Mikroelektronik - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik
Mikroelektronik - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik
Mikroelektronik - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik
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<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong><br />
Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Die Studienrichtung<br />
<strong>Mikroelektronik</strong><br />
Prof. Dr. Andreas Richter<br />
Studienrichtungsleiter<br />
Dr. Barbara Adolphi<br />
TU Dresden, Institut für Halbleiter- <strong>und</strong> Mikrosystemtechnik
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
<strong>Mikroelektronik</strong><br />
Mikrosystemtechnik<br />
Studienrichtung<br />
<strong>Mikroelektronik</strong><br />
Nanotechnik<br />
Sensorik &<br />
Aktorik<br />
2
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Mikro- <strong>und</strong> Nanoelektronik<br />
Mikrosystemtechnik<br />
Forschungsfelder an der TU Dresden<br />
Der Standort Dresden<br />
Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
3
Jack Kilby<br />
Texas Instr. 1958<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Robert Noyce<br />
Fairchild 1959<br />
Nobelpreis für Physik 2000<br />
SiO 2<br />
als Dotiermaske, C.J.Forsch <strong>und</strong> L. Derick 1955<br />
• die Wege zum integrierten Schaltkreis, Produkt <strong>und</strong> Produktion werden<br />
voneinander unabhängig<br />
• Fertigung großer Schaltungen mit hoher Zuverlässigkeit <strong>und</strong> geringen Kosten<br />
4
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Elektronische IT <strong>und</strong> Halbleiterindustrie:<br />
⇒ dominieren unser privates <strong>und</strong> dienstliches Leben<br />
⇒ wichtigster Innovationsfaktor<br />
Services<br />
World $ 6300B / Europe $ 1600B<br />
Education, Science, Automotive, Industry,<br />
Energy, Medical, Aviation, IT<br />
Electronics<br />
World $ 1500B /<br />
Europe $ 315B<br />
Devices<br />
World $ 46B /<br />
Europe $ 2.9B<br />
Semiconductors<br />
World $ 256B /<br />
Europe $ 41B<br />
Materials<br />
World $ 42B /<br />
Europe $ 4B<br />
Source DECISION, ESIA, Future Horizons, IMF, WSTS –2010<br />
5
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Mooresches<br />
Gesetz<br />
Skalierbarkeit: wichtigster Erfolgsfaktor der <strong>Mikroelektronik</strong><br />
1965: Anzahl der Transistoren auf einem Chip verdoppelt sich ca. alle zwei Jahre<br />
ca. 2020: CMOS-Technologie erreicht ihre Grenzen<br />
6
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Source: ITRS 2010 (www.itrs.net)<br />
7
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
• Conductors<br />
• Semiconductors<br />
• Dielectrics<br />
• Novel functions<br />
(photonic, sensor, actuator)<br />
8
More Moore<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
CNT-Transistor<br />
picasaweb.google.com<br />
gemessene Ausgangskennlinie<br />
Nanomaterialien – offerieren völlig neue Eigenschaften<br />
9
Beyond CMOS<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Spintronischer Transistor<br />
Chemischer Transistor<br />
www.sciencedaily.com<br />
500µm<br />
Richter lab<br />
10
Entwurf<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Vor der Herstellung:<br />
Der Entwurf<br />
Front end (of line)<br />
back end of line or inteconnect or<br />
metallization<br />
and back end or packaging<br />
11
Technologie<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Prozessbereiche in der Herstellung von Halbleiterbauelementen:<br />
Front end (of line)<br />
back end of line or interconnect or<br />
metallization<br />
and back end or packaging<br />
