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Michelson-Interferometer mit diffraktivem Strahlteiler

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<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

<strong>mit</strong><br />

<strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />

Diplomarbeit<br />

Daniel Friedrich<br />

Matr. Nr. 2114790<br />

Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover<br />

Institut für Gravitationsphysik<br />

Max-Planck-Institut für Gravitationsphysik<br />

(Albert Einstein Institut)<br />

Referent: Juniorprofessor Dr. Roman Schnabel<br />

Korreferent: Professor Dr. Karsten Danzmann<br />

Hannover, November 2006


Kurzzusammenfassung<br />

Für die Empfindlichkeitssteigerung zukünftiger Generationen hochpräziser<br />

Laserinterferometer zur Gravitationswellendetektion wird der Einsatz von<br />

dielektrischen Reflexionsgittern erforscht. In dieser Arbeit wird die Ersetzung<br />

des zentralen 50/50-<strong>Strahlteiler</strong>s durch ein speziell angefertigtes dielektrisches<br />

Reflexionsgitter untersucht. Es wird erstmalig ein Design eines<br />

<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> und sphärischen<br />

Spiegeln vorgestellt, dass einen hohen Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s erlaubt.<br />

Durch das Design wird die Leistungsüberhöhung <strong>mit</strong>tels ” Power-Recycling“<br />

ebenfalls <strong>mit</strong> sphärischem Einkoppelspiegel ermöglicht. Die Qualität des Designs<br />

wurde durch einen erreichten Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s von 0,99936<br />

belegt. Darüber hinaus kann durch Messung der Finesse des ” Power-Recycling“<br />

Resonators der optische Verlust des Gitterstrahlteilers bestimmt werden.<br />

Die Messungen wurden für zwei <strong>Strahlteiler</strong> in verschiedenen Aufbauten<br />

durchgeführt, wobei für ein Gitter ein bisher unerreicht niedriger Gesamtverlust<br />

von (0,11 ± 0,08)% gemessen wurde.


Erklärung<br />

Hier<strong>mit</strong> versichere ich, die vorliegende Arbeit allein und selbständig und<br />

lediglich unter Zuhilfenahme der genannten Hilfs<strong>mit</strong>tel und Quellen angefertigt<br />

zu haben.<br />

Daniel Friedrich<br />

November 2006


Inhaltsverzeichnis<br />

Selbständigkeitserklärung v<br />

1 Einführung 1<br />

2 Diffraktive <strong>Strahlteiler</strong> 5<br />

2.1 Design von Gittern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6<br />

2.1.1 Die Gittergleichung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6<br />

2.1.2 Rigorose Methoden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7<br />

2.1.3 Dielektrische Reflexionsgitter . . . . . . . . . . . . . . 7<br />

3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme 11<br />

3.1 Streumatrixformalismus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11<br />

3.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17<br />

3.2.1 Arbeitspunkt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18<br />

3.2.2 Kontrast . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20<br />

3.3 Fabry-Perot Resonator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21<br />

3.3.1 Charakteristische Größen . . . . . . . . . . . . . . . . 24<br />

3.4<br />

” Power-Recycling“ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25<br />

4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> 29<br />

4.1 Fenster- und Gitterstrahlteiler . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29<br />

4.2 <strong>Interferometer</strong>design . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34<br />

4.2.1 Berechnung eines Eingangstrahls . . . . . . . . . . . . 36<br />

4.2.2<br />

” Power-Recycling“ im diffraktiven <strong>Interferometer</strong> . . . 43<br />

5 Experiment 45<br />

5.1 Experimentelle Grundlagen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45<br />

5.1.1 Pound-Drever-Hall Verfahren . . . . . . . . . . . . . . 46<br />

5.1.2 Aufbau des Modenfilters . . . . . . . . . . . . . . . . . 47<br />

5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50<br />

vii


INHALTSVERZEICHNIS<br />

5.3<br />

5.2.1 Die verwendeten Gitterstrahlteiler . . . . . . . . . . . 50<br />

5.2.2 Die verwendeten Spiegel . . . . . . . . . . . . . . . . . 54<br />

5.2.3 Design und Aufbau des <strong>Interferometer</strong>s . . . . . . . . 55<br />

5.2.4 Bestimmung des Kontrasts . . . . . . . . . . . . . . . 60<br />

” Power-Recycling“ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61<br />

5.3.1 Längenregelung des Power-Recycling“ Resonators . .<br />

”<br />

5.3.2 Position des Power-Recycling“ Spiegels . . . . . . . .<br />

”<br />

5.3.3 Bestimmung der Finesse . . . . . . . . . . . . . . . . .<br />

62<br />

64<br />

65<br />

5.3.4 Verluste des Gitterstrahlteilers . . . . . . . . . . . . . 70<br />

6 Zusammenfassung 75<br />

A Gauß Strahlen 77<br />

A.1 Transformation Gaußscher Strahlen . . . . . . . . . . . . . . . 80<br />

B <strong>Interferometer</strong>design 83<br />

Danksagung 93<br />

viii


KAPITEL 1<br />

Einführung<br />

Eine Vorhersage der Allgemeinen Relativitätstheorie, die 1916 von Albert<br />

Einstein veröffentlicht wurde, ist die Existenz von Gravitationswellen. Gravitationswellen<br />

werden durch beschleunigte Massen abgestrahlt und sind<br />

Störungen der Raum-Zeit Metrik.<br />

Ein indirekter Beweis für die Existenz von Gravitationswellen wurde bei<br />

Untersuchungen des Pulsars PSR 1913+16 entdeckt, der Teil eines Doppelsternsystems<br />

ist. J. H. Taylor und J. M. Weissberg erkannten, dass die Periodendauer<br />

über mehrere Jahre kontinuierlich abnahm, was <strong>mit</strong> dem Energieverlust<br />

durch Abstrahlung von Gravitationswellen erklärt werden konnte [1].<br />

Aus den Lösungen der Einsteinschen Feldgleichungen folgt, dass Gravitationswellen<br />

eine Quadropolstrahlung sind, die sich durch eine abwechslende<br />

Dehnung und Stauchung der Raum-Zeit senkrecht zur Ausbreitungsrichtung<br />

auswirken. Die auf der Erde erwarteten Effekte durch Gravitationswellen bewirken<br />

relative Längenänderungen in der Größnordnung von 10 −21 , weshalb<br />

der direkte experimentelle Nachweis noch aussteht und eine große Herausforderung<br />

der physikalischen Grundlagenforschung darstellt. Quellen für eine<br />

Gravitationsstrahlung dieser Stärke sind gigantische, astronomische Ereignisse,<br />

wie zum Beispiel Supernovae oder der Kollaps binärer Systeme aus<br />

Neutronensternen oder schwarzen Löchern [2].<br />

Laserinterferometrische Gravitationswellendetektoren<br />

Die zur Zeit im Messbetrieb befindlichen Detektoren sind insbesondere hochpräzise<br />

Laserinterferometer. Sie basieren allesamt auf einem <strong>Michelson</strong>-Inter-


1 Einführung<br />

ferometer, das einen <strong>Strahlteiler</strong> und zwei Endspiegel als Testmassen verwendet,<br />

wie in Abbildung 1.1 skizziert. Eine passend orientierte Gravitationswel-<br />

Laser<br />

M1 M1<br />

M2<br />

Laser<br />

BS BS<br />

PD PD<br />

a) b)<br />

Mpr<br />

Abbildung 1.1: a) Skizze eines konventionellen <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong><br />

<strong>Strahlteiler</strong> (BS) und Endspiegeln (M1, M2). Eine Photodiode (PD) detektiert die<br />

Leistung in einem Ausgang des <strong>Interferometer</strong>s . b) Erweiterte Konfiguration um<br />

” Power-Recycling“ durch einen teildurchlässigen Spiegel zwischen Laser und <strong>Strahlteiler</strong>,<br />

zur Leistungsüberhöhung.<br />

le bewirkt entgegengesetzte Längenänderungen in den <strong>Interferometer</strong>armen,<br />

die <strong>mit</strong> einem Laserstrahl ausgelesen werden. Dafür wird der einfallende<br />

