuum 

■ Hohe Vorvakuumbeständigkeit 





■ Saugvermögen: 3.000 - 50.000 l/s 


■ Optimales Saugvermögen im 

Druckbereich < 10 -4 mbar 



■ Innovative Energieeffizienzregelung 

(ROI < 2 Jahre) 

Ihr Vorteil: 

Lange Wartungsintervalle, verschleißfrei, hoher Sicherheitsstandard. 

LEYBOJET 

Öl-Diffusionspumpen 


■ Stabiles Hochvakuum 






■ Saugvermögen: 12.000 l/s 


■ Optimales Saugvermögen im 

Druckbereich von 10 -2 - 10 -3 mbar 



■ Innovative Energieeffizienzregelung 

(ROI < 2 Jahre) 

Ihr Vorteil: 

Lange Wartungsintervalle, verschleißfrei, hoher Sicherheitsstandard. 

Geeignet für Anwendung in Sputterprozessen. 

Energieeffizienzregelung 

Regeleinheit für Öl-Diffusionspumpen 


■ Kostenreduzierung durch Energieeinsparung 

■ Einfache Handhabung 

■ Ansteuerung durch PLC 


■ Energieeffizienzregelung: 

- Energieeinsparung bis zu 30% 

- Verbesserte Lebenszeit des Öls 

und der Heizpatronen 

■ Einfache, visuelle Überwachung der 

Parameter durch grafische Oberfläche 

■ Ausstattung mit USB Interface und 

Ethernet 

Ihr Vorteil: 

Schneller ROI (< 2 Jahre) bei bis zu 30% Energieeinsparung. 

Einfache und komfortable Handhabung. Optimierte Energie- und Öl-Verbrauchsdaten. 

Verlängerte Heizpatronenstandzeit. 

leybold 

Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2012 Hochvakuumpumpen 8 7


Turbo-Molekularpumpen 

TURBOVAC 

Turbo-Molekularpumpen, mechanisch gelagert 


■ Saubere Hoch- und Ultrahoch- 

Vakuumerzeugung 

■ Beliebige Einbaulage 


■ Zuverlässiger Betrieb auch unter 

schwierigen Einsatzbedingungen 

■ Lange Lebensdauer 


■ Saugvermögen bis zu 2.400 l/s 

■ Zwei ölfreie mechanische Keramiklager 

■ Versionen mit Compound-Stufe 

■ Hohe Flexibilität bei Installation und 

Kommunikation 

■ Ausgezeichnete Vakuumleistung 

■ Hohe Beständigkeit gegen Stöße, 

Schockbelüftung und Partikel 

Ihr Vorteil: 

Kohlenwasserstofffreies Vakuum, lageunabhängiger Einbau 

TURBOVAC MAGiNTEGRA Turbo-Molekularpumpen, magnetisch gelagert 




■ Geeignet für den industriellen Einsatz: 

PVD und Beschichtungsprozesse, 

Display- und Glasbeschichtung 

■ Unempfindlich gegen Partikel oder 

Ablagerungen 

■ Geringer Wartungsbedarf 


■ Hohes Saugvermögen und hohe 

Kompressionsraten für alle Gase 

■ Integrierte Holweckstufe 

■ Partikel- und Ablagerungsbeständig 

■ Unempfindlich gegen Schockbelüftung 

■ Überwachungs- und Schutzfunktionen 

■ Überwiegend wartungsfrei (abhängig 

von der Anwendung) 

Ihr Vorteil: 

Höchst kompakte Produktreihe für industrielle Anwendungen. Integriertes Netzteil 

und Frequenzwandler. Einfache, platzsparende Systemintegration. 

