Michelson-Interferometer mit diffraktivem Strahlteiler
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<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
<strong>mit</strong><br />
<strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />
Diplomarbeit<br />
Daniel Friedrich<br />
Matr. Nr. 2114790<br />
Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover<br />
Institut für Gravitationsphysik<br />
Max-Planck-Institut für Gravitationsphysik<br />
(Albert Einstein Institut)<br />
Referent: Juniorprofessor Dr. Roman Schnabel<br />
Korreferent: Professor Dr. Karsten Danzmann<br />
Hannover, November 2006
Kurzzusammenfassung<br />
Für die Empfindlichkeitssteigerung zukünftiger Generationen hochpräziser<br />
Laserinterferometer zur Gravitationswellendetektion wird der Einsatz von<br />
dielektrischen Reflexionsgittern erforscht. In dieser Arbeit wird die Ersetzung<br />
des zentralen 50/50-<strong>Strahlteiler</strong>s durch ein speziell angefertigtes dielektrisches<br />
Reflexionsgitter untersucht. Es wird erstmalig ein Design eines<br />
<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> und sphärischen<br />
Spiegeln vorgestellt, dass einen hohen Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s erlaubt.<br />
Durch das Design wird die Leistungsüberhöhung <strong>mit</strong>tels ” Power-Recycling“<br />
ebenfalls <strong>mit</strong> sphärischem Einkoppelspiegel ermöglicht. Die Qualität des Designs<br />
wurde durch einen erreichten Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s von 0,99936<br />
belegt. Darüber hinaus kann durch Messung der Finesse des ” Power-Recycling“<br />
Resonators der optische Verlust des Gitterstrahlteilers bestimmt werden.<br />
Die Messungen wurden für zwei <strong>Strahlteiler</strong> in verschiedenen Aufbauten<br />
durchgeführt, wobei für ein Gitter ein bisher unerreicht niedriger Gesamtverlust<br />
von (0,11 ± 0,08)% gemessen wurde.
Erklärung<br />
Hier<strong>mit</strong> versichere ich, die vorliegende Arbeit allein und selbständig und<br />
lediglich unter Zuhilfenahme der genannten Hilfs<strong>mit</strong>tel und Quellen angefertigt<br />
zu haben.<br />
Daniel Friedrich<br />
November 2006
Inhaltsverzeichnis<br />
Selbständigkeitserklärung v<br />
1 Einführung 1<br />
2 Diffraktive <strong>Strahlteiler</strong> 5<br />
2.1 Design von Gittern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6<br />
2.1.1 Die Gittergleichung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6<br />
2.1.2 Rigorose Methoden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7<br />
2.1.3 Dielektrische Reflexionsgitter . . . . . . . . . . . . . . 7<br />
3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme 11<br />
3.1 Streumatrixformalismus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11<br />
3.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17<br />
3.2.1 Arbeitspunkt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18<br />
3.2.2 Kontrast . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20<br />
3.3 Fabry-Perot Resonator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21<br />
3.3.1 Charakteristische Größen . . . . . . . . . . . . . . . . 24<br />
3.4<br />
” Power-Recycling“ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25<br />
4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> 29<br />
4.1 Fenster- und Gitterstrahlteiler . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29<br />
4.2 <strong>Interferometer</strong>design . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34<br />
4.2.1 Berechnung eines Eingangstrahls . . . . . . . . . . . . 36<br />
4.2.2<br />
” Power-Recycling“ im diffraktiven <strong>Interferometer</strong> . . . 43<br />
5 Experiment 45<br />
5.1 Experimentelle Grundlagen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45<br />
5.1.1 Pound-Drever-Hall Verfahren . . . . . . . . . . . . . . 46<br />
5.1.2 Aufbau des Modenfilters . . . . . . . . . . . . . . . . . 47<br />
5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50<br />
vii
INHALTSVERZEICHNIS<br />
5.3<br />
5.2.1 Die verwendeten Gitterstrahlteiler . . . . . . . . . . . 50<br />
5.2.2 Die verwendeten Spiegel . . . . . . . . . . . . . . . . . 54<br />
5.2.3 Design und Aufbau des <strong>Interferometer</strong>s . . . . . . . . 55<br />
5.2.4 Bestimmung des Kontrasts . . . . . . . . . . . . . . . 60<br />
” Power-Recycling“ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61<br />
5.3.1 Längenregelung des Power-Recycling“ Resonators . .<br />
”<br />
5.3.2 Position des Power-Recycling“ Spiegels . . . . . . . .<br />
”<br />
5.3.3 Bestimmung der Finesse . . . . . . . . . . . . . . . . .<br />
62<br />
64<br />
65<br />
5.3.4 Verluste des Gitterstrahlteilers . . . . . . . . . . . . . 70<br />
6 Zusammenfassung 75<br />
A Gauß Strahlen 77<br />
A.1 Transformation Gaußscher Strahlen . . . . . . . . . . . . . . . 80<br />
B <strong>Interferometer</strong>design 83<br />
Danksagung 93<br />
viii
KAPITEL 1<br />
Einführung<br />
Eine Vorhersage der Allgemeinen Relativitätstheorie, die 1916 von Albert<br />
Einstein veröffentlicht wurde, ist die Existenz von Gravitationswellen. Gravitationswellen<br />
werden durch beschleunigte Massen abgestrahlt und sind<br />
Störungen der Raum-Zeit Metrik.<br />
Ein indirekter Beweis für die Existenz von Gravitationswellen wurde bei<br />
Untersuchungen des Pulsars PSR 1913+16 entdeckt, der Teil eines Doppelsternsystems<br />
ist. J. H. Taylor und J. M. Weissberg erkannten, dass die Periodendauer<br />
über mehrere Jahre kontinuierlich abnahm, was <strong>mit</strong> dem Energieverlust<br />
durch Abstrahlung von Gravitationswellen erklärt werden konnte [1].<br />
Aus den Lösungen der Einsteinschen Feldgleichungen folgt, dass Gravitationswellen<br />
eine Quadropolstrahlung sind, die sich durch eine abwechslende<br />
Dehnung und Stauchung der Raum-Zeit senkrecht zur Ausbreitungsrichtung<br />
auswirken. Die auf der Erde erwarteten Effekte durch Gravitationswellen bewirken<br />
relative Längenänderungen in der Größnordnung von 10 −21 , weshalb<br />
der direkte experimentelle Nachweis noch aussteht und eine große Herausforderung<br />
der physikalischen Grundlagenforschung darstellt. Quellen für eine<br />
Gravitationsstrahlung dieser Stärke sind gigantische, astronomische Ereignisse,<br />
wie zum Beispiel Supernovae oder der Kollaps binärer Systeme aus<br />
Neutronensternen oder schwarzen Löchern [2].<br />
Laserinterferometrische Gravitationswellendetektoren<br />
Die zur Zeit im Messbetrieb befindlichen Detektoren sind insbesondere hochpräzise<br />
Laserinterferometer. Sie basieren allesamt auf einem <strong>Michelson</strong>-Inter-
1 Einführung<br />
ferometer, das einen <strong>Strahlteiler</strong> und zwei Endspiegel als Testmassen verwendet,<br />
wie in Abbildung 1.1 skizziert. Eine passend orientierte Gravitationswel-<br />
Laser<br />
M1 M1<br />
M2<br />
Laser<br />
BS BS<br />
PD PD<br />
a) b)<br />
Mpr<br />
Abbildung 1.1: a) Skizze eines konventionellen <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong><br />
<strong>Strahlteiler</strong> (BS) und Endspiegeln (M1, M2). Eine Photodiode (PD) detektiert die<br />
Leistung in einem Ausgang des <strong>Interferometer</strong>s . b) Erweiterte Konfiguration um<br />
” Power-Recycling“ durch einen teildurchlässigen Spiegel zwischen Laser und <strong>Strahlteiler</strong>,<br />
zur Leistungsüberhöhung.<br />
le bewirkt entgegengesetzte Längenänderungen in den <strong>Interferometer</strong>armen,<br />
die <strong>mit</strong> einem Laserstrahl ausgelesen werden. Dafür wird der einfallende<br />
Strahl am <strong>Strahlteiler</strong> BS in zwei Teilstrahlen aufgespalten, die sich entlang<br />
der <strong>Interferometer</strong>arme ausbreiten und von den Spiegeln M1 bzw. M2<br />
zurückreflektiert werden. Am <strong>Strahlteiler</strong> werden sie wieder überlagert und<br />
interferieren abhängig von ihrer relativen optischen Phase destruktiv oder<br />
konstruktiv, was an einer Photodiode PD in einem Ausgang detektiert wird.<br />
Um die winzige Wirkung einer Gravitationswelle messen zu können, muss<br />
das Signal-zu-Rausch Verhältnis eines <strong>Interferometer</strong>s verbessert werden.<br />
Dazu werden zum einen fortgeschrittene <strong>Interferometer</strong>technologien verwendet<br />
und zum andereren Störungen auf die Testmassen reduziert. Eine Voraussetzung<br />
für hochpräzise Interferometrie ist, dass der Aufbau weitgehend<br />
von äußeren mechanischen Einflüssen entkoppelt ist. Dafür werden große<br />
Vakuumsysteme realisiert, in denen die Testmassen über aufwendige Pendelkonstruktionen<br />
aufgehängt werden. Durch die Pendelaufhängung wird<br />
die Übertragung von seismischen Störungen auf die Testmassen bei höheren<br />
Frequenzen als den Eigenfrequenzen der Pendel unterdrückt, so dass sie nur<br />
unter ≈ 50 Hz relevant sind. Bei höheren Frequenzen wird die Empfindlichkeit<br />
gegenwärtiger Detektoren im wesentlichen durch zwei Rauschquellen<br />
li<strong>mit</strong>iert: das thermische Rauschen und das Photonen-Schrotrauschen.<br />
Das thermische Rauschen ist die Anregung eines mechanischen Systems<br />
2<br />
M2
durch thermische Energie. Es wirkt sich bei den Detektorkomponenten durch<br />
unterschiedliche Schwingungsanregungen aus und betrifft die Substrate, die<br />
Beschichtung der Substrate, die Testmasse als Pendel als auch die Aufhängung<br />
selbst. Die spektrale Verteilung dieses Rauschens ist entscheidend<br />
von der Güte der Komponenten abhängig. Eine hohe Güte bedeutet, dass<br />
die Anregung der Komponente hauptsächlich in einer schmalbandigen Resonanzfrequenz<br />
auftritt und dafür bei anderen Frequenzen abgesenkt wird.<br />
Man ist deshalb darauf angewiesen Komponenten <strong>mit</strong> hoher Güte einzusetzen,<br />
um das nicht resonante Rauschen im Detektionsbereich zu senken.<br />
Andererseits ist man auf hochtransparente Materialien für die optischen Substrate<br />
angewiesen, was die Auswahl erheblich einschränkt. Eine weiterer Ansatz,<br />
das thermische Rauschen zu minimieren, besteht in der Kühlung der<br />
Testmassen. Dabei muss aber beachtet werden, dass die Güte von Materialien<br />
zuweilen stark temperaturabhängig ist.<br />
Über einigen Hundert Hertz senkt das Schrotrauschen die Empfindlichkeit<br />
von laserinterferometrischen Gravitationswellendetektoren. Das Schrotrauschen<br />
entsteht durch quantenmechanische Fluktuationen des Laserlichts.<br />
Normiert auf das Signal ist es umgekehrt proportional zur Wurzel der Leistung<br />
im <strong>Interferometer</strong>. Eine wesentliche Technologie zur Reduzierung des<br />
Schrotrauschens in allen realisierten und geplanten Detektoren ist die Leistungsüberhöhung<br />
im <strong>Interferometer</strong> durch einen teildurchlässigen Spiegel<br />
(Mpr) im Eingang des <strong>Interferometer</strong>s. Diese Technik wird als ” Power-Recycling“<br />
bezeichnet und ist in Abbildung 1.1 dargestellt. Der zusätzliche Spiegel<br />
bildet <strong>mit</strong> dem <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> einen optischen Resonator, in<br />
dem die Lichtleistung resonant überhöht wird. In GEO600, dem deutschbritischen<br />
laserinterferometrischen Gravitationswellendetektor werden zur<br />
Zeit Leistungen im kW-Bereich im <strong>Interferometer</strong> erreicht [3]. Für zukünftige<br />
Detektoren werden Laser <strong>mit</strong> Ausgangsleistungen von einigen 100 W<br />
entwickelt, wodurch im <strong>Interferometer</strong> um Größenordnungen höhere Leistungen<br />
erreicht werden könnten.<br />
Schon bei den gegenwärtigen Lichtleistungen werden trotz hochqualitativer<br />
Optiken <strong>mit</strong> Verlusten von 0,25 ppm/cm [4] thermooptische Effekte<br />
durch eine Restabsorption in den Substraten relevant. Durch die Ausbildung<br />
thermischer Linsen und thermischer Oberflächendeformationen treten<br />
Strahlverformungen auf, die die Leistungsfähigkeit des <strong>Interferometer</strong>s beschränken<br />
[5].<br />
Ein vielversprechender Ansatz zur Verringerung der genannten Rauschquellen<br />
stellen rein-reflektive <strong>Interferometer</strong>topologien auf Basis strahlteilender<br />
Reflexionsgitter dar [6]. Zum einen werden thermooptische Effekte<br />
effizient vermieden, was den Betrieb eines <strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> sehr hohen<br />
Leistungen ermöglichen soll. Auf diese Weise wird das Schrotrauschen, das<br />
gegenwärtige Detektoren bei hohen Frequenzen li<strong>mit</strong>iert, abgesenkt. Zum<br />
anderen können Optiken aus nicht-transparenten Materialien <strong>mit</strong> besseren<br />
mechanischen Eigenschaften für Substrate verwendet werden [7]. So bietet<br />
3
1 Einführung<br />
sich die Möglichkeit, das nicht-resonante thermische Rauschen im Detektionsband<br />
abzusenken, indem Materialien <strong>mit</strong> höherer Güte als bisher möglich<br />
verwendet werden. Ein ausführlicher Vergleich verschiedener Materialien ist<br />
in [8] zu finden.<br />
Erste Experimente von Sun [9] zeigten, dass <strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> Reflexionsgittern<br />
als <strong>Strahlteiler</strong> möglich sind. Dabei wurde ein Metallgitter verwendet,<br />
dessen Verluste über eine einfache Messung der Lichtleistungen in<br />
den Beugungsordnungen zu 3,6% bestimmt wurden. Durch Entwicklungen<br />
auf dem Gebiet der diffraktiven Optik können heute Reflexionsgitter auf<br />
Basis dielektrischer Materialien <strong>mit</strong> hoher Qualität hergestellt werden, die<br />
sich durch weitaus geringere Verluste auszeichnen.<br />
In dieser Arbeit wird erstmalig ein leistungsüberhöhtes <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s<br />
<strong>mit</strong>tels ” Power-Recycling“ <strong>mit</strong> speziell angefertigtem <strong>diffraktivem</strong><br />
<strong>Strahlteiler</strong> vorgestellt. Mit diesem Aufbau war es zudem möglich,<br />
die geringen optischen Gesamtverluste des verwendeten dielektrischen Gitterstrahlteilers<br />
über die Finesse des ” Power-Recycling“Resonators zu bestimmen.<br />
Die rein-reflektive Topologie eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong><br />
Gitterstrahlteiler bedingt, dass die gebeugten Teilstrahlen prinzipiell unterschiedliche<br />
Strahlprofile aufweisen und nach Propagation in den <strong>Interferometer</strong>armen<br />
im Allgemeinen nicht perfekt intereferieren, so dass der Kontrast<br />
des <strong>Interferometer</strong>s vermindert ist. Es wird ein Design für <strong>Interferometer</strong><br />
<strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> vorgestellt, dass sich auf sphärische Spiegel beschränkt<br />
und dennoch einen perfekten Kontrast erlaubt. Dies ist eine Vorraussetzung<br />
sowohl für die Bestimmung der Gitterverluste als auch für den<br />
Einsatz in hochpräzisen Laserinterferometern.<br />
4
KAPITEL 2<br />
Diffraktive <strong>Strahlteiler</strong><br />
Mikro- und nanostrukturierte optische Komponenten werden benutzt, um<br />
Lichtstrahlen zu manipulieren. Ein klassisches Phasengitter ist eine periodische<br />
Anordnung von Elementen, die die optische Weglänge für das Licht<br />
ändern. Die Phasenänderungen sind <strong>mit</strong> der Periodizität der Gitterstruktur<br />
moduliert und führen im Fernfeld auf die bekannten diskreten Beugungsordnungen.<br />
Reflexionsgitter müssen eine beugende Struktur <strong>mit</strong> einer hohen Reflektivität<br />
vereinen. Konventionell werden strukturierte Metalloberflächen<br />
verwendet, deren Reflektivität auf der Leitfähigkeit der Metalle basiert. Innerhalb<br />
des Materials wird deshalb ein Teil der einfallenden Laserleistung<br />
absorbiert und führt bei hohen Intensitäten zur Zerstörung der metallischen<br />
Schicht [10].<br />
Transparente dielektrische Materialien haben eine wesentlich geringere<br />
Absorption. Gitter aus diesen Materialien zeigen deshalb im Vergleich<br />
<strong>mit</strong> Metallgittern eine erhöhte Zerstörschwelle [11]. Eine hohe Reflektivität<br />
wird durch ein Schichtsystem aus dielektrischen Materialien <strong>mit</strong> alternierend<br />
niedrigem und hohem Brechungsindex erreicht, wie es von sogenannten Superspiegeln<br />
bekannt ist, und beruht auf konstruktiver Interferenz des an den<br />
einzelnen Schichten reflektierten Lichts. Neben den Vorteilen der geringen<br />
Absorption und der hohen Reflektivität bietet die Kombination von Schichtsystem<br />
und Gitterstruktur weitere Designparameter, die zur Optimierung<br />
der Beugungseigenschaften verwendet werden können [11].<br />
Beugungsgitter <strong>mit</strong> hoher Reflektivität und niedrigen Gesamtverlusten<br />
sind aus heutiger Sicht nur auf Basis dielektrischer Materialien herstellbar.
2 Diffraktive <strong>Strahlteiler</strong><br />
In den folgenden Abschnitten werden weitere grundlegende Aspekte strahlteilender<br />
Gitter näher beschrieben.<br />
2.1 Design von Gittern<br />
2.1.1 Die Gittergleichung<br />
Die Gittergleichung (2.1) verknüpft den Einfallswinkel αin <strong>mit</strong> dem Beugungswinkel<br />
αm der m-ten Beugungsordnung in Abhängigkeit der Wellenlänge<br />
λ und der Gitterperiode d. Für Beugungsordnungen in Reflexion lautet<br />
die Gittergleichung [12]<br />
sin(αin) + sin(αm) = mλ<br />
. (2.1)<br />
d<br />
Es gelten dann folgende Konventionen (siehe Abbildung 2.1). Die Winkel<br />
werden zum Lot auf die Gitteroberfläche gemessen, wobei die Winkel auf<br />
der Seite des einfallenden Strahls positiv und auf der anderen Seite negativ<br />
sind. Die höchste auftretende Beugungsordnung geht aus der Gitter-<br />
m=1<br />
d<br />
in<br />
α in<br />
α 1<br />
+ _<br />
α 0<br />
m=0<br />
Abbildung 2.1: Parameter und Vorzeichenkonvention der Gittergleichung.<br />
gleichung hervor und ist durch m ≤ 2d/λ eingeschränkt. Dies ist für die<br />
0. Beugungsordnung immer erfüllt und beschreibt das Reflexionsgesetz, bei<br />
dem der Einfallswinkel dem Ausfallswinkel entspricht. Für den <strong>Strahlteiler</strong><br />
eines <strong>Interferometer</strong>s soll zusätzlich zur 0. Ordnung nur die 1.Ordnung<br />
existieren.<br />
Das Auftreten von Beugungsordnungen und ihre Richtungen werden einzig<br />
durch die Parameter der Gittergleichung festgelegt. Sie sind so<strong>mit</strong> unabhängig<br />
von der Form der Gitterstruktur, der verwendeten Materialien und<br />
der Polarisation des Lichts. Das Zusammenspiel der genannten Parameter<br />
bestimmt aber die Beugungseffizienzen, wie die auf die Eingangsleistung<br />
6
2.1 Design von Gittern<br />
normierten gebeugten Intensitäten genannt werden. Das Finden eines optimalen<br />
Designs muss die gesamten Parameter berücksichtigen und ist nur<br />
durch computergestützte Simulationen möglich.<br />
2.1.2 Rigorose Methoden<br />
Während die geometrischen Beugungseigenschaften, beschrieben durch die<br />
Gittergleichung (2.1), schon seit Anfang des 19. Jahrhunderts bekannt sind,<br />
wird die exakte Bestimmung der Intensitätsverteilung erst seit Mitte der<br />
1960er Jahre erfolgreich versucht. Für die Grenzfälle sehr großer oder sehr<br />
kleiner Gitterperioden existieren Näherungsmethoden (skalare Beugungstheorien<br />
bzw. effektiver Brechungsindex) [13], die nicht mehr funktionieren,<br />
wenn die Gitterperiode und die Lichtwellenlänge von gleicher Größenordnung<br />
sind. In diesem Fall muss das System der Maxwell-Gleichungen <strong>mit</strong><br />
Randbedingungen gelöst werden, um den vektoriellen Charakter der elektromagnetischen<br />
Strahlung zu berücksichtigen. Diese Verfahren werden unter<br />
dem Namen rigorose Methoden zusammengefasst. In [14] wird eine Übersicht<br />
verschiedener Methoden gegeben und ihre Brauchbarkeit in Bezug auf<br />
unterschiedliche Gittertypen erläutert. Es existiert weiterhin eine Reihe an<br />
kommerzieller Software, die sich dieser Methoden bedienen [15, 16, 17]. Eine<br />
verbreitete Methode ist die ” Rigorous Coupled Wave Analysis“ (RCWA),<br />
auch bekannt als Fourier Modal Methode, die zunächst für binäre Strukturen<br />
entwickelt wurde. Das Gitter wird in Schichten zerlegt, die aus zwei<br />
periodisch angeordneten Dielektrika bestehen. Am Rand eines als homogen<br />
angenommenen Dielektrikums müssen die Lösungen stetig sein, was auf<br />
ein Eigenwertproblem führt. Dieses Eigenwertproblem muss für jede Schicht<br />
gelöst werden. Die Lösungen der einzelnen Schichten werden wiederum durch<br />
Randbedingungen <strong>mit</strong>einander verknüpft. Auf diese Weise entstehen große<br />
Gleichungssysteme, die nur computergestützt in adäquater Zeit gelöst werden<br />
können. Da auch kompliziertere Gitterprofile in einzelne Schichten zerlegt<br />
werden können (Treppenstufennäherung), ist die RCWA vielfältig anwendbar.<br />
2.1.3 Dielektrische Reflexionsgitter<br />
Dielektrische Reflexionsgitter bestehen aus einem Substrat, einem hochreflektierenden<br />
Schichtsystem aus dielektrischen Materialien und der beugenden<br />
Struktur. Das Schichtsystem besteht aus Materialien <strong>mit</strong> abwechselnd<br />
niedrigem und hohem Brechungsindex. Durch vielfache konstruktive Interferenz<br />
an einzelnen λ/4 Schichten kann ein hohes Reflexionsvermögen erreicht<br />
werden. Für einen dielektrischen Spiegel wurde eine Reflektivität von<br />
99.9998 % bei gegebener Wellenlänge erreicht [18].<br />
Die optischen Eigenschaften eines Gitters hängen insbesondere von der<br />
Kombination des Schichtsystems und der beugenden Struktur ab. Es gibt<br />
7
