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Fortschrittliche Bewegungssysteme für Verteidigung ... - Aerotech Inc.

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Nanopositionierer<br />

ANT95-L Einzelachsen-<br />

Lineartisch<br />

• Kontaktloser, coggingfreier,<br />

reibungsfreier Direktantrieb –<br />

spiel- und hysteresefrei<br />

ANT95-50-L-PLUS 1-nm-Schritt-Plot<br />

• Hohe mechanische Auflösung<br />

(1 nm), Wiederholbarkeit (50 nm)<br />

und Genauigkeit (250 nm)<br />

• Positionsstabilität von 1 nm<br />

• Kreuzrollenlager mit Kriechschutz<br />

• Hohe dynamische Performance<br />

• Erhältlich in X-, XY-, XYZ- und<br />

zahlreichen anderen Kombinationen<br />

Die ANT95-L-Serie bietet<br />

einen Verfahrweg von<br />

25 oder 50 mm an.<br />

ANT95-XY Zweiachsen-<br />

Lineartisch<br />

• Integrierter XY-<br />

Linearmotortisch mit<br />

niedrigem Profil.<br />

• Kontaktloser, coggingfreier,<br />

reibungsfreier Direktantrieb<br />

– spiel- und hysteresefrei<br />

ANT95-XY PLUS 2D-Genauigkeit<br />

• Hohe mechanische<br />

Auflösung (1 nm),<br />

Wiederholbarkeit (50 nm)<br />

und Genauigkeit (250 nm)<br />

• Positionsstabilität von 1 nm<br />

• Kreuzrollenlager mit<br />

Kriechschutz<br />

• Hohe dynamische<br />

Performance<br />

Die ANT95-XY-Serie bietet einen Verfahrweg<br />

von 25 x 25 oder 50 x 50 mm an.<br />

48 www.aerotech.com

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