TURBOVAC MAG digital 

Turbo-Molekularpumpen, magnetisch gelagert 




■ Robust und zuverlässig in anspruchsvollen 

Halbleiter-Prozessen 

■ Beliebige Einbaulage 





■ Magnetisch gelagert 

■ Versionen mit Compound-Stufe 

■ Stabile Systemleistungsfähigkeit; 

hohes Saugvermögen und hohe 

Kompressionsraten für alle Gase 

■ Leichte Systemintegration 

■ Temperatur-Management-System 

(TMS) 

8 Hochvakuumpumpen 

Ihr Vorteil: 

Flexible, vibrationsarme Turbo-Molekularpumpen mit geringem Wartungsbedarf 

und separatem Frequenzwandler.


Kryopumpen, Kaltköpfe 

Vakuum Mess-, Steuer- und Regelgeräte 

COOLVAC 

Refrigerator-Kryopumpen 


■ Kohlenwasserstofffreies Vakuum 

■ Geeignet zur Erzeugung von 

Hoch- und Ultrahochvakuum 



■ Klammer- und CF-Flansch Versionen 

■ Vollautomatischer Regenerierzyklus 

Ihr Vorteil: 

Hohes Wasserdampfsaugvermögen, lange Lebensdauer, lageunabhängiger Einbau 

COOLPOWER 

Kaltköpfe zur Kühlung von Kryopumpen/Kryostaten 


■ Hohe Kälteleistung 

■ Geringer Platzbedarf 

■ Lange, wartungsfreie Betriebsdauer 

■ Geringe Vibrationen 


■ Kälteleistung je nach Modell: 

zweistufig bis 8 K 

einstufig bis 25 K 

■ Hohe Kälteleistung auf kleinstem Raum 

■ Einfache Bedienung auf Knopfdruck 

■ Kein flüssiges Helium und 

kein flüssiger Stickstoff erforderlich 

Ihr Vorteil: 

Gas-Kältemaschinen zur Erzeugung kryogener Temperaturen nach Gifford-McMahon. 

Konzipiert zur Kühlung von Supraleitern (Magneten, Proben) in Medizin und Forschung. 

Messtechnik 

Vakuummeter und Druckmesssysteme 


■ Mess-System für alle Anwendungen 

■ Präzise Druckmessung von 

Gasen und Dämpfen 

■ Reproduzierbarkeit über einen 

großen Druckbereich 


■ Messtechnik mit aktiven und passiven 

Sensoren im Druckbereich von 2.000 

bis 10 -12 mbar für alle Anwendungen 

■ Intuitive Bedienung und flexible 

Datenabfrage 

■ Druckschalter und Druckregelgeräte 

■ DAkkS oder Werkskalibrierung von 

Vakuum-Messgeräten im Druckbereich 

10 -8 bis 1.000 mbar 

Ihr Vorteil: 

Sichere Überwachung der Vakuumprozesse 

leybold 

Oerlikon Leybold Hoch- Vacuum und Gesamtkatalog Ultrahochvakuum-Komponenten, 2012 Vakuum-Messgeräte 10 9


Vakuum Mess-, Steuer- und Regelgeräte 

Leckdetektoren 

VACVISION 

Vakuumcontroller 


■ Vollautomatische Steuerung und 

Regelung des Vakuumsystems 

■ Flexible konfigurierbare Pumpstandsteuerung 

■ Einfache Bedienung (Plug & Play) 

■ Schnelle Prozessdatenerfassung und 

Übertragung u.a. via USB zum PC 


■ Anschlussmöglichkeit aller Vakuumkomponenten, 

wie z.B. Vor- und 

Hochvakuumpumpe, bis zu je fünf 

Ventile und aktive Vakuumsensoren 

■ Selbstständige Erkennung der 

angeschlossenen Vakuumgeräte 

■ Darstellung des kompletten Vakuumschemas 

auf großem TFT-Grafikdisplay 

Ihr Vorteil: 

Einfache, automatische Konfiguration und Steuerung von Vakuumsystemen mit 

höchst möglicher Flexibilität. 