12
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Mikro- <strong>und</strong> Nanoelektronik<br />
Mikrosystemtechnik<br />
Forschungsfelder an der TU Dresden<br />
Der Standort Dresden<br />
Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
13
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Definition eines Mikrosystems<br />
Ein Mikrosystem besteht aus der Kombination von Elektronik, Mikrooptik, Sensoren <strong>und</strong> Aktoren.<br />
Die englische Bezeichnung lautet MEMS (micro electromechanical system).<br />
Mikrosysteme<br />
Mikrotechniken<br />
Systemtechniken<br />
Materialien<br />
<strong>und</strong> Effekte<br />
Systemfähige<br />
Sensoren<br />
Signalverarbeitende<br />
Komponente<br />
Systemfähige<br />
Aktoren<br />
Anwendungsfelder<br />
Fertigungs- <strong>und</strong><br />
Verfahrenstechnik<br />
Verkehrstechnik<br />
Sicherheitstechnik<br />
Umwelttechnik<br />
Haustechnik<br />
Medizintechnik<br />
Kommunikation<br />
14
More than Moore<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
© http://www.fastcodesign.com<br />
Die Mikrosystemtechnik – eine Schlüsseltechnologie<br />
⇒ Großtrend: Migration nichtdigitaler Funktionen<br />
© www.trendbird.biz<br />
15
More than Moore<br />
-Image-Sensoren -<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Wärmebild eines Wohnhauses<br />
IR-Kamera von FLIR<br />
16
Alltagselektronik 2020<br />
More than Moore<br />
- organische Elektronik -<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Smartphones <strong>und</strong> Tablet PCs verändern<br />
unsere Welt<br />
⇒ flexibel, leicht, aus Kunststoff<br />
⇒ Smartphone, Tablet, Smartwatch, Navi,<br />
e-paper …<br />
⇒ zum Teil muss die Elektronik neu<br />
erf<strong>und</strong>en werden!<br />
⇒Kunststoffe offerieren unglaubliche<br />
Eigenschaften<br />
Flexibles e-paper-Handy Queens Univ. 2011<br />
Lautsprecher, Chemnitz 2011<br />
Taktiles Display,<br />
Dresden 2009<br />
17
Einführen „Rechenleistung“<br />
großintegrierter ICs in<br />
Mikrofluidik<br />
More than Moore<br />
-Lab on a Chip -<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
⇒ Moderne Verfahren der Molekularen Diagnostik<br />
<strong>und</strong> Genetik erforden Verarbeiten<br />
sehr großer Datenmengen<br />
⇒ Notwendigkeit skalierbarer LoC<br />
Chemical IC for long-term investigations<br />
[Lab Chip, 12 (2012) 23, 5034]<br />
Fluidigm.com<br />
Chemical IC with integrated pressure sources<br />
[Adv. Sci. Technol., 81 (2013), 84]<br />
18
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Mikro- <strong>und</strong> Nanoelektronik<br />
Mikrosystemtechnik<br />
Forschungsfelder an der TU Dresden<br />
Der Standort Dresden<br />
Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
19
Forschungsfelder 2020<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Kohlenstoff-/<br />
Organische El.<br />
Photonics<br />
Organische<br />
Elektronik<br />
Nanoelektronik<br />
Source: ITRS 2010 (www.itrs.net)<br />
(Spintronics), Chemical computing<br />
20
Forschungsfelder 2020<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Großforschungsprojekte Mikro- <strong>und</strong><br />
Nanoelektronik (Auswahl)<br />
Graduiertenkolleg 1401<br />
Nano- <strong>und</strong> Biotechniken für<br />
das Packaging el. Systeme<br />
Graduiertenkolleg 1865<br />
Hydrogelbasierte Mikrosysteme<br />
European Centre for<br />
Emerging Materials<br />
and Processes<br />
Forschergruppen, z.B.:<br />
Chemische <strong>Informationstechnik</strong><br />
Diagnostische Integrierte Schaltkreise<br />
21
Forschungsfelder 2020<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Research<br />