2 Diffraktive <strong>Strahlteiler</strong><br />
zwei grundlegende Ansätze, die schematisch in Abbildung 2.2 dargestellt<br />
sind. Entweder kann die oberste Lage des Schichtsystems strukturiert wer-<br />
HR-Schichtsystem<br />
Substrat<br />
a) b)<br />
HR-Schichtsystem<br />
Substrat<br />
Abbildung 2.2: Zwei Ansätze für dielektrische Gitter. a) Die Gitterstruktur wird<br />
in die oberste Schicht eines hochreflektierenden Schichtsystems geätzt. b) Die Gitterstruktur<br />
wird überbeschichtet<br />
den [19] oder es wird zuerst das Substrat <strong>mit</strong> einer Gitterstruktur versehen<br />
und anschließend überbeschichtet [20]. Transmission, Streulicht und erreichbare<br />
Beugungseffizienzen hängen von dieser Wahl ab und wurden in [21] für<br />
niedereffiziente Gitter untersucht.<br />
Die Überbeschichtung führt prinzipiell zu einem Auswaschen der Gitterstruktur.<br />
An der Oberfläche werden dementsprechend nur geringe Beugungseffizienzen<br />
erreicht. In die tieferen Schichten <strong>mit</strong> ausgeprägterer Struktur<br />
gelangt durch das Schichtsystem nur wenig Licht. Dieser Ansatz eignet sich<br />
deshalb besonders zur Herstellung von Gittern <strong>mit</strong> niedrigen Beugungseffizienzen.<br />
Die Überbeschichtung bietet zudem den Vorteil, dass sie sich reduzierend<br />
auf Streulicht auswirkt, da kleinere Unebenheiten und Oberflächenrauhigkeiten<br />
gemindert werden. Die Störung des Schichtsystems wirkt sich<br />
dagegen nachteilig auf das Reflexionsverhalten aus. Der Beschichtungsprozess<br />
führt zudem zu Veränderungen der Gitterstruktur, was die Simulation<br />
der Beugungs- und Reflexionseigenschaften schwierig macht.<br />
Im Fall eines unterschichteten Gitters liegt ein ungestörtes Schichtsystem<br />
vor, das sich zunächst einzeln berechnen lässt. Die zu erwartenden Verluste<br />
durch Transmission sind dementsprechend geringer. Ein <strong>Strahlteiler</strong> in<br />
laserinteferometrischen Anwendungen soll idealerweise ein 50/50 Teilungsverhältnis<br />
haben. Dafür ist eine ausgeprägte Gitterstruktur erforderlich, wie<br />
sie ein unterschichtetes Gitter bietet. Die Designparameter für ein binär<br />
strukturiertes Gitter sind in Abbildung 2.3 dargestellt. Neben der Gitterperiode<br />
sind dies die Stegbreite, die Grabentiefe und die Restdicke der obersten<br />
Schicht. Häufig werden auch die Begriffe Füllfaktor für das Verhältnis von<br />
Stegbreite zu Gitterperiode und das Aspektverhältnis für den Quotient aus<br />
Ätztiefe und Stegbreite verwendet. Aus Parameterstudien der genannten<br />
Größen lässt sich dann ein optimales Design finden. Eine ausführliche Dar-<br />
8
Stegbreite<br />
HR-Beschichtung<br />
Substrat<br />
Periode<br />
2.1 Design von Gittern<br />
Grabentiefe<br />
Restdicke der<br />
obersten Schicht<br />
Abbildung 2.3: Parameter beim Gitterdesign für ein unterschichtetes Gitter.<br />
stellung dieses Prozesses ist in [22] für einen in dieser Arbeit verwendeten<br />
Gitterstrahlteiler zu finden. Dabei werden sowohl herstellungsbedingte Faktoren<br />
berücksichtigt als auch Parametertoleranzen besprochen. Der Herstellungsprozess<br />
binärer Gitterstrukturen <strong>mit</strong> Elektronenstrahllithografie und<br />
anschließendem isotropen Ionenätzen wird ebenfalls ausführlich erläutert.<br />
9
2 Diffraktive <strong>Strahlteiler</strong><br />
10
KAPITEL 3<br />
Grundlagen der verwendeten<br />
optischen Systeme<br />
In diesem Kapitel werden einige grundlegenden Begriffe zu den in dieser Arbeit<br />
verwendeten optischen Systemen eingeführt. Dabei handelt es sich um<br />
ein <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> und einen Fabry-Perot Resonator. Desweiteren<br />
wird die Leistungsüberhöhung in einem <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> durch<br />
einen zusätzlichen Spiegel vor dem <strong>Interferometer</strong> beschrieben, das sogenannte<br />
” Power-Recycling“. Auf den optischen Eigenschaften dieser Systeme<br />
beruht die Bestimmung der Gitterverluste im experimentellen Teil dieser<br />
Arbeit.<br />
Diese optischen Systeme werden aus Spiegeln und <strong>Strahlteiler</strong> gebildet.<br />
Die Wirkung dieser einzelnen Elemente auf Amplitude und Phase des Lichts<br />
lässt sich <strong>mit</strong> einem Streumatrixformalismus beschreiben, der einleitend dargestellt<br />
und auf die Komponenten angewendet wird. Anschließend werden<br />
die oben genannten Anordnungen auf Basis dieses Formalismus diskutiert.<br />
3.1 Streumatrixformalismus<br />
Mit Hilfe eines Streumatrixformalismus [23] lassen sich die Eigenschaften<br />
optischer Komponenten bezüglich Amplitude und Phase von Licht in allgemeiner<br />
Form beschreiben. Koppeln an einer optischen Komponente n verschiedene<br />
Lichtfelder <strong>mit</strong>einander, wird diese durch eine n × n Streumatrix<br />
Sn repräsentiert. Die komplexen Amplituden an den Ein- und Ausgängen
3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />
werden zu Spaltenvektoren a bzw. b zusammengefasst und durch die Streumatrix<br />
verknüpft<br />
b = Sn × a. (3.1)<br />
Die Einträge der Streumatrix beinhalten sowohl Amplituden- als auch Phasenbeziehungen<br />
der ein- und auslaufenden Lichtfelder. Die allgemeinste Form<br />
einer n × n Streumatrix ist gegeben durch<br />
⎛<br />
⎞<br />
⎜<br />
Sn = ⎜<br />
⎝<br />
c11eiφ11 c12eiφ12 . . . c1neiφ1n c21eiφ21 c22eiφ22 . . . c2neiφ2n .<br />
.<br />
. ..<br />
cn1e iφn1 cn2e iφn2 . . . cnne iφnn<br />
.<br />
⎟<br />
⎠<br />
(3.2)<br />
<strong>mit</strong> den als reel angenommenen Amplitudenkoeffizienten cij und den Phasen<br />
φij. Die Elemente der Hauptdiagonalen verknüpfen die einfallenden <strong>mit</strong> den<br />
in sich reflektierten Anteilen an einer Schnittstelle i = j, die üblicherweise<br />
als Port bezeichnet wird, während die Nicht-Diagonalelemente den Übergang<br />
von einem Eingang j zu einem Ausgang i �= j beschreiben. Da<strong>mit</strong> die<br />
Matrix eine physikalische Komponente repräsentiert, sind die Einträge nicht<br />
beliebig wählbar. Die Prinzipien der Energieerhaltung und Zeitumkehr beschränken<br />
die möglichen Einträge. Für Energieerhaltung muss sichergestellt<br />
werden, dass die gesamte Eingangsleistung Iin identisch <strong>mit</strong> der gesamten<br />
Ausgangsleistung Iout ist. An einem Ausgang i ist die Leistung gegeben<br />
durch das Betragsquadrat |bi| 2 . Die von der Komponente ausgehende Gesamtleistung<br />
berechnet sich aus der Summe der Einzelleistungen und lässt<br />
sich durch<br />
⎛ ⎞<br />
Iout =<br />
n�<br />
b ∗ i bi = � b∗ 1 ,b∗2 ,b∗ � ⎜<br />
3 , . . . ⎜<br />
⎝<br />
i=1<br />
b1<br />
b2<br />
b3<br />
. . .<br />
⎟<br />
⎠ = b† × b (3.3)<br />
in das Vektorprodukt von b <strong>mit</strong> seinem her<strong>mit</strong>esch konjugierten b † umschreiben.<br />
In dieser Notation ergibt sich die Verbindung der Ausgangs- zur<br />
Eingangsleistung aus<br />
Iout = b † b = (Sa) † (Sa) = a † (S † S)a, (3.4)<br />
Da<strong>mit</strong> Energieerhaltung gilt, muss die Streumatrix unitär sei, und so<strong>mit</strong><br />
Iin = Iout ⇒ S † S = 1 (3.5)<br />
gelten. Zusätzlich gilt für eine reziproke Komponente, dass die Einträge der<br />
Streumatrix<br />
|Sij| = |Sji| (3.6)<br />
12
3.1 Streumatrixformalismus<br />
erfüllen müssen. Durch die Bedingungen (3.5) und (3.6) werden für eine<br />
gegebene Komponente die Amplitudenkoeffizienten cij eindeutig festgelegt.<br />
Die Phasen φij werden ebenfalls bestimmt, sind aber nicht eindeutig, da die<br />
Bezugsebene an einer Komponente unterschiedlich definiert werden kann. In<br />
den folgenden Abschnitten wird dieser Formalismus auf die für das Experiment<br />
relevanten Komponenten angewendet.<br />
Spiegel als 2-Port Komponente<br />
Ein verlustfreier, teildurchlässiger Spiegel unter einem Einfallswinkel von<br />
0 ◦ (Abbildung 3.1) verändert im Allgemeinen die Amplitude und Phase des<br />
Lichts. Die 2 × 2 Streumatrix S2 dieser Komponente <strong>mit</strong> den Amplituden-<br />
a 1<br />
b 1<br />
ρ,τ<br />
Abbildung 3.1: Die Amplituden an einem halbdurchlässigen Spiegel als 2-Port<br />
Komponente.<br />
reflektivitäten ρ und Amplitudentransmissivitäten τ lautet<br />
�<br />
iφ11 ρe<br />
S2 =<br />
τeiφ12 �<br />
. (3.7)<br />
τe iφ21 ρe iφ22<br />
Die geforderte Unitarität (3.5) der Streumatrix führt auf folgendes Gleichungssystem:<br />
b 2<br />
a 2<br />
�<br />
ρτ e i(φ11−φ21) i(φ12−φ22)<br />
+ e �<br />
�<br />
ρτ e i(φ21−φ11) i(φ22−φ12)<br />
+ e �<br />
ρ 2 + τ 2 = 1, (3.8)<br />
= 0, (3.9)<br />
= 0. (3.10)<br />
Die erste Bedingung wird durch die Annahme einer verlustfreien Komponente<br />
erfüllt. Eine mögliche Lösung des Gleichungssystems der Phasenbeziehungen<br />
besteht in der symmetrischen Verteilung auf die Transmission<br />
(φ12 = φ21 = π<br />
2 ), so dass in Reflexion kein Phasensprung (φ11 = φ22 = 0)<br />
stattfindet. Die Streumatrix wird dann durch<br />
S2 =<br />
� ρ iτ<br />
iτ ρ<br />
�<br />
. (3.11)<br />
dargestellt. Eine andere Möglichkeit ordnet einer Reflexion einen Phasensprung<br />
von φ11 = π zu, so dass für die anderen Übergänge φ12 = φ21 =<br />
13
3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />
φ22 = 0 gilt und die Streumatrix gegeben ist durch:<br />
S2 =<br />
� −ρ τ<br />
τ ρ<br />
<strong>Strahlteiler</strong> als 4-Port Komponente<br />
�<br />
. (3.12)<br />
Bei schrägem Einfall auf einen teildurchlässigen Spiegel erhält man einen<br />
<strong>Strahlteiler</strong> <strong>mit</strong> vier Ein- und Ausgängen, wie in Abbildung 3.2 dargestellt.<br />
Da jeder Eingang nur <strong>mit</strong> zwei Ausgängen verbunden ist vereinfacht sich die<br />
a 1<br />
b 1<br />
ρ,τ<br />
b 2<br />
a 4<br />
Abbildung 3.2: Amplituden am <strong>Strahlteiler</strong> als 4-Port Komponente.<br />
Streumatrix zu<br />
S4 =<br />
⎛<br />
⎜<br />
⎝<br />
a 2<br />
b 4<br />
b 3<br />
a 3<br />
0 ρe iφ12 τe iφ13 0<br />
ρe iφ21 0 0 τe iφ24<br />
τe iφ31 0 0 ρe iφ34<br />
0 τe iφ42 ρe iφ43 0<br />
⎞<br />
⎟<br />
⎠ . (3.13)<br />
Die zu lösenden Gleichungen für eine unitäre Streumatrix lauten<br />
�<br />
ρτ e i(φ12−φ42) i(φ13−φ43)<br />
+ e �<br />
�<br />
ρτ e i(φ21−φ31) i(φ24−φ34)<br />
+ e �<br />
�<br />
ρτ e i(φ31−φ21) i(φ34−φ24)<br />
+ e �<br />
�<br />
ρτ e i(φ42−φ12) i(φ43−φ13)<br />
+ e �<br />
ρ 2 + τ 2 = 1, (3.14)<br />
= 0, (3.15)<br />
= 0, (3.16)<br />
= 0, (3.17)<br />
= 0. (3.18)<br />
Wegen der Analogie zu dem Spiegel unter 0 ◦ , stellen die gleichen Phasenbeziehungen<br />
für die reflektierten und trans<strong>mit</strong>tierten Anteile eine Lösung dar.<br />
14
3.1 Streumatrixformalismus<br />
In dieser Arbeit wird für den <strong>Strahlteiler</strong> die zu (3.12) äquivalente Phasenwahl<br />
bevorzugt, das bedeutet φ12 = φ21 = π und φ13 = φ31 = φ24 = φ42 =<br />
φ34 = φ43 = 0, so dass die Streumatrix durch<br />
S4 =<br />
⎛<br />
⎜<br />
⎝<br />
0 −ρ τ 0<br />
−ρ 0 0 τ<br />
τ 0 0 ρ<br />
0 τ ρ 0<br />
⎞<br />
⎟<br />
⎠<br />
(3.19)<br />
gegeben ist. Die gefundenen Streumatrizen (3.11) und (3.19) beschreiben<br />
verlustfreie 2-Port und 4-Port Komponenten, bei denen jeweils nur 2 Ports<br />
<strong>mit</strong>einander koppeln. Ein weiteres Beispiel für eine solche Komponente ist<br />
der diffraktive <strong>Strahlteiler</strong>.<br />
Rein-reflektiver <strong>Strahlteiler</strong><br />
Durch eine diffraktive Optik kann Licht in eine vorgegebene Anzahl diskreter<br />
Beugungsordnungen aufgeteilt werden. Ein Gitter <strong>mit</strong> zwei Beugungsordnungen<br />
ermöglicht die Realisierung von 2-Port und 4-Port Komponenten.<br />
Wird die 1.Ordnung in Richtung des einfallenden Strahls gebeugt (Littrow-<br />
Konfiguration), wie in Abbildung 3.3 dargestellt, liegt eine 2-Port-Komponente<br />
vor, die auf gleiche Weise <strong>mit</strong> dem Streumatrixformalismus beschrieben<br />
werden kann wie der Spiegel unter 0 ◦ . In der Streumatrix (3.11) oder (3.12)<br />
a 1<br />
b 1<br />
η 0,η 1<br />
Abbildung 3.3: Amplituden am Gitterstrahlteiler als 2-Port Komponente.<br />
müssen lediglich die Amplitudenreflektivität ρ durch die Beugungseffizienz<br />
in die 1. Ordnung η1 und die Amplitudentransmission τ durch die Beugungseffizienz<br />
in die 0. Ordnung η0 ersetzt werden.<br />
Für einen rein-reflektiven <strong>Strahlteiler</strong> <strong>mit</strong> vier Ports wird das gleiche<br />
Gitter in einer nicht-Littrow Konfiguration verwendet, wie in Abbildung 3.4<br />
dargestellt. Mit den Ersetzungen ρ durch η0 und τ durch η1 in (3.19) erhält<br />
15<br />
a 2<br />
b 2
3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />
a 3<br />
b 3<br />
a 1<br />
b 1<br />
η 0,η 1<br />
a 2<br />
b2 a4 Abbildung 3.4: Amplituden am Gitterstrahlteiler als 4-Port Komponente<br />
man eine Streumatrix des diffraktiven <strong>Strahlteiler</strong>s, die gegeben ist durch<br />
⎛<br />
0<br />
⎜ −η0<br />
S4G = ⎜<br />
⎝<br />
−η0<br />
0<br />
η1<br />
0<br />
⎞<br />
0<br />
η1 ⎟<br />
⎠ . (3.20)<br />
η1 0 0 η0<br />
0 η1 η0 0<br />
Die Ergebnisse der nachfolgend beschriebenen optischen Systeme sind demnach<br />
unabhängig davon, ob trans<strong>mit</strong>ierende oder rein-reflektierende Optiken<br />
verwendet werden.<br />
Länge<br />
Propagiert Licht über eine endliche Länge L im Vakuum (Abbildung 3.5)<br />
wird nur die Phase des Lichts verändert nicht aber die Amplitude. Dieser<br />
a 1<br />
b1<br />
L<br />
Abbildung 3.5: Eine Propagation als optische Komponente.<br />
Zusammenhang wird durch die Streumatrix<br />
�<br />
0 eikL SL =<br />
eikL �<br />
0<br />
b 4<br />
a 2<br />
b 2<br />
(3.21)<br />
ausgedrückt, wobei k = 2π/λ die Wellenzahl zur Wellenlänge λ ist. Die<br />
Nullen auf der Hauptdiagonalen drücken aus, dass entgegengesetzt laufende<br />
Wellen nicht <strong>mit</strong>einander koppeln.<br />
16
3.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
3.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
Der schematische Aufbau eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s ist in Abbildung 3.6<br />
gezeigt. Das einfallende Licht wird an einem <strong>Strahlteiler</strong> in zwei Strahlen aufgeteilt.<br />
Nach Propagation in den beiden Armen werden die Strahlen durch<br />
hochreflektierende Spiegel in sich zurückreflektiert. Am <strong>Strahlteiler</strong> werden<br />
sie erneut aufgeteilt und <strong>mit</strong>einander überlagert. Die in Abbildung 3.6 ge-<br />
Laser<br />
a in<br />
b −<br />
b 2<br />
0<br />
a2 ρ bs,τbs<br />
b1 Abbildung 3.6: Modell eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s<br />
kennzeichneten Amplituden am <strong>Strahlteiler</strong> werden nach (3.19) durch die<br />
Streumatrix<br />
⎛ ⎞ ⎛<br />
⎞⎛<br />
⎞<br />
⎜<br />
⎝<br />
b−<br />
b1<br />
b2<br />
b+<br />
⎟<br />
⎠ =<br />
⎜<br />
⎝<br />
b +<br />
ρ m<br />
a 1<br />
0 −ρbs τbs 0<br />
−ρbs 0 0 τbs<br />
τbs 0 0 ρbs<br />
0 τbs ρbs 0<br />
⎟⎜<br />
⎟⎜<br />
⎠⎝<br />
ain<br />
a1<br />
a2<br />
0<br />
ρ m<br />
⎟<br />
⎠<br />
(3.22)<br />
verknüpft, wobei ρbs die Amplitudenreflektivität und τbs die Amplitudentransmissivität<br />
des <strong>Strahlteiler</strong>s sind. Durch die Propagation im <strong>Interferometer</strong><br />
ergeben sich zusätzliche Phasenbeziehungen, die von den Armlängen<br />
L1 und L2 abhängen. Unter der Annahme, dass die Endspiegel jeweils gleiche<br />
Amplitudenreflektivitäten ρm haben, gilt<br />
a1 = b1e i2kL1 ρm und a2 = b2e i2kL2 ρm. (3.23)<br />
Die Kombination der Gleichungen (3.22) und (3.23) liefert die Amplituden<br />
an den Ausgängen b+ und b−. Normiert auf die Eingangsamplitude ain sind<br />
vom Laser aus gesehen die Amplitudenreflektivität rmi und Amplituden-<br />
17
3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />
transmissivität tmi des <strong>Interferometer</strong>s gegeben durch<br />
rmi = b−<br />
ain<br />
tmi = b+<br />
ain<br />
=<br />
�<br />
ρ 2 bseikL2 2<br />
+ τbse ikL1<br />
�<br />
ρm, (3.24)<br />
= −ρbsτbs<br />
�<br />
e ikL2<br />
�<br />
ikL1 − e ρm. (3.25)<br />
Die am symmetrischen Ausgang b+ interferierenden Felder wurden jeweils<br />
einmal reflektiert und trans<strong>mit</strong>tiert, so dass ihre Amplituden unabhängig<br />
vom Teilungsverhältnis des <strong>Strahlteiler</strong>s gleich groß sind, während die Anteile<br />
im asymmetrischen Ausgang b− zweimal reflektiert bzw. trans<strong>mit</strong>tiert<br />
wurden. Die Betragsquadrate von (3.24) und (3.25) ergeben die entsprechenden<br />
normierten Leistungen<br />
�<br />
�<br />
I− = �<br />
�<br />
b−<br />
ain<br />
�<br />
�<br />
�<br />
�<br />
�<br />
�<br />
I+ = �<br />
�<br />
2<br />
b+<br />
ain<br />
= � τ 4 bs + ρ4 bs + 2τ2 bs ρ2 bs cos(2k∆L)� ρ 2 m, (3.26)<br />
�<br />
�<br />
�<br />
�<br />
2<br />
= 2τ 2 bs ρ2 bs [1 − cos(2k∆L)] ρ2 m, (3.27)<br />
wobei ∆L = L2 − L1 abgekürzt wurde. Eine Änderung der Armlängendifferenz<br />
∆L ( differential mode“) führt zu einer relativen Phasenänderung<br />
”<br />
φmi = 2k∆L der interferierenden Strahlen, die als Leistungsänderung an den<br />
Ausgängen detektiert werden kann, wie in Abbildung 3.7 dargestellt. Dabei<br />
entspricht beispielsweise das angegebene Teilungsverhältnis 40/60 τ2 bs = 0.4<br />
und ρ2 bs = 0.6. Eine gemeinsame Bewegung der Spiegel ( common mode“)<br />
”<br />
ändert ∆L und da<strong>mit</strong> die Intensität in den Ausgängen nicht.<br />
3.2.1 Arbeitspunkt<br />
In laserinterferometrischen Experimenten können die Spiegelpositionen aktiv<br />
auf einen konstanten Armlängenunterschied geregelt werden, um einen<br />
kontinuierlichen Betrieb zu ermöglichen. Man unterscheidet im wesentlichen<br />
drei verschiedene Arbeitspunkte, die in Abbildung 3.8 dargestellt sind. Ist<br />
das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> bei φmi = ±π/2 auf einer Flanke der Intensitätskurve<br />
( ” mid-fringe“) eingestellt führt eine Phasenänderung zu einer<br />
maximalen Intensitätsänderung am Ausgang. Es muss dann aber die Hälfte<br />
der im <strong>Interferometer</strong> umlaufenden Leistung detektiert werden, was auf<br />
Grund der geplanten hohen Intensitäten in Gravitationswellendetektoren<br />
technisch schwer handhabbar ist. Außerdem ist es günstiger kleine Signale<br />
separiert von hohen Leistungen zu detektieren. Dafür bietet sich das Intensitätsminimum<br />
( ” dark-fringe“) bei φmi = 0 im symmetrischen Ausgang an.<br />
18
normierte Leistung [willk. Einheiten]<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
3.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
I + 50/50<br />
I - 50/50<br />
I + 40/60<br />
I - 40/60<br />
-6 -4 -2 0<br />
φmi [rad]<br />
2 4 6<br />
Abbildung 3.7: Auf die Eingangsleistung normierte Leistungen am symmetrischen<br />
Ausgang I+ und asymmetrischen Ausgang I− des <strong>Interferometer</strong>s für zwei<br />
verschiedene Teilungsverhältnisse des <strong>Strahlteiler</strong>s und vollständig reflektierenden<br />
Endspiegeln ρ 2 m = 1. Nur am symmetrischen Ausgang I+ kann unabhängig vom<br />
Teilungsverhältnis des <strong>Strahlteiler</strong>s das Licht vollständig destruktiv interferieren.<br />
Im dunklen Ausgang ist allerdings die Intensität in erster Ordnung unempfindlich<br />
gegen Phasenänderungen und nimmt unabhängig von der Richtung<br />
der Verstimmung zu, so dass die Abweichung nicht direkt bestimmt werden<br />
kann. Eine Möglichkeit ist, den Operationspunkt des <strong>Interferometer</strong>s leicht<br />
neben den ” dark-fringe“ zu setzen und das verbleibende Licht als Lokaloszillator<br />
zu benutzen. Dies ist unter Homodyn-Detektion bekannt [24]. Eine<br />
weitere Möglichkeit besteht darin Modulations- Demodulationstechniken<br />
zu verwenden. In beiden Fällen lassen sich Phasenänderungen richtungsabhängig<br />
nachweisen. Im letzen Fall ist es zudem möglich, die Messung zu<br />
höheren Frequenzen zu verschieben, wo technisches Rauschen einen geringeren<br />
Einfluss hat. In [25] finden sich ausführliche Beschreibungen zu den drei<br />
sogenannten Heterodyn-Methoden: interne, externe und Schnupp Modulation.<br />
Wenn das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> auf dem dunklen Ausgang betrieben<br />
wird, ist im verlustfreien Fall |rmi| 2 = 1 und die gesamte Leistung läuft zum<br />
Laser zurück. Durch einen Spiegel im Eingang kann dieses Licht wiederverwertet<br />
werden, indem es für eine Leistungsüberhöhung resonant in das<br />
<strong>Interferometer</strong> zurückgekoppelt wird, das sogenannte ” Power-Recycling“.<br />
19
3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />
I + [willk. Einheiten]<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
bright-fringe<br />
mid-fringe<br />
dark-fringe<br />
-4 -3 -2 -1 0<br />
φmi [rad]<br />
1 2 3 4<br />
Abbildung 3.8: Mögliche Arbeitspunkte eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s. Gezeigt<br />
ist die Leistung am symmetrischen Ausgang I+ über der Verstimmung φmi des<br />
<strong>Interferometer</strong>s durch den Armlängenunterschied.<br />
3.2.2 Kontrast<br />
In realen <strong>Interferometer</strong>n wird ein perfekt dunkler Ausgang nicht erreicht.<br />
Das Interferenzvermögen der Teilstrahlen bei Überlagerung am <strong>Strahlteiler</strong><br />
wird im Experiment durch folgende Faktoren vermindert:<br />
• Unterschiedliche Verluste in den <strong>Interferometer</strong>armen und an den Endspiegeln<br />
führen zu unterschiedlichen Amplituden am <strong>Strahlteiler</strong>, die<br />
sich am dunklen Ausgang des <strong>Interferometer</strong>s nicht mehr vollständig<br />
auslöschen können.<br />