Strahl am <strong>Strahlteiler</strong> BS in zwei Teilstrahlen aufgespalten, die sich entlang<br />

der <strong>Interferometer</strong>arme ausbreiten und von den Spiegeln M1 bzw. M2<br />

zurückreflektiert werden. Am <strong>Strahlteiler</strong> werden sie wieder überlagert und<br />

interferieren abhängig von ihrer relativen optischen Phase destruktiv oder<br />

konstruktiv, was an einer Photodiode PD in einem Ausgang detektiert wird.<br />

Um die winzige Wirkung einer Gravitationswelle messen zu können, muss<br />

das Signal-zu-Rausch Verhältnis eines <strong>Interferometer</strong>s verbessert werden.<br />

Dazu werden zum einen fortgeschrittene <strong>Interferometer</strong>technologien verwendet<br />

und zum andereren Störungen auf die Testmassen reduziert. Eine Voraussetzung<br />

für hochpräzise Interferometrie ist, dass der Aufbau weitgehend<br />

von äußeren mechanischen Einflüssen entkoppelt ist. Dafür werden große<br />

Vakuumsysteme realisiert, in denen die Testmassen über aufwendige Pendelkonstruktionen<br />

aufgehängt werden. Durch die Pendelaufhängung wird<br />

die Übertragung von seismischen Störungen auf die Testmassen bei höheren<br />

Frequenzen als den Eigenfrequenzen der Pendel unterdrückt, so dass sie nur<br />

unter ≈ 50 Hz relevant sind. Bei höheren Frequenzen wird die Empfindlichkeit<br />

gegenwärtiger Detektoren im wesentlichen durch zwei Rauschquellen<br />

li<strong>mit</strong>iert: das thermische Rauschen und das Photonen-Schrotrauschen.<br />

Das thermische Rauschen ist die Anregung eines mechanischen Systems<br />

2<br />

M2


durch thermische Energie. Es wirkt sich bei den Detektorkomponenten durch<br />

unterschiedliche Schwingungsanregungen aus und betrifft die Substrate, die<br />

Beschichtung der Substrate, die Testmasse als Pendel als auch die Aufhängung<br />

selbst. Die spektrale Verteilung dieses Rauschens ist entscheidend<br />

von der Güte der Komponenten abhängig. Eine hohe Güte bedeutet, dass<br />

die Anregung der Komponente hauptsächlich in einer schmalbandigen Resonanzfrequenz<br />

auftritt und dafür bei anderen Frequenzen abgesenkt wird.<br />

Man ist deshalb darauf angewiesen Komponenten <strong>mit</strong> hoher Güte einzusetzen,<br />

um das nicht resonante Rauschen im Detektionsbereich zu senken.<br />

Andererseits ist man auf hochtransparente Materialien für die optischen Substrate<br />

angewiesen, was die Auswahl erheblich einschränkt. Eine weiterer Ansatz,<br />

das thermische Rauschen zu minimieren, besteht in der Kühlung der<br />

Testmassen. Dabei muss aber beachtet werden, dass die Güte von Materialien<br />

zuweilen stark temperaturabhängig ist.<br />

Über einigen Hundert Hertz senkt das Schrotrauschen die Empfindlichkeit<br />

von laserinterferometrischen Gravitationswellendetektoren. Das Schrotrauschen<br />

entsteht durch quantenmechanische Fluktuationen des Laserlichts.<br />

Normiert auf das Signal ist es umgekehrt proportional zur Wurzel der Leistung<br />

im <strong>Interferometer</strong>. Eine wesentliche Technologie zur Reduzierung des<br />

Schrotrauschens in allen realisierten und geplanten Detektoren ist die Leistungsüberhöhung<br />

im <strong>Interferometer</strong> durch einen teildurchlässigen Spiegel<br />

(Mpr) im Eingang des <strong>Interferometer</strong>s. Diese Technik wird als ” Power-Recycling“<br />

bezeichnet und ist in Abbildung 1.1 dargestellt. Der zusätzliche Spiegel<br />

bildet <strong>mit</strong> dem <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> einen optischen Resonator, in<br />

dem die Lichtleistung resonant überhöht wird. In GEO600, dem deutschbritischen<br />

laserinterferometrischen Gravitationswellendetektor werden zur<br />

Zeit Leistungen im kW-Bereich im <strong>Interferometer</strong> erreicht [3]. Für zukünftige<br />

Detektoren werden Laser <strong>mit</strong> Ausgangsleistungen von einigen 100 W<br />

entwickelt, wodurch im <strong>Interferometer</strong> um Größenordnungen höhere Leistungen<br />

erreicht werden könnten.<br />

Schon bei den gegenwärtigen Lichtleistungen werden trotz hochqualitativer<br />

Optiken <strong>mit</strong> Verlusten von 0,25 ppm/cm [4] thermooptische Effekte<br />

durch eine Restabsorption in den Substraten relevant. Durch die Ausbildung<br />

thermischer Linsen und thermischer Oberflächendeformationen treten<br />

Strahlverformungen auf, die die Leistungsfähigkeit des <strong>Interferometer</strong>s beschränken<br />

[5].<br />

Ein vielversprechender Ansatz zur Verringerung der genannten Rauschquellen<br />

stellen rein-reflektive <strong>Interferometer</strong>topologien auf Basis strahlteilender<br />

Reflexionsgitter dar [6]. Zum einen werden thermooptische Effekte<br />

effizient vermieden, was den Betrieb eines <strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> sehr hohen<br />

Leistungen ermöglichen soll. Auf diese Weise wird das Schrotrauschen, das<br />

gegenwärtige Detektoren bei hohen Frequenzen li<strong>mit</strong>iert, abgesenkt. Zum<br />

anderen können Optiken aus nicht-transparenten Materialien <strong>mit</strong> besseren<br />

mechanischen Eigenschaften für Substrate verwendet werden [7]. So bietet<br />

3


1 Einführung<br />

sich die Möglichkeit, das nicht-resonante thermische Rauschen im Detektionsband<br />

abzusenken, indem Materialien <strong>mit</strong> höherer Güte als bisher möglich<br />

verwendet werden. Ein ausführlicher Vergleich verschiedener Materialien ist<br />

in [8] zu finden.<br />

Erste Experimente von Sun [9] zeigten, dass <strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> Reflexionsgittern<br />

als <strong>Strahlteiler</strong> möglich sind. Dabei wurde ein Metallgitter verwendet,<br />

dessen Verluste über eine einfache Messung der Lichtleistungen in<br />

den Beugungsordnungen zu 3,6% bestimmt wurden. Durch Entwicklungen<br />

auf dem Gebiet der diffraktiven Optik können heute Reflexionsgitter auf<br />

Basis dielektrischer Materialien <strong>mit</strong> hoher Qualität hergestellt werden, die<br />

sich durch weitaus geringere Verluste auszeichnen.<br />

In dieser Arbeit wird erstmalig ein leistungsüberhöhtes <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s<br />

<strong>mit</strong>tels ” Power-Recycling“ <strong>mit</strong> speziell angefertigtem <strong>diffraktivem</strong><br />

<strong>Strahlteiler</strong> vorgestellt. Mit diesem Aufbau war es zudem möglich,<br />

die geringen optischen Gesamtverluste des verwendeten dielektrischen Gitterstrahlteilers<br />

über die Finesse des ” Power-Recycling“Resonators zu bestimmen.<br />

Die rein-reflektive Topologie eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong><br />

Gitterstrahlteiler bedingt, dass die gebeugten Teilstrahlen prinzipiell unterschiedliche<br />

Strahlprofile aufweisen und nach Propagation in den <strong>Interferometer</strong>armen<br />

im Allgemeinen nicht perfekt intereferieren, so dass der Kontrast<br />

des <strong>Interferometer</strong>s vermindert ist. Es wird ein Design für <strong>Interferometer</strong><br />

<strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> vorgestellt, dass sich auf sphärische Spiegel beschränkt<br />

und dennoch einen perfekten Kontrast erlaubt. Dies ist eine Vorraussetzung<br />

sowohl für die Bestimmung der Gitterverluste als auch für den<br />

Einsatz in hochpräzisen Laserinterferometern.<br />

4


KAPITEL 2<br />

Diffraktive <strong>Strahlteiler</strong><br />

Mikro- und nanostrukturierte optische Komponenten werden benutzt, um<br />

Lichtstrahlen zu manipulieren. Ein klassisches Phasengitter ist eine periodische<br />

Anordnung von Elementen, die die optische Weglänge für das Licht<br />

ändern. Die Phasenänderungen sind <strong>mit</strong> der Periodizität der Gitterstruktur<br />

moduliert und führen im Fernfeld auf die bekannten diskreten Beugungsordnungen.<br />

Reflexionsgitter müssen eine beugende Struktur <strong>mit</strong> einer hohen Reflektivität<br />

vereinen. Konventionell werden strukturierte Metalloberflächen<br />

verwendet, deren Reflektivität auf der Leitfähigkeit der Metalle basiert. Innerhalb<br />

des Materials wird deshalb ein Teil der einfallenden Laserleistung<br />

absorbiert und führt bei hohen Intensitäten zur Zerstörung der metallischen<br />

Schicht [10].<br />

Transparente dielektrische Materialien haben eine wesentlich geringere<br />

Absorption. Gitter aus diesen Materialien zeigen deshalb im Vergleich<br />

<strong>mit</strong> Metallgittern eine erhöhte Zerstörschwelle [11]. Eine hohe Reflektivität<br />

wird durch ein Schichtsystem aus dielektrischen Materialien <strong>mit</strong> alternierend<br />

niedrigem und hohem Brechungsindex erreicht, wie es von sogenannten Superspiegeln<br />

bekannt ist, und beruht auf konstruktiver Interferenz des an den<br />

einzelnen Schichten reflektierten Lichts. Neben den Vorteilen der geringen<br />

Absorption und der hohen Reflektivität bietet die Kombination von Schichtsystem<br />

und Gitterstruktur weitere Designparameter, die zur Optimierung<br />

der Beugungseigenschaften verwendet werden können [11].<br />

Beugungsgitter <strong>mit</strong> hoher Reflektivität und niedrigen Gesamtverlusten<br />

sind aus heutiger Sicht nur auf Basis dielektrischer Materialien herstellbar.


2 Diffraktive <strong>Strahlteiler</strong><br />

In den folgenden Abschnitten werden weitere grundlegende Aspekte strahlteilender<br />

Gitter näher beschrieben.<br />

2.1 Design von Gittern<br />

2.1.1 Die Gittergleichung<br />

Die Gittergleichung (2.1) verknüpft den Einfallswinkel αin <strong>mit</strong> dem Beugungswinkel<br />

αm der m-ten Beugungsordnung in Abhängigkeit der Wellenlänge<br />

λ und der Gitterperiode d. Für Beugungsordnungen in Reflexion lautet<br />

die Gittergleichung [12]<br />

sin(αin) + sin(αm) = mλ<br />

. (2.1)<br />

d<br />

Es gelten dann folgende Konventionen (siehe Abbildung 2.1). Die Winkel<br />

werden zum Lot auf die Gitteroberfläche gemessen, wobei die Winkel auf<br />

der Seite des einfallenden Strahls positiv und auf der anderen Seite negativ<br />

sind. Die höchste auftretende Beugungsordnung geht aus der Gitter-<br />

m=1<br />

d<br />

in<br />

α in<br />

α 1<br />

+ _<br />

α 0<br />

m=0<br />

Abbildung 2.1: Parameter und Vorzeichenkonvention der Gittergleichung.<br />

gleichung hervor und ist durch m ≤ 2d/λ eingeschränkt. Dies ist für die<br />

0. Beugungsordnung immer erfüllt und beschreibt das Reflexionsgesetz, bei<br />

dem der Einfallswinkel dem Ausfallswinkel entspricht. Für den <strong>Strahlteiler</strong><br />

eines <strong>Interferometer</strong>s soll zusätzlich zur 0. Ordnung nur die 1.Ordnung<br />

existieren.<br />

Das Auftreten von Beugungsordnungen und ihre Richtungen werden einzig<br />

durch die Parameter der Gittergleichung festgelegt. Sie sind so<strong>mit</strong> unabhängig<br />

von der Form der Gitterstruktur, der verwendeten Materialien und<br />

der Polarisation des Lichts. Das Zusammenspiel der genannten Parameter<br />

bestimmt aber die Beugungseffizienzen, wie die auf die Eingangsleistung<br />

6


2.1 Design von Gittern<br />

normierten gebeugten Intensitäten genannt werden. Das Finden eines optimalen<br />

Designs muss die gesamten Parameter berücksichtigen und ist nur<br />

durch computergestützte Simulationen möglich.<br />

2.1.2 Rigorose Methoden<br />

Während die geometrischen Beugungseigenschaften, beschrieben durch die<br />

Gittergleichung (2.1), schon seit Anfang des 19. Jahrhunderts bekannt sind,<br />

wird die exakte Bestimmung der Intensitätsverteilung erst seit Mitte der<br />

1960er Jahre erfolgreich versucht. Für die Grenzfälle sehr großer oder sehr<br />

kleiner Gitterperioden existieren Näherungsmethoden (skalare Beugungstheorien<br />

bzw. effektiver Brechungsindex) [13], die nicht mehr funktionieren,<br />

wenn die Gitterperiode und die Lichtwellenlänge von gleicher Größenordnung<br />

sind. In diesem Fall muss das System der Maxwell-Gleichungen <strong>mit</strong><br />

Randbedingungen gelöst werden, um den vektoriellen Charakter der elektromagnetischen<br />

Strahlung zu berücksichtigen. Diese Verfahren werden unter<br />

dem Namen rigorose Methoden zusammengefasst. In [14] wird eine Übersicht<br />

verschiedener Methoden gegeben und ihre Brauchbarkeit in Bezug auf<br />

unterschiedliche Gittertypen erläutert. Es existiert weiterhin eine Reihe an<br />

kommerzieller Software, die sich dieser Methoden bedienen [15, 16, 17]. Eine<br />

verbreitete Methode ist die ” Rigorous Coupled Wave Analysis“ (RCWA),<br />

auch bekannt als Fourier Modal Methode, die zunächst für binäre Strukturen<br />

entwickelt wurde. Das Gitter wird in Schichten zerlegt, die aus zwei<br />

periodisch angeordneten Dielektrika bestehen. Am Rand eines als homogen<br />

angenommenen Dielektrikums müssen die Lösungen stetig sein, was auf<br />

ein Eigenwertproblem führt. Dieses Eigenwertproblem muss für jede Schicht<br />

gelöst werden. Die Lösungen der einzelnen Schichten werden wiederum durch<br />

Randbedingungen <strong>mit</strong>einander verknüpft. Auf diese Weise entstehen große<br />

Gleichungssysteme, die nur computergestützt in adäquater Zeit gelöst werden<br />

können. Da auch kompliziertere Gitterprofile in einzelne Schichten zerlegt<br />

werden können (Treppenstufennäherung), ist die RCWA vielfältig anwendbar.<br />

2.1.3 Dielektrische Reflexionsgitter<br />

Dielektrische Reflexionsgitter bestehen aus einem Substrat, einem hochreflektierenden<br />