PHOENIX L500i 

Dichtheitsprüfsystem 


■ Absolut zuverlässige Leckerkennung 

bei der Qualitätssicherung 

■ Schnelle und reproduzierbare 

Prüfergebnisse 

■ Hohe Produktivität 

■ Serienprüfung im Kurztaktbetrieb 

■ Prüfung von Bauteilen aller Art 

■ Einfacher und komfortabler Betrieb 

■ Mobile, stets betriebsbereite Einheit 


■ Rasche Evakuierung und schnelle 

Messbereitschaft 

■ Ansprechzeit: < 1 s 

■ Heliumsaugvermögen am Einlass 

von bis zu 50 l/s 

■ Drahtloser WiFi-Betrieb über iPad 

■ Einfachste Bedienung und optimale 

Visualisierung der Messresultate 

■ Integrierte Datenspeicherung 

■ Robustes, innovatives Industriedesign 

Ihr Vorteil: 

Höchste Produktivität und Zuverlässigkeit bei der Prüfung aller Arten von 

Bauteilen im kontinuierlichen Kurztaktbetrieb. Einzigartiges Bedienkonzept. 

PHOENIXL 

Leckdetektoren und Dichtheitsprüfstationen 


■ Zerstörungsfreie Teileprüfung zur 

Qualitätssicherung 

■ Zuverlässige technische Lösung 

■ Fachkundige Beratung 

■ Auslegung und Lieferung 

individueller Lecksuchsysteme 


■ Geeignet für mobilen oder stationären 

Vakuum- und Schnüffelbetrieb 

■ Konfiguration von Leckrate, Zeit und 

Gasart nach Kundenspezifikation 

■ Schnelle Messbereitschaft, hohe 

Messgenauigkeit 

■ Kabellose Fernbedienung bis zu 

100 m Reichweite 

10 Vakuum-Controller, Lecksuchgeräte und Dichtheitsprüfsysteme 

Ihr Vorteil: 

Konzipiert für die Anforderungen industrieller Serienproduktion auf Basis des 

PHOENIXL. Bewährt im Anlagen-Service bzw. in Wartungsaufgaben.


Solutions 

Vakuumlösungen / Engineering 

Vakuumsysteme 

Solutions / Engineering 


■ Umfassende Fachberatung 

■ Kundenspezifische Applikationsunterstützungh 

■ Auslegung und Fertigung individueller 

Vakuumlösungen 

■ Hohe Flexibilität und Zuverlässigkeit 

■ Effiziente Lösungen 


■ Systemlösungen – maßgeschneiderte 

Konzepte nach Kundenspezifikation 

■ Integrative Vor- und Hochvakuumpumpsysteme 

für kundenspezifische 

Anforderungen 

■ Weltweite Engineering-, Fertigungsund 

Service-Center 

■ Globale Projektkoordination 

■ Individuelle Softwareprogrammierung 

und -anpassung 

■ Kontinuierliche Produktverbesserungen 

und -innovationen 

■ Inbetriebnahme und Training vor Ort 

beim Kunden 

Ihr Vorteil: 

Vakuumlösungen und -systeme aller Art vom weltweit führenden Anbieter. 

Profitieren Sie von unserer langjährigen Erfahrung. 

Steuerungen 

Innovatives Pumpen- und System-Management 


■ Kundenspezifische Systemschnittstellen 

■ Systemintegrierte Leistungsverteilung 

■ Komfortable Steuerung aller Systemkomponenten 

■ Einfache bis komplexe Visualisierung 


■ Steuerung und Datenerfassung von 

Systemparametern via digitaler I/O 

Schnittstellen oder Bussysteme, z.B. 

Ethernet, Profibus, RS232, WiFi, GSM 

■ Implementierung individueller 

Softwareprogrammierungen 

■ Einfache, digitale Darstellung über 

Touch Panel bis hin zur Visualisierung 

auf mobilen Endgeräten (via Apps) 

leybold 

Ihr Vorteil: 

Kunden- und prozessangepasste Steuerungen und Steuerungs-systeme für 

optimale Leistung und Bedienkomfort. 

Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2012 Vakuumlösungen und Engineering 12 11


Vakuum-Systeme 

RUTA Vakuum-Systeme 

Mehrstufige Vorvakuum-Systeme 


■ Fachkundige Beratung 

■ Auslegung und Lieferung 

bedarfsgerecht optimierter 

Vakuum-Pumpsysteme 

■ Zuverlässige technische Lösung 


■ Individuell konzipierte Vor- und 

Hochvakuumpumpstände für 

kundenspezifische Anforderungen 

■ Ölgedichtet/Trockenverdichtend 

■ Prozessangepasstes Saugvermögen 

und Enddrücke 

■ Mit zusätzlicher Hochvakuumstufe sind 

Arbeitsdrücke bis in den 10 -7 mbar 

Bereich möglich 

CVS 

Ihr Vorteil: 

Verfahrenssichere Lösungen und langjährige Erfahrung in der Auslegung vakuumtechnischer 

Komplett-Systeme. Individuelle Steuerungselektroniken. 

Zentralvakuumanlagen 


■ Industrietauglicher Vakuumerzeuger 

■ Zur Abdeckung einer Mehrzahl 

kleinerer Vakuumbedarfe 

■ Modularer Aufbau zur individuellen 

Anpassung an kundenspezifische 

Prozesse 


■ Typischerweise bestehend aus 

SOGEVAC-Pumpe(n), Pufferbehälter, 

Schaltschrank mit Steuerung und den 

Verbindungselementen 


■ Enddruck ≤ 0,5 mbar 

■ Behältervolumen 60 - 1.000 Liter 

■ Elektrische Leistung von 0,8 - 11 kW 

■ Steuerungsart BASIC oder Full Featured 

Ihr Vorteil: 

Modulare Anlagen für stark variierenden Vakuumverbrauch zur Erhöhung der 

Betriebssicherheit. Lieferung komplett betriebsfertiger und geprüfter Einheiten. 

Kalibriersysteme CS 

Kundenspezifische Vakuum-Kalibriersysteme 


■ Überprüfung der Kennlinien von 

Vakuum-Druckmesstechnik 

■ Präzise Kalibrierung von Vakuum- 

Druckmesstechnik nach DAkkS 

■ Sicherstellung von reproduzierbaren 

Parametern 


■ Universelle Kalibriersysteme mit 

spezieller Vakuumkammer, Turbo- 

Molekularpumpsystem, Vakuum- 

Messgeräten und ergänzenden 

Komponenten, je nach Kalibrierdruck 

(Heizmantel, separates Pumpsystem 

für den Gaseinlass, u.a.) 

Ihr Vorteil: 

Prozess-Sicherheit durch regelmäßige Überprüfung, Justierung und 

Re-Kalibrierung von Vakuum-Messtechnik und Sensoren 

12 Vakuum-Systeme, Zentralvakuumanlagen, Kalibriersysteme


Hochvakuum-Pumpsysteme 

Vakuumlösungen für Spezialanwendungen 

PT-Systeme / TURBOLAB 

Hochvakuum-Pumpsysteme 


■ Hochvakuum-Pumpsysteme für 

Industrie und Forschung 

■ Mit ölgedichteter oder trockener 

Vorvakuumpumpe für kohlenwasserstofffreies 

Vakuum 

■ Kompakte und bedienerfreundliche 

Lösung 


■ Saugvermögen 33 - 600 l/s 

■ Endvakuum bis 10 -10 mbar 

■ Voll ständig montiert als Tischversion 

mit Turbo-Molekularpumpe, Frequenzwandler 

und Vorvakuumpumpe 

■ Steuergerät zum automatischen oder 

manuellen Betrieb optional erhältlich 

Ihr Vorteil: 

Anschlussfertig konfektionierte Hochvakuum-Pumpsysteme aus bewährten 

Komponenten. Verschiedene Konfigurationen zur individuellen Vakuumbedarf- 

Abdeckung. 