• Eine Verkippung der Teilstrahlen gegeneinander sowie unterschiedliche<br />
Strahlprofile in den Armen führen zu einem geringeren Überlapp der<br />
Lichtrahlen, so dass nicht das gesamte Licht <strong>mit</strong>einander interferieren<br />
kann.<br />
• Durch Modulationstechniken werden dem Licht Seitenbänder aufgeprägt,<br />
die das <strong>Interferometer</strong> in den dunklen Ausgang verlassen, da die<br />
Bedingung für destruktive Interferenz im Allgemeinen nicht gleichzeitig<br />
für Träger und Seitenbänder erfüllt ist.<br />
Der Kontrast ist eine charakteristische Größe für ein reales <strong>Interferometer</strong>,<br />
der das Interferenzvermögen der Teilstrahlen ausdrückt, wie im folgenden<br />
gezeigt wird. Ausgangspunkt ist die Überlagerung der Amplituden a1 und<br />
a2 an einem 50/50-<strong>Strahlteiler</strong>. Die Intensität an einem Ausgang ist dann<br />
20
gegeben durch<br />
3.3 Fabry-Perot Resonator<br />
Iideal = 1<br />
2 |a1 + a2| 2 = 1 �<br />
|a1|<br />
2<br />
2 + |a2| 2 + 2 |a1a ∗ 2| cos(∆φ) � , (3.28)<br />
wobei die ersten beiden Terme die ge<strong>mit</strong>telten Einzelintensitäten angeben,<br />
während der dritte Term von der relativen Phase ∆φ abhängt und die Interferenz<br />
beschreibt. Der Interferenzterm wird durch einen schlechteren Überlapp<br />
der Teilstrahlen kleiner sein, was in<br />
Ireal = 1 �<br />
|a1|<br />
2<br />
2 + |a2| 2 + 2C0 |a1a ∗ 2|cos(∆φ) �<br />
(3.29)<br />
durch 0 ≤ C0 ≤ 1 repräsentiert wird [24]. Im Experiment wird der Kontrast<br />
gemessen, der definiert ist als<br />
C = Imax − Imin<br />
Imax + Imin<br />
= C0<br />
2|a1a∗ 2 |<br />
|a1| 2 + |a2| 2 = C0Cmax, (3.30)<br />
wobei Imax und Imin die maximale bzw. minimale Intensität gemäß (3.29)<br />
sind. Für den Fall gleicher Amplituden (a1 = a2) gilt Cmax = 1 und der<br />
Kontrast entspricht der Kohärenz C0 [26]. Formt man den Kontrast um zu<br />
C = Imax<br />
Iges<br />
− Imin<br />
Iges<br />
(3.31)<br />
= 1 − 2 Imin<br />
, (3.32)<br />
Iges<br />
dann ist das Verhältnis der minimalen Intensität zur Gesamtintensität gegeben<br />
durch<br />
Imin<br />
Iges<br />
= 1 − C<br />
. (3.33)<br />
2<br />
Der Kontrast C ist da<strong>mit</strong> ein qualitatives Maß für die Verluste im dunklen<br />
Ausgang, die auf Grund von Asymmetrien in den <strong>Interferometer</strong>armene entstehen.<br />
Als Folge wird zum Einen die oben erwähnte Leistungsüberhöhung<br />
durch diese Verluste li<strong>mit</strong>iert und zum Anderen die Detektion von Signalen<br />
im Ausgang erschwert.<br />
3.3 Fabry-Perot Resonator<br />
Ein optischer Resonator besteht aus zwei oder mehr Spiegeln, die so angeordnet<br />
sind, dass Licht mehrfach denselben Weg durchläuft und unterschiedliche<br />
Anteile des Lichts <strong>mit</strong>einander interferieren können. Im einfachsten Fall sind<br />
zwei Spiegel in einem Abstand l angeordnet. Wird Licht am ersten Spiegel<br />
eingekoppelt, kann es mehrfach zwischen den Spiegeln reflektiert werden,<br />
21
3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />
wobei entsprechend der Spiegeltransmissivitäten ein Teil aus dem Resonator<br />
ausgekoppelt wird. Je nach Phasenlage wird das Licht im Resonator<br />
konstruktiv oder destruktiv interferieren und im ersten Fall ein starkes Feld<br />
aufbauen. Im Model des Fabry-Perot Resonators aus Abbildung 3.9 sind die<br />
beteiligten Amplituden eingezeichnet. An den Spiegeln werden die Ampli-<br />
a 0<br />
a 4<br />
ρ 1 ,τ 1<br />
a 1<br />
a‘ 3<br />
l<br />
a‘ 1<br />
a 3<br />
ρ 2 ,τ 2<br />
Abbildung 3.9: Model eines Fabry-Perot-Resonators<br />
tuden <strong>mit</strong> der Streumatrix (3.11) durch<br />
� � �<br />
a4 ρ1 iτ1<br />
=<br />
a1 iτ1 ρ1<br />
� a3<br />
a2<br />
� �<br />
ρ2 iτ2<br />
=<br />
iτ2 ρ2<br />
�� a0<br />
a ′ 3<br />
�� a ′ 1<br />
0<br />
a 2<br />
0<br />
�<br />
, (3.34)<br />
�<br />
(3.35)<br />
verknüpft. Die Länge l des Resonators bewirkt zusätzliche Phasenänderungen,<br />
die gemäß (3.21) durch<br />
� � �<br />
a ′<br />
3 0 eikl =<br />
eikl �� �<br />
a1<br />
(3.36)<br />
0<br />
a ′ 1<br />
bestimmt werden. Aus den linearen Gleichungen (3.34, 3.35 und 3.36) lassen<br />
sich die gesuchten Amplituden zu<br />
auflösen, wobei der Resonanzfaktor<br />
a3<br />
a1 = a0diτ1, (3.37)<br />
a2 = −a0dτ1τ2e ikl , (3.38)<br />
a3 = a0diρ2τ1e ikl , (3.39)<br />
� � 2<br />
a4 = a0d ρ1 − ρ2 ρ1 + τ 2� 2ikl<br />
1 e �<br />
(3.40)<br />
d =<br />
1<br />
1 − ρ1ρ2e 2ikl<br />
22<br />
(3.41)
3.3 Fabry-Perot Resonator<br />
als Abkürzung eingeführt wurde. Alle Amplituden sind proportional zum<br />
Resonanzfaktor, der <strong>mit</strong> der Abstimmung φres = 2kl periodisch ist. Durch<br />
Normierung auf die Eingangsamplitude erhält man die komplexe Transmissivität<br />
tres und komplexe Reflektivität rres des Resonators zu<br />
tres = a2<br />
a0<br />
rres = a4<br />
a0<br />
= −<br />
φres<br />
i τ1τ2e 2<br />
, (3.42)<br />
iφres 1 − ρ1ρ2e<br />
= ρ1<br />
�<br />
− ρ2 ρ2 1 + τ2 �<br />
iφres<br />
1 e<br />
1 − ρ1ρ2eiφres . (3.43)<br />
Wenn Verluste A im Resonator auftreten, können sie der Transmission des<br />
zweiten Spiegels τ2 2 zugerechnet werden. Impedanzanpassung wird dann erreicht,<br />
wenn die Transmission des Einkoppelspiegels und die verlustbehaftete<br />
. Der Betrag<br />
Transmission des zweiten Spiegels identisch sind τ2 1 = 1 − ρ22 |rres| und die Phase ϕres der am Resonator reflektierten Lichtamplitude sind<br />
in Abbildung 3.10 für einen impedanzangepassten Resonator dargestellt. Auf<br />
Betrag [a.u.]<br />
1<br />
180<br />
0.9<br />
160<br />
0.8<br />
140<br />
0.7<br />
0.6<br />
0.5<br />
0.4<br />
0.3<br />
120<br />
100<br />
80<br />
60<br />
0.2<br />
0.1<br />
0<br />
|ρres |<br />
ϕres 40<br />
20<br />
0<br />
-1 -0.5 0<br />
φres [rad]<br />
0.5 1<br />
Abbildung 3.10: Betrag und Phase der an einem impedanzangepassten Fabry-<br />
Perot-Resonator reflektierten Amplitude in Abhängigkeit von der Resonatorabstimmung<br />
φres <strong>mit</strong> den Spiegelparametern ρ1 = ρ2 = 0.9 und τ1 = τ2 = 0.1<br />
Resonanz (φres = 0) wird bei Impedanzanpassung die Leistung vollständig<br />
trans<strong>mit</strong>tiert. Die Phase ändert sich bei Verstimmung um die Resonanz im<br />
impedanzangepassten Fall um 180 ◦ . Dieser Phasensprung ist wichtig für die<br />
Regelung des Resonators und kann <strong>mit</strong> einer Modulationstechnik (Pound-<br />
Drever-Hall-Verfahren) detektiert werden. Die Größe des Phasensprungs ist<br />
abhängig von den Resonatorparametern und nimmt vom überkoppelten Fall<br />
23<br />
Phase [deg]
3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />
(τ2 1 > 1 − ρ22 ) zum unterkoppelten Fall (τ2 1 < 1 − ρ22 ) ab.<br />
Die Überhöhung innerhalb des Resonator ist gemäß (3.37) gegeben durch<br />
� �<br />
�a1<br />
�2<br />
G = � �<br />
� � =<br />
a0<br />
und maximal auf Resonanz<br />
Gmax =<br />
und minimal auf Antiresonanz<br />
Gmin =<br />
τ2 1<br />
1 + (ρ1ρ2) 2 , (3.44)<br />
− 2ρ1ρ2 cos(φres)<br />
τ 2 1<br />
(1 − ρ1ρ2) 2 ⇔ φres = 0 mod(2π) (3.45)<br />
τ 2 1<br />
(1 + ρ1ρ2) 2 ⇔ φres = π mod(2π). (3.46)<br />
3.3.1 Charakteristische Größen<br />
Eine Änderung des Parameters φres um 2π entspricht dem Abstand zweier<br />
Resonanzen, den man freien Spektralbereich nennt. Bei festem Spiegelabstand<br />
l ist die Resonanzbedingung für verschiedene Wellenzahlen im Abstand<br />
∆k erfüllt wenn<br />
2(k + ∆k)l − 2kl = 2π (3.47)<br />
gilt. Rechnet man die Wellenzahl durch die Beziehung k = 2πν/c <strong>mit</strong> der<br />
Lichtgeschwindigkeit c in optische Frequenzen ν um, ist der Abstand zweier<br />
benachbarter Resonanzfrequenzen gegeben durch<br />
∆νFSR = c<br />
. (3.48)<br />
2l<br />
Eine zweite charakteristische Größe eines Resonators ist die Bandbreite<br />
∆νFWHM. Sie ist definiert durch die gesamte Breite bei der die Leistung<br />
auf die Hälfte abgefallen ist ( Full Width at Half Maximum“). Die Abstim-<br />
”<br />
mung für die halbe Breite berechnet sich <strong>mit</strong> (3.44) zu<br />
φ 1/2 = arccos<br />
�<br />
1 −<br />
(1 − ρ1ρ2) 2<br />
2ρ1ρ2<br />
�<br />
. (3.49)<br />
Die Finesse ist als Verhältnis von freiem Spektralbereich zu Bandbreite<br />
F = ∆νFSR<br />
∆νFWHM<br />
= 2π<br />
2φ 1/2<br />
=<br />
π<br />
�<br />
arccos 1 −<br />
� (3.50)<br />
(1−ρ1ρ2) 2<br />
2ρ1ρ2<br />
definiert. Die Finesse ist da<strong>mit</strong> im verlustfreien Fall nur von dem Produkt<br />
der Spiegelreflektivitäten abhängig. Verluste L können der Transmission des<br />
zweiten Spiegels zugerechnet werden, so dass dieser eine effektive Reflektivität<br />
von ρ2 2 = 1−τ2 2 −L hat. In Abbildung 3.11 ist die <strong>mit</strong> (3.44) berechnete<br />
24
G [a.u.]<br />
12<br />
10<br />
8<br />
6<br />
4<br />
2<br />
F=10<br />
F=20<br />
F=30<br />
3.4 ” Power-Recycling“<br />
0<br />
-2 0 2 4 6 8<br />
φres [rad]<br />
Abbildung 3.11: Leistungsüberhöhung im Inneren eines impedanzangepassten<br />
Resonators für verschiedene Werte der Finesse über einen freien Spektralbereich.<br />
Überhöhung von Resonatoren verschiedener Finesse über einem freien Spektralbereich<br />
dargestellt. Die Überhöhung steigt <strong>mit</strong> der Finesse, während die<br />
Breite der Resonanz abnimmt. Hohe Reflektivitäten und da<strong>mit</strong> hohe Werte<br />
für die Finesse werden wesentlich durch Verluste im Resonator und an den<br />
Spiegeln li<strong>mit</strong>iert. Die Bestimmung der Finesse liefert da<strong>mit</strong> eine präzise<br />
Methode auf Verluste von Resonatorkomponenten zurückzuschließen.<br />
3.4 ” Power-Recycling“<br />
Ist das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> auf den dunklen Ausgang eingestellt, reflektiert<br />
es, bis auf Verluste, die gesamte Leistung zum Laser. Dieses Licht kann<br />
wiederverwendet werden, um die Leistung im <strong>Interferometer</strong> zu erhöhen.<br />
Dafür wird ein halbdurchlässiger Spiegel in den Eingang des <strong>Interferometer</strong>s<br />
gestellt (vgl. Abbildung 3.12), der zusammen <strong>mit</strong> dem <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
einen Fabry-Perot-Resonator bildet, in dem die Leistung resonant überhöht<br />
werden kann. Als Verluste des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s werden alle Anteile<br />
bezeichnet, die nicht zur Reflexion beitragen. Diese entstehen durch<br />
eine Abweichung vom Arbeitspunkt, eine nicht perfekte Kohärenz C0 der<br />
Teilstrahlen und eine Resttransmission an den Endspiegeln 1 − ρ 2 m <strong>mit</strong> der<br />
Amplitudenreflektivität ρm. Unter Berücksichtigung dieser Punkte sind Amplitudenreflektivität<br />
ρmi und Amplitudentransmissivität τmi des <strong>Michelson</strong>-<br />
<strong>Interferometer</strong>s nach (3.26), (3.27) und (3.29) gegeben durch<br />
��τ ρmi = 4<br />
bs + ρ4 bs + 2τ2 bsρ2 bsC0 cos(2k∆L) � ρ2 m, (3.51)<br />
25
3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />
Laser<br />
ρ ,τ 1<br />
1<br />
l<br />
ρ m<br />
ρ ,τ bs<br />
bs<br />
Abbildung 3.12: Schematische Darstellung eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong><br />
” Power-Recycling “.<br />
τmi =<br />
�<br />
2τ 2 bs ρ2 bs [1 − C0 cos(2k∆L)] ρ 2 m. (3.52)<br />
Da<strong>mit</strong> können die im vorherigen Abschnitt gewonnenen Ergebnisse für Amplitudenreflektivität<br />
(3.42) und Amplitudentransmissivität (3.43) eines Fabry-<br />
Perot-Resonators übernommen werden, indem die Amplitudenreflektivität<br />
und Amplitudentransmissivität des zweiten Spiegels durch die des <strong>Interferometer</strong>s<br />
ersetzt werden:<br />
tpr = −<br />
φpr<br />
i<br />
τ1τmie 2<br />
L<br />
ρ m<br />
, (3.53)<br />
iφpr 1 − ρ1ρmie<br />
rpr = ρ1<br />
�<br />
− ρmi ρ2 1 + τ2 �<br />
iφpr<br />
1 e<br />
1 − ρ1ρmieiφpr . (3.54)<br />
Dabei wurde die Abstimmung φpr = 2klpr <strong>mit</strong> der Länge des PR-Resonators<br />
lpr = L + l eingeführt, die sich zusammensetzt aus der <strong>mit</strong>tleren Armlänge<br />
des <strong>Interferometer</strong>s L und dem Abstand des PR-Spiegels zum <strong>Interferometer</strong><br />
l. Die Leistungsüberhöhung auf Resonanz ist dann gemäß (3.44) gegeben<br />
durch<br />
Gpr =<br />
τ 2 1<br />
(1 − ρ1ρmi) 2.<br />
26<br />
(3.55)
3.4 ” Power-Recycling“<br />
Im Experiment wird ein perfekter Kontrast nicht erreicht. Die Auswirkungen<br />
auf das ” Power-Recycling“ wurden im Experiment genutzt, um Information<br />
darüber zu erhalten, wie gut der Modenüberlapp am <strong>Strahlteiler</strong><br />
ist, da eine direkte Bestimmung des Kontrasts nicht mehr durchgeführt werden<br />
kann. Mit Hilfe dieser Kenntnis konnte der Aufbau auf geringe Verluste<br />
in den dunklen Ausgang optimiert werden.<br />
Ein nicht perfekter Kontrast in einem <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> hat zur<br />
Folge, dass gemäß (3.52) eine gewisse Leistung in den dunklen Ausgang gelangt.<br />
Der Kontrast ist da<strong>mit</strong> ein entscheidender Faktor für die erreichbare<br />
Leistungsverstärkung und bestimmt im Zusammenspiel <strong>mit</strong> den Spiegelparametern<br />
wie dunkel der Ausgang wird [27]. In Abbildung 3.13 ist dieser<br />
Zusammenhang für feste Spiegelparameter dargestellt, sowie die maximale<br />
Leistungsverstärkung im Resonator nach (3.55). Dafür wurde die Phase des<br />
<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s durchgestimmt, während der Resonator gleichzeitig<br />
auf Resonanz gehalten wurde. Bei perfekter Kohärenz C0 = 1 wird wie<br />
|τ mi | 2 [a.u.]<br />
G [a.u.]<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
80<br />
60<br />
40<br />
20<br />
C 0 =1<br />
C 0 =0.999<br />
C 0 =0.99<br />
C 0 =0.9<br />
C 0 =0.5<br />
0<br />
-3 -2 -1 0 1 2 3<br />
0<br />
-3 -2 -1 0<br />
φmi [rad]<br />
1 2 3<br />
Abbildung 3.13: Oben: Die berechnete normierte Leistung im dunklen Ausgang<br />
eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> Power-Recycling als Funktion der Abstimmung<br />
φmi, während der Resonator gleichzeitig auf Resonanz gehalten wird. Unten: Die<br />
Leistungsverstärkung im <strong>Interferometer</strong>. Variiert wurden Verluste durch eine nicht<br />
perfekte Kohärenz C0. Die Reflektivitäten sind <strong>mit</strong> ρ 2 1 = 0.95 und ρ 2 m = 0.9999 für<br />
Einkoppelspiegel bzw. Endspiegel ähnlich denen im Experiment gewählt.<br />
zu erwarten keine Leistung bei φmi = 0 trans<strong>mit</strong>tiert. Durch Verluste steigt<br />
die Leistung im dunklen Ausgang, bleibt aber solange die Transmission des<br />
27
3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />
Einkoppelspiegels größer ist als die Verluste durch Kontrast und Endspiegel<br />
minimal im Arbeitspunkt (überkoppelt). Bei Impedanzanpassung tritt der<br />
Extremfall ein, dass beinahe die gesamte Leistung in den dunklen Ausgang<br />
gelangt. Noch größere Verluste führen zu einer Unterkopplung, so dass die<br />
Intensität wieder sinkt, aber maximal im Arbeitspunkt ist.<br />
Im Experiment lag insbesondere der überkoppelte Fall vor. Das Verhältnis<br />
der Leistung im dunklen Ausgang |τmi| zu der Verstärkung G ist bei perfekter<br />
Kohärenz C0 = 1 minimal. Dies stellte, wie später beschrieben wird,<br />
einen guten Anhaltspunkt im Experiment dar, um den ” Power-Recycling“<br />
Resonator zu justieren.<br />
28
KAPITEL 4<br />
<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong><br />
<strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />
In diesem Kapitel werden zunächst ein konventioneller Fensterstrahlteiler<br />
und ein Reflexionsgitter <strong>mit</strong> Blick auf ihre strahlverformenden Eigenschaften<br />
verglichen. Die rein-reflektive Topologie eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong><br />
Gitterstrahlteiler bedingt, dass die in 0. und 1.Ordnung gebeugten Strahlprofile<br />
prinzipiell voneinander verschieden sind. Es wird gezeigt, dass es nicht<br />
ausreichend ist eine symmetrische <strong>Interferometer</strong>anordnung zu wählen, um<br />
einen hohen Kontrast zu erreichen, sondern dass zusätzlich das Strahlprofil<br />
des einfallenden Strahls berücksichtigt werden muss. Anschließend wird eine<br />
analytische Lösung für das Design eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong><br />
<strong>Strahlteiler</strong> vorgestellt, das sphärische Spiegel verwendet und die<br />
Implementierung von ” Power-Recycling “ erlaubt.<br />
4.1 Fenster- und Gitterstrahlteiler<br />
Wie in Kapitel 3 gezeigt, lässt sich der Streumatrixformalismus gleichermaßen<br />
auf einen teildurchlässigen Spiegel und einen diffraktiven <strong>Strahlteiler</strong><br />
anwenden. Das Amplitudenverhalten eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s ist<br />
deshalb unabhängig von der Art des <strong>Strahlteiler</strong>s. Unter anderem existiert<br />
in beiden Topologien ein symmetrischer und ein asymmetrischer Ausgang<br />
bezüglich der Amplitudenkoeffizienten (vgl.Abbildung 4.1). Am symmetrischen<br />
Ausgang sind die Amplituden identisch und unabhängig vom Teilungs-
4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />
verhältnis des <strong>Strahlteiler</strong>s und von der Reihenfolge in der sie reflektiert und<br />
trans<strong>mit</strong>tiert (rt, tr) bzw. in die 0. und 1. Ordnung gebeugt (01, 10) wurden,<br />
sofern gleiche Verluste in den Armen angenommen werden.<br />
Die Symmetrie des Ausgangs ist im Allgemeinen nicht auf die räumlichen<br />
Laser<br />
rr<br />
tt<br />
rt tr<br />
Abbildung 4.1: Analogie der <strong>Interferometer</strong>topologien <strong>mit</strong> trans<strong>mit</strong>ierendem und<br />
<strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> bezüglich der Amplitudenkoeffizienten.<br />
Strahleigenschaften übertragbar. Wenn sich die aufgeteilten Strahlprofile unterscheiden,<br />
werden sie sich während der Propagation im <strong>Interferometer</strong> auf<br />
unterschiedliche Weise verändern. Bei erneuter Aufteilung und anschließender<br />
Überlagerung am <strong>Strahlteiler</strong> wird dieser Unterschied im Allgemeinen<br />
nicht wieder kompensiert, was einen verminderten Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s<br />
zur Folge hat. Ein hoher Kontrast wird nur erreicht, wenn die strahlformenden<br />
Eigenschaften der optischen Komponenten berücksichtigt werden<br />
und das <strong>Interferometer</strong> entsprechend designt wird. Die Berechnung erfolgt<br />
<strong>mit</strong> dem bekannten ABCD-Matrixformalismus, der auf Gaußsche Strahlen<br />
angewendet wird.<br />
Transformation Gaußscher Strahlen<br />
Strahlen <strong>mit</strong> einem Gaußschen Intensitätsprofil erfüllen die Wellengleichung<br />
in paraxialer Näherung. Sie stellen ebenso die transversalen Eigenmoden<br />
von Resonatoren dar und sind deshalb geeignet zur Beschreibung von realen<br />
Laserstrahlen. Eine charakteristische Eigenschaft Gaußscher Strahlen ist<br />
die beugungsbedingte Aufweitung des Strahls während der Propagation, wodurch<br />
sich der Strahlradius w(z) und der Krümmungsradius der Wellenfront<br />
R(z) gemäß (A.22) und (A.23) verändern. Optische Elemente verändern das<br />
Strahlprofil durch Reflexion, Brechung oder Beugung ebenfalls in definierter<br />
Weise. Die Transformation Gaußscher Strahlen lässt sich <strong>mit</strong> dem ABCD-<br />
Matrixformalismus beschreiben [23]. Ein Gaußscher Strahl kann vollständig<br />
durch den ortsabhängigen, komplexen Strahlparameter<br />
q0 = izR − z0<br />
30<br />
Laser<br />
11<br />
00<br />
01<br />
10<br />
(4.1)
4.1 Fenster- und Gitterstrahlteiler<br />
beschrieben werden, wobei z0 den Ort der Strahltaille <strong>mit</strong> Größe w0 =<br />
� zRλ/π auf der optischen Achse markiert, wobei λ die Wellenlänge des<br />
Lichts ist. Im Abstand z von der Strahltaille gilt dann<br />
q(z) = q0 + z. (4.2)<br />
Jedes strahlverändernde Element wird durch eine 2 × 2 Matrix<br />
M =<br />
� A B<br />
C D<br />
repräsentiert, die einen Strahlparameter q1 vor der Komponente gemäß<br />
q2 = Aq1 + B<br />
Cq1 + D<br />
�<br />
(4.3)<br />
(4.4)<br />
in einen Strahlparameter q2 nach der Komponente überführt. Diese Definition<br />
bringt den Vorteil, dass die Aneinanderreihung von strahlverändernden<br />
Elementen leicht ausgeführt werden kann. Durchläuft ein Gaußscher Strahl<br />
ein System aus mehreren Komponenten, so kann dieses System durch eine<br />
kombinierte Matrix beschrieben werden, die sich aus dem Produkt der<br />
Einzelmatrizen nach<br />
� A B<br />
C D<br />
�<br />
=<br />
� An Bn<br />
Cn Dn<br />
� �<br />
A2 B2<br />
. . .<br />
C2 D2<br />
�� A1 B1<br />
C1 D1<br />
�<br />
(4.5)<br />
berechnet.<br />
Neben einfachen Abbildungen, die durch Abstände, herkömmliche Linsen<br />
oder sphärische Spiegel erzeugt werden, ist es auch möglich, Abbildungseigenschaften<br />
verkippter Komponenten und toroidischer Oberflächen zu beschreiben<br />
[28]. Mit toroidisch wird hier eine Fläche bezeichnet, die durch<br />
zwei unterschiedliche, senkrecht zueinander angeordnete Krümmungsradien<br />
entsteht. Die entsprechende Überlagerung der zwei sphärischen Oberflächen<br />
wird durch ein Segment der Außenhülle eines Torus beschrieben.<br />
Der Strahlparameter wird dafür in zwei Ebenen senkrecht zur Ausbreitungsrichtung<br />
aufgeteilt. Beschränkt sich der optische Aufbau auf eine horizontale<br />
Ebene, dann liegt die Tangentialebene parallel und die Saggitalebene<br />
senkrecht dazu. Die Saggitalebene ist dadurch ausgezeichnet, dass sich ihre<br />
Lage bei Richtungsänderung des Strahls <strong>mit</strong>verändert, während die Tangentialebene<br />