Schichtsystem aus dielektrischen Materialien und der beugenden<br />

Struktur. Das Schichtsystem besteht aus Materialien <strong>mit</strong> abwechselnd<br />

niedrigem und hohem Brechungsindex. Durch vielfache konstruktive Interferenz<br />

an einzelnen λ/4 Schichten kann ein hohes Reflexionsvermögen erreicht<br />

werden. Für einen dielektrischen Spiegel wurde eine Reflektivität von<br />

99.9998 % bei gegebener Wellenlänge erreicht [18].<br />

Die optischen Eigenschaften eines Gitters hängen insbesondere von der<br />

Kombination des Schichtsystems und der beugenden Struktur ab. Es gibt<br />

7


2 Diffraktive <strong>Strahlteiler</strong><br />

zwei grundlegende Ansätze, die schematisch in Abbildung 2.2 dargestellt<br />

sind. Entweder kann die oberste Lage des Schichtsystems strukturiert wer-<br />

HR-Schichtsystem<br />

Substrat<br />

a) b)<br />

HR-Schichtsystem<br />

Substrat<br />

Abbildung 2.2: Zwei Ansätze für dielektrische Gitter. a) Die Gitterstruktur wird<br />

in die oberste Schicht eines hochreflektierenden Schichtsystems geätzt. b) Die Gitterstruktur<br />

wird überbeschichtet<br />

den [19] oder es wird zuerst das Substrat <strong>mit</strong> einer Gitterstruktur versehen<br />

und anschließend überbeschichtet [20]. Transmission, Streulicht und erreichbare<br />

Beugungseffizienzen hängen von dieser Wahl ab und wurden in [21] für<br />

niedereffiziente Gitter untersucht.<br />

Die Überbeschichtung führt prinzipiell zu einem Auswaschen der Gitterstruktur.<br />

An der Oberfläche werden dementsprechend nur geringe Beugungseffizienzen<br />

erreicht. In die tieferen Schichten <strong>mit</strong> ausgeprägterer Struktur<br />

gelangt durch das Schichtsystem nur wenig Licht. Dieser Ansatz eignet sich<br />

deshalb besonders zur Herstellung von Gittern <strong>mit</strong> niedrigen Beugungseffizienzen.<br />

Die Überbeschichtung bietet zudem den Vorteil, dass sie sich reduzierend<br />

auf Streulicht auswirkt, da kleinere Unebenheiten und Oberflächenrauhigkeiten<br />

gemindert werden. Die Störung des Schichtsystems wirkt sich<br />

dagegen nachteilig auf das Reflexionsverhalten aus. Der Beschichtungsprozess<br />

führt zudem zu Veränderungen der Gitterstruktur, was die Simulation<br />

der Beugungs- und Reflexionseigenschaften schwierig macht.<br />

Im Fall eines unterschichteten Gitters liegt ein ungestörtes Schichtsystem<br />

vor, das sich zunächst einzeln berechnen lässt. Die zu erwartenden Verluste<br />

durch Transmission sind dementsprechend geringer. Ein <strong>Strahlteiler</strong> in<br />

laserinteferometrischen Anwendungen soll idealerweise ein 50/50 Teilungsverhältnis<br />

haben. Dafür ist eine ausgeprägte Gitterstruktur erforderlich, wie<br />

sie ein unterschichtetes Gitter bietet. Die Designparameter für ein binär<br />

strukturiertes Gitter sind in Abbildung 2.3 dargestellt. Neben der Gitterperiode<br />

sind dies die Stegbreite, die Grabentiefe und die Restdicke der obersten<br />

Schicht. Häufig werden auch die Begriffe Füllfaktor für das Verhältnis von<br />

Stegbreite zu Gitterperiode und das Aspektverhältnis für den Quotient aus<br />

Ätztiefe und Stegbreite verwendet. Aus Parameterstudien der genannten<br />

Größen lässt sich dann ein optimales Design finden. Eine ausführliche Dar-<br />

8


Stegbreite<br />

HR-Beschichtung<br />

Substrat<br />

Periode<br />

2.1 Design von Gittern<br />

Grabentiefe<br />

Restdicke der<br />

obersten Schicht<br />

Abbildung 2.3: Parameter beim Gitterdesign für ein unterschichtetes Gitter.<br />

stellung dieses Prozesses ist in [22] für einen in dieser Arbeit verwendeten<br />

Gitterstrahlteiler zu finden. Dabei werden sowohl herstellungsbedingte Faktoren<br />

berücksichtigt als auch Parametertoleranzen besprochen. Der Herstellungsprozess<br />

binärer Gitterstrukturen <strong>mit</strong> Elektronenstrahllithografie und<br />

anschließendem isotropen Ionenätzen wird ebenfalls ausführlich erläutert.<br />

9


2 Diffraktive <strong>Strahlteiler</strong><br />

10


KAPITEL 3<br />

Grundlagen der verwendeten<br />

optischen Systeme<br />

In diesem Kapitel werden einige grundlegenden Begriffe zu den in dieser Arbeit<br />

verwendeten optischen Systemen eingeführt. Dabei handelt es sich um<br />

ein <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> und einen Fabry-Perot Resonator. Desweiteren<br />

wird die Leistungsüberhöhung in einem <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> durch<br />

einen zusätzlichen Spiegel vor dem <strong>Interferometer</strong> beschrieben, das sogenannte<br />

” Power-Recycling“. Auf den optischen Eigenschaften dieser Systeme<br />

beruht die Bestimmung der Gitterverluste im experimentellen Teil dieser<br />

Arbeit.<br />

Diese optischen Systeme werden aus Spiegeln und <strong>Strahlteiler</strong> gebildet.<br />

Die Wirkung dieser einzelnen Elemente auf Amplitude und Phase des Lichts<br />

lässt sich <strong>mit</strong> einem Streumatrixformalismus beschreiben, der einleitend dargestellt<br />

und auf die Komponenten angewendet wird. Anschließend werden<br />

die oben genannten Anordnungen auf Basis dieses Formalismus diskutiert.<br />

3.1 Streumatrixformalismus<br />

Mit Hilfe eines Streumatrixformalismus [23] lassen sich die Eigenschaften<br />

optischer Komponenten bezüglich Amplitude und Phase von Licht in allgemeiner<br />

Form beschreiben. Koppeln an einer optischen Komponente n verschiedene<br />

Lichtfelder <strong>mit</strong>einander, wird diese durch eine n × n Streumatrix<br />

Sn repräsentiert. Die komplexen Amplituden an den Ein- und Ausgängen


3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />

werden zu Spaltenvektoren a bzw. b zusammengefasst und durch die Streumatrix<br />

verknüpft<br />

b = Sn × a. (3.1)<br />

Die Einträge der Streumatrix beinhalten sowohl Amplituden- als auch Phasenbeziehungen<br />

der ein- und auslaufenden Lichtfelder. Die allgemeinste Form<br />

einer n × n Streumatrix ist gegeben durch<br />

⎛<br />

⎞<br />

⎜<br />

Sn = ⎜<br />

⎝<br />

c11eiφ11 c12eiφ12 . . . c1neiφ1n c21eiφ21 c22eiφ22 . . . c2neiφ2n .<br />

.<br />

. ..<br />

cn1e iφn1 cn2e iφn2 . . . cnne iφnn<br />

.<br />

⎟<br />

⎠<br />

(3.2)<br />

<strong>mit</strong> den als reel angenommenen Amplitudenkoeffizienten cij und den Phasen<br />

φij. Die Elemente der Hauptdiagonalen verknüpfen die einfallenden <strong>mit</strong> den<br />

in sich reflektierten Anteilen an einer Schnittstelle i = j, die üblicherweise<br />

als Port bezeichnet wird, während die Nicht-Diagonalelemente den Übergang<br />

von einem Eingang j zu einem Ausgang i �= j beschreiben. Da<strong>mit</strong> die<br />

Matrix eine physikalische Komponente repräsentiert, sind die Einträge nicht<br />

beliebig wählbar. Die Prinzipien der Energieerhaltung und Zeitumkehr beschränken<br />

die möglichen Einträge. Für Energieerhaltung muss sichergestellt<br />

werden, dass die gesamte Eingangsleistung Iin identisch <strong>mit</strong> der gesamten<br />