Program<br />
22
Forschungsfelder 2020<br />
Nanopartikel<br />
- Quantenpunkte<br />
- Quantendrähte<br />
- Quantentöpfe<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Nanomaterialien<br />
• Gr<strong>und</strong>lage neuartiger Bauelemente<br />
Selbstorganisierende Partikel,<br />
Schichten, Überstrukturen/-gitter<br />
Schmelztemperatur von<br />
Goldnanopartikeln<br />
(massives Gold 1064°C)<br />
23
Forschungsfelder 2020<br />
Nanowire-Elektronik<br />
• Rekonfigurierbare Elektronik<br />
• SiNW-Transistoren<br />
• Memristoren<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Nano Lett. 12 (2012) 119−124<br />
24
Forschungsfelder 2020<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Nano- <strong>und</strong> Biotechniken für<br />
das Packaging<br />
Nanopackaging<br />
Graduiertenkolleg 1401<br />
Nano- <strong>und</strong> Biotechniken für<br />
das Packaging el. Systeme<br />
2D/3D-Integration<br />
relevante Bio-<br />
/Nanotechniken<br />
Nanooptoelektronische<br />
Baugruppen<br />
25
Chemisches Design von<br />
Nanomaterialien<br />
Cluster of Excellence „Center for Advancing Electronics Dresden“ Path E: Chemical Information Processing<br />
DNA origami<br />
Kontrolliertes Self-assembly<br />
definierter<br />
Nanostrukturen<br />
Prinzip<br />
Ausführen chem. Programm<br />
(Reaktionssequenz)<br />
via Definition der Watson-Crick<br />
Basenpaare<br />
September 6, 2013 26<br />
16
Chemisches Design von<br />
Nanomaterialien<br />
Cluster of Excellence „Center for Advancing Electronics Dresden“ Path E: Chemical Information Processing<br />
Nanomaterialien<br />
→ 2D<br />
→ 3D<br />
→ BAC Pfad, Basis “selfassembled”<br />
el. ICs<br />
Nature 440, 297–302 (2006)<br />
September 6, 2013 27<br />
16
Forschungsfelder 2020<br />
(Nano)systementwurf<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Multiskaliger Entwurf (Milli - Nano)<br />
heterogener 3D-Entwurf<br />
zuverlässige Systeme auf der Basis<br />
unzuverlässiger Komponenten<br />
28
Forschungsfelder 2020<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
DUT<br />
Transponder<br />
Cyperphysikalische Systeme / Internet der Dinge<br />
⇒ aktueller Megatrend<br />
• IC-Integration<br />
• 3-D-Lokalisierungsgenauigkeit von 10 cm<br />
• Reichweite von 100 m<br />
• Bewegungsverfolgung von Objekten im Raum<br />
• Drahtlose Kommunikation<br />
• Autonome mobile Geräte<br />
• Intelligente Fabriken, Robotik, interaktive Führung<br />
29
Forschungsfelder 2020<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Organische <strong>und</strong> Polymerelektronik<br />
halbleitende <strong>und</strong><br />
leitfähige Polymere<br />
organische LED<br />
Neuartige technische<br />
Funktionen mit Sensor<strong>und</strong><br />
Aktorfunktionen<br />
Europas führendes Organik-Cluster<br />
• Sirakawa, Heeger <strong>und</strong><br />
MacDiarmid erhöhten 1977<br />
die Leitfähigkeit von<br />
Polyacetylen durch Dotierung<br />
• 2000 Nobelpreis<br />
OLED<br />
organische Solarzelle<br />
Taktiles Display (Hydrogele)<br />
30
Forschungsfelder 2020<br />
Mikrofluidik<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Schlüsseltechnologie der Natur- <strong>und</strong><br />
Lebenswissenschaften<br />
Europas führendes Organik-Cluster<br />
Voraussetzung der modernen<br />
Methoden der Medizin <strong>und</strong><br />
Analytik<br />
10 mm<br />
Chemical IC for long-term investigations with<br />
2.096 chemical transistors, © Richter lab<br />
Chemical [48x48] sampling IC consisting of<br />
7.012 chemical transistors, © Richter lab<br />
31
Forschungsfelder 2020<br />
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Sensorik / Nanosensorik<br />