erhalten bleibt. Zur Unterscheidung dieser Orientierungen werden<br />
die ABCD-Matrizen und Strahlparameter im Folgenden <strong>mit</strong> einem hochgestellten<br />
Index t(tangential) oder s(saggital) versehen.<br />
Eine Übersicht allgemein gehaltener Matrizen ist <strong>mit</strong> Verweisen im Anhang<br />
zu finden. Die im Folgenden angewendeten Matrizen sind einfachere Spezialfälle<br />
davon.<br />
31
4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />
Fensterstrahlteiler<br />
An einem Fensterstrahlteiler haben reflektierter und trans<strong>mit</strong>tierter Strahl<br />
annähernd das gleiche Strahlprofil. Eine kleine Asymmetrie entsteht, weil ein<br />
Strahl direkt reflektiert wird, während der andere das Substrat durchquert,<br />
wie in Abbildung 4.2 schematisch dargestellt. Um den Strahlparameter zu<br />
n 1<br />
θ 1<br />
d<br />
n 2<br />
θ 2<br />
n 1<br />
Abbildung 4.2: Strahlengang durch ein <strong>Strahlteiler</strong>substrat.<br />
bestimmen, der den Strahl nach Durchgang des Substrats charakterisiert,<br />
müssen der Eintritt in das Substrat, die Strecke im Material und der Austritt<br />
berücksichtigt werden. Bei schrägem Einfall auf eine planparallele Platte<br />
wird der Strahl zunächst in das Medium gebrochen. Das Snellius’sche Gesetz<br />
liefert den Zusammenhang von Eintritts- und Brechungswinkel Θ1 bzw. Θ2<br />
beim Übergang zwischen den Medien <strong>mit</strong> den Brechungsindizes n1 und n2.<br />
Der geometrische Weg im Substrat der Dicke d ist gegeben durch<br />
l =<br />
l<br />
θ 2<br />
θ 1<br />
d<br />
. (4.6)<br />
cos (θ2)<br />
Abschließend tritt der Strahl wieder unter dem ursprünglichen Winkel aus<br />
der Platte aus. Die drei aufgeführten Schritte entsprechen den ABCD-Matrizen<br />
für einen Spiegel in Transmission (A.35) <strong>mit</strong> unendlichem Krümmungsradius<br />
und der Strecke (A.30) in einem Medium. In tangentialer Ebene erhält<br />
man die Abbildungsmatrix des gesamten <strong>Strahlteiler</strong>s durch Hintereinanderschaltung<br />
der Elemente nach<br />
M t bs = Mt TMLM t T (4.7)<br />
=<br />
�<br />
1 l cos2 (Θ1)<br />
cos2 n1<br />
(Θ2) n2<br />
0 1<br />
�<br />
. (4.8)<br />
Da nur in tangentialer Ebene eine Winkeländerung auftritt, nimmt die Matrix<br />
in saggitaler Ebene <strong>mit</strong> den Matrizen (A.37) und (A.30) die einfachere<br />
32
Form<br />
4.1 Fenster- und Gitterstrahlteiler<br />
M s bs = Ms TMLM s T (4.9)<br />
=<br />
� 1 l n1<br />
n2<br />
0 1<br />
an. Mit einem runden Eingangsstrahl q t 0 = qs 0<br />
Strahlparameter nach obiger Definition (4.4) zu<br />
�<br />
(4.10)<br />
berechnen sich die neuen<br />
q t bs = qt 0 + l n1 cos<br />
n2<br />
2 (Θ1)<br />
cos2 , (4.11)<br />
(Θ2)<br />
q s bs = qs 0 + l n1<br />
. (4.12)<br />
n2<br />
Da nur der Realteil verändert wird, bleibt die Größe der Strahltaille und da<strong>mit</strong><br />
die Divergenz des Strahls erhalten. Die Lage der Strahltaille in saggitaler<br />
und tangentialer Ebene ist aber zueinander versetzt. Sind Einfallswinkel und<br />
Substratmaterial vorgegeben, so skaliert der Unterschied der Strahlparameter<br />
<strong>mit</strong> der Dicke des Substrats. In großem Abstand zur Strahltaille gilt für<br />
den Krümmungsradius der Wellenfront R(z) ≈ z, so dass die Differenz der<br />
Strahltaillelagen nur einen kleinen Unterschied bezüglich der Wellenfrontkrümmung<br />
in saggitaler und tangentialer Ebene zur Folge hat.<br />
Diffraktiver <strong>Strahlteiler</strong><br />
Ein Reflexionsgitter <strong>mit</strong> zwei Beugungsordnungen ist ebenfalls ein <strong>Strahlteiler</strong>.<br />
Eine räumliche Trennung von einfallendem Strahl und gebeugten<br />
Strahlen wird in einer nicht-Littrow-Konfiguration realisiert. Die 0. und<br />
1. Ordnung werden dann unter verschiedenen Winkeln gebeugt und unterscheiden<br />
sich in ihren Strahlprofilen. Insbesondere gilt, dass der Einfallswinkel<br />
Θin und der Beugungswinkel der 1. Ordnung Θ1 in tangentialer Ebene<br />
nicht übereinstimmen, wie in Abbildung 4.3 dargestellt ist. Die Verzerrung<br />
des Strahls in der Beugungsebene ist durch die geometrische Beziehung<br />
w1 = cos(Θ1)<br />
cos(Θin) win<br />
(4.13)<br />
gegeben, <strong>mit</strong> den Strahlradien win und w1 für einfallenden bzw. ausgehenden<br />
Strahl am Gitter. Der Strahlparameter in saggitaler Ebene bleibt dagegen<br />
erhalten, da effektiv nur an einer planen Oberfläche reflektiert wird. Als<br />
Konsequenz wird ein runder Eingangsstrahl elliptisch in 1.Ordnung und<br />
bleibt rund in 0.Ordnung. Die ABCD-Matrix eines Reflexionsgitters [29]<br />
<strong>mit</strong> planer Oberfläche für die Beugungsebene lautet<br />
M t �<br />
cos(Θ1)<br />
cos(Θin)<br />
G(Θin,Θ1) =<br />
0<br />
0<br />
�<br />
. (4.14)<br />
33<br />
cos(Θin)<br />
cos(Θ1)
4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />
w in<br />
θ in<br />
Abbildung 4.3: Strahlverformung an einem Reflexionsgitter in tangentialer Ebene.<br />
Die beugungsbedingte Aufweitung des Strahls ist nicht dargestellt.<br />
Ein in die 1.Ordnung gebeugter runder Eingangsstrahl (qt 0 = qs 0 ) wird dann<br />
durch die Strahlparameter<br />
θ 1<br />
cos 2 (Θ1)<br />
q t G = q t 0<br />
cos2 ,<br />
(Θin)<br />
(4.15)<br />
q s G = q s 0 (4.16)<br />
beschrieben. Je näher Einfalls- und Beugungswinkel beieinander liegen, desto<br />
geringer ist erwartungsgemäß die Verzerrung. Durch die Transformation<br />
wird aber, im Gegensatz zum oben beschriebenen Fensterstrahlteiler, neben<br />
dem Realteil auch der Imaginärteil des Strahlparameters verändert, was<br />
zusätzlich zur toroidischen Wellenfrontkrümmung eine unterschiedliche Divergenz<br />
des Strahlprofils in saggitaler und tangentialer Ebene zur Folge hat.<br />
Beides wird im Folgenden <strong>mit</strong> der Bezeichnung elliptische Strahlen zusammengefasst.<br />
4.2 <strong>Interferometer</strong>design<br />
In einem <strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> Fensterstrahlteiler haben trans<strong>mit</strong>tierter und<br />
reflektierter Strahl das gleiche Strahlprofil, wenn der Durchgang durch das<br />
Substrat vernachlässigt wird. Für gleiche Armlängen des <strong>Interferometer</strong>s und<br />
Krümmungsradien der Endspiegel wird unabhängig vom Eingangsstrahl ein<br />
perfekter Überlapp der Teilstrahlen am <strong>Strahlteiler</strong> erreicht.<br />
34<br />
w 1
4.2 <strong>Interferometer</strong>design<br />
Bei einem diffraktiven <strong>Strahlteiler</strong> unterscheiden sich die Strahlprofile<br />
prinzipiell voneinander. Ein runder Eingangsstrahl bleibt in der 0. Beugungsordnung<br />
rund, wird jedoch elliptisch in 1.Beugungsordnung. Nach Durchlaufen<br />
der <strong>Interferometer</strong>arme werden sich beide Teilstrahlen im Allgemeinen<br />
unterschiedlich verändert haben und am <strong>Strahlteiler</strong> nur unvollständig<br />
interferieren. In diesem Abschnitt wird gezeigt, wie durch Anpassung des<br />
Eingangsstrahls an das <strong>Interferometer</strong> dennoch ein perfekter Kontrast erreicht<br />
werden kann. Dafür wurde sich auf ein planes Reflexionsgitter und<br />
sphärische Endspiegel beschränkt. Die Einbeziehung asphärischer Spiegeloberflächen<br />
würde eine gezielte Anpassung an die Strahlveränderung ermöglichen<br />
und das Design vereinfachen. Beispiele dafür sind toroidisch geschliffene<br />
Spiegel oder die Korrektur von Krümmungsradien durch thermisch adaptive<br />
Optik [30].<br />
Die verbleibenden Parameter für die Berechnung der Strahlveränderungen<br />
im <strong>Interferometer</strong> sind in Abbildung 4.4 eingezeichnet und gegeben durch<br />
die Armlängen des <strong>Interferometer</strong>s L1, L2, die Krümmungsradien der Endspiegel<br />
Rc0, Rc1 sowie die Gitterperiode d, die bei gegebener Wellenlänge λ<br />
und Einfallswinkel k den Beugungswinkel 1. Ordnung g gemäß der Gittergleichung<br />
(2.1) festlegt. Mit Blick auf eine Leistungsüberhöhung im Interfe-<br />
R c1<br />
Laser<br />
L 1<br />
g<br />
k<br />
Abbildung 4.4: Parameter eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong><br />
<strong>Strahlteiler</strong>. Gekennzeichnet sind die Armlängen L0, L1, der Einfallswinkel k, der<br />
Beugungswinkel in die 1. Ordnung g, die Gitterperiode d, sowie die Krümmungsradien<br />
der Endspiegel Rc0 und Rc1.<br />
rometer durch einen zusätzlichen, ebenfalls sphärischen Spiegel im Eingang<br />
des <strong>Interferometer</strong>s wird von einem runden Eingangsstrahl <strong>mit</strong><br />
q0 = q t in = q s in<br />
35<br />
L 0<br />
d<br />
R c0<br />
(4.17)
4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />
ausgegangen. Daraus folgt, dass bei gleicher Armlänge<br />
L = L0 = L1<br />
auch gleiche Krümmungsradien der Endspiegel<br />
Rc = Rc0 = Rc1<br />
(4.18)<br />
(4.19)<br />
gewählt werden müssen, da<strong>mit</strong> in saggitaler Ebene die Strahlparameter von<br />
0. und 1. Ordnung übereinstimmen.<br />
4.2.1 Berechnung eines Eingangstrahls<br />
Ein perfekter Kontrast wird erreicht, wenn an einem Ausgang des <strong>Interferometer</strong>s<br />
die Strahlparameter der Teilstrahlen nach Propagation durch das <strong>Interferometer</strong><br />
übereinstimmen. Aus Energieerhaltungsgründen sind dann die<br />
Strahlparameter am anderen Ausgang ebenfalls identisch. Die Strahlparameter<br />
werden zum Einen nach saggitaler und tangentialer Ebene unterschieden<br />
und zum Anderen nach der Reihenfolge in der die Strahlen am <strong>Strahlteiler</strong> in<br />
0. und 1. Ordnung gebeugt werden (vgl. Abbildung 4.1). Durch den symmetrischen<br />
Aufbau gemäß (4.18) und (4.19) ist festgelegt, dass alle saggitalen<br />
Strahlparameter (q s 00 ,qs 11 ,qs 01 ,qs 10 ) und der tangentiale Parameter qt 00 übereinstimmen,<br />
da sie am <strong>Strahlteiler</strong> nicht verändert werden. Die äquivalenten<br />
Bedingungen für einen perfekten Kontrast sind deshalb durch<br />
q t 00 = q t 11<br />
q t 01 = q t 10<br />
(4.20)<br />
(4.21)<br />
gegeben. In Abbildung 4.5 ist schematisch ein aufgeklapptes <strong>Interferometer</strong><br />
dargestellt um zu verdeutlichen, wie die Strahlparameter berechnet werden.<br />
Nacheinander trifft der Strahl auf das Gitter (z = 0), propagiert über eine<br />
Länge, wird an einem sphärischen Endspiegel (z = L) reflektiert, durchläuft<br />
die gleiche Länge wie zuvor und wird erneut am Gitter (z = 2L) aufgeteilt.<br />
Es werden die Abbildungsmatrizen für eine Länge ML und die Reflexion<br />
an einem Spiegel Mt R <strong>mit</strong> Krümmungsradius Rc gemäß (A.30) bzw. (A.32)<br />
verwendet. Die Gittermatrix Mt G (g,k) enthält nach (4.14) zwei Parameter,<br />
wobei in diesem Beispiel die Stelle von k den Einfallswinkel und die Stelle<br />
von g den Beugungswinkel bezeichnet. Durch Kombination aller Segmente<br />
erhält man die abbildende Wirkung des gesamten <strong>Interferometer</strong>s auf den<br />
einfallenden Strahl. Die Matrizen für die Transformationen in tangentialer<br />
Ebene lauten<br />
M t 00 = MG(k,k)MLMRMLMG(k,k) (4.22)<br />
�<br />
Rc−2L 2L(Rc−L)<br />
= Rc Rc<br />
− 2<br />
�<br />
Rc−2L , (4.23)<br />
Rc Rc<br />
36
Gitter Endspiegel Gitter<br />
0 L 2L<br />
4.2 <strong>Interferometer</strong>design<br />
Abbildung 4.5: Propagation durch das <strong>Interferometer</strong>. Bezugspunkt ist das Gitter<br />
bei z = 0.<br />
M t 11 = MG(g,k)MLMRMLMG(k,g) (4.24)<br />
�<br />
Rc−2L 2L(Rc−L) cos<br />
Rc Rc<br />
=<br />
2 (k)<br />
cos2 (g)<br />
− 2 cos<br />
Rc<br />
2 (g)<br />
cos2 �<br />
, (4.25)<br />
Rc−2L<br />
(k) Rc<br />
M t 01 = MG(k,g)MLMRMLMG(k,k) (4.26)<br />
�<br />
Rc−2L cos(g) 2L(Rc−L) cos(g)<br />
Rc cos(k) Rc cos(k)<br />
=<br />
− 2<br />
�<br />
cos(k) Rc−2L cos(k) , (4.27)<br />
Rc cos(g) Rc cos(g)<br />
M t 10 = MG(g,g)MLMRMLMG(k,g) (4.28)<br />
�<br />
Rc−2L cos(g) 2L(Rc−L) cos(k)<br />
Rc cos(k) Rc cos(g)<br />
=<br />
− 2<br />
�<br />
cos(g) Rc−2L cos(k) . (4.29)<br />
Rc cos(k) Rc cos(g)<br />
In saggitaler Ebene sind die Matrizen <strong>mit</strong> (4.23) identisch. Die gesuchten<br />
Strahlparameter berechnen sich nach Definition (4.4) zu<br />
q t 01 = 2 cos2 (g) � L2 + L(q0 − Rc) − 1<br />
2q0Rc �<br />
cos2 , (4.30)<br />
(k)(2q0 − Rc + 2L)<br />
q t 10 = 2L(L − Rc)cos2 (k) + 2 cos2 (g)q0(L − 1<br />
(2L − Rc)cos2 (k) + 2 cos2 (g)q0<br />
z<br />
2Rc) , (4.31)<br />
q t 00 = 2L2 + 2L(q0 − Rc) − q0Rc<br />
, (4.32)<br />
2q0 − Rc + 2L<br />
37
4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />
q t 11 = L(L − Rc)cos2 (k) + q0 cos2 (g) � L − 1<br />
�<br />
cos2 (k) + q0 cos2 (g)<br />
� L − 1<br />
2 Rc<br />
2 Rc<br />
�<br />
cos2 (k)<br />
cos2 , (4.33)<br />
(g)<br />
wobei q0 der Eingangsstrahlparameter ist. Gleichsetzen der Strahlparameter<br />
gemäß (4.20) oder (4.21) und Auflösen zu<br />
±<br />
q0 = L(Rc − L)(cos 2 (g) + cos 2 (g))<br />
(2L − Rc)cos 2 (g)<br />
(4.34)<br />
� L(L − Rc)[(Rc − L)cos 2 (k) + Lcos 2 (g)][(L − Rc)cos 2 (g) − Lcos 2 (k)]<br />
(2L − Rc)cos 2 (g)<br />
ergibt den Eingangsstrahlparameter für den in Abhängigkeit der Größen<br />
L, Rc, g, k ein perfekter Kontrast erreicht wird. Das Ergebnis (4.34) enthält<br />
die möglichen Anordnungen eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong><br />
<strong>Strahlteiler</strong> und wird im Folgenden ausführlich diskutiert.<br />
Aus dem Real- und Imaginärteil von (4.34) lassen sich die Lage und Größe<br />
der Taille des Eingangsstrahls nach<br />
�<br />
Im(q0)λ<br />
z0 = −Re(q0) und w0 =<br />
(4.35)<br />
π<br />
berechnen. Aus (4.35) folgt, dass nur Lösungen <strong>mit</strong> Im(q0) > 0 physikalisch<br />
sinnvoll sind. Im Folgenden wird sich ergeben, dass der Krümmungsradius<br />
Rc deshalb unter anderem immer kleiner sein muss als die Armlänge L. Da<strong>mit</strong><br />
ist der Nenner in (4.34) immer größer Null und im zweiten Term nur<br />
das positive Vorzeichen relevant. Mit Hilfe der angegebenen Lösung (4.34)<br />
kann für eine <strong>Interferometer</strong>anordnung <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> der Eingangsstrahl<br />
berechnet werden, <strong>mit</strong> dem ein perfekter Kontrast erreicht wird.<br />
Planung eines Experiments<br />
Bisher wurde ein allgemeines Design beschrieben, das durch die Forderung<br />
Im(q0) > 0 eingeschränkt wird. Für die Planung eines experimentellen Aufbaus<br />
können daraus die möglichen Parameter der optischen Komponenten<br />
bestimmt werden.<br />
In Gleichung (4.34) können die Nullstellen abgelesen werden, die Bereiche<br />
gültiger Strahlparameter eingrenzen. Für die Krümmungsradien Rc der<br />
Endpiegel gilt<br />
�<br />
cos2 (g) − cos2 (k)<br />
Rc <<br />
cos2 �<br />
L konvex, (4.36)<br />
(g)<br />
�<br />
cos2 (k) − cos2 (g)<br />
cos2 �<br />
L < Rc < L konkav, (4.37)<br />
(k)<br />
38
4.2 <strong>Interferometer</strong>design<br />
wenn Armlänge L und Beugungswinkel k < g vorgegeben sind. Für die Wahl<br />
k > g ändern sich die Relationen entsprechend und ergeben die gleichen<br />
Bereiche. Im Folgenden wird dies an einem <strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> einer vorgegebenen<br />
Armlänge von L = 1 m illustriert. Es wurden weiterhin ein Einfallswinkel<br />
und ein Beugungswinkel der 1.Ordnung von k = 30 ◦ bzw. g = 60 ◦<br />
gewählt, was einer <strong>Interferometer</strong>anordnung <strong>mit</strong> senkrecht zueinander stehenden<br />
Armen entspricht. In Abbildung 4.6 sind die Größe der Taille des<br />
Eingangsstrahls w0 und Lage z0 bezüglich des Gitters in Abhängigkeit des<br />
Krümmungsradius Rc dargestellt. Es ergeben sich zwei Bereiche möglicher<br />
Krümmungsradien: ein Bereich für den unüblichen Fall konvexer Endspiegel<br />
Rc < −2 m und ein Bereich für konkave Endspiegel <strong>mit</strong> 0,75 m < Rc < 1 m.<br />
w 0 [µm]<br />
1000<br />
800<br />
600<br />
400<br />
200<br />
0<br />
-4 -3 -2 -1<br />
Rc [m]<br />
0 1<br />
z 0 [m]<br />
4<br />
3.5<br />
3<br />
2.5<br />
2<br />
1.5<br />
1<br />
0.5<br />
0<br />
-4 -3 -2 -1 0 1<br />
Rc [m]<br />
Abbildung 4.6: Größe w0 und Lage z0 der Strahltaille als Funktion des<br />
Krümmungsradius Rc, bei einer Armlänge von L = 1m und Beugungswinkeln<br />
von k = 30 ◦ und g = 60 ◦ . Krümmungsradien Rc < 0 entsprechen vom <strong>Interferometer</strong><br />
aus gesehen konvexen Spiegeln, Rc > 0 konkaven Spiegeln. In dem Bereich<br />
−2m < Rc < 0.75m kann kein perfekter Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s erreicht<br />
werden.<br />
Um zu verdeutlichen wie sich der Strahl im <strong>Interferometer</strong> verändert,<br />
können der Strahlradius w(z) und der Krümmungsradius der Wellenfront<br />
R(z) an jeder Stelle z des <strong>Interferometer</strong>s berechnet werden. In Abbildung<br />
4.7 ist ein Ergebnis für den üblicheren Fall eines konkaven Endspiegels<br />
Rc > 0 dargestellt. Der Strahl trifft das Gitter bei z = 0 m und wird am<br />
Endspiegel bei z = 0,55 m reflektiert. Bei z = 1,1 m trifft der Strahl erneut<br />
auf das Gitter. Die Taille des Eingangsstrahls liegt in diesem Beispiel im<br />
<strong>Interferometer</strong>. Durch die Endspiegel werden die divergenten Teilstrahlen so<br />
fokussiert, dass sie bei Überlagerung am Gitter übereinstimmen. Die Wel-<br />
39
4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />
lenfrontkrümmungen der Teilstrahlen in tangentialer und saggitaler Ebene<br />
entsprechen bei z = L den Krümmungsradien der Endspiegel, so dass ein<br />
konfokaler Aufbau realiert ist und der vom <strong>Interferometer</strong> reflektierte Strahl<br />
nicht nur rund ist sondern exakt dem Eingangsstrahl entspricht. Im dunklen<br />
Ausgang sind saggitaler und tangentialer Strahlparameter verschieden, so<br />
dass ein elliptischer Strahl austritt, wie im rechten Teil von Abbildung 4.7<br />
dargestellt.<br />
Im Fall konvexer Endspiegel R < 0 liegt die Strahltaille hinter den Endspiegeln,<br />
die den Strahl in Reflexion aufweiten.<br />
Wahl der Armlänge<br />
Bei vorgegebenem Krümmungsradius Rc der Endspiegel, sowie Einfallswinkel<br />
k und Beugungswinkel in 1.Ordnung g am Gitter kann der Eingangsstrahl<br />
in Abhängigkeit von der Armlänge L berechnet werden. Die Relationen<br />
Rc < L < Rc<br />
0 < L < Rc<br />
cos 2 (k)<br />
cos 2 (k) − cos 2 (g)<br />
cos 2 (g)<br />
cos 2 (g) − cos 2 (k)<br />
falls Rc > 0 , (4.38)<br />
falls Rc < 0, (4.39)<br />
grenzen die möglichen Armlängen ein, wobei k < g gilt. Im Experiment<br />
standen Endspiegel <strong>mit</strong> Rc = 0,5 m zur Verfügung und ein Gitter, dass<br />
annähernd unter den Winkeln k = 30 ◦ und g = 60 ◦ das beste Teilungsverhältnis<br />
aufwies. Innerhalb des dadurch beschränkten Bereichs bezüglich<br />
der Armlänge lassen sich die Strahleigenschaften weiter untersuchen. In Abbildung<br />
4.8 ist dargestellt, <strong>mit</strong> welchen Strahlgrößen eine Anpassung an das<br />
<strong>Interferometer</strong> in Abhängigkeit von der Armlänge erreicht wird. Mit den<br />
kleinen Strahltaillen an den Bereichsgrenzen ist eine große Divergenz des<br />
Strahls verbunden. Die Größe des Strahls auf dem Gitter und den Endspiegeln<br />
ist ein weiteres Kriterium bei der Wahl der Armlänge. Die berechneten<br />
Werte werden in Abbildung 4.8 gezeigt.<br />
40
w [µm]<br />
R [m]<br />
w [µm]<br />
R [m]<br />
1400<br />
1200<br />
1000<br />
800<br />
600<br />
400<br />
200<br />
0<br />
1<br />
0.5<br />
1400<br />
1200<br />
1000<br />
800<br />
600<br />
400<br />
200<br />
0<br />
4.2 <strong>Interferometer</strong>design<br />
-0.5 0 0.5 1 1.5<br />
z [m]<br />
s<br />
t 00<br />
t 11<br />
0<br />
-0.5<br />
-1<br />
s<br />
t 00<br />
t 11<br />
-0.5 0 0.5 1 1.5<br />
1<br />
0.5<br />
z [m]<br />
-0.5 0 0.5 1 1.5<br />
z [m]<br />
s<br />
t 01<br />
t 10<br />
0<br />
s<br />
-0.5<br />
-1<br />
-0.5 0 0.5<br />
t 01<br />
t 10<br />
1 1.5<br />
z [m]<br />
Abbildung 4.7: Veränderung des Strahlradius w und Krümmungsradius der Wellenfront<br />
R in saggitaler (s) und tangentialer (t) Ebene in Abhängigkeit von der<br />
Position z im <strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> L = 0,55m, Rc = 0.5m, k = 30 ◦ und g = 60 ◦ . 0<br />
und 1 geben die Ordnungen und Reihenfolge an in denen der Strahl gebeugt wird.<br />
Der Eingangstrahl hat eine Strahltaille von w0 = 273,5µm bei z = 0.184m. Der<br />
Strahl trifft bei z = 0m auf das Gitter. Bei z = 0,55m wird er am Endspiegel<br />
reflektiert und trifft bei z = 1,1m ein zweites mal auf das Gitter. Am Ausgang des<br />
<strong>Interferometer</strong>s stimmen die Strahlparameter der interferierenden Teilstrahlen in<br />
tangentialer Ebene überein.<br />
41
4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />
w 0 [µm]<br />
400<br />
350<br />
300<br />
250<br />
200<br />
150<br />
100<br />
50<br />
0<br />
0.5 0.6 0.7<br />
L [m]<br />
z 0 [m]<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
0.5 0.6 0.7<br />
L [m]<br />
Abbildung 4.8: Größe w0 und Lage z0 der Strahltaille des Eingangsstrahls als<br />
Funktion der <strong>Interferometer</strong>armlänge L für Endspiegel <strong>mit</strong> Krümmungsradius Rc =<br />
0.5m, Einfallswinkel k = 30 ◦ und Beugungswinkel in 1. Ordnung g = 60 ◦ .<br />
w(z=0) [µm]<br />
2000<br />
1500<br />
1000<br />
500<br />
t<br />
s<br />
0<br />
0.5 0.55 0.6 0.65 0.7 0.75<br />
L [m]<br />
w(z=L) [µm]<br />
2000<br />
1500<br />
1000<br />
500<br />
t<br />
s<br />
0<br />
0.5 0.55 0.6 0.65 0.7 0.75<br />
L [m]<br />
Abbildung 4.9: Strahlgrößen in tangentialer (t) und saggitaler (s) Ebene auf dem<br />