UNIVEX 

Experimentier- und Beschichtungsanlagen 


■ Flexible Laboranlagen für die 

Vakuum-Beschichtung 

■ Systeme für die universitäre und 

industrielle Forschung 

■ Ergebnisse übertragbar in große 

Anlagen oder die Serienproduktion 

■ Hoher Reproduktionsgrad 


■ Universelle Systeme zur Erzeugung 

von Funktionsschichten 

■ Modulare Systemkonzeption, breites 

Zubehörprogramm 

■ Individuelle Systemlösungen nach 

Kundenspezifikation 

■ Variable Kammergrößen 

Ihr Vorteil: 

Einfache Bedienung und Handhabung durch frei zugängliche Vakuumkammern. 

Manuelle oder vollautomatische Prozesskontrolle und Anlagensteuerung. 

CVD Cube 

Thermischer Reaktor für CVD Anwendungen 


■ Anspruchsvolle CVD Anwendungen 

■ Schnelle, reproduzierbare Ergebnisse 

■ Hohe Sicherheit 


■ Betriebsfertiges System (Plug & Play) 

■ USB Anschluss an den Reaktor 

■ Bedienerfreundliche Handhabung 

und Software zur Programmierung, 

Durchführung und Steuerung von 

Experimenten 

■ Einstellbare Massen für die Gase 

z.B. Ar, H 2 

, CH 4 

, C 2 

H 4 

, N 2 

Ihr Vorteil: 

Äußerst kompaktes Tischgerät für die chemische Gasphasenabscheidung zur 

Herstellung von Graphenen, Kohlenstoffnanoröhren, Kohlenstofffasern. 

leybold 

Oerlikon Leybold Hochvakuum-Systeme, Vacuum Gesamtkatalog Vakuumlösungen 2012 für Spezialanwendungen 14 13


Flanschsysteme, Ventile 

Ersatzteile 

Flanschsysteme 

Verbindungselemente und Bauteile 


■ Einfache Montage und Demontage 

■ Zuverlässige Dichtheit 

■ Hochwertige Materialien, 

höchste Qualität 

■ Belieferung aus einer Hand 


■ Kleinflansche in den Größen 

DN 10 bis DN 50 

■ Klammerflansche in den Größen 


■ CF-Flansche in den Größen 


Ihr Vorteil: 

Erprobte und vielfach im Einsatz befindliche Technik 

LEYCON 

Ventile in diversen Bauformen und Antriebsarten 


■ Zuverlässige Dichtheit 

■ Hohe Anzahl von Schaltoperationen 

■ Einfache Montage und Demontage 

■ Belieferung aus einer Hand 


■ Ventile mit Hand-Antrieb 

■ Ventile mit elektropneumatischem/ 

elektromagnetischem Antrieb 

■ Schieberventile 

■ Ganzmetallventile für die 

UHV-Technik 

Ihr Vorteil: 

Zuverlässige und auf breiter Basis im Einsatz bewährte Ventil-Technik 

Ersatzteile 

Original Verschleißteile und Reparaturmaterial 


■ Gesicherte Verfügbarkeit 

■ Höchste Hersteller-Qualität 

■ Kurze Lieferzeiten 


■ Lieferprogramm für alle gängigen 

Ersatz- und Verschleißteile, vielfach 

auch in praxisorientierten Sets 

■ Ersatzteile unterliegen den selben 

Qualitätsanforderungen wie Teile für 

die Serienfertigung unserer Produkte 

Ihr Vorteil: 

Originalersatzteile für langen, störungsfreien Betrieb nach Wartung oder Reparatur 

14 Verbindungselemente, Ventile, Ersatzteile


Öle und Treibmittel 

Ausbildungszentrum, After Sales Support 

LEYBONOL 

Vakuumöle, Treibmittel und Spezialschmierstoffe 


■ Hochwertige Schmiermittel 

■ Ausgezeichnete Vakuum-Leistungsdaten 

■ Betriebssichere Treibmittel für 

Diffusionspumpen 



■ Spezial-Vakuumöle in 5-Sterne 

Qualität für höchste Ansprüche, 

qualifiziert nach bewährten Standards 

■ Mineral-, Ester-, PAO- und PFPE-Öle 

■ Ständige Qualitätskonstrollen 

■ Ölanalysen als Dienstleistung zur 

Prozesskontrolle und -optimierung 

Ihr Vorteil: 

Breite Produktpalette für jeden Anwendungsfall in praktischen Gebindegrößen. 

