Leybold Optics GmbH (Dr.H.Hagedorn)
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UV Performance: HR-Mirror @ 193nm<br />
PIAD Process für Oxide:<br />
• Low index Material SiO 2<br />
• High index Material Al 2 O 3<br />
100<br />
HR@193nm, AOI 0°<br />
99<br />
98<br />
97<br />
Reflectance [%]<br />
96<br />
95<br />
94<br />
93<br />
92<br />
91<br />
90<br />
190 192 194 196 198 200 202 204<br />
Wavelength [%]<br />
Braunschweig 2. März 2006 Innovative Beschichtungsverfahren für die optischen Technologien: Beschichtungsverfahren für die Präzisionsoptik<br />
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