Gitter w(z = 0) und auf dem Endspiegel w(z = L) im Arm der 1. Beugungsordnung<br />
als Funktion der Armlänge L für Endspiegel <strong>mit</strong> Rc = 0.5m, Einfallswinkel k = 30 ◦<br />
und Ausfallswinkel g = 60 ◦ .<br />
42
4.2 <strong>Interferometer</strong>design<br />
4.2.2 ” Power-Recycling“ im diffraktiven <strong>Interferometer</strong><br />
Bei einem <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> definiert<br />
die in (4.34) gegebene Lösung für den Eingangsstrahl eine Mode des <strong>Interferometer</strong>s,<br />
für die ein perfekter Kontrast möglich ist. Jede Abweichung von<br />
diesem Strahlparameter verschlechtert den Kontrast im Gegensatz zu einem<br />
konventionellen <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> Fensterstrahlteiler. Die Erweiterung<br />
des <strong>Interferometer</strong>s durch optische Resonatoren zur Leistungsüberhöhung,<br />
wie das ” Power-Recycling“ in dieser Arbeit, muss dies berücksichtigen.<br />
Andere Resonatormoden führen, auch wenn sie der Stabilitätsbedingung<br />
für Resonatoren [31] genügen, zu einem geringeren Kontrast und<br />
würden sich selbst in ihrer Verstärkung li<strong>mit</strong>ieren. Der zusätzliche Spiegel<br />
im Eingang des <strong>Interferometer</strong>s muss also konfokal sein zur Mode, die das<br />
<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> reflektiert. Der berechnete Strahlparameter kann<br />
direkt benutzt werden, um die Position des Spiegels l zu berechnen, bei der<br />
Wellenfrontkrümmung des auslaufenden Strahls R(z) und der Krümmungsradius<br />
des Spiegels Rcp übereinstimmen. Aus der Gleichung für die Änderung<br />
des Krümmungsradius der Wellenfront (A.23) folgt<br />
l = z0 + 1<br />
2 Rcp<br />
�<br />
± R2 cp − 4z2 R , (4.40)<br />
wobei sich die Größen auf das Gitter bei z = 0 beziehen. Ein vom <strong>Interferometer</strong><br />
aus gesehener konkaver Spiegel wird dann durch Rcp < 0 richtig beschrieben.<br />
In Abbildung 4.10 ist l bezüglich der Gitterposition in Abhängigkeit<br />
von der <strong>Interferometer</strong>armlänge L gezeigt. Positive Werte für l geben eine<br />
Position im <strong>Interferometer</strong> an, so dass für den ” Power-Recycling“-Spiegel<br />
nur die negativen Werte benutzt werden können.<br />
43
4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />
l [m]<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
-0.2<br />
-0.4<br />
-0.6<br />
0.5 0.55 0.6 0.65 0.7 0.75<br />
L [m]<br />
Abbildung 4.10: Position des Power-Recycling Spiegels l bezüglich des <strong>Strahlteiler</strong>s<br />
als Funktion der Armlänge L, wobei l < 0m eine Position vor dem <strong>Interferometer</strong><br />
angibt. Parameter waren der Krümmungsradius Rc2 = −0.6m eines Einkoppelspiegels<br />
und der Krümmungsradius des Endspiegels Rc1 = 0.5, die vom <strong>Strahlteiler</strong><br />
aus gesehen beide konkav sind. Einfallswinkel ist k = 30 ◦ und Beugunsgwinkel in<br />
1. Ordnung g = 60 ◦ .<br />
44
KAPITEL 5<br />
Experiment<br />
In diesem Kapitel wird die experimentelle Umsetzung eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s<br />
<strong>mit</strong> ” Power-Recycling“ auf Basis eines Gitterstrahlteilers präsentiert.<br />
Mit dem Aufbau wurden zwei Gitter auf ihre Gesamtverluste untersucht.<br />
Die Voraussetzungen dafür werden detailliert erläutert und die experimentellen<br />
Ergebnisse dargestellt.<br />
5.1 Experimentelle Grundlagen<br />
Im ersten Teil des Aufbaus wird eine definierte Lasermode für die Experimente<br />
hergestellt. Als kohärente Lichtquelle stand ein stabiles Lasersystem<br />
zur Verfügung. Ein optischer Resonator wurde <strong>mit</strong> Hilfe des Pound-Drever-<br />
Hall Verfahrens auf den Laser geregelt. Das räumlich und spektral gefilterte<br />
Laserlicht ist Ausgangspunkt für die weiteren Experimente.<br />
Das Lasersystem<br />
Als kohärente Lichtquelle stand ein Nd:YAG-Laser der Firma InnoLight aus<br />
der Produktreihe Mephisto <strong>mit</strong> einer Ausgangsleistung von 1,2 W bei einer<br />
Wellenlänge von 1064 nm zur Verfügung. Das Lasersystem ist als nicht planarer<br />
Ringoszillator (NPRO) aufgebaut. Ein Nd:YAG-Kristall dient dabei als<br />
laseraktives Medium, das <strong>mit</strong> Dioden bei einer Wellenlänge von 808 nm gepumpt<br />
wird, und gleichzeitig durch Totalreflexion an den Oberflächen einen<br />
Resonator bildet. Die Umlaufrichtung wird durch die nicht-planare Kristallgeometrie<br />
und einem extern angelegten Magnetfeld vorgegeben. Durch den
5 Experiment<br />
monolithischen Aufbau besitzt der NPRO eine hohe mechanische Stabilität.<br />
Das Modenfilter<br />
Das Modenfilter im Experiment ist ein quasimonolithischer Ringresonator<br />
aus drei Spiegeln, dessen Entwicklung ausführlich in [32] beschrieben ist.<br />
Zwei plane Spiegel dienen als Ein- und Auskoppelspiegel. Ein hochreflektierender<br />
Spiegel <strong>mit</strong> Krümmungsradius 1 m legt zusammen <strong>mit</strong> der Resonatorlänge<br />
420 mm die optischen Eigenmoden des Resonators fest. Um die<br />
mechanische Stabilität zu erhöhen, sind die drei Spiegel fest über einen Abstandshalter<br />
aus Aluminium verbunden, dessen Innenvolumen staubdicht<br />
verschlossen wurde. Zwischen dem sphärischen Spiegel und dem Halter ist<br />
ein ringfömiger Piezokristall angebracht. Durch Anlegen einer Spannung an<br />
den Piezokristall kann die Resonatorlänge variiert und an die Laserfrequenz<br />
angepasst werden. Unter entsprechend gewählten Bedingungen kommt nur<br />
die fundamentale TEM00-Mode zur Resonanz. Hinter dem Modenfilter steht<br />
dann ein beugungsbegrenzter Strahl in der Fundamentalmode zur Verfügung,<br />
dessen Strahltaille von 372µm zwischen den beiden planen Spiegeln liegt. Eine<br />
Möglichkeit das Modenfilter resonant zur Laserfrequenz zu halten, bietet<br />
das nachfolgend beschriebene Pound-Drever-Hall Verfahren.<br />
5.1.1 Pound-Drever-Hall Verfahren<br />
Das Pound-Drever-Hall (PDH) Verfahren ist eine Methode zur Stabilisierung<br />
einer Laserfrequenz auf einen optischen Resonator [33]. In dieser Arbeit wurde<br />
es genutzt, um optische Resonatoren (Modenfilter, ” Power-Recycling“)<br />
auf die Frequenz eines stabilen Lasersystems zu regeln. In abgewandelter<br />
Form wurde das PDH-Verfahren ebenfalls angewendet, um die Linienbreite<br />
einer Resonanz zu vermessen. Die Grundlagen sind identisch und werden an<br />
dieser Stelle beschrieben. Anschließend folgt die Beschreibung der experimentellen<br />
Umsetzung.<br />
Das Ziel des PDH-Verfahrens ist es, ein Signal zu gewinnen, das angibt in<br />
welche Richtung die Resonatorlänge verändert werden muss, da<strong>mit</strong> die Laserfrequenz<br />
resonant ist. Auf Resonanz ist die reflektierte Intensität minimal<br />
und nimmt bei Verstimmung zu beiden Seiten zu. Die Phase des reflektierten<br />
Lichts zeigt dagegen einen Vorzeichenwechsel, kann aber nicht direkt detektiert<br />
werden. Beim PDH-Verfahren werden dem Laserlicht der Frequenz<br />
ω, auch Träger genannt, durch eine Phasenmodulation der Frequenz Ω Seitenbänder<br />
bei ω ±Ω aufgeprägt. Die Phasenmodulation wird im Experiment<br />
zum Beispiel durch einen elektro-optischen Modulator (EOM) geleistet. In<br />
Reflexion vom Resonator wird dann die Überlagerung der Seitenbänder <strong>mit</strong><br />
dem Träger durch eine Photodiode detektiert. Abseits der Resonanz erfahren<br />
die Seitenbänder und der Träger eine Phasenverschiebung zueinander,<br />
so dass bei der Überlagerung ein Anteil Amplitudenmodulation bei der Mo-<br />
46
5.1 Experimentelle Grundlagen<br />
dulationsfrequenz auftritt, der <strong>mit</strong> der Photodiode detektiert werden kann.<br />
Durch elektronische Demodulation <strong>mit</strong> einem Oszillator gleicher Frequenz<br />
kann dieser Anteil extrahiert werden. Die Form des demodulierten Signals<br />
hängt von der Phase des Oszillators zum detektierten Signal ab. In Abbildung<br />
5.1 ist das demodulierte Signal für zwei unterschiedliche Demodulationsphasen<br />
dargestellt. Die rote Kurve zeigt das typische Pound-Drever-Hall<br />
Signalamplitude [willk. Einheiten]<br />
2<br />
1.5<br />
1<br />
0.5<br />
0<br />
-0.5<br />
-1<br />
-1.5<br />
-2<br />
-20 -15 -10 -5 0 5 10 15 20<br />
f [MHz]<br />
Abbildung 5.1: Dispersionssignal (rot) und Absorptionssignal (grün) des Pound-<br />
Drever-Hall Verfahrens um die Resonanzfrequenz des Trägers für eine Modulationsfrequenz<br />
von 8MHz.<br />
Fehlersignal, auch Dispersionssignal genannt, dass einen Nulldurchgang auf<br />
Resonanz zeigt und da<strong>mit</strong> als Fehlersignal für die Regelung des Resonators<br />
verwendet werden kann. Bei Änderung der Demodulationsphase um<br />
90 ◦ erhält man das sogenannte Absorptionssignal. Dies zeigt ein Minimum<br />
und ein Maximum bei der Modulationsfrequenz. Das Absorptionssignal wird<br />
in dieser Arbeit verwendet um Frequenzmarker für die Vermessung einer Resonanz<br />
zu setzen.<br />
5.1.2 Aufbau des Modenfilters<br />
Einen Überblick des Aufbaus zur Filterung des Laserlichts zeigt Abbildung<br />
5.2. Un<strong>mit</strong>telbar hinter dem Laser folgt ein Faraday-Isolator als optische<br />
Diode, um Rückreflexe in den Laser zu unterdrücken. Er besteht aus<br />
zwei polarisierenden <strong>Strahlteiler</strong>n und einem Kristall an dem ein permanentes<br />
Magnetfeld anliegt. Linear polarisiertes Licht erfährt in dem Kristall eine<br />
nicht-reziproke Drehung der Polarisation. Durch geeignete Orientierung<br />
der polarisierenden <strong>Strahlteiler</strong> zueinander, können hin-und rücklaufender<br />
47
5 Experiment<br />
0,9 W<br />
mc<br />
PD<br />
λ/2<br />
HV-Verstärker Servo Mischer<br />
EOM<br />
λ/2<br />
10 Mhz<br />
Isolator<br />
λ/2<br />
λ/4<br />
Laser<br />
Abbildung 5.2: Aufbau zur Filterung des Laserlichts durch einen Ringresonator<br />
(mc) <strong>mit</strong> dem Pound-Drever-Hall Verfahren.<br />
Strahl getrennt werden. Mit einer λ/4 Scheibe wird die Polarisation des Lasers<br />
linearisiert und <strong>mit</strong> einer λ/2 Scheibe die Polarisation auf den Faraday-<br />
Isolator angepasst.<br />
Die Seitenbänder für das PDH-Verfahren wurden <strong>mit</strong> einem breitbandigen<br />
EOM durch Phasenmodulation bei 10 MHz erzeugt. Mit einer Photodiode<br />
wird das am Ringresonator reflektierte Licht detektiert. Um möglichst<br />
viel Leistung in den Resonator einzukoppeln, wurde der Strahl nach dem<br />
EOM <strong>mit</strong> einem Strahlanalysegerät vermessen und <strong>mit</strong> zwei ausgesuchten<br />
Linsen auf den Resonator angepasst. Mit einer weiteren λ/2 Scheibe vor dem<br />
Resonator wurde das Licht auf p-Polarisation gedreht. Die grob bestimmte<br />
Finesse betrug F= 340. Die nach dem Modenfilter zur Verfügung stehende<br />
Leistung von 0,9 W wurde auf meherer Experimente aufgeteilt, wobei das<br />
hier vorgestellte Experiment <strong>mit</strong> ausreichenden 60 mW bedacht wurde.<br />
Der elektronische Regelkreis für das Modenfilter ist ebenfalls in Abbildung<br />
5.2 skizziert. Der von der Photodiode detektierte frequenzabhängige<br />
Teil der Intensität wird in einem Mischer bei 10 MHz phasenrichtig demoduliert<br />
und elektronisch tiefpassgefiltert. Das so gewonnene Fehlersignal wurde<br />
in einem Servo weiterverarbeitet und <strong>mit</strong> einem Hochspannungsverstärker<br />
auf das Piezoelement des Resonators zurückgeführt. Eine gute Einführung<br />
in Regelungstechnik geben [35, 36].<br />
48
Temperaturnachführung des Modenfilters<br />
5.1 Experimentelle Grundlagen<br />
Im Experiment stellte sich heraus, dass über den Piezo nicht genügend<br />
Hub aufgebracht werden konnte, um temperaturbedingte Ausdehnungen des<br />
Aluminiumhalters über einen Zeitraum in der Größenordnung von 10 min<br />
zu kompensieren. Der Hochspannungsverstärker erreichte dann seine maximale<br />
Spannung und die Regelung fiel aus. Mit dem Piezo wurde zu diesem<br />
Zeitpunkt nur noch eine Durchstimmung des Resonators kleiner als<br />
ein freier Spektralbereich erreicht. Da durch die Offsetspannung des Servostellsignals<br />
direkt ein Fehlersignal zur Verfügung stand, wurde entschieden,<br />
das Modenfilter <strong>mit</strong> einer Temperaturnachführung zu versehen. Dazu<br />
wurde symmetrisch an den Seiten des Resonators jeweils ein Peltierelement<br />
und Kühlkörper <strong>mit</strong> Wärmeleitkleber befestigt, wie in Abbildung 5.3 zu sehen.<br />
Mit einer Spannung von 0.3 V konnte etwa 1 FSR durchgestimmt wer-<br />
Abbildung 5.3: Modenfilter <strong>mit</strong> Peltierelementen und Kühlkörpern zur Temperaturnachführung.<br />
den. Das Stellsignal für die Peltierelemente wurde deshalb, im Vergleich<br />
zum Piezo, um einen Faktor abgeschwächt. Für einen zusätzlichen Integrator<br />
wurde die Zeitkonstante des Systems auf 2 min abgeschätzt, indem<br />
die Zeit bestimmt wurde, die das Modenfilter brauchte, um sich nach einer<br />
Erwärmung wieder im Gleichgewicht zu befinden. Eine Spannungsbegrenzung<br />
vervollständigte diesen einfachen PI-Regler. Die langzeitigen Temperaturdrifts<br />
konnten so kompensiert werden. Der mechanische Einfluss der<br />
Nachrüstung auf den Resonator wurde in vorher und nachher aufgenommenen<br />
Transferfunktionen vom Regelkreis des Modenfilters kontrolliert und<br />
war vernachlässigbar.<br />
49
5 Experiment<br />
5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
Ein <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> besteht aus einem <strong>Strahlteiler</strong> und zwei hochreflektierenden<br />
Endspiegeln. In dieser Arbeit wurden zwei rein-reflektive<br />
<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> aufgebaut, wobei dielektrische Reflexionsgitter als<br />
<strong>Strahlteiler</strong> verwendet wurden. Von vornherein wurde die Leistungsüberhöhung<br />
durch ” Power-Recycling“ eingeplant, wofür ein teildurchlässiger Spiegel<br />
vor dem <strong>Interferometer</strong> verwendet wird. In diesem Abschnitt werden<br />
zunächst die verwendeten Gitter und Spiegel für das anschließende <strong>Interferometer</strong>design<br />
charakterisiert. Eine Regelung des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s<br />
<strong>mit</strong> interner Modulation wurde umgesetzt und der Kontrast bestimmt.<br />
5.2.1 Die verwendeten Gitterstrahlteiler<br />
Es standen in dieser Arbeit im wesentlichen zwei Gitterstrahlteiler zur Verfügung,<br />
die am Institut für Angewandte Physik (IAP) in Jena im Rahmen<br />
einer Diplomarbeit [22] berechnet und hergestellt wurden. Nach einer kurzen<br />
Beschreibung der Gitter wird die experimentelle Bestimmung der winkelabhängigen<br />
Beugungseffizienzen und der Gitterperiode erläutert.<br />
Abbildung 5.4 zeigt eine Aufnahme der Substrate <strong>mit</strong> Gittern. Die Git-<br />
Abbildung 5.4: Mit einer Infrarotkamera aufgenommene Bilder der Gitter, als<br />
das jeweilige <strong>Interferometer</strong> justiert war. Zu sehen sind die runden Zoll Substrate<br />
auf denen sich die Gitterstrukturen befinden und der Auftreffpunkt des Lasers<br />
ter befinden sich jeweils auf einem runden Zoll Substrat, dass von der Firma<br />
Layertec <strong>mit</strong> einem hochreflektierenden Schichtsystem aus Quarz (SiO2) <strong>mit</strong><br />
Brechungsindex 1,44 und Tantalpentoxid (Ta205) <strong>mit</strong> Brechungsindex 2,048<br />
beschichtet wurde. Da das Licht unter verschiedenen Winkeln auf den <strong>Strahlteiler</strong><br />
einfällt, wurde ein Schichtsystem gewählt, dass für einen breiten Winkelbereich<br />
hochreflektierend ist. Mit der Elektronenstrahl-Belichtungsanlage<br />
LION LV-1 wurde eine binäre Gitterstruktur geschrieben und anschließend<br />
durch Ionenstrahlätzen in die oberste Lage des Schichtsystems übertragen.<br />
50
Folgende Gitter wurden untersucht [37]:<br />
5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
• Substrat 1: Zu Testzwecken wurden vier Gitterstrahlteiler <strong>mit</strong> den Abmaßen<br />
3 × 3 mm hergestellt. Die Belichtungszeit lag bei 10 Stunden<br />
pro Gitter. Durch Variation der Füllfaktoren wurden unterschiedliche<br />
Beugungseffizienzen erreicht, wie später in Abbildung 5.6 gezeigt wird.<br />
• Substrat 2: Auf diesem Substrat wurde ein Gitter <strong>mit</strong> den Abmaßen<br />
5 × 5 mm hergestellt. Die Belichtung dauerte 14 Stunden. In [22] wird<br />
das Design und die Herstellung dieses Gitters ausführlich beschrieben.<br />
Winkelabhängige Charakterisierung von Gittern<br />
Zwei wichtige Eigenschaften eines diffraktiven <strong>Strahlteiler</strong>s sind die Beugungseffizienzen<br />
und die Winkel der Beugungsordnungen zueinander, die<br />
durch die Gitterperiode bestimmt werden. In diesem Abschnitt werden die<br />
Gitter auf diese winkelabhängigen Beugungseigenschaften untersucht, wobei<br />
zunächst die Durchführung dieser Messung beschrieben wird.<br />
Da<strong>mit</strong> die Winkel von Eingangs- und Ausgangsstrahlen vernünftig zueinander<br />
in Beziehung gesetzt werden können, muss der Auftreffpunkt des<br />
Strahls auf der Gitteroberfläche gut bekannt sein. Bei feststehendem Eingangsstrahl<br />
erfolgt dann die Winkeländerung des Gitters um diesem festen<br />
Punkt. Eine Schablone <strong>mit</strong> radial verlaufenden um jeweils 2 Grad gedrehten<br />
Linien und zwei Blenden in Richtung 0.Ordnung wurden, wie in Abbildung<br />
5.5 skizziert, genutzt, um die Position des Gitters für jeden neuen Winkel zu<br />
finden. Der Autreffpunkt auf dem Gitter wurde zudem <strong>mit</strong> einer Infrarotkamera<br />
beobachtet. Die Winkel konnten auf diese Weise <strong>mit</strong> einer Genauigkeit<br />
λ/2<br />
Abbildung 5.5: Aufbau für winkelabhängige Messungen.<br />
51
5 Experiment<br />
von etwa ±0,5 ◦ abgelesen werden. Die Gittereigenschaften wurden für TM-<br />
Polarisation berechnet. Mit einer λ/2 Scheibe und einem polarisierenden<br />
<strong>Strahlteiler</strong> wurde das Licht deshalb so eingestellt, dass bei Entfernen des<br />
polarisierenden <strong>Strahlteiler</strong>s p-polarisiertes Licht auf das Gitter trifft.<br />
Die Beugungseffizienzen wurden für verschiedene Winkel <strong>mit</strong> einem Leistungsmessgerät<br />
bestimmt. In Abbildung 5.6 sind die gemessenen Beugungseffizienzen<br />
für die 0. und 1. Ordnung für die vier Gitter des ersten Substrats<br />
dargestellt. Die Messungen zeigen deutlich den Einfluss des variierten Füll-<br />
Beugungseffizienz [%]<br />
Beugungseffizienz [%]<br />
100<br />
75<br />
50<br />
25<br />
100<br />
G1a<br />
0<br />
25 30 35 40<br />
75<br />
50<br />
25<br />
G1c<br />
0<br />
25 30 35 40<br />
Einfallswinkel [°]<br />
100<br />
75<br />
50<br />
25<br />
100<br />
G1b<br />
0.Ordnung<br />
1.Ordnung<br />
0<br />
25 30 35 40<br />
75<br />
50<br />
25<br />
G1d<br />
0<br />
25 30 35 40<br />
Einfallswinkel [°]<br />
Abbildung 5.6: Gemessene Beugungseffizienzen in Abhängigkeit des Einfallswinkels<br />
für die vier Gitter G1a-G1d des Substrats 1.<br />
faktors. Nur ein Gitter (G1a) zeigte ein 50/50 Teilungsverhältnis und wurde<br />
im weiteren verwendet.<br />
Für das später erhaltende zweite Substrat <strong>mit</strong> Gitter G2 wurde diese<br />
Messung <strong>mit</strong> breiterem Winkelbereich durchgeführt. Zum besseren Ver-<br />
52
5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
gleich wurde auch G1a nochmal vermessen. Die Ergebnisse zeigt Abbildung<br />
5.7. Bei den Aussparungen handelt es sich um Konfigurationen nahe<br />
Beugungseffizienz [%]<br />
Beugungseffizienz [%]<br />
100<br />
75<br />
50<br />
25<br />
100<br />
0<br />
20 30 40 50 60 70<br />
75<br />
50<br />
25<br />
G1a<br />
G2<br />
0.Ordnung<br />
1.Ordnung<br />
0.Ordnung<br />
1.Ordnung<br />
0<br />
20 30 40 50 60 70<br />
Einfallswinkel [°]<br />
Abbildung 5.7: Gemessene Beugungseffizienzen in Abhängigkeit des Einfallswinkels<br />
für Gitter G1a oben und Gitter G2 unten.<br />
dem Littrow-Winkel, bei denen eine direkte Leistungsmessung nicht möglich<br />
war. Die äußeren Winkel waren wegen des streifenden Lichteinfalls nicht<br />
mehr messbar. Die Winkel αbs1,αbs2 bei denen ein 50/50-Teilungsverhältnis<br />
besteht sind in Tabelle 5.1 aufgelistet.<br />
Eine weitere Größe für das <strong>Interferometer</strong>design <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />
ist die Gitterperiode. Sie bestimmt die geometrische Aufteilung der<br />
Strahlen und da<strong>mit</strong> die Strahlverformung bei gegebenem Einfallswinkel. Die<br />
Messung des Littrow-Winkels αLit, bei dem Einfallswinkel und Beugungswinkel<br />
in die 1.Ordnung übereinstimmen, ist eine einfache Möglichkeit auf<br />
53
5 Experiment<br />
die Gitterperiode zu schließen. Aus der Gittergleichung (2.1) folgt<br />
d =<br />
mλ<br />
, (5.1)<br />
2 sin(αLit)<br />
so dass die Gitterperiode durch eine einzige Winkelmessung bestimmt werden<br />
kann. Die gemessenen Littrow-Winkel und die daraus abgeleiteten Gitterperioden<br />
sind in Tabelle5.1 aufgelistet. Aus der Gitterperiode lässt sich<br />
der Einfallswinkel α⊥ berechnen, der eine <strong>Interferometer</strong>konfiguration <strong>mit</strong><br />
senkrecht zueinander angeordneten Armen erlaubt. Die Winkel α⊥ und dazu<br />
gehörigen Teilungsverhältnisse von 0. zu 1. Ordnung sind für beide Gitter<br />
ebenfalls in Tabelle 5.1 zu finden.<br />
αbs1[ ◦ ] αbs2[ ◦ ] αLit[ ◦ ] d[nm] α⊥[ ◦ ] Tv. bei α⊥[%]<br />
G1a 33,5 56,0 43 780,1 29,7 58/42<br />
G2 29,0 61,0 42,5 787,5 27,8 53/47<br />
Tabelle 5.1: Experimentell bestimmte Beugungseigenschaften der Gitter G1a und<br />