Ausgangsleistung Iout ist. An einem Ausgang i ist die Leistung gegeben<br />

durch das Betragsquadrat |bi| 2 . Die von der Komponente ausgehende Gesamtleistung<br />

berechnet sich aus der Summe der Einzelleistungen und lässt<br />

sich durch<br />

⎛ ⎞<br />

Iout =<br />

n�<br />

b ∗ i bi = � b∗ 1 ,b∗2 ,b∗ � ⎜<br />

3 , . . . ⎜<br />

⎝<br />

i=1<br />

b1<br />

b2<br />

b3<br />

. . .<br />

⎟<br />

⎠ = b† × b (3.3)<br />

in das Vektorprodukt von b <strong>mit</strong> seinem her<strong>mit</strong>esch konjugierten b † umschreiben.<br />

In dieser Notation ergibt sich die Verbindung der Ausgangs- zur<br />

Eingangsleistung aus<br />

Iout = b † b = (Sa) † (Sa) = a † (S † S)a, (3.4)<br />

Da<strong>mit</strong> Energieerhaltung gilt, muss die Streumatrix unitär sei, und so<strong>mit</strong><br />

Iin = Iout ⇒ S † S = 1 (3.5)<br />

gelten. Zusätzlich gilt für eine reziproke Komponente, dass die Einträge der<br />

Streumatrix<br />

|Sij| = |Sji| (3.6)<br />

12


3.1 Streumatrixformalismus<br />

erfüllen müssen. Durch die Bedingungen (3.5) und (3.6) werden für eine<br />

gegebene Komponente die Amplitudenkoeffizienten cij eindeutig festgelegt.<br />

Die Phasen φij werden ebenfalls bestimmt, sind aber nicht eindeutig, da die<br />

Bezugsebene an einer Komponente unterschiedlich definiert werden kann. In<br />

den folgenden Abschnitten wird dieser Formalismus auf die für das Experiment<br />

relevanten Komponenten angewendet.<br />

Spiegel als 2-Port Komponente<br />

Ein verlustfreier, teildurchlässiger Spiegel unter einem Einfallswinkel von<br />

0 ◦ (Abbildung 3.1) verändert im Allgemeinen die Amplitude und Phase des<br />

Lichts. Die 2 × 2 Streumatrix S2 dieser Komponente <strong>mit</strong> den Amplituden-<br />

a 1<br />

b 1<br />

ρ,τ<br />

Abbildung 3.1: Die Amplituden an einem halbdurchlässigen Spiegel als 2-Port<br />

Komponente.<br />

reflektivitäten ρ und Amplitudentransmissivitäten τ lautet<br />

�<br />

iφ11 ρe<br />

S2 =<br />

τeiφ12 �<br />

. (3.7)<br />

τe iφ21 ρe iφ22<br />

Die geforderte Unitarität (3.5) der Streumatrix führt auf folgendes Gleichungssystem:<br />

b 2<br />

a 2<br />

�<br />

ρτ e i(φ11−φ21) i(φ12−φ22)<br />

+ e �<br />

�<br />

ρτ e i(φ21−φ11) i(φ22−φ12)<br />

+ e �<br />

ρ 2 + τ 2 = 1, (3.8)<br />

= 0, (3.9)<br />

= 0. (3.10)<br />

Die erste Bedingung wird durch die Annahme einer verlustfreien Komponente<br />

erfüllt. Eine mögliche Lösung des Gleichungssystems der Phasenbeziehungen<br />

besteht in der symmetrischen Verteilung auf die Transmission<br />

(φ12 = φ21 = π<br />

2 ), so dass in Reflexion kein Phasensprung (φ11 = φ22 = 0)<br />

stattfindet. Die Streumatrix wird dann durch<br />

S2 =<br />

� ρ iτ<br />

iτ ρ<br />

�<br />

. (3.11)<br />

dargestellt. Eine andere Möglichkeit ordnet einer Reflexion einen Phasensprung<br />

von φ11 = π zu, so dass für die anderen Übergänge φ12 = φ21 =<br />

13


3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />

φ22 = 0 gilt und die Streumatrix gegeben ist durch:<br />

S2 =<br />

� −ρ τ<br />

τ ρ<br />

<strong>Strahlteiler</strong> als 4-Port Komponente<br />

�<br />

. (3.12)<br />

Bei schrägem Einfall auf einen teildurchlässigen Spiegel erhält man einen<br />

<strong>Strahlteiler</strong> <strong>mit</strong> vier Ein- und Ausgängen, wie in Abbildung 3.2 dargestellt.<br />

Da jeder Eingang nur <strong>mit</strong> zwei Ausgängen verbunden ist vereinfacht sich die<br />

a 1<br />

b 1<br />

ρ,τ<br />

b 2<br />

a 4<br />

Abbildung 3.2: Amplituden am <strong>Strahlteiler</strong> als 4-Port Komponente.<br />

Streumatrix zu<br />

S4 =<br />

⎛<br />

⎜<br />

⎝<br />

a 2<br />

b 4<br />

b 3<br />

a 3<br />

0 ρe iφ12 τe iφ13 0<br />

ρe iφ21 0 0 τe iφ24<br />

τe iφ31 0 0 ρe iφ34<br />

0 τe iφ42 ρe iφ43 0<br />

⎞<br />

⎟<br />

⎠ . (3.13)<br />

Die zu lösenden Gleichungen für eine unitäre Streumatrix lauten<br />

�<br />

ρτ e i(φ12−φ42) i(φ13−φ43)<br />

+ e �<br />

�<br />

ρτ e i(φ21−φ31) i(φ24−φ34)<br />

+ e �<br />

�<br />

ρτ e i(φ31−φ21) i(φ34−φ24)<br />

+ e �<br />

�<br />

ρτ e i(φ42−φ12) i(φ43−φ13)<br />

+ e �<br />

ρ 2 + τ 2 = 1, (3.14)<br />

= 0, (3.15)<br />

= 0, (3.16)<br />

= 0, (3.17)<br />

= 0. (3.18)<br />

Wegen der Analogie zu dem Spiegel unter 0 ◦ , stellen die gleichen Phasenbeziehungen<br />

für die reflektierten und trans<strong>mit</strong>tierten Anteile eine Lösung dar.<br />

14


3.1 Streumatrixformalismus<br />

In dieser Arbeit wird für den <strong>Strahlteiler</strong> die zu (3.12) äquivalente Phasenwahl<br />

bevorzugt, das bedeutet φ12 = φ21 = π und φ13 = φ31 = φ24 = φ42 =<br />

φ34 = φ43 = 0, so dass die Streumatrix durch<br />

S4 =<br />

⎛<br />

⎜<br />

⎝<br />

0 −ρ τ 0<br />

−ρ 0 0 τ<br />

τ 0 0 ρ<br />

0 τ ρ 0<br />

⎞<br />

⎟<br />

⎠<br />

(3.19)<br />

gegeben ist. Die gefundenen Streumatrizen (3.11) und (3.19) beschreiben<br />

verlustfreie 2-Port und 4-Port Komponenten, bei denen jeweils nur 2 Ports<br />

<strong>mit</strong>einander koppeln. Ein weiteres Beispiel für eine solche Komponente ist<br />

der diffraktive <strong>Strahlteiler</strong>.<br />

Rein-reflektiver <strong>Strahlteiler</strong><br />

Durch eine diffraktive Optik kann Licht in eine vorgegebene Anzahl diskreter<br />

Beugungsordnungen aufgeteilt werden. Ein Gitter <strong>mit</strong> zwei Beugungsordnungen<br />

ermöglicht die Realisierung von 2-Port und 4-Port Komponenten.<br />

Wird die 1.Ordnung in Richtung des einfallenden Strahls gebeugt (Littrow-<br />

Konfiguration), wie in Abbildung 3.3 dargestellt, liegt eine 2-Port-Komponente<br />

vor, die auf gleiche Weise <strong>mit</strong> dem Streumatrixformalismus beschrieben<br />

werden kann wie der Spiegel unter 0 ◦ . In der Streumatrix (3.11) oder (3.12)<br />

a 1<br />

b 1<br />

η 0,η 1<br />

Abbildung 3.3: Amplituden am Gitterstrahlteiler als 2-Port Komponente.<br />

müssen lediglich die Amplitudenreflektivität ρ durch die Beugungseffizienz<br />

in die 1. Ordnung η1 und die Amplitudentransmission τ durch die Beugungseffizienz<br />

in die 0. Ordnung η0 ersetzt werden.<br />

Für einen rein-reflektiven <strong>Strahlteiler</strong> <strong>mit</strong> vier Ports wird das gleiche<br />