Garantierte, gleichbleibende Qualität für eine lange Pumpenlebensdauer. 

Vacuum Academy 

Vakuumtechnische Seminare / Ausbildungszentrum 


■ Vakuum-Technik verstehen lernen 

■ Praxisorientierte Aus- und 

Weiterbildung 


Systematische Ausbildung im gesamten 

Spektrum der Vakuum-Technik. 

Das Seminar-Programm umfasst: 

■ Grundlagen der Vakuum-Technik 

■ Lecksuche und Dichtheitsprüfung 

■ Wartungsarbeiten an Vakuum- 

Pumpen 

■ Kundenspezifische Seminare 

Ihr Vorteil: 

Qualifizierte Ausbildung Ihrer Fachkräfte durch praxisorientierte Wissensvermittlung. 

Bestmögliche Verfügbarkeit Ihrer Vakuum-Anlagen. 

After Sales Support 

Service-Dienstleistungen 


■ Weltweiter Service 

■ Kurze Stillstandszeiten 

■ Faire Reparaturkosten 


■ Wartung und Reparatur, vor Ort oder 

in einem unserer Service-Zentren 

■ Austausch- und Back-up Pool 

■ Installation und Training 

■ Markenübergreifender Service 

■ Beratung, individuelle Serviceverträge 

■ Dekontamination 

■ Kalibrierung von Mess-Systemen 

Ihr Vorteil: 

24/7 Erreichbarkeit. Kurze Reaktionszeiten. Hoher Qualitätsstandard. 

Lösungen für den individuellen Servicebedarf. 

leybold 

Vakuumöle Oerlikon und Leybold Treibmittel, Vacuum Gesamtkatalog Vakuumtechnische 2012 Seminare, Service-Dienstleistungen 16 15

Wir sind für Sie da. 

Schnell. Kompetent. Kundennah. 

Vertriebszentrale Deutschland 

Oerlikon 

Leybold Vacuum GmbH 

Bonner Strase 498 

D-50968 Köln 

T +49 (0) 221 347-1112 

F +49 (0) 221 347-1245 

sales.vacuum@oerlikon.com 

Vertriebsbereich Nord 

Hamburg, Bremen, Niedersachsen, 

Schleswig-Holstein, Mecklenburg- 

Vorpommern, Brandenburg, Berlin, 

Sachsen, Sachsen-Anhalt, Thüringen, 

nördliches Nordrhein Westfalen 



Industriestr. 10 b 

D-12099 Berlin 

T +49 (0) 30 435 609-0 

F +49 (0) 30 435 609-10 

sales.vacuum.bn@oerlikon.com 

Vertriebsbereich Süd 

Südliches Nordrhein-Westfalen, 

Saarland, Rheinland-Pfalz, Hessen, 

Baden-Würtemberg, Bayern 



Karl-Hammerschmidt-Str. 34 

D-85609 Aschheim-Dornach 

T +49 (0) 89 357 339-10 

F +49 (0) 89 357 339-33 

sales.vacuum.mn@oerlikon.com 

Zentrale Deutschland 



Bonner Straße 498 

D-50968 Köln 

T +49 (0) 221-347-0 

F +49 (0) 221-347-1250 

info.vacuum@oerlikon.com 

www.oerlikon.com/leyboldvacuum 

Solutions 



Bonner Strase 498 

D-50968 Köln 

T +49 (0) 221 347-1206 

F +49 (0) 221 347-31206 

vacuum.solutions@oerlikon.com 

BICOM 12082.01-100.18.01 0.14.12.12 GK 

Printed in Germany on chlorine-free bleached paper Technical alterations reserved

1,83 MB, PDF-Datei - Oerlikon

Erfolgreiche ePaper selbst erstellen

Template löschen?

Als Template speichern?