Smarte Strukturen<br />
Adaptive Systeme<br />
⇒ Dinge <strong>und</strong> Gegenstände<br />
des Alltags werden<br />
„intelligent“<br />
32
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
<strong>Mikroelektronik</strong> = Prozessor-IC + Speicher-IC + viel,viel mehr<br />
Viel,viel mehr =<br />
Sensorik + Mikrosystemtechnik + Nanoelektronik/-technik + noch viel<br />
mehr<br />
Interdisziplinarität:<br />
Werkstoffe + Technologie + BE-Konzepte + Entwurf + Systeme<br />
Entwicklungstempo:<br />
v ME ≥ v ET<br />
Schlussfolgerungen<br />
Dresden:<br />
Deutschland:<br />
Zentrum der ME<br />
Zentrum der Sensorik, MST<br />
33
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Mikro- <strong>und</strong> Nanoelektronik<br />
Mikrosystemtechnik<br />
Forschungsfelder an der TU Dresden<br />
Der Standort Dresden<br />
Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
34
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Jobs in der <strong>Mikroelektronik</strong> ?<br />
Dresden ist Europas Hauptstadt in der <strong>Mikroelektronik</strong><br />
!<br />
Allein im Raum Dresden:<br />
•Infineon Dresden<br />
• Globalfo<strong>und</strong>ries<br />
•X-Fab<br />
• ZMD Zentrum <strong>Mikroelektronik</strong> Dresden<br />
• AMTC Advanced Mask Technology Center<br />
• MPD <strong>Mikroelektronik</strong> Packaging Center<br />
• Siltronic Freiberg<br />
• CNT Center for Nanotechnology (FhG)<br />
• ....<br />
- 235 Mitglieder<br />
- 17.000 Mitarbeiter in diesen Firmen<br />
-3 Mrd.€Umsatz<br />
35
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Mikro- <strong>und</strong> Nanoelektronik<br />
Mikrosystemtechnik<br />
Forschungsfelder an der TU Dresden<br />
Der Standort Dresden<br />
Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
36
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Modulnummer<br />
Modulname<br />
1.<br />
Sem.<br />
V/U/P<br />
2.<br />
Sem.<br />
V/U/P<br />
3.<br />
Sem.<br />
V/U/P<br />
4.<br />
Sem.<br />
V/U/P<br />
LP<br />
Auf-teilg.<br />
Pflichtbereich<br />
ET-12 02 02<br />
Numerische<br />
Mathematik<br />
2/1/0<br />
PL<br />
4<br />
ET-12 02<br />
01M<br />
Theoretische<br />
Elektrodynamik<br />
2/2/0<br />
PL<br />
5<br />
ET-12<br />
AQUAM<br />
Allgemeine <strong>und</strong><br />
ingenieurspezifische<br />
Qualifikationen<br />
2/2/0<br />
PL<br />
4<br />
ET-12 FoPra Forschungspraktikum (PL) PL 12<br />
Themen für das Forschungspraktikum: http://www.et.tu-dresden.de/etit/index.php?id=464<br />
37
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Wahlpflichtbereich (Detailangaben siehe Ergänzungen zum Studienablaufplan)<br />
Pflichtmodule der gewählten<br />
Studienrichtung<br />
Module gemäß<br />
Teil 2a – 2e<br />
33<br />
(15 + 18)<br />
4 Wahlpflichtmodule (á 7 LP) gemäß<br />
Teil 2f, davon mind. 2 aus der<br />
gewählten Studienrichtung<br />
M 1 M 2 M 3<br />
<strong>und</strong> M<br />
4<br />
28<br />
(7+7+14)<br />
Forschungsorientiertes<br />
Wahlpflichtmodul gemäß Teil 2g<br />
(Oberseminar)<br />
0/2/0<br />
PL<br />
4<br />
Master-<br />
Arbeit<br />
29<br />
Verteidi<br />
gung<br />
1<br />
Leistungspunkte: 30 30 30 30 120<br />
38
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Pflicht- <strong>und</strong> Wahlpflichtmodule im Basisbereich der Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong> - MEL<br />
Modulnummer<br />
Modulname<br />
1. Sem.<br />
V/U/P<br />
2. Sem.<br />
V/U/P<br />
ET-12 08 13 Physik ausgewählter Bauelemente 2/0/0 2/0/1<br />
2 PL<br />
LP<br />
6<br />
(2+4)<br />
ET-12 08 23M<br />
Rechnergestützter<br />
Schaltkreisentwurf<br />
2/1/0 2/0/0<br />