Gitter in einer nicht-Littrow Konfiguration verwendet, wie in Abbildung 3.4<br />

dargestellt. Mit den Ersetzungen ρ durch η0 und τ durch η1 in (3.19) erhält<br />

15<br />

a 2<br />

b 2


3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />

a 3<br />

b 3<br />

a 1<br />

b 1<br />

η 0,η 1<br />

a 2<br />

b2 a4 Abbildung 3.4: Amplituden am Gitterstrahlteiler als 4-Port Komponente<br />

man eine Streumatrix des diffraktiven <strong>Strahlteiler</strong>s, die gegeben ist durch<br />

⎛<br />

0<br />

⎜ −η0<br />

S4G = ⎜<br />

⎝<br />

−η0<br />

0<br />

η1<br />

0<br />

⎞<br />

0<br />

η1 ⎟<br />

⎠ . (3.20)<br />

η1 0 0 η0<br />

0 η1 η0 0<br />

Die Ergebnisse der nachfolgend beschriebenen optischen Systeme sind demnach<br />

unabhängig davon, ob trans<strong>mit</strong>ierende oder rein-reflektierende Optiken<br />

verwendet werden.<br />

Länge<br />

Propagiert Licht über eine endliche Länge L im Vakuum (Abbildung 3.5)<br />

wird nur die Phase des Lichts verändert nicht aber die Amplitude. Dieser<br />

a 1<br />

b1<br />

L<br />

Abbildung 3.5: Eine Propagation als optische Komponente.<br />

Zusammenhang wird durch die Streumatrix<br />

�<br />

0 eikL SL =<br />

eikL �<br />

0<br />

b 4<br />

a 2<br />

b 2<br />

(3.21)<br />

ausgedrückt, wobei k = 2π/λ die Wellenzahl zur Wellenlänge λ ist. Die<br />

Nullen auf der Hauptdiagonalen drücken aus, dass entgegengesetzt laufende<br />

Wellen nicht <strong>mit</strong>einander koppeln.<br />

16


3.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

3.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

Der schematische Aufbau eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s ist in Abbildung 3.6<br />

gezeigt. Das einfallende Licht wird an einem <strong>Strahlteiler</strong> in zwei Strahlen aufgeteilt.<br />

Nach Propagation in den beiden Armen werden die Strahlen durch<br />

hochreflektierende Spiegel in sich zurückreflektiert. Am <strong>Strahlteiler</strong> werden<br />

sie erneut aufgeteilt und <strong>mit</strong>einander überlagert. Die in Abbildung 3.6 ge-<br />

Laser<br />

a in<br />

b −<br />

b 2<br />

0<br />

a2 ρ bs,τbs<br />

b1 Abbildung 3.6: Modell eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s<br />

kennzeichneten Amplituden am <strong>Strahlteiler</strong> werden nach (3.19) durch die<br />

Streumatrix<br />

⎛ ⎞ ⎛<br />

⎞⎛<br />

⎞<br />

⎜<br />

⎝<br />

b−<br />

b1<br />

b2<br />

b+<br />

⎟<br />

⎠ =<br />

⎜<br />

⎝<br />

b +<br />

ρ m<br />

a 1<br />

0 −ρbs τbs 0<br />

−ρbs 0 0 τbs<br />

τbs 0 0 ρbs<br />

0 τbs ρbs 0<br />

⎟⎜<br />

⎟⎜<br />

⎠⎝<br />

ain<br />

a1<br />

a2<br />

0<br />

ρ m<br />

⎟<br />

⎠<br />

(3.22)<br />

verknüpft, wobei ρbs die Amplitudenreflektivität und τbs die Amplitudentransmissivität<br />

des <strong>Strahlteiler</strong>s sind. Durch die Propagation im <strong>Interferometer</strong><br />

ergeben sich zusätzliche Phasenbeziehungen, die von den Armlängen<br />

L1 und L2 abhängen. Unter der Annahme, dass die Endspiegel jeweils gleiche<br />

Amplitudenreflektivitäten ρm haben, gilt<br />

a1 = b1e i2kL1 ρm und a2 = b2e i2kL2 ρm. (3.23)<br />

Die Kombination der Gleichungen (3.22) und (3.23) liefert die Amplituden<br />

an den Ausgängen b+ und b−. Normiert auf die Eingangsamplitude ain sind<br />

vom Laser aus gesehen die Amplitudenreflektivität rmi und Amplituden-<br />

17


3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />

transmissivität tmi des <strong>Interferometer</strong>s gegeben durch<br />

rmi = b−<br />

ain<br />

tmi = b+<br />

ain<br />

=<br />

�<br />

ρ 2 bseikL2 2<br />

+ τbse ikL1<br />

�<br />

ρm, (3.24)<br />

= −ρbsτbs<br />

�<br />

e ikL2<br />

�<br />

ikL1 − e ρm. (3.25)<br />

Die am symmetrischen Ausgang b+ interferierenden Felder wurden jeweils<br />

einmal reflektiert und trans<strong>mit</strong>tiert, so dass ihre Amplituden unabhängig<br />

vom Teilungsverhältnis des <strong>Strahlteiler</strong>s gleich groß sind, während die Anteile<br />

im asymmetrischen Ausgang b− zweimal reflektiert bzw. trans<strong>mit</strong>tiert<br />

wurden. Die Betragsquadrate von (3.24) und (3.25) ergeben die entsprechenden<br />

normierten Leistungen<br />

�<br />

�<br />

I− = �<br />

�<br />

b−<br />

ain<br />

�<br />

�<br />

�<br />

�<br />

�<br />

�<br />

I+ = �<br />

�<br />

2<br />

b+<br />

ain<br />

= � τ 4 bs + ρ4 bs + 2τ2 bs ρ2 bs cos(2k∆L)� ρ 2 m, (3.26)<br />

�<br />

�<br />

�<br />

�<br />

2<br />

= 2τ 2 bs ρ2 bs [1 − cos(2k∆L)] ρ2 m, (3.27)<br />

wobei ∆L = L2 − L1 abgekürzt wurde. Eine Änderung der Armlängendifferenz<br />

∆L ( differential mode“) führt zu einer relativen Phasenänderung<br />

”<br />

φmi = 2k∆L der interferierenden Strahlen, die als Leistungsänderung an den<br />

Ausgängen detektiert werden kann, wie in Abbildung 3.7 dargestellt. Dabei<br />

entspricht beispielsweise das angegebene Teilungsverhältnis 40/60 τ2 bs = 0.4<br />

und ρ2 bs = 0.6. Eine gemeinsame Bewegung der Spiegel ( common mode“)<br />

”<br />

ändert ∆L und da<strong>mit</strong> die Intensität in den Ausgängen nicht.<br />

3.2.1 Arbeitspunkt<br />

In laserinterferometrischen Experimenten können die Spiegelpositionen aktiv<br />

auf einen konstanten Armlängenunterschied geregelt werden, um einen<br />

kontinuierlichen Betrieb zu ermöglichen. Man unterscheidet im wesentlichen<br />

drei verschiedene Arbeitspunkte, die in Abbildung 3.8 dargestellt sind. Ist<br />

das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> bei φmi = ±π/2 auf einer Flanke der Intensitätskurve<br />

( ” mid-fringe“) eingestellt führt eine Phasenänderung zu einer<br />

maximalen Intensitätsänderung am Ausgang. Es muss dann aber die Hälfte<br />

der im <strong>Interferometer</strong> umlaufenden Leistung detektiert werden, was auf<br />

Grund der geplanten hohen Intensitäten in Gravitationswellendetektoren<br />

technisch schwer handhabbar ist. Außerdem ist es günstiger kleine Signale<br />

separiert von hohen Leistungen zu detektieren. Dafür bietet sich das Intensitätsminimum<br />