G2. Bei den Einfalsswinkeln αbs1 und αbs2 wird ein 50/50 Teilunsgverhältnis in<br />
0. und 1. Beugungsordnung erreicht, αLit und d sind der Littrow-Winkel und die<br />
daraus abgeleitete Gitterperiode. Mit dem Einfallswinkel α⊥ ist eine <strong>Interferometer</strong>anordnung<br />
<strong>mit</strong> senkrecht zueinander stehenden Armen möglich, wobei ein Teilungsverhältnis<br />
Tv. von 0. zu 1. Ordnung besteht.<br />
5.2.2 Die verwendeten Spiegel<br />
Das im <strong>Interferometer</strong> am Gitterstrahlteiler in 0. und 1.Ordnung aufgeteilte<br />
Licht, propagiert im jeweiligen Arm und wird durch hochreflektierende<br />
Endspiegel M0 bzw. M1 zurückreflektiert (vgl. Abbildung 5.8). Das <strong>Interferometer</strong><br />
wird beim ” Power-Recycling“ um einen halbdurchlässigen Spiegel<br />
Mp im Eingang erweitert. Dieser bildet <strong>mit</strong> dem <strong>Interferometer</strong> einen Resonator<br />
und dient als Einkoppelspiegel. Für das vorliegende Experiment und<br />
die Auswertung der Ergebnisse ist die genaue Kenntnis der optischen Spiegeleigenschaften<br />
essentiell. Da durch die rein-reflektive Toplogie die <strong>Interferometer</strong>anordnung<br />
auf bestimmte Sets von Parametern beschränkt wird,<br />
sind insbesondere die Krümmungsradien der Endspiegel für das <strong>Interferometer</strong>design<br />
wichtig. Die erreichbare Leistungsüberhöhung wird durch die<br />
Reflektivitäten bestimmt.<br />
Im Experiment standen zwei hochreflektierende Endspiegel <strong>mit</strong> einem<br />
Krümmungsradius von 0,5 m zur Verfügung. Sie wurden vom Hersteller<br />
(REO) <strong>mit</strong> einer Transmission von (300±30)ppm und Verlusten von 30 ppm<br />
spezifiziert. Der verwendete Einkoppelspiegel hat einen Krümmungsradius<br />
von 0,6 m und eine angegebene Reflektivität von (95 ± 1)%.<br />
54
5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
Dennoch wurde das Reflexions- und Transmissionsverhalten der Spiegel<br />
charakterisiert, da die genaue Kenntnis dieser Werte wichtig für die spätere<br />
Bestimmung der Gitterverluste ist.<br />
Für die Bestimmung der Reflektivität wurden aus den drei Spiegeln, drei<br />
Resonatoren aufgebaut und jeweils die Finesse er<strong>mit</strong>telt, wobei eine Methode<br />
<strong>mit</strong> Frequenzmarkern angewendet wurde, die in einem späteren Abschnitt<br />
erläutert wird. Die Resonatorlänge wurde so gewählt, dass sie dem späteren<br />
Aufbau des <strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> ” Power-Reycling“ entspricht und so<strong>mit</strong> als<br />
Referenz benutzt werden kann. Aus der Finesse F eines Resonators lässt sich<br />
auf das Produkt der Spiegelreflektivitäten schließen. Durch Kombination der<br />
Ergebnisse für die drei Resonatoren<br />
Fp0 = 119,4 ± 2,9, (5.2)<br />
Fp1 = 119,9 ± 2,4, (5.3)<br />
F01 = 5400 ± 500, (5.4)<br />
wobei die Indizes auf die jeweils verwendeten Spiegel hinweisen, lässt sich<br />
die Reflektivität jedes einzelnen Spiegels bestimmen.<br />
Die Transmission der Spiegel wurde zusätzlich <strong>mit</strong> einem Leistungsmessgerät<br />
er<strong>mit</strong>telt, wobei das Wechseln des Messkopfes bei den hochreflektierenden<br />
Spiegeln durch einen größeren Fehler berücksichtigt wurde. Die Reflektivitäten<br />
und Transmissivitäten für die Einzelkomponenten sind durch<br />
ρ 2 0 = 0,9993 ± 0,0012 τ 2 0 = (265 ± 27)ppm (5.5)<br />
ρ 2 1 = 0,9995 ± 0,0012 τ 2 1 = (264 ± 26)ppm, (5.6)<br />
ρ 2 p = 0,9494 ± 0,0012 τ 2 p = 0,0502 ± 0,0025, (5.7)<br />
gegeben, was innerhalb der Messungenauigkeiten den Spezifikationen entspricht.<br />
Für die spätere Bestimmung der Gitterverluste werden die Resonatorkombinationen<br />
<strong>mit</strong> Mp als Referenz verwendet.<br />
5.2.3 Design und Aufbau des <strong>Interferometer</strong>s<br />
Das Design des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s basiert auf der in Kapitel4 gegebenen<br />
analytischen Lösung (4.34) für ein <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong><br />
<strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong>. Sie beschreibt wie bei einer vorgegebenem <strong>Interferometer</strong>anordnung<br />
der Eingangsstrahl gewählt werden muss, um einen hohen<br />
Kontrast zu erreichen.<br />
Zunächst wurden die Strahleigenschaften im <strong>Interferometer</strong> für verschiedene<br />
Einfallswinkel auf den jeweiligen Gitterstrahlteiler um 30 ◦ untersucht.<br />
Dazu gehörten die Strahlgrößen auf dem Gitter und den Endspiegeln, die<br />
Elliptizität des Strahls an einem Endspiegel und die Länge des ” Power-<br />
Recycling“ Resonators. Die Unterschiede waren für die Realisierung des <strong>Interferometer</strong>s<br />
unbedeutend, so dass sich für einen Einfallswinkel <strong>mit</strong> einem<br />
50/50 Teilungsverhältnis entschieden wurde.<br />
55
5 Experiment<br />
Die Armlänge L des <strong>Interferometer</strong>s hat dagegen einen sehr viel entscheideneren<br />
Einfluss. In Anhang 2 finden sich einige Abbildungen in denen<br />
die genannten Strahleigenschaften über der Armlänge aufgetragen sind. Die<br />
Vorteile, wie geringe Elliptizität und Strahlgrößen auf den optischen Komponenten<br />
können eher den kürzeren Armlängen zugeordnet werden. Nachteilig<br />
wirkt sich aus, dass <strong>mit</strong> kleineren Armlängen die Länge l von ” Power-<br />
Recycling“ Spiegel zu Gitter sehr schnell größer wird, was die Entscheidung<br />
für eine Armlänge maßgeblich beeinflusste. Die gewählten Parameter<br />
für beide Aufbauten sind in Tabelle5.2 zusammengefasst. Jede Abweichung<br />
αin[ ◦ ] α1[ ◦ ] L[m] w0[µm] z0[m] l[m]<br />
G1a 34 53,6 0,58 271,6 0,208 0,299<br />
G2 29 60 0,55 274,6 0,186 0,315<br />
Tabelle 5.2: Designparameter für die experimentellen Aufbauten <strong>mit</strong> den Gittern<br />
G1a und G2. Aus dem gewählten Einfallswinkel αin resultierte der Beugungswinkel<br />
α1 in 1. Ordnung. Aus der Armlänge L folgte die Größe w0 und Lage z0 der<br />
Strahltaille, die da<strong>mit</strong> im <strong>Interferometer</strong> liegt. Der Abstand l vom Einkoppelspiegel<br />
des ” Power-Recycling“ Resonators zum Gitterstrahlteiler vervollständigt den<br />
Parametersatz.<br />
einer dieser Größen führt zu einem neuen Satz von Parametern, so dass<br />
beim Aufbau des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s eine Vielzahl an Freiheitsgraden<br />
bewältigt werden musste.<br />
Experimentelle Umsetzung<br />
Eine Übersicht des Aufbaus ist in Abbildung 5.8 gezeigt. Der durch den Modenfilter<br />
(mc) gereinigte Strahl wurde auf mehrere Experimente aufgeteilt,<br />
wobei der Strahl für dieses Experiment an den verwendeten <strong>Strahlteiler</strong>n<br />
konsequent nur reflektiert wurde, um mögliche Strahlverformungen beim<br />
Durchgang durch die planparallen <strong>Strahlteiler</strong>substrate zu vermeiden. Eine<br />
λ/2 Scheibe und ein polarisierender <strong>Strahlteiler</strong> wurden benutzt, um die Leistung<br />
für das Experiment variieren zu können. Mit Hilfe einer weiteren λ/2<br />
Scheibe wurde die Polarisation auf das Experiment angepasst. Der darauf<br />
folgende <strong>Strahlteiler</strong> wurde eingebaut, um die vom <strong>Interferometer</strong> reflektierte<br />
Leistung <strong>mit</strong> der Photodiode PD− zu detektieren.<br />
Die Modenanpassung an das <strong>Interferometer</strong> begann an dem Punkt (S),<br />
der 0,762 m vom Tailienradius w0 = 372µm im Modenfilter entfernt war.<br />
Nun wurden alle Längen bis zum <strong>Interferometer</strong> festgelegt, wobei mehrere<br />
Kriterien erfüllt werden sollten. Die Modenanpassung sollte über zwei<br />
Linsen realisiert werden, zwischen denen der Strahl fokussiert ist, um den<br />
nachträglichen Einbau eines EOM zu ermöglichen. Die Winkeleinstellung<br />
von Gitter und einfallendem Strahl erfolgte so, dass ein Arm parallel zur<br />
56
PD +<br />
Servo<br />
HV<br />
M 0<br />
Mischer<br />
GS<br />
M p<br />
213 kHz<br />
M 1<br />
PD t<br />
5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
S<br />
λ/2<br />
PD -<br />
λ/2<br />
PBS<br />
Abbildung 5.8: Skizzierter Aufbau für das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> Regelkreis<br />
zur internen Modulation.<br />
Tischkante lag, was leicht kontrolliert werden kann. Dadurch lässt sich die<br />
Gitteroberfläche wieder sehr genau positionieren und es muss nur der Winkel<br />
zum einlaufenden Strahl eingestellt werden. Aus diesem Grund wurden die<br />
zwei Umlenkspiegel nötig, die die Strecke (S) zum <strong>Interferometer</strong> aufteilten.<br />
Auf Basis dieser Längenvorgaben wurden <strong>mit</strong> dem Programm Mode-<br />
Matcher [38] mögliche Linsenkombinationen gefunden, die anschließend <strong>mit</strong><br />
der Software Finesse [39] auf Justagetoleranzen getestet wurden, wobei eine<br />
empfindliche Abhängigkeit bevorzugt wurde. Im Aufbau wurden die Linsenpositionen<br />
durch das Verfahren von Mikrometertischen verändert.<br />
Nachdem Linsen, Umlenkspiegel und Gitter justiert waren, wurden die<br />
Endspiegel positioniert. Der Endspiegel M0 war <strong>mit</strong> einem Piezokristall gehaltert,<br />
um die Länge des Armes durchzustimmen. Der andere Spiegel war<br />
auf einer sehr gut justierbaren Halterung (Lees) befestigt. Am dunklen Ausgang<br />
wurde die Leistung <strong>mit</strong> der Photodiode PD+ detektiert.<br />
Der langwierige Teil des Aufbaus bestand nun darin einen hohen Kontrast<br />
zu erreichen, indem Armlängen und Linsenpositionen systematisch,<br />
Strahllagen und Winkel probeweise verändert wurden. Die Tendenz der<br />
57<br />
mc
5 Experiment<br />
Veränderungen wurde am Verhältnis von maximaler und minimaler Intensität<br />
an PD+ auf einem Oszilloskop abgelesen.<br />
Bei einem feststehenden Endspiegel wurde systematisch die Position des<br />
anderen angepasst. Danach wurde <strong>mit</strong> den Linsen eine Modenanpassung<br />
analog zu Resonatoren durchgeführt. Anschließend wurde der feste Endspiegel<br />
um etwa einen Millimeter verschoben und alles erneut durchgeführt.<br />
Wenn sich keine Verbesserung mehr einstellte, wurden die weiteren Freiheitsgrade,<br />
wie Strahllagen und Einfallswinkel geändert. Dies führte entweder zu<br />
Verbesserungen oder zu einem Neuanfang. Die typischen Interferenzstreifen<br />
in dunklem und reflektierten Ausgang bei mikroskopischer Durchstimmung<br />
einer Armlänge des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s sind in Abbildung 5.9 dargestellt.<br />
normierte Photospannung [V]<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
-0.04 -0.03 -0.02 -0.01 0 0.01 0.02 0.03 0.04<br />
Zeit [s]<br />
PD +<br />
PD -<br />
Abbildung 5.9: Normierte Photospannung am dunklen Ausgang (PD+) und in<br />
Reflexion (PD−) des <strong>Interferometer</strong>s beim Durchstimmen der Piezospannung.<br />
Interne Modulation<br />
Der Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s ist definiert über die maximale und minimale<br />
Intensität am dunklen Ausgang. Für eine exakte Bestimmung dieser<br />
Werte wurde eine Regelung für das <strong>Interferometer</strong> aufgebaut, um es auf minimaler<br />
und maximaler Intensität zu stabilisieren. Für die Regelung gibt es<br />
verschiedene Methoden die unter den Namen interne, externe und Schnupp<br />
Modulation bekannt sind. Eine ausführliche Darstellung ist in [25] zu finden.<br />
In dieser Arbeit wurde die interne Modulation benutzt, da sie einfacher<br />
umzusetzen ist als die externe Modulation und keine Armlängendifferenz<br />
benötigt wie die Schnupp Modulation.<br />
58
5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
Der Regelkreis für die interne Modulation ist in Abbildung 5.8 skizziert.<br />
Die interne Modulation beruht auf Phasenmodulationen, die dem Licht innerhalb<br />
des <strong>Interferometer</strong>s aufgeprägt werden und am dunklen Ausgang<br />
detektiert werden. Durch Demodulation erhält man ein richtungsabhängiges<br />
Stellsignal für einen Endspiegel. Für die Phasenmodulation kann ein EOM<br />
in einen Arm gestellt werden, der aber die Strahlprofile entscheidend stört,<br />
so dass kein ganz hoher Kontrast erreicht werden würde. In dieser Arbeit<br />
wurde die Phasenmodulation über einen Endspiegel (M0) <strong>mit</strong> Piezokristall<br />
auf das Licht aufgeprägt. Dafür wurde eine sinusförmige Schwingung <strong>mit</strong><br />
der Modulationsfrequenz an den Kristall angelegt.<br />
Impedanz [Ω]<br />
10000<br />
1000<br />
100<br />
10<br />
1<br />
0.1<br />
Imp<br />
Pha<br />
-45<br />
-90<br />
-135<br />
-180<br />
10000 100000 1e+006 1e+007<br />
Frequenz [Hz]<br />
Abbildung 5.10: Impedanzmessung des Endspiegelpiezos. Für die Regelung des<br />
<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> interner Modulation wurde eine Modulationsfrequenz von<br />
213kHz gewählt.<br />
Die Modulation wurde vor dem Hochspannungsverstärker (HV) auf das<br />
Stellsignal des Piezos addiert. Es wurde eine Frequenz von 213 kHz gewählt,<br />
weil die Impedanzmessung (Abb.5.10) des Piezos in dieser Umgebung keine<br />
Resonanzen zeigte, die unter Umständen von Temperaturänderungen oder<br />
mechanischen Einflüssen abhängig sind. Als Phasenschieber wurde bei dieser<br />
niedrigen Frequenz ein Allpass <strong>mit</strong> Kapazitätsdiode (BB112) verwendet und<br />
in ein vorahandenens Mischerdesign integriert. Das Fehlersignal ist in Abbildung<br />
5.11 zu sehen. Die deutlich unterschiedliche Ausprägung der Fehlersignale<br />
ist ebenfalls in Nahaufnahmen bei den Intensitätsminima zu erkennen<br />
und zeigt womöglich eine geringe Dejustage durch die Piezoausdehnung.<br />
59<br />
180<br />
135<br />
90<br />
45<br />
0<br />
Phase [°]
5 Experiment<br />
normierte Photospannung [V]<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
-0.2<br />
PD +<br />
demod. PD +<br />
-0.015 -0.01 -0.005 0 0.005 0.01 0.015<br />
Zeit [s]<br />
Abbildung 5.11: Normierte Photospannung am dunklen Ausgang (PD+) und das<br />
demodulierte Signal für die Regelung des <strong>Interferometer</strong>s beim Durchstimmen der<br />
Piezospannung.<br />
5.2.4 Bestimmung des Kontrasts<br />
Der Kontrast wurde gemäß (3.30) aus maximaler und minimaler Intensität<br />
Imax bzw. Imin am dunklen Ausgang bestimmt. Dazu wurde das <strong>Interferometer</strong><br />
abwechselnd auf diese Arbeitspunkte stabilisiert. Aus zwanzig Wertepaaren<br />
wurde dann der Wert des Kontrasts C ge<strong>mit</strong>telt. und der Verlustanteil<br />
Ac in den dunklen Ausgang nach (3.33) berechnet. Für den ersten Aufbau<br />
ergab sich<br />
C1 = 0,99937 ± 0,00063 ⇒ Ac1 = (316 ± 315)ppm. (5.8)<br />
Beim zweiten Aufbau wurde <strong>mit</strong><br />
C2 = 0,99887 ± 0,00042 ⇒ Ac2 = (564 ± 213)ppm (5.9)<br />
ein geringerer, aber noch sehr guter Kontrast erreicht. In Abbildung 5.12<br />
ist die auf Imax normierte Intensität Imin am dunklen Ausgang dargestellt.<br />
Das justierte <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> ist Ausgangspunkt für die nächsten<br />
Experimente. Es wurden im Folgenden weder Armlängen noch Linsenpositionen<br />
verändert. Ein leicht verringerter Kontrast wurde gegebenfalls über<br />
Stahllagekorrekturen auf den Ausgangswert verbessert.<br />
60
normierte Photospannung PD +<br />
0.0014<br />
0.0012<br />
0.001<br />
0.0008<br />
0.0006<br />
0.0004<br />
0.0002<br />
0<br />
-0.0002<br />
Aufbau 1<br />
-0.02 0 0.02<br />
Zeit [s]<br />
0.0014<br />
0.0012<br />
0.001<br />
0.0008<br />
0.0006<br />
0.0004<br />
0.0002<br />
0<br />
5.3 ” Power-Recycling“<br />
Aufbau 2<br />
-0.0002<br />
-0.02 0 0.02<br />
Zeit [s]<br />
Abbildung 5.12: Normierte Photospannung am dunklen Ausgang über der Detektonszeit.<br />
Dargestellt ist das Dunkelrauschen der Photodiode (rot), die Intensitätsminima<br />
bei Verstimmung des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s (blau) und die auf<br />
dunklen Ausgang stabilisierte Intensität (grün). links: der erste Aufbau <strong>mit</strong> einem<br />
Kontrast von C = 0,99937 rechts: der zweite Aufbau <strong>mit</strong> geringerem Kontrast von<br />
C = 0,99887.<br />
5.3 ” Power-Recycling“<br />
In diesem Abschnitt wird die experimentelle Realisierung von ” Power-Recycling<br />
“ für ein <strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> vorgestellt. Dieser<br />
Aufbau wurde weiterhin benutzt, um den Gitterstrahlteiler als Teil eines Resonators<br />
auf seine optischen Gesamtverluste zu untersuchen. Eine Übersicht<br />
des um den Einkoppelspiegel Mp erweiterten Aufbaus zeigt Abbildung 5.13.<br />
Eine Voraussetzung für das Experiment ist die Regelung des <strong>Michelson</strong>-<br />
<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> ” Power-Recycling“. Der dazugehörige Regelkreis ist in<br />
Abbildung 5.13 skizziert und wird als erstes beschrieben. Anschließend wird<br />
gezeigt wie die Spiegelposition des Einkoppelspiegels Mp optimiert wurde,<br />
um Verluste in den dunklen Ausgang zu minimieren. Die Messung der Finesse<br />
und die Bestimmung der Gitterverluste schließen das Kapitel ab.<br />
Da ein sehr hoher Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s erzielt wurde, war es sinn-<br />
61
5 Experiment<br />
PD +<br />
Servo<br />
BS +<br />
HV<br />
M 0<br />
Mischer<br />
GS<br />
M p<br />
213 kHz<br />
M 1<br />
EOM<br />
PD t<br />
f marker<br />
S<br />
PD p<br />
10 MHz<br />
λ/2<br />
PD -<br />
λ/2<br />
PBS<br />
Abbildung 5.13: Aufbau des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> ” Power-Recycling“<br />
und den Regelkreisen für die interne Modulation (213kHz) und den ” Power-<br />
Recycling“ Resonator (10MHz). Zudem ist die Erzeugung von Frequenzmarkern<br />
schematisch dargestellt. Über den EOM werden Seitenbänder auf das Laserlicht<br />
moduliert. In Reflexion von dem ” Power-Recycling“ Resonator werden sie <strong>mit</strong> PD−<br />
detektiert und anschließend demoduliert.<br />
voll alle weiteren Komponenten an den vorhandenen Aufbau anzupassen.<br />
Der Einkoppelspiegel für den ” Power-Recycling“ Resonator (PR-Resonator)<br />
wurde <strong>mit</strong> einem Ringpiezo montiert. Die Halterung (Thorlabs: K6X) wurde<br />
so gewählt, dass neben der Verkippung des Spiegels auch eine horizontale<br />
und vertikale Verschiebung möglich war. Dadurch ließ sich die Lage des<br />
Spiegels auf den Eingangsstrahl justieren. In Abbildung 5.14 ist ein freier<br />
Spektralbereich gezeigt, bei manuell auf dunklem Ausgang gehaltenen<br />
<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>. Neben der Grundmode des Resonators ist noch<br />
eine vertikale TEM02-Mode im Spektrum zu sehen, die sich allein über den<br />
Einkoppelspiegel Mp nicht wegjustieren ließ.<br />
5.3.1 Längenregelung des ” Power-Recycling“ Resonators<br />
Das Stellsignal für die Regelung des PR-Resonators wurde <strong>mit</strong> dem Pound-<br />
Drever-Hall Verfahren gewonnen. Dazu wurden die 10 MHz Seitenbänder aus<br />
der Transmission des Modenfilters benutzt. Diese konnten in Reflexion am<br />
62<br />
mc
normierte Photospannung [V]<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
-0.001 0 0.001<br />
Zeit [s]<br />
5.3 ” Power-Recycling“<br />
Abbildung 5.14: Freier Spektralbereich des ” Power-Recycling“ Resonators, gemessen<br />
hinter einem Endspiegel. Das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> wurde manuell auf<br />
dunklem Ausgang gehalten. Neben der Fundamentalmode ist noch eine TEM02 im<br />
Spektrum zu sehen, die allein über den Einkoppelspiegel nicht wegjustiert werden<br />
konnte.<br />
PR-Resonator <strong>mit</strong> einer bei 10 MHz resonanten Photodiode PDp detektiert<br />
werden.<br />
Ein praktisches Problem besteht darin, dass die Regelung von <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
und PR-Resonator nicht unabhängig voneinander sind.<br />
Ist der PR-Resonator nicht auf Resonanz, gelangt nur wenig Licht in das<br />
<strong>Interferometer</strong>, wodurch die Regelsignale im Ausgang des <strong>Interferometer</strong>s<br />
entsprechend klein sind. Umgekehrt hängt die Regelung des Resonators von<br />
Verlusten in den dunklen Ausgang ab. In diesem Experiment wurde deshalb<br />
das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> zunächst manuell auf dem Intensitätsminimum<br />
gehalten und die Regelung des Resonators eingeschaltet. Danach konnte<br />
das <strong>Interferometer</strong> ebenfalls stabilisiert werden. Die Regelkreisverstärkungen<br />
wurden gegebenfalls über ihren jeweiligen Proportionalanteil angepasst.<br />
Die Regelung des Resonators funktionierte ebenfalls noch, wenn das <strong>Interferometer</strong><br />
um seinen Arbeitspunkt verstimmt wurde. Abbildung 5.15 zeigt<br />
die gemessenen Intensitäten hinter einem Endspiegel (PDt) und im dunklen<br />
Ausgang (PD+). Das Fehlersignal für die Regelung des <strong>Interferometer</strong>s ist<br />
ebenfalls dargestellt.<br />
63<br />
PD t
5 Experiment<br />
Spannung [V]<br />
3<br />
2<br />
1<br />
0<br />
-1<br />
-2<br />
-3<br />
-0.015 -0.01 -0.005 0 0.005 0.01 0.015<br />
Zeit [s]<br />
PD +<br />
demod. PD +<br />
PD t<br />
Rampe<br />
Abbildung 5.15: Durchstimmung des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s während der<br />
” Power-Recycling“ Resonator auf Resonanz geregelt wurde. Dargestellt sind normierte<br />
Leistungen im dunklen Ausgang PD+, in Transmission eines Endspiegels<br />
PD− und das Fehlersignal (demod. PD+) für die interne Modulation.<br />
5.3.2 Position des ” Power-Recycling“ Spiegels<br />