2 PL<br />
7<br />
(4+3)<br />
ET-12 12 01<br />
Mikrosystem- <strong>und</strong><br />
Halbleitertechnologie<br />
2/0/0 6/1/3<br />
2 PL<br />
12<br />
(2+10)<br />
ET-12 08 15<br />
Hauptseminar Mikro- <strong>und</strong><br />
Nanoelektronik<br />
0/2/0<br />
PL<br />
4<br />
Eines der beiden folgenden Module nach Wahl:<br />
ET-12 08 12M Integrierte Analogschaltungen 2/2/0<br />
PL<br />
ET-12 06 02M Aufbau- <strong>und</strong> Verbindungstechnik 2/0/0<br />
PL<br />
0/0/2<br />
PL<br />
4<br />
4<br />
(2+2)<br />
Summe LP 10/12 23/21 33<br />
39
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Wahlpflichtmodule<br />
• Hybridintegration<br />
• Integrated Circuits for Broadband Optical<br />
Communications<br />
• VLSI-Prozessor-Entwurf<br />
• Theoretische Akustik<br />
• Sensoren <strong>und</strong> Sensorsysteme<br />
• Plasmatechnik<br />
• Charakterisierung von Mikrostrukturen<br />
• Neue Aktoren <strong>und</strong> Aktorsysteme<br />
• Innovative Konzepte für aktive Bauelemente der<br />
Nanoelektronik<br />
• Entwurfsautomatisierung<br />
• FEM – Probabillistische Simulation <strong>und</strong> Optimierung<br />
• Charakterisierung <strong>und</strong> Modellierung elektronischer<br />
Bauelemente<br />
• Radio Frequency Integrated Circuits<br />
• Festkörper- <strong>und</strong> Nanoelektronik<br />
• Ultraschall<br />
• Entwurf von Mikrosystemen<br />
• Angewandte Dünnschicht- <strong>und</strong> Solartechnik<br />
• Speichertechnologie<br />
29 SWS<br />
40
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Professuren der SR <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Institut für Halbleiter- <strong>und</strong><br />
Mikrosystemtechnik<br />
Institut für Aufbau – <strong>und</strong><br />
Verbindungstechnik<br />
Prof. Dr. rer.nat . Johann W. Bartha<br />
Halbleitertechnik<br />
Prof. Dr.-Ing. habil. Wolf-Joachim Fischer<br />
Mikrosystemtechnik/FhG<br />
Prof. Dr.-Ing. Andreas Richter<br />
Polymere Mikrosysteme<br />
Prof. Dr.-Ing. Thomas Mikolajick<br />
Nanoelektronische Materialien/Namlab GmbH<br />
Institut für Festkörperelektronik<br />
Prof. Dr.-Ing. habil. Gerald Gerlach<br />
Festkörperelektronik/Sensorik<br />
Prof. Dr.-Ing. habil. Klaus Wolter<br />
Aufbau- <strong>und</strong> Verbindungstechnik<br />
Prof. Dr. Norbert Meyendorf<br />
Zerstörungsfreie Prüfung/FhG<br />
Jun. Prof. Dr.-Ing. Henning Heuer<br />
Sensorsysteme für die zerstörungsfreie Prüfung<br />
<strong>und</strong> Strukturüberwachung<br />
Institut für Gr<strong>und</strong>lagen der<br />
<strong>Elektrotechnik</strong>/Elektronik<br />
Prof. Dr.-Ing. habil. Frank Ellinger<br />
Schaltungstechnik <strong>und</strong> Netzwerktheorie<br />
Prof. Dr.-Ing. habil. Michael Schröter<br />
Elektronische Bauelemente <strong>und</strong> Integrierte<br />
Schaltungen<br />
Prof. Dr.-Ing. habil. Rene Schüffny<br />
Hochparallele VLSI-Systeme <strong>und</strong><br />
Neuromikroelektronik<br />
41
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Lehre <strong>und</strong> Forschung in modernen Labors an der TUD<br />
400 m 2 Reinraum im IHM (Mierdel-Bau)<br />
NaMLab gGmbH<br />
42
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Lehre <strong>und</strong> Forschung in modernen Labors an der TUD<br />
Technikum (ca. 2.000m² ISO 2 – ISO 8): Inbetriebnahme Oktober 2013<br />
43
<strong>Fakultät</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> Studienrichtung <strong>Mikroelektronik</strong><br />
Kontakt:<br />
Prof. Dr. Andreas Richter<br />
Mierdel-Bau MIE 105<br />
andreas.richter7@tu-dresden.de<br />
(0351) 463 36336<br />
44
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