( ” dark-fringe“) bei φmi = 0 im symmetrischen Ausgang an.<br />

18


normierte Leistung [willk. Einheiten]<br />

1<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

0<br />

3.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

I + 50/50<br />

I - 50/50<br />

I + 40/60<br />

I - 40/60<br />

-6 -4 -2 0<br />

φmi [rad]<br />

2 4 6<br />

Abbildung 3.7: Auf die Eingangsleistung normierte Leistungen am symmetrischen<br />

Ausgang I+ und asymmetrischen Ausgang I− des <strong>Interferometer</strong>s für zwei<br />

verschiedene Teilungsverhältnisse des <strong>Strahlteiler</strong>s und vollständig reflektierenden<br />

Endspiegeln ρ 2 m = 1. Nur am symmetrischen Ausgang I+ kann unabhängig vom<br />

Teilungsverhältnis des <strong>Strahlteiler</strong>s das Licht vollständig destruktiv interferieren.<br />

Im dunklen Ausgang ist allerdings die Intensität in erster Ordnung unempfindlich<br />

gegen Phasenänderungen und nimmt unabhängig von der Richtung<br />

der Verstimmung zu, so dass die Abweichung nicht direkt bestimmt werden<br />

kann. Eine Möglichkeit ist, den Operationspunkt des <strong>Interferometer</strong>s leicht<br />

neben den ” dark-fringe“ zu setzen und das verbleibende Licht als Lokaloszillator<br />

zu benutzen. Dies ist unter Homodyn-Detektion bekannt [24]. Eine<br />

weitere Möglichkeit besteht darin Modulations- Demodulationstechniken<br />

zu verwenden. In beiden Fällen lassen sich Phasenänderungen richtungsabhängig<br />

nachweisen. Im letzen Fall ist es zudem möglich, die Messung zu<br />

höheren Frequenzen zu verschieben, wo technisches Rauschen einen geringeren<br />

Einfluss hat. In [25] finden sich ausführliche Beschreibungen zu den drei<br />

sogenannten Heterodyn-Methoden: interne, externe und Schnupp Modulation.<br />

Wenn das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> auf dem dunklen Ausgang betrieben<br />

wird, ist im verlustfreien Fall |rmi| 2 = 1 und die gesamte Leistung läuft zum<br />

Laser zurück. Durch einen Spiegel im Eingang kann dieses Licht wiederverwertet<br />

werden, indem es für eine Leistungsüberhöhung resonant in das<br />

<strong>Interferometer</strong> zurückgekoppelt wird, das sogenannte ” Power-Recycling“.<br />

19


3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />

I + [willk. Einheiten]<br />

1<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

0<br />

bright-fringe<br />

mid-fringe<br />

dark-fringe<br />

-4 -3 -2 -1 0<br />

φmi [rad]<br />

1 2 3 4<br />

Abbildung 3.8: Mögliche Arbeitspunkte eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s. Gezeigt<br />

ist die Leistung am symmetrischen Ausgang I+ über der Verstimmung φmi des<br />

<strong>Interferometer</strong>s durch den Armlängenunterschied.<br />

3.2.2 Kontrast<br />

In realen <strong>Interferometer</strong>n wird ein perfekt dunkler Ausgang nicht erreicht.<br />

Das Interferenzvermögen der Teilstrahlen bei Überlagerung am <strong>Strahlteiler</strong><br />

wird im Experiment durch folgende Faktoren vermindert:<br />

• Unterschiedliche Verluste in den <strong>Interferometer</strong>armen und an den Endspiegeln<br />

führen zu unterschiedlichen Amplituden am <strong>Strahlteiler</strong>, die<br />

sich am dunklen Ausgang des <strong>Interferometer</strong>s nicht mehr vollständig<br />

auslöschen können.<br />

• Eine Verkippung der Teilstrahlen gegeneinander sowie unterschiedliche<br />

Strahlprofile in den Armen führen zu einem geringeren Überlapp der<br />

Lichtrahlen, so dass nicht das gesamte Licht <strong>mit</strong>einander interferieren<br />

kann.<br />

• Durch Modulationstechniken werden dem Licht Seitenbänder aufgeprägt,<br />

die das <strong>Interferometer</strong> in den dunklen Ausgang verlassen, da die<br />

Bedingung für destruktive Interferenz im Allgemeinen nicht gleichzeitig<br />

für Träger und Seitenbänder erfüllt ist.<br />

Der Kontrast ist eine charakteristische Größe für ein reales <strong>Interferometer</strong>,<br />

der das Interferenzvermögen der Teilstrahlen ausdrückt, wie im folgenden<br />

gezeigt wird. Ausgangspunkt ist die Überlagerung der Amplituden a1 und<br />

a2 an einem 50/50-<strong>Strahlteiler</strong>. Die Intensität an einem Ausgang ist dann<br />

20


gegeben durch<br />

3.3 Fabry-Perot Resonator<br />

Iideal = 1<br />

2 |a1 + a2| 2 = 1 �<br />

|a1|<br />

2<br />

2 + |a2| 2 + 2 |a1a ∗ 2| cos(∆φ) � , (3.28)<br />

wobei die ersten beiden Terme die ge<strong>mit</strong>telten Einzelintensitäten angeben,<br />

während der dritte Term von der relativen Phase ∆φ abhängt und die Interferenz<br />

beschreibt. Der Interferenzterm wird durch einen schlechteren Überlapp<br />

der Teilstrahlen kleiner sein, was in<br />

Ireal = 1 �<br />

|a1|<br />

2<br />

2 + |a2| 2 + 2C0 |a1a ∗ 2|cos(∆φ) �<br />

(3.29)<br />

durch 0 ≤ C0 ≤ 1 repräsentiert wird [24]. Im Experiment wird der Kontrast<br />

gemessen, der definiert ist als<br />

C = Imax − Imin<br />

Imax + Imin<br />

= C0<br />

2|a1a∗ 2 |<br />

|a1| 2 + |a2| 2 = C0Cmax, (3.30)<br />

wobei Imax und Imin die maximale bzw. minimale Intensität gemäß (3.29)<br />

sind. Für den Fall gleicher Amplituden (a1 = a2) gilt Cmax = 1 und der<br />

Kontrast entspricht der Kohärenz C0 [26]. Formt man den Kontrast um zu<br />

C = Imax<br />

Iges<br />

− Imin<br />

Iges<br />

(3.31)<br />

= 1 − 2 Imin<br />

, (3.32)<br />

Iges<br />

dann ist das Verhältnis der minimalen Intensität zur Gesamtintensität gegeben<br />

durch<br />

Imin<br />

Iges<br />

= 1 − C<br />

. (3.33)<br />

2<br />

Der Kontrast C ist da<strong>mit</strong> ein qualitatives Maß für die Verluste im dunklen<br />

Ausgang, die auf Grund von Asymmetrien in den <strong>Interferometer</strong>armene entstehen.<br />