Im oben beschriebenen Aufbau des <strong>Interferometer</strong>s wurde durch die Anpassung<br />
von Eingangsstrahl und <strong>Interferometer</strong> aufeinander ein hoher Kontrast<br />
erreicht. Theoretisch entspricht dies einer konfokalen Anordnung, die<br />
den Strahl exakt in sich zurück abbildet. Jede Abweichung des Strahls bei<br />
feststehendem Aufbau führt zu einem schlechteren Kontrast. Aus diesem<br />
Grund muss der Einkoppelspiegel vor dem <strong>Interferometer</strong> ebenfalls konfokal<br />
für diese Mode sein, so dass Resonatormode und <strong>Interferometer</strong>mode<br />
identisch sind.<br />
In Kapitel 3 wurde der Einfluss des Kontrasts auf ein <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
<strong>mit</strong> ” Power-Recycling“ diskutiert. Die Resultate können verwendet<br />
werden, um die optimale Position des Einkoppelspiegels zu finden. Ein hoher<br />
Kontrast bedeutet eine hohe interne Leistung auf Resonanz, die bis auf<br />
einen Faktor in Transmission der Endspiegel gemessen werden kann. Im<br />
dunklen Ausgang sind die Verluste messbar. Wenn der Kontrast besser ist,<br />
misst man bei mehr interner Leistung verhältnismäßig weniger am dunklen<br />
Ausgang.<br />
Das Verhältnis von Verlusten zu Verstärkung wurde für verschiedene<br />
Entfernungen l des Einkoppelspiegels vom Gitter gemessen. An jeder Spiegelposition<br />
wurde zuerst auf maximale Überhöhung justiert, wobei das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
manuell auf dunklen Ausgang gestellt wurde. An-<br />
64
5.3 ” Power-Recycling“<br />
schließend konnte bei geregeltem Gesamtsystem durch leichten Druck auf<br />
die Spiegelhalterungen festgestellt werden, ob das Verhältnis der Photospannungen<br />
U+ zu Ut der Photodioden PD+ bzw. PDt minimal war. Das Ergebnis<br />
dieser Messungen ist in Abbildung 5.16 für beide Aufbauten gezeigt.<br />
Demnach war die Spiegelpositionen für die beste Anpassung an die Mode<br />
norm. Photospannung U + /U t<br />
10<br />
9<br />
8<br />
7<br />
6<br />
5<br />
4<br />
3<br />
2<br />
1<br />
0<br />
Aufbau 1<br />
Aufbau 2<br />
28 30 32 34 36<br />
lpr [cm]<br />
38 40 42 44<br />
Abbildung 5.16: Normiertes Verhältnis der Photospannungen am dunklen Ausgang<br />
(PD+) und in Transmsission eines Endspiegel (PDt) für verschiedene Entfernung<br />
l des ” Power-Recycling“ Spiegels von dem Gitterstrahlteiler für zwei unterschiedliche<br />
Aufbauten. Die geringsten Verluste in den dunklen Ausgang werden bei<br />
minimalen Verhältnis erreicht.<br />
des <strong>Interferometer</strong>s im ersten Aufbau bei 0,341 m. Die Abweichung von dem<br />
Designwert 0,299 m ist konsistent da<strong>mit</strong>, dass eine Armlänge von 0,566 m<br />
statt 0,58 m realisiert wurde, was in Abbildung B.2 zu sehen ist. Ähnliches<br />
gilt für den zweiten Aufbau, bei dem statt einer Armlänge von 0,55 m<br />
0,538 m aufgebaut wurde. Der Unterschied in der Position des Einkoppelspiegels<br />
von den geplanten 0,315 m zu den gemessenen 0,398 m ist ebenfalls<br />
konsistent <strong>mit</strong> den berechneten Werten, die in Abblidung B.4 gezeigt sind.<br />
5.3.3 Bestimmung der Finesse<br />
Es werden zwei Methoden zur Bestimmung der Finesse erläutert und die<br />
Ergebnisse vorgestellt. Im darauf folgenden Abschnitt werden die Ergebnisse<br />
verwendet, um die Verluste des Gitters zu bestimmen.<br />
65
5 Experiment<br />
Kalibration des Piezos<br />
Um die Länge des Resonators mikroskopisch zu verändern, ist der Einkoppelspiegel<br />
auf einem Ringpiezo befestigt, der <strong>mit</strong> einer Dreiecksspannung angesteuert<br />
wird. Da die Spannungs-Ausdehnung-Kennlinie eines Piezos nicht<br />
linear ist, werden als Resultat die Abstände der Transmissionmaxima sowie<br />
die Breite der Resonanzen <strong>mit</strong> steigender Spannung verzerrt. Dies muss<br />
bei Bestimmung der Finesse, die das Verhältnis beider ist, beachtet werden.<br />
Neben der Nichtlinearität weist die Kennlinie eine Hysterese auf und<br />
ist zudem abhängig von der angelegten Offsetspannung und Frequenz. Um<br />
diese Effekte zu berücksichtigen kann der Piezo für verschiedene Arbeitspunkte<br />
kalibriert werden, so dass aus der angelegten Rampenspannung auf<br />
die Längenänderung geschlossen werden kann [40].<br />
Eine andere Kalibration, die unabhängig von einzelnen Arbeitspunkten<br />
ist, wurde für den ersten Aufbau durchgeführt. Dafür wurden <strong>mit</strong> einer<br />
Rampenflanke mehrere freie Spektralbereiche aufgenommen. Das <strong>Michelson</strong>-<br />
<strong>Interferometer</strong> wurde auf den dunklen Ausgang eingestellt, was am Photodiodensignal<br />
PD+ kontrolliert wurde, und sich über Zeiträume von wenigen<br />
Sekunden als genügend stabil erwies. Der Verlauf der Rampenspannung und<br />
die trans<strong>mit</strong>tierte Intensität, die hinter einem Endspiegel detektiert wurde,<br />
sind in Abbildung 5.17 gezeigt. Die Intensitätsmaxima benachbarter TEM00-<br />
normierte Spannung [V]<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
-0.08 -0.06 -0.04 -0.02 0<br />
Zeit [s]<br />
PD t<br />
Rampe<br />
Abbildung 5.17: Aufnahme von fünf freien Spektralbereichen des PR-Resonators.<br />
Dargestellt sind die gemessene Leistung in Transmission eines Endspiegels (PDt)<br />
und die Rampenspannung am Piezo. Die unterschiedlichen Abstände der Resonanzen<br />
sind auf die Nichtlinearität des Piezos zurückzuführen.<br />
Moden markieren Punkte die genau einen freien Spektralbereich (FSR) aus-<br />
66
5.3 ” Power-Recycling“<br />
einanderliegen. Aus diesen wird eine Kalibrationsfunktion νFSR(Upz) gebildet,<br />
die die angelegte Spannung in Frequenzen umrechnet.<br />
Die Daten wurden <strong>mit</strong> einem Oszilloskop von Agilent aufgenommen und<br />
über einen Rechner <strong>mit</strong> entsprechender Software ausgelesen. Auf diese Weise<br />
wurden mehrere freie Spektralbereiche <strong>mit</strong> einer Auflösung von einer Million<br />
Datenpunkte aufgenommen. In Abbildung 5.18 ist oben dargestellt, wie sich<br />
die Spannungsdifferenz ∆U benachbarter Transmissionsmaxima für aufeinanderfolgende<br />
freie Spektralbereiche unterscheidet. In diesem Bild entspricht<br />
ein lineares Piezoverhalten einer horizontalen Linie. Das untere Bild zeigt die<br />
∆ U [willk. Einheiten]<br />
ν [FSR]<br />
8<br />
6<br />
4<br />
2<br />
0<br />
1.8<br />
1.6<br />
1.4<br />
1.2<br />
1<br />
0 1 2 3 4 5 6<br />
FSR<br />
Messung<br />
1.Ordnung<br />
2.Ordnung<br />
0 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07<br />
Upiezo [willk. Einheiten]<br />
Abbildung 5.18: Das obere Bild zeigt die Spannungsdifferenz ∆U benachbarter<br />
Transmissionsmaxima für fünf freie Spektralbereiche des ” Power-Recycling“ Resonators.<br />
Unten sind Kalibrationspolynome 1. und 2. Ordnung für den Piezo dargestellt.<br />
Kalibrationsfunktion ν(Upiezo) für Polynome 1. und 2. Ordnung. Mit einem<br />
Polynom 3. Ordnung wurde keine sichtbare Verbesserung erzielt. Die Daten<br />
aus zehn Messungen <strong>mit</strong> je fünf freien Spektralbereichen wurden kalibriert<br />
und ergaben für den Aufbau <strong>mit</strong> Gitter G1 eine Finesse von<br />
F = ∆νFSR<br />
∆νFWHM<br />
= 1,0019 ± 0,097<br />
= 103,2 ± 5,2, (5.10)<br />
0,0097 ± 0,0004<br />
67
5 Experiment<br />
wobei die Standardabweichungen der Messwerte angeben sind. Die Höhe der<br />
Standardabweichung wird durch die Messung der Linienbreite dominiert,<br />
was auf die Anzahl der Messwerte zurückgeführt werden kann. Ein weiterer<br />
Grund für die Streuung der Messwerte könnte eine leichte Dejustage durch<br />
die Ausdehnung des Piezokristalls sein, weshalb im zweiten Aufbau diese<br />
Methode nicht weiter verfolgt wurde.<br />
Frequenzmarker<br />
Die Finesse eines Resonators setzt sich zusammen aus der Linienbreite und<br />
dem freien Spektralbereich. Bei der vorherigen Methode wurden diese Größen<br />
aus einer Messung zueinander in Bezug gesetzt. Dabei wurde insbesondere<br />
die Bestimmung der Bandbreite durch die Auflösung li<strong>mit</strong>iert. Alternativ<br />
können beide Größen unabhängig voneinander bestimmt werden. Nach<br />
(3.48) ist der freie Spektralbereich durch die Resonatorlänge festgelegt. Die<br />
Linienbreite eines Resonators lässt sich <strong>mit</strong> Hilfe von Frequenzmarkern vermessen.<br />
Dazu werden dem Laserlicht durch eine Phasenmodulation der Frequenz<br />
Ω Seitenbänder vor dem Resonator aufgeprägt. Analog zum Pound-<br />
Drever-Hall Verfahren wird das vom Resonator reflektierte Licht detektiert<br />
und über einen Mischer bei der gleichen Frequenz demoduliert. Bei richtiger<br />
Einstellung der Demodulationsphase zeigt das Ausgangssignal ein Maximum<br />
und ein Minumum bei den Frequenzen ±Ω, die symmetrisch um die Resonanz<br />
liegen. Der Abstand dieser Frequenzen wird benutzt, um die Achse<br />
der Resonatorverstimmung zu kalibrieren. Wenn die Frequenzmarker nahe<br />
der Resonanz gesetzt werden, kann die oben beschriebene Nichtlinearität<br />
des Piezos vernachlässigt werden und man erhält eine gute Auflösung der<br />
Datenpunkte.<br />
Im Experiment wurden die Seitenbänder über einen breitbandigen EOM<br />
erzeugt, der nachträglich zwischen die Linsen zur Modenanpassung gestellt<br />
wurde. Dadurch war zuvor eine optimale Justage von <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />
und Einkoppelspiegel an einem ungestörten Strahl möglich. Durch den<br />
Einbau des EOM verschlechterte sich zwar die einfallende Mode auf das<br />
<strong>Interferometer</strong>, da aber der Resonator den Strahl räumlich filtert, wurde<br />
effektiv nur eine geringere Leistung eingekoppelt.<br />
Für die Modulation des EOM wurde ein Frequenzgenarator (Stanford)<br />
benutzt. Ein zweiter gleicher Bauart wurde phasenestarr gekoppelt und als<br />
Lokaloszillator für die Demodulation eingesetzt. Die Phasenanpassung konnte<br />
dann über einen der Frequenzgeneratoren erfolgen. Die Signale wurden<br />
in Reflexion des Einkoppelspiegels an PD− detektiert und über einen Mischer<br />
demoduliert. Die Phase wurde so eingestellt, dass das demodulierte<br />
Signal einen flachen Verlauf auf Resonanz zeigte. Dies ist in Abbildung 5.19<br />
für den Aufbau <strong>mit</strong> Gitter G1 oben und den Aufbau <strong>mit</strong> Gitter G2 unten<br />
gezeigt, wobei eine Modulationsfrequenz von fmod = 8 ± 0,08 MHz verwendet<br />
wurde. Der Fehler der Markerposition resultiert aus der Einstellung der<br />
68
5.3 ” Power-Recycling“<br />
Demodulationsphase und wurde aus simulierten Fehlersignalen abgeleitet.<br />
normierte Photospannung<br />
normierte Photospannung<br />
1.2<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
1.2<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
1.Aufbau<br />
PD t<br />
dem. PD -<br />
-0.01 -0.005 0 0.005 0.01<br />
2.Aufbau<br />
-0.0002 -0.0001 0 0.0001 0.0002<br />
Zeit [s]<br />
PD t<br />
dem. PD -<br />
Abbildung 5.19: Dargestellt sind 8MHz Frequenzmarker (grün) für die Bestimmung<br />
der Linienbreite der Resonanz (rot) des ” Power-Recycling“ Resonators. oben:<br />
Messung zum Aufbau <strong>mit</strong> Gitter G1a, unten: Messung zum Aufbau <strong>mit</strong> Gitter G2<br />
Für die Bestimmung der Linienbreite ∆ν wurden mindestens 20 Aufnahmen<br />
ausgewertet und ergaben<br />
∆ν1 = (1,63 ± 0,10)MHz (5.11)<br />
∆ν2 = (1,41 ± 0,02)MHz (5.12)<br />
für ersten bzw. zweiten Aufbau, wobei die Standardabweichungen angegeben<br />
sind. Die deutlich kleineren Schwankungen beim zweiten Aufbau sind auf<br />
gewonnene Erfahrungen <strong>mit</strong> dem Experiment zurückzuführen. Insbesondere<br />
wurde darauf geachtet, dass die Spannungen an den Piezos von Endspiegel<br />
und Einkoppelspiegel optimal gewählt wurden.<br />
Die Länge der <strong>Interferometer</strong>arme L0 und L1 und der Abstand von Gitter<br />
zu Einkoppelspiegel lp wurde für jeden Aufbau von mehreren Personen<br />
gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 5.3 zusammengefasst, wobei die<br />
Resonatorlänge <strong>mit</strong> lres = lp + L = lp + (L0 + L1)/2 berechnet wurde. Die<br />
69
5 Experiment<br />
Aufbau L0[m] L1[m] L[m] lp[m] lres[m]<br />
Gitter1 0,566 0,565 0,566 0,341 0,906 ± 0,004<br />
Gitter2 0,537 0,538 0,538 0,398 0,936 ± 0,004<br />
Tabelle 5.3: Gemessene Armlängen L0, L1, ge<strong>mit</strong>telte Armlänge L, Abstand von<br />
Einkoppelspiegel zu Strahlteier lp und Resonatorlänge des ” Power-Recycling“ Resonators<br />
lres.<br />
Messungenauigkeit betrug dabei ±2 mm pro Längenmessung. Aus den angegebenen<br />
Werten berechnet sich die Finesse F gemäß (3.50) zu<br />
F1 = 101,4 ± 6,6 (5.13)<br />
F2 = 113,8 ± 2,0. (5.14)<br />
Die unterschiedlich hohen Standardabweichungen wurden oben begründet.<br />
Vor der jeweiligen Messung der Linienbreite wurden die Verluste in den<br />
dunklen Ausgang am justierten Aufbau gemessen. Diese wurden für die Bestimmung<br />
der Verluste des Gitterstrahlteilers gebraucht. Dafür wurden bei<br />
stabilisiertem Gesamtsystem die Leistungen hinter den Endspiegeln M0, M1<br />
und nach dem <strong>Strahlteiler</strong> BS+ im dunklen Ausgang <strong>mit</strong> einem Leistungsmessgerät<br />
bestimmt. Aus der gemessenen Leistung hinter einem Endspiegel<br />
bekannter Transmissivität konnte auf die Leistung im jeweiligen Arm<br />
geschlossen werden. Aus dieser wurde dann, über das Teilungsverhältnis<br />
des Gitterstrahlteilers, die interne Gesamtleistung des Resonators bestimmt.<br />
Aus dem Verhältnis von gemessener Leistung im dunklen Ausgang zu interner<br />
Resonatorleistung ergab sich der Verlustanteil Ac des Resonators durch<br />
einen nicht perfekten Modenüberlapp am <strong>Strahlteiler</strong>. Die Ergebnisse für<br />
ersten und zweiten Aufbau sind<br />
Ac1 = (232 ± 37)ppm (5.15)<br />
Ac2 = (548 ± 88)ppm (5.16)<br />
und im Bezug zu den oberen Werten der Finesse zu sehen, da sie direkt<br />
nacheinander aufgenommen wurden. Die Verluste ohne ” Power-Recycling “<br />
durch einen nicht perfekten Kontrast (5.8) und (5.9) waren beinahe identisch,<br />
was ein zusätzlicher Anhaltspunkt dafür ist, dass der Einkoppelspiegel<br />
sehr gut positioniert und justiert war. Die experimentellen Ergebnisse dieses<br />
Abschnitts werden zur Bestimmung der Gitterverluste verwendet.<br />
5.3.4 Verluste des Gitterstrahlteilers<br />
In den vorherigen Abschnitten wurde die experimentelle Realisierung eines<br />
<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> ” Power-Recycling “ gezeigt. Der Gitterstrahlteiler<br />
ist in dem Versuch Teil eines Resonators, der sich aus dem Einkoppelspiegel<br />
und dem <strong>Interferometer</strong> bildet. Die Bestimmung der Gitterverluste<br />
70
5.3 ” Power-Recycling“<br />
kann über die gemessene Finesse erfolgen, wenn die anderen Komponenten<br />
und Verluste gut bekannt sind.<br />
Im verlustfreien Fall kann aus der Finesse F eines Resonators auf das<br />
Produkt der Spiegelreflektivitäten<br />
�<br />
π<br />
�<br />
R = ρ1ρ2 = 2 − cos −<br />
F<br />
�<br />
� �<br />
π<br />
� �2 cos − 2 − 1 (5.17)<br />
F<br />
geschlossen werden, wobei ρ1 die Amplitudenreflektivität des Einkoppelspiegels<br />
und ρ2 die Amplitudenreflektivität des zweiten Spiegels sind. Durch<br />
einen Verlust A bezüglich der Lichtleistung, der dem zweiten Spiegel zugerechnet<br />
werden kann, wird das Produkt (5.17) um den Faktor a = √ 1 − A<br />
kleiner sein, so dass RA = √ 1 − AR gilt und der Verlust aus<br />
A = 1 −<br />
� RA<br />
R<br />
� 2<br />
(5.18)<br />
berechnet werden kann.<br />
Aus den Endspiegeln M0, M1 und dem Einkoppelspiegel Mp wurden in einem<br />
vorherigen Abschnitt Resonatoren aufgebaut, die annähernd die gleiche<br />
Länge hatten wie der ” Power-Recycling “ Resonator. Die ge<strong>mit</strong>telte Finesse<br />
Fref der Resonatoren, die aus den Kombinationen Mp-M0 und Mp-M1 gebildet<br />
wurden, stellt eine ideale Referenz für den Aufbau <strong>mit</strong> Gitter dar,<br />
weil sowohl die Reflektivitäten der Spiegel als auch Verluste des Aufbaus,<br />
wie Lichtstreuung, in die Messung eingehen. Durch die <strong>Interferometer</strong>anordnung<br />
werden dann zwei zusätzliche Verluste eingeführt. Dies ist zum einen<br />
der Gesamtverlust des Gitters AG durch Transmission, Überordnungen und<br />
Streulicht, der bestimmt werden soll. Daneben wird ein Verlustanteil Ac<br />
durch eine nicht perfekte Interferenz am <strong>Strahlteiler</strong> auftreten, der, wie oben<br />
beschrieben, gemessen werden konnte.<br />
Ausgehend vom Referenzwert Rref, der gemäß (5.17) <strong>mit</strong> der Finesse<br />
Fref bestimmt wurde, berechnen sich die zusätzlichen Gesamtverluste des<br />
Aufbaus <strong>mit</strong> Gitter zu<br />
� �2 RG<br />
A = 1 − , (5.19)<br />
Rref<br />
<strong>mit</strong> dem noch zu bestimmenden Wert RG für den jeweils untersuchten<br />
” Power-Recycling“ Resonator. In A sind dann sowohl die Verluste in den<br />
dunklen Ausgang Ac enthalten, als auch der doppelte Gitterverlust 2AG ,<br />
da das Gitter als <strong>Strahlteiler</strong> zweimal getroffen wird. Der Gesamtverlust des<br />
Gitters berechnet sich demnach zu<br />
A − Ac<br />
AG = . (5.20)<br />
2<br />
Die gemessenen Lininienbreiten ∆ν und freien Spektralbereiche FSR der<br />
untersuchten Resonatoraufbauten sind in Tabelle 5.4 <strong>mit</strong> der jeweils berechneten<br />
Finesse F zusammengestellt.<br />
71
5 Experiment<br />
Aufbau ∆ν[MHz] FSR[GHz] F<br />
Ref. 1,39 ± 0,03 0,167 ± 0,003 119,7 ± 2,7<br />
G1a 1,63 ± 0,10 0,165 ± 0,006 101,4 ± 6,6<br />
G2 1,41 ± 0,02 0,160 ± 0,006 113,8 ± 2,0<br />
Tabelle 5.4: Gemessene Werte der Linienbreite ∆ν, Resonatorlänge L und die<br />
daraus berechnete Finesse von drei Experimenten. Die Referenz wurde aus Fabry-<br />
Perot-Resonatoren <strong>mit</strong> den Spiegelkombinationen Mp-M0 und Mp-M1 ge<strong>mit</strong>telt.<br />
Bei den Experimenten <strong>mit</strong> den Gittern G1a und G2 handelt es sich um <strong>Michelson</strong>-<br />
<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> ” Power-Recycling“, wobei die gleichen Spiegel M0 und M1 als<br />
Endspiegel und Mp als Resonatoreinkoppelspiegel verwendet wurden.<br />
Die Gesamtverluste des ersten Aufbaus wurden, wie oben beschrieben,<br />
zu A1 = (0,94 ± 0,41)% berechnet. Für den zweiten Aufbau ergab sich<br />
A2 = (0,27 ± 0,16)%. Die Fehler wurden über eine Fehlerfortpflanzung und<br />
anschließender Bildung des quadratischen Mittelwerts (qmw) bestimmt, wobei<br />
die Messabweichungen von ∆ν, L, fmarker und der Referenz eingegangen<br />
sind. Dafür wurde jeder Fehler einzeln in den entsprechenden Fehler des Verlusts<br />
umgerechnet. Diese Projektion der Einzelfehler ist in in Tabelle 5.5 für<br />
beide Gitterexperimente zusammengefasst Die Gesamtverluste des Gitters<br />
Aufbau 1 Aufbau 2<br />
Größe Fehler Ai Fehler Ai<br />
L ±4 mm ±225 ppm ±4 mm ±205 ppm<br />
∆ν ±6,1% ±3850 ppm ±1,4% ±780 ppm<br />
fmarker ±80 kHz ±620 ppm ±80 kHz ±550 ppm<br />
Referenz - ±1230 ppm - ±1230 ppm<br />
qmw ±0,41 % ±0,16 %<br />
Tabelle 5.5: Analyse der Messfehler bei der Verlustbestimmung von Aufbau 1 <strong>mit</strong><br />
Gitter G1a und Aufbau 2 <strong>mit</strong> G2. Dargestellt sind die Fehler der Einzelmessungen<br />
für Armlänge L, Linienbreite ∆ν, Position der Frequenzmarker fmod und durch den<br />
Referenzresonator. Durch Fehlerfortpflanzung wurden sie einzeln auf den Fehler<br />
für den Verlust Ai projiziert. Der Gesamtfehler bei der Verlustbestimmung ist als<br />
quadratischer Mittelwert qmw angegeben.<br />
durch Streuung, Absorbtion, Transmission und Überordnungen erhält man<br />
nach Abzug der Verluste in den dunklen Ausgang (5.15, 5.16) gemäß (5.20)<br />
zu<br />
AG1a = (0,46 ± 0,21)% (5.21)<br />
AG2 = (0,11 ± 0,08)%. (5.22)<br />
Die Genauigkeit der Messung wurde durch die Fehler bei der Linienbreiten-<br />
72
5.3 ” Power-Recycling“<br />
bestimmung dominiert, was unter anderem auf mechanische und akustische<br />
Störungen zurückzuführen ist, da das Experiment an Luft aufgebaut wurde<br />
und immerhin eine Resonatorlänge von ≈ 0,9 m hatte, wodurch sich Störungen<br />
über die Entfernung stärker auswirken, als bei einem kleineren Aufbau.<br />
Zudem wurde das <strong>Interferometer</strong> nicht aktiv stabilisiert, sondern manuell<br />
auf dunklen Ausgang eingestellt. Dies erwies sich zwar als recht stabil, da<br />
Lufströmungen durch Abdeckungen reduziert wurden, ist aber sicher nicht<br />
optimal. Eine noch offene Option ist die Verwendung eines Einkoppelspiegels<br />
höherer Reflektivität, so dass die Verluste des Gitters dominierend werden.<br />
Zusätzlich muss dann versucht werden, die Störungen auf das System weiter<br />
zu verringern.<br />
73
5 Experiment<br />
74
KAPITEL 6<br />
Zusammenfassung<br />
Für zukünftige Generationen hochpräziser Laserinterferometer zur Gravitationswellendetektion,<br />
die durch thermische Effekte li<strong>mit</strong>iert sein werden,<br />
bieten rein-reflektive Topologien auf Basis von Reflexionsgittern einen vielversprechenden<br />
Ansatz zur Steigerung der Empfindlichkeit. Dafür sollten<br />
diffraktive Optiken eine vergleichbar hohe Qualität und geringe Verluste wie<br />
die konventionell verwendeten Optiken aufweisen. Dielektrische Reflexionsgitter<br />
könnten diese Anforderungen erfüllen. Die Entwicklung und Herstellung<br />
der verwendeten Gitter ist Gegenstand aktueller Forschung und ist von<br />
unserem Projektpartner dem IAP in Jena durchgeführt worden.<br />
Zusammenfassung der Arbeit<br />
Gegenstand dieser Arbeit war die Untersuchung eines speziell angefertigten<br />
dielektrischen Reflexionsgitters als zentraler 50/50-<strong>Strahlteiler</strong> in einer <strong>Interferometer</strong>anordnung.<br />
Dafür wurde erstmalig ein Design für ein <strong>Michelson</strong>-<br />
<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> ” Power-Recycling“ auf Basis eines strahlteilenden Reflexionsgitters<br />
entwickelt und experimentell realisiert. Mit diesem Aufbau war<br />
es möglich die optischen Gesamtverluste der Gitter zu bestimmen, wobei<br />
insbesondere das Streulicht <strong>mit</strong> erfasst wird.<br />
Es wurde zunächst erläutert, dass die rein-reflektive Topologie eines<br />
<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s zwei unterschiedliche Strahlprofile in den Armen<br />
bedingt. Trotz der Beschränkung auf sphärische Spiegel konnte gezeigt werden,<br />
dass ein perfekter Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s möglich ist, wenn der<br />
einfallende Strahl an das <strong>Interferometer</strong> angepasst wird. Das Design war
6 Zusammenfassung<br />
weiterhin darauf ausgelegt die Leistungsüberhöhung im <strong>Interferometer</strong> durch<br />
” Power-Recycling“ zu ermöglichen, um über die Finesse des ” Power-Recycling“<br />
Resonators auf die Gesamtverluste des Gitters zu schließen.<br />
Die experimentellen Ergebnisse von zwei nacheinander durchgeführten<br />
Aufbauten <strong>mit</strong> unterschiedlichen Gittern, bestätigten das gefundene Design<br />
und die Vorgehensweise. Es konnte ein hoher <strong>Interferometer</strong>kontrast von<br />
0,99936 im ersten und 0,99887 im zweiten Aufbau erreicht werden. Der Einfluss<br />
der Position des Einkoppelspiegels auf die Verluste in den dunklen<br />
Ausgang war ebenfalls konsistent <strong>mit</strong> den Überlegungen, dass das <strong>Interferometer</strong><br />
eine Mode für den Eingangsstrahl festlegt. Die gemessenen Gitterverluste<br />
von (0,46±0,21)% für ein Testgitter und ein bisher unerreicht niedriger<br />
Verlust von (0,11 ±0,08)% für ein optimiertes Gitter zeigen die Fortschritte<br />
auf dem Gebiet der Herstellung und Design von diffraktiven Komponenten.<br />
Die Messergebnisse zeigen ebenfalls, dass die vorgestellte Methode zur<br />
Messung der Gesamtverluste eines Gitterstrahlteilers geeignet ist.<br />
Ausblick<br />
Im Vergleich <strong>mit</strong> früheren Arbeiten zeigt sich eine stetige Verbesserung der<br />
Qualität diffraktiver Komponenten, die noch viel Potential beinhaltet. Das<br />
Streulicht stellt den wohl dominierenden Verlustanteil dar und könnte zum<br />
Beispiel durch überbeschichtete Strukturen reduziert werden. Ein weiterer<br />
Ansatz stellen neue Herstellungsverfahren dar. Derzeit wird am IAP in Jena<br />
eine neue Belichtungsanlage (SB350 OS) in Betrieb genommen, <strong>mit</strong> der<br />
die Qualität der Komponenten sicher weiter verbessert werden kann. Ebenso<br />
muss untersucht werden, in welcher Größe und <strong>mit</strong> welchen Materialien<br />
Beugungsgitter herstellbar sind, um die Anforderungen von großen Laserinterferometern<br />
zu erfüllen.<br />
Es kann weiterhin untersucht werden inwieweit die vorgestellte Messmethode<br />
verfeinert werden kann, um Gitter <strong>mit</strong> weit weniger Verlusten zu charakterisieren.<br />
Eine andere Möglichkeit ist die vorgestellte Topologie, um weitere<br />
<strong>Interferometer</strong>techniken wie ” Signal-Recycling“zu erweitern.<br />
Die Skalierung auf größere Aufbauten kann Aufschluss darüber bringen,<br />
wie die dispersiven und diffraktiven Eigenschaften der Gitter in hochpräzisen<br />
<strong>Interferometer</strong>n kontrolliert werden können.<br />
76
ANHANG A<br />
Gauß Strahlen<br />
Die experimentell gewonnenen Maxwell-Gleichungen der Elektrodynamik<br />
für das elektrische und das magnetische Feld entkoppeln im ladungs- und<br />
stromfreien Vakuum zur Wellengleichung für das elektrische Feld E (und<br />
analog für das magnetische Feld B) gegeben durch<br />
∆E(r,t) − 1<br />
c2 ∂2 ∂t2E(r,t) = 0, (A.1)<br />
wobei c die Lichtgeschwindigkeit ist. Ein allgemeiner Ansatz für das elektrische<br />
Feld <strong>mit</strong> den Bezeichnungen für komplexe Amplitude α, optische<br />
Frequenz ν und der Polarisation P als Einheitsvektor lautet<br />
� � i2πνt<br />
E(r,t) = E0 α(r,t)e + c.c. P. (A.2)<br />
Wird nur eine Polarisation betrachtet, erhält man für die zeitunabhängige<br />
Amplitude α(r) die skalare Differentialgleichung<br />
wobei k = 2π<br />
λ<br />
∆α(r) + k 2 α(r) = 0, (A.3)<br />
die Wellenzahl zur Wellenlänge λ = c<br />
ν ist.<br />
Näherung für ebene Wellen<br />
Transversal zur Ausbreitungsrichtung (z-Richtung) verschwinden bei ebenen,<br />
unendlich ausgedehnten Wellen die zweiten Ableitungen, so dass sich<br />
die skalare Wellengleichung in kartesischen Koordinaten zu<br />
∂ 2 α<br />
∂z 2 + k2 α = 0 (A.4)
A Gauß Strahlen<br />
vereinfacht. Eine mögliche Lösung sind die periodischen, ebenen Wellen<br />
<strong>mit</strong> konstanter Amplitude α0.<br />
Paraxiale Näherung<br />
α(z) = α0e −ikz<br />
(A.5)<br />
Die paraxiale Näherung geht von einer in z-Richtung propagierenden Welle<br />
aus, deren Amplitudenverteilung sich auf Grund von z. B. Beugungs- und<br />
Streueffekten verändert. Die Amplituden- und Phasenänderungen transversal<br />
zur Ausbreitungsrichtung sind deshalb von der zurückgelegten Distanz<br />
abhängig. Diese Forderungen lassen sich zusammenfassen in<br />
α(x,y,z) = u(x,y,z)e −ikz . (A.6)<br />
Eingesetzt in die skalare Wellengleichung (A.3) führt dieser Ansatz auf<br />
∂ 2 u<br />
∂x 2 + ∂2 u<br />
∂y2 + ∂2u − 2ik∂u = 0. (A.7)<br />
∂z2 ∂z<br />
Unter der Annahme, dass nur langsame Veränderungen in Ausbreitungsrichtung<br />
stattfinden kann die zweite Differentiation nach z vernachlässigt<br />
werden: �<br />
��� ∂2u ∂z2 �<br />
�<br />
�<br />
� ≪<br />
�<br />
�<br />
�<br />
�2k∂u �<br />
�<br />
�<br />
∂z � ,<br />
�<br />
�<br />
�<br />
∂<br />
�<br />
2u ∂x2 �<br />
�<br />
�<br />
� ,<br />
�<br />
�<br />
�<br />
∂<br />
�<br />
2u ∂y2 �<br />
�<br />
�<br />
� . (A.8)<br />
Mit dieser sogenannten paraxialen Näherung vereinfacht sich die exakte Wellengleichung<br />
(A.7) zu<br />
∂2u ∂x2 + ∂2u − 2ik∂u = 0. (A.9)<br />
∂y2 ∂z<br />
Ein Ansatz, der die Strahlprofile in den zwei Raumdimensionen senkrecht<br />
zur Ausbreitungsrichtung unterscheidet, lautet <strong>mit</strong> den noch unbekannten<br />
Funktionen A(z), qx(z) und qy(z)<br />
x2 y2<br />
−ik<br />
u(x,y,z) = A(z)e qx(z)e<br />
−ik qy(z) . (A.10)<br />
Einsetzen von (A.10) in (A.7) führt auf folgende Differentialgleichung<br />
0 =<br />
�<br />
k<br />
q2 �2 � �<br />
dqx<br />
− 1 x<br />
x(z) dz 2 �<br />
k<br />
+<br />
q2 �2 � �<br />
dqy<br />
− 1 y<br />
y(z) dz 2<br />
(A.11)<br />
�<br />
1<br />
−ik +<br />
qx<br />
1<br />
�<br />
qy<br />
�<br />
�<br />
1 2 dA<br />
1 +<br />
. (A.12)<br />
A(z) dz<br />
1 1 + qy qy<br />
78
Da<strong>mit</strong> Lösungen für alle x und y existieren, müssen folgende Gleichungen<br />
separat gelöst werden<br />
dqx<br />
dz<br />
dqy<br />
dz<br />
dA<br />
dz<br />
Die dazugehörigen Lösungen lauten<br />
= 1, (A.13)<br />
= 1, (A.14)<br />
�<br />
1<br />
= −A(z) +<br />
2 qx<br />
1<br />
�<br />
.<br />
qy<br />
(A.15)<br />
qx(z) = z + q0x, (A.16)<br />
qy(z) = z + q0y, (A.17)<br />
A(z) =<br />
A0<br />
√ . (A.18)<br />
qxqy<br />
Die Lösung der Wellengleichung in paraxialer Nähererung <strong>mit</strong> dem Ansatz<br />
(A.10) lautet demnach<br />
A0<br />
u(x,y,z) = �<br />
(z + q0x)(z + q0y) e−ik<br />
x 2<br />
y<br />
−ik<br />
(z+q0x ) e 2<br />
(z+q0y ) (A.19)<br />
und wird als Fundamentalmode oder TEM00-Mode bezeichnet. Durch die<br />
Zerlegung des Strahlparameters in Real- und Imaginärteil gemäß<br />
q(z) = z − z0 + izR<br />
(A.20)<br />
und der Rayleigh-Länge zR = πw2 0<br />
λ lässt sich die gefundene Lösung leichter<br />
interpretieren, wobei im folgenden qx(z) = qy(z) angenommen wird und<br />
r 2 = x 2 + y 2 gilt. Die Strahlparameter in den Argumenten der Exponentialfunktionen<br />
aus (A.19) lassen sich dann umschreiben zu<br />
1 1 1<br />
= − i2 , (A.21)<br />
q(z) R(z) k w(z)<br />
wobei w(z) den Radius des Strahls und R(z) den Krümmungsradius der<br />
Wellenfront darstellen:<br />
� � � �<br />
2<br />
z − z0<br />
1 + , (A.22)<br />
w 2 (z) = w 2 0<br />
R(z) = z<br />
�<br />
1 +<br />
� zR<br />
zR<br />
z − z0<br />
� 2 �<br />
. (A.23)<br />
Der Radius ist da<strong>mit</strong> definiert durch den Abstand von der Strahlachse in<br />
dem die Amplitude auf 1/e abgefallen ist. Der minimale Strahlradius der<br />
79
A Gauß Strahlen<br />
Größe w0 liegt bei z = z0 und wird Strahltaille genannt. Die normierte<br />
Lösung lautet dann<br />
�<br />
2 1 q0<br />
kr2<br />
u(x,y,z) = e−i2q(z). (A.24)<br />
π q(z)<br />
w0<br />
Eine übliche Umformung des Vorfaktors führt auf<br />
u(x,y,z) =<br />
� 2<br />
π<br />
wobei die longitudinale oder Gouy-Phase durch<br />
� �<br />
z<br />
φL = arctan<br />
1 r2<br />
e− w<br />
w(z) 2 (z)e −i<br />
�<br />
kr<br />
2<br />
2R(z) −arctan<br />
� ��<br />
z<br />
zR , (A.25)<br />
zR<br />
gegeben ist und die transversale Phase durch<br />
(A.26)<br />
φT = kr2<br />
. (A.27)<br />
2R(z)<br />
Die Gouy-Phase hat unter anderem zur Folge, dass höhere Moden, die in [23]<br />
besprochen werden, in Resonatoren fester Länge nicht gleichzeitig resonant<br />
sind.<br />
A.1 Transformation Gaußscher Strahlen<br />
In Kapitel 4 wurde der ABCD-Matrixformalismus für die Transformation<br />
Gaußscher Strahlen erläutert und angewendet. Die Matrizen, die den Berechnungen<br />
zu Grunde liegen, werden hier aufgeführt und die Notation kurz<br />
wiederholt.<br />
Ein paraxiales otisches Element führt einen Gaußschen Strahl <strong>mit</strong> Strahlparameter<br />
q1 wieder in einen Gaußschen Strahl <strong>mit</strong> einem neuen Strahlparameter<br />
q2 über. Die Transformation wird durch eine Koeffizientenmatrix<br />
� �<br />
A B<br />
M =<br />
(A.28)<br />
C D<br />
geleistet und ist durch<br />
q2 = Aq1 + B<br />
Cq1 + D<br />
(A.29)<br />
definiert. Die ABCD-Matrizen sind die gleichen, wie in der Strahlenoptik,<br />
das heißt ein Gaußscher Strahl transformiert sich durch ein paraxiales optisches<br />
System nach der selben Regel wie der Krümmungsradius einer Kugelwelle<br />
in geometrischer Optik [23].<br />
Zwei einfache Beispiele sind die Propagation des Lichts durch ein homogenes<br />
Medium der Länge L und eine Linse, die nützlich für die Berechnung von<br />
Modenanpassungen sind.<br />
80
A.1 Transformation Gaußscher Strahlen<br />
• Propagation durch ein homogenes Medium der Länge L:<br />
ML =<br />
� 1 L<br />
0 1<br />
• Durchgang durch eine dünne Linse <strong>mit</strong> Brennweite f:<br />
Mf =<br />
� 1 0<br />
− 1<br />
f 1<br />
�<br />
. (A.30)<br />
�<br />
. (A.31)<br />
Die Reflexion und Brechung an sphärischen Oberflächen wird in saggitale<br />
und tangentiale Ebene unterschieden [28]. Trifft das Licht unter einem<br />
Winkel auf eine gewölbte Oberfläche führt die Projektion auf einen effektiven<br />
Krümmungsradius. In Transmission durch eine Oberfläche wird dann<br />
gemäß dem Snelliusschen Gesetz die Brechung berücksichtigt. In [29] wird<br />
der Formalismus auf die strahlverformende Eigenschaft eines Beugungsgitters<br />
erweitert. Im Folgenden werden die Abbildungsmatrizen durch einen<br />
Index (s) saggital oder (t) tangential gekennzeichnet.<br />
• Die Reflexion an einem Spiegel <strong>mit</strong> Krümmungsradius R <strong>mit</strong> Einfallswinkel<br />
Θ wird durch folgende Matrizen beschrieben<br />
M t � �<br />
R =<br />
, (A.32)<br />
M s R =<br />
�<br />
1 0<br />
− 2<br />
R cos(Θ) 1<br />
1 0<br />
1<br />
− 2cos(Θ)<br />
R<br />
�<br />
, (A.33)<br />
wobei R < 0 für konvexe und R > 0 für konkave Wölbung gilt.<br />
• Die Transmission durch eine Oberfläche <strong>mit</strong> Krümmungsradius R, Einfallswinkel<br />
Θ1 und Beugungswinkel Θ2 wird beschrieben durch<br />
M t �<br />
�<br />
cos(Θ2)<br />
cos(Θ1) 0<br />
T =<br />
(A.34)<br />
=<br />
⎛<br />
⎜<br />
⎝<br />
M s T =<br />
=<br />
n2 cos(Θ2−n1 cos(Θ1))<br />
Rn2 cos(Θ1) cos(Θ2)<br />
√ n 2 r−sin 2 (Θ1)<br />
nr cos(Θ1)<br />
cos(Θ1)− √ n 2 r −sin2 (Θ1)<br />
R cos(Θ1) √ n 2 r −sin2 (Θ1)<br />
�<br />
�<br />
cos(Θ1)<br />
nr cos(Θ2)<br />
0<br />
cos(Θ1)<br />
√ n 2 r −sin 2 (Θ)1<br />
1 0<br />
n2 cos(Θ2)−n1 cos(Θ1)<br />
Rn2<br />
1<br />
nr<br />
1 0<br />
cos(Θ1)− √ n 2 r −sin2 (Θ1)<br />
81<br />
Rnr<br />
1<br />
nr<br />
�<br />
�<br />
⎞<br />
⎟<br />
⎠ (A.35)<br />
(A.36)<br />
, (A.37)
A Gauß Strahlen<br />
wobei nr = n2/n1 abgekürzt wurde. Die Matrizen für Transmission in<br />
tangentialer und saggitaler Ebene sind in zwei Formen angegeben, die<br />
über das Snelliussche Brechungsgesetz n1 sin(Θ1) = n2 sin(Θ2) ineinander<br />
umgerechnet werden können.<br />
• Die ABCD-Matrizen für ein Reflexionsgitter <strong>mit</strong> Krümmungsradius R,<br />
Einfallswinkel Θ1 und Beugungswinkel Θ2 lauten<br />
M t g =<br />
�<br />
M s g =<br />
cos(Θ2)<br />
cos(Θ1)<br />
− (cos(Θ1)+cos(Θ2))<br />
R cos(Θ1)cos(Θ2)<br />
�<br />
0<br />
cos(Θ1)<br />
cos(Θ2)<br />
1 0<br />
1<br />
− (cos(Θ1)+cos(Θ2))<br />
R<br />
�<br />
, (A.38)<br />
�<br />
. (A.39)<br />
Die Winkel Θ1 und Θ2 sind über die Gittergleichung (2.1) verknüpft. Wenn<br />
Θ1 = Θ2 gilt (Litrrow-Konfiguration), sind die Gittermatrizen <strong>mit</strong> denen<br />
eines gekrümmten Spiegels identisch.<br />
82
ANHANG B<br />
<strong>Interferometer</strong>design<br />
In dieser Arbeit wurden zwei <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> ” Power-Recycling“<br />
und <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> designt und experimentell umgesetzt. Dafür<br />
wurden Endspiegel <strong>mit</strong> einem Krümmungsradius von 0,5 m und ein Einkoppelspiegel<br />
<strong>mit</strong> Krümmungsradius von 0,6 m verwendet. Der Einfallswinkel<br />
lag im ersten Aufbau <strong>mit</strong> Gitter G1 bei 34 ◦ und im zweiten Aufbau <strong>mit</strong><br />
Gitter G2 bei 29 ◦ . Die daraus berechneten Abstände der Spiegel zum Gitter<br />
sind in TabelleB.1 zusammen <strong>mit</strong> den experimentell realisierten Werten<br />
aufgelistet.<br />
Ldes[m] Lexp[m] ldes[m] lexp[m]<br />
G1a 0,58 0,566 0,299 0,341<br />
G2 0,55 0,538 0,315 0,398<br />
Tabelle B.1: Übersicht der geplanten und experimentell realisierten <strong>Interferometer</strong>armlängen<br />
Ldes bzw. Lexp und Abstände vom Einkoppelspiegel des ” Power-<br />
Recycling“ Resonators zum Gitter ldes bzw. lexp für die Aufbauten <strong>mit</strong> Gitter G1a<br />
und Gitter G2.<br />
Die folgenden Abbildungen zeigen berechnete Strahlparameter für beide<br />
Aufbauten, basierend auf den oben genannten Parametern. Die Abweichungen<br />
der Größen im experimentellen Aufbau von den Designwerten sind<br />
konsistent <strong>mit</strong> den gezeigten Berechnungen.
B <strong>Interferometer</strong>design<br />
W 0 [µm]<br />
W end [µm]<br />
l pr [m]<br />
500<br />
400<br />
300<br />
200<br />
100<br />
0<br />
0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1<br />
2000<br />
1500<br />
1000<br />
500<br />
0<br />
-0.1<br />
-0.2<br />
-0.3<br />
-0.4<br />
-0.5<br />
s<br />
t<br />
0<br />
0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1<br />
-0.6<br />
0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1<br />
L [m]<br />
z 0 [m]<br />
w gr [m]<br />
w t /w s an M 1<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1<br />
2000<br />
1500<br />
1000<br />
10<br />
500<br />
8<br />
6<br />
4<br />
2<br />
s<br />
t<br />
0<br />
0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1<br />
0<br />
0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1<br />
L [m]<br />
Abbildung B.1: Aufbau 1: Darstellung berechneter Strahlparameter über dem<br />
möglichen Bereich der Armlänge L. Dargestellt sind Lage z0 und Größe w0 der<br />
Taille des Eingangsstrahls, die Strahlradien in saggitaler (s) und tangentialer (t)<br />
Ebene auf dem Gitter wgr und auf einem Endspiegel wend, der Abstand von Gitter<br />
zu Einkoppelspiegel l bezüglich des Gitters, und das Verhältnis der Strahlradien in<br />
tangentialer und saggitaler Ebene am Endpiegel wt/ws.<br />
84
W 0 [µm]<br />
W end [µm]<br />
l pr [m]<br />
300<br />
280<br />
260<br />
240<br />
220<br />
200<br />
180<br />
160<br />
450<br />
400<br />
350<br />
300<br />
250<br />
200<br />
-0.2<br />
-0.25<br />
-0.3<br />
-0.35<br />
-0.4<br />
0.56 0.58 0.6<br />
s<br />
t<br />
0.56 0.58 0.6<br />
0.56 0.58 0.6<br />
L [m]<br />
z 0 [m]<br />
w gr [m]<br />
w t /w s an M 1<br />
0.3<br />
0.25<br />
0.2<br />
0.15<br />
0.1<br />
0.05<br />
1000<br />
900<br />
800<br />
700<br />
600<br />
500<br />
400<br />
1.8<br />
1.75<br />
1.7<br />
1.65<br />
1.6<br />
1.55<br />
1.5<br />
1.45<br />
1.4<br />
0.56 0.58 0.6<br />
s<br />
t<br />
0.56 0.58 0.6<br />
0.56 0.58 0.6<br />
L [m]<br />
Abbildung B.2: Aufbau 1: Darstellung berechneter Strahlparameter um den im<br />
Experiment realisierten Bereich der Armlänge L. Dargestellt sind Lage z0 und<br />
Größe w0 der Taille des Eingangsstrahls, die Strahlradien in saggitaler (s) und<br />
tangentialer (t) Ebene auf dem Gitter wgr und auf einem Endspiegel wend, der Abstand<br />
von Gitter zu Einkoppelspiegel l bezüglich des Gitters, und das Verhältnis<br />
der Strahlradien in tangentialer und saggitaler Ebene am Endpiegel wt/ws.<br />
85
B <strong>Interferometer</strong>design<br />
W 0 [µm]<br />
W end [µm]<br />
l pr [m]<br />
500<br />
400<br />
300<br />
200<br />
100<br />
0<br />
0.5 0.55 0.6 0.65 0.7<br />
2000<br />
1500<br />
1000<br />
500<br />
0<br />
-0.1<br />
-0.2<br />
-0.3<br />
-0.4<br />
-0.5<br />
s<br />
t<br />
0<br />
0.5 0.55 0.6 0.65 0.7<br />
-0.6<br />
0.5 0.55 0.6 0.65 0.7<br />
L [m]<br />
z 0 [m]<br />
w gr [m]<br />
w t /w s an M 1<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
0.5 0.55 0.6 0.65 0.7<br />
2000<br />
1500<br />
1000<br />
10<br />
500<br />
8<br />
6<br />
4<br />
2<br />
s<br />
t<br />
0<br />
0.5 0.55 0.6 0.65 0.7<br />
0<br />
0.5 0.55 0.6 0.65 0.7<br />
L [m]<br />
Abbildung B.3: Aufbau 2: Darstellung berechneter Strahlparameter über dem<br />
möglichen Bereich der Armlänge L. Dargestellt sind Lage z0 und Größe w0 der<br />
Taille des Eingangsstrahls, die Strahlradien in saggitaler (s) und tangentialer (t)<br />
Ebene auf dem Gitter wgr und auf einem Endspiegel wend, der Abstand von Gitter<br />
zu Einkoppelspiegel l bezüglich des Gitters, und das Verhältnis der Strahlradien in<br />
tangentialer und saggitaler Ebene am Endpiegel wt/ws.<br />
86
W 0 [µm]<br />
W end [µm]<br />
l pr [m]<br />
300<br />
250<br />
200<br />
150<br />
100<br />
0.52 0.54 0.56 0.58<br />
500<br />
450<br />
400<br />
350<br />
300<br />
250<br />
200<br />
150<br />
100<br />
s<br />
t<br />
0.52 0.54 0.56 0.58<br />
-0.1<br />
-0.15<br />
-0.2<br />
-0.25<br />
-0.3<br />
-0.35<br />
-0.4<br />
-0.45<br />
-0.5<br />
0.52 0.54 0.56 0.58<br />
L [m]<br />
z 0 [m]<br />
w gr [m]<br />
w t /w s an M 1<br />
0.3<br />
0.25<br />
0.2<br />
0.15<br />
0.1<br />
0.05<br />
1400<br />
1200<br />
1000<br />
800<br />
600<br />
0<br />
0.52 0.54 0.56 0.58<br />
s<br />
t<br />
400<br />
0.52 0.54 0.56 0.58<br />
2.4<br />
2.2<br />
2<br />
1.8<br />
1.6<br />
0.52 0.54 0.56 0.58<br />
L [m]<br />
Abbildung B.4: Aufbau 2: Darstellung berechneter Strahlparameter um den im<br />
Experiment realisierten Bereich der Armlänge L. Dargestellt sind Lage z0 und<br />
Größe w0 der Taille des Eingangsstrahls, die Strahlradien in saggitaler (s) und<br />
tangentialer (t) Ebene auf dem Gitter wgr und auf einem Endspiegel wend, der Abstand<br />
von Gitter zu Einkoppelspiegel l bezüglich des Gitters, und das Verhältnis<br />
der Strahlradien in tangentialer und saggitaler Ebene am Endpiegel wt/ws.<br />
87
B <strong>Interferometer</strong>design<br />
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[37] Stephan Fahr<br />
Persönliche Mitteilung.<br />
[38] Patrick Kwee<br />
Persönliche Mitteilung.<br />
[39] http://www.rzg.mpg.de/ adf<br />
[40] P. Kwee<br />
Charakterisierung von Lasersystemen für Gravitationswellendetektoren<br />
Diplomarbeit, Hannover (2005)<br />
92
Danksagung<br />
Zunächst danke ich Prof. Dr. Karsten Danzmann für die Ermöglichung dieser<br />
Arbeit. Besonderer Dank gebührt Jun. Prof. Dr. Roman Schnabel für die<br />
engagierte und lehrreiche Betreuung.<br />
Für die angenehme Arbeitsatmosphäre danke ich allen Instituts<strong>mit</strong>gliedern.<br />
Alexander Bunkowski und Oliver Burmeister danke ich, dass sie mir über<br />
das letzte Jahr zur Seite gestanden und wesentlich zum Gelingen der Arbeit<br />
beigetragen haben. Danke auch für hilfreiche Korrekturen der Arbeit.<br />
Neben vielen anderen, die mir auf vielfältige Weise geholfen haben, möchte<br />
ich Henning Vahlbruch, Boris Hage, Simon Chelkowski, Alexander Franzen,<br />
Andre Thüring und Stephan Fahr danken.<br />
Frank Seifert danke ich dafür, dass er immer noch eine Minute Zeit gehabt<br />
hat.<br />
Auch auf die Unterstützung derjenigen, die mich während des Studiums<br />
begleitet haben, konnte ich immer zählen. Vielen Dank.<br />
Meinen lieben Eltern möchte ich hier<strong>mit</strong> ganz besonders danken, dass sie<br />
mich und meine Interessen jederzeit unterstützt haben.<br />
Von ganzem Herzen danke ich Caroline für ihre unschätzbare Unterstützung<br />
und Liebe.