Als Folge wird zum Einen die oben erwähnte Leistungsüberhöhung<br />

durch diese Verluste li<strong>mit</strong>iert und zum Anderen die Detektion von Signalen<br />

im Ausgang erschwert.<br />

3.3 Fabry-Perot Resonator<br />

Ein optischer Resonator besteht aus zwei oder mehr Spiegeln, die so angeordnet<br />

sind, dass Licht mehrfach denselben Weg durchläuft und unterschiedliche<br />

Anteile des Lichts <strong>mit</strong>einander interferieren können. Im einfachsten Fall sind<br />

zwei Spiegel in einem Abstand l angeordnet. Wird Licht am ersten Spiegel<br />

eingekoppelt, kann es mehrfach zwischen den Spiegeln reflektiert werden,<br />

21


3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />

wobei entsprechend der Spiegeltransmissivitäten ein Teil aus dem Resonator<br />

ausgekoppelt wird. Je nach Phasenlage wird das Licht im Resonator<br />

konstruktiv oder destruktiv interferieren und im ersten Fall ein starkes Feld<br />

aufbauen. Im Model des Fabry-Perot Resonators aus Abbildung 3.9 sind die<br />

beteiligten Amplituden eingezeichnet. An den Spiegeln werden die Ampli-<br />

a 0<br />

a 4<br />

ρ 1 ,τ 1<br />

a 1<br />

a‘ 3<br />

l<br />

a‘ 1<br />

a 3<br />

ρ 2 ,τ 2<br />

Abbildung 3.9: Model eines Fabry-Perot-Resonators<br />

tuden <strong>mit</strong> der Streumatrix (3.11) durch<br />

� � �<br />

a4 ρ1 iτ1<br />

=<br />

a1 iτ1 ρ1<br />

� a3<br />

a2<br />

� �<br />

ρ2 iτ2<br />

=<br />

iτ2 ρ2<br />

�� a0<br />

a ′ 3<br />

�� a ′ 1<br />

0<br />

a 2<br />

0<br />

�<br />

, (3.34)<br />

�<br />

(3.35)<br />

verknüpft. Die Länge l des Resonators bewirkt zusätzliche Phasenänderungen,<br />

die gemäß (3.21) durch<br />

� � �<br />

a ′<br />

3 0 eikl =<br />

eikl �� �<br />

a1<br />

(3.36)<br />

0<br />

a ′ 1<br />

bestimmt werden. Aus den linearen Gleichungen (3.34, 3.35 und 3.36) lassen<br />

sich die gesuchten Amplituden zu<br />

auflösen, wobei der Resonanzfaktor<br />

a3<br />

a1 = a0diτ1, (3.37)<br />

a2 = −a0dτ1τ2e ikl , (3.38)<br />

a3 = a0diρ2τ1e ikl , (3.39)<br />

� � 2<br />

a4 = a0d ρ1 − ρ2 ρ1 + τ 2� 2ikl<br />

1 e �<br />

(3.40)<br />

d =<br />

1<br />

1 − ρ1ρ2e 2ikl<br />

22<br />

(3.41)


3.3 Fabry-Perot Resonator<br />

als Abkürzung eingeführt wurde. Alle Amplituden sind proportional zum<br />

Resonanzfaktor, der <strong>mit</strong> der Abstimmung φres = 2kl periodisch ist. Durch<br />

Normierung auf die Eingangsamplitude erhält man die komplexe Transmissivität<br />

tres und komplexe Reflektivität rres des Resonators zu<br />

tres = a2<br />

a0<br />

rres = a4<br />

a0<br />

= −<br />

φres<br />

i τ1τ2e 2<br />

, (3.42)<br />

iφres 1 − ρ1ρ2e<br />

= ρ1<br />

�<br />

− ρ2 ρ2 1 + τ2 �<br />

iφres<br />

1 e<br />

1 − ρ1ρ2eiφres . (3.43)<br />

Wenn Verluste A im Resonator auftreten, können sie der Transmission des<br />

zweiten Spiegels τ2 2 zugerechnet werden. Impedanzanpassung wird dann erreicht,<br />

wenn die Transmission des Einkoppelspiegels und die verlustbehaftete<br />

. Der Betrag<br />

Transmission des zweiten Spiegels identisch sind τ2 1 = 1 − ρ22 |rres| und die Phase ϕres der am Resonator reflektierten Lichtamplitude sind<br />

in Abbildung 3.10 für einen impedanzangepassten Resonator dargestellt. Auf<br />

Betrag [a.u.]<br />

1<br />

180<br />

0.9<br />

160<br />

0.8<br />

140<br />

0.7<br />

0.6<br />

0.5<br />

0.4<br />

0.3<br />

120<br />

100<br />

80<br />

60<br />

0.2<br />

0.1<br />

0<br />

|ρres |<br />

ϕres 40<br />

20<br />

0<br />

-1 -0.5 0<br />

φres [rad]<br />

0.5 1<br />

Abbildung 3.10: Betrag und Phase der an einem impedanzangepassten Fabry-<br />

Perot-Resonator reflektierten Amplitude in Abhängigkeit von der Resonatorabstimmung<br />

φres <strong>mit</strong> den Spiegelparametern ρ1 = ρ2 = 0.9 und τ1 = τ2 = 0.1<br />

Resonanz (φres = 0) wird bei Impedanzanpassung die Leistung vollständig<br />

trans<strong>mit</strong>tiert. Die Phase ändert sich bei Verstimmung um die Resonanz im<br />

impedanzangepassten Fall um 180 ◦ . Dieser Phasensprung ist wichtig für die<br />

Regelung des Resonators und kann <strong>mit</strong> einer Modulationstechnik (Pound-<br />

Drever-Hall-Verfahren) detektiert werden. Die Größe des Phasensprungs ist<br />

abhängig von den Resonatorparametern und nimmt vom überkoppelten Fall<br />

23<br />

Phase [deg]


3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />

(τ2 1 > 1 − ρ22 ) zum unterkoppelten Fall (τ2 1 < 1 − ρ22 ) ab.<br />

Die Überhöhung innerhalb des Resonator ist gemäß (3.37) gegeben durch<br />

� �<br />

�a1<br />

�2<br />

G = � �<br />

� � =<br />

a0<br />

und maximal auf Resonanz<br />

Gmax =<br />

und minimal auf Antiresonanz<br />

Gmin =<br />

τ2 1<br />

1 + (ρ1ρ2) 2 , (3.44)<br />

− 2ρ1ρ2 cos(φres)<br />

τ 2 1<br />

(1 − ρ1ρ2) 2 ⇔ φres = 0 mod(2π) (3.45)<br />

τ 2 1<br />

(1 + ρ1ρ2) 2 ⇔ φres = π mod(2π). (3.46)<br />

3.3.1 Charakteristische Größen<br />

Eine Änderung des Parameters φres um 2π entspricht dem Abstand zweier<br />

Resonanzen, den man freien Spektralbereich nennt. Bei festem Spiegelabstand<br />

l ist die Resonanzbedingung für verschiedene Wellenzahlen im Abstand<br />

∆k erfüllt wenn<br />

2(k + ∆k)l − 2kl = 2π (3.47)<br />

gilt. Rechnet man die Wellenzahl durch die Beziehung k = 2πν/c <strong>mit</strong> der<br />

Lichtgeschwindigkeit c in optische Frequenzen ν um, ist der Abstand zweier<br />

benachbarter Resonanzfrequenzen gegeben durch<br />

∆νFSR = c<br />

. (3.48)<br />

2l<br />

Eine zweite charakteristische Größe eines Resonators ist die Bandbreite<br />

∆νFWHM. Sie ist definiert durch die gesamte Breite bei der die Leistung<br />

auf die Hälfte abgefallen ist ( Full Width at Half Maximum“). Die Abstim-<br />

”<br />

mung für die halbe Breite berechnet sich <strong>mit</strong> (3.44) zu<br />

φ 1/2 = arccos<br />

�<br />

1 −<br />

(1 − ρ1ρ2) 2<br />

2ρ1ρ2<br />

�<br />

. (3.49)<br />

Die Finesse ist als Verhältnis von freiem Spektralbereich zu Bandbreite<br />

F = ∆νFSR<br />

∆νFWHM<br />

= 2π<br />

2φ 1/2<br />

=<br />

π<br />

�<br />

arccos 1 −<br />

� (3.50)<br />

(1−ρ1ρ2) 2<br />

2ρ1ρ2<br />

definiert. Die Finesse ist da<strong>mit</strong> im verlustfreien Fall nur von dem Produkt<br />

der Spiegelreflektivitäten abhängig. Verluste L können der Transmission des<br />

zweiten Spiegels zugerechnet werden, so dass dieser eine effektive Reflektivität<br />

von ρ2 2 = 1−τ2 2 −L hat. In Abbildung 3.11 ist die <strong>mit</strong> (3.44) berechnete<br />

24


G [a.u.]<br />

12<br />

10<br />

8<br />

6<br />

4<br />

2<br />

F=10<br />

F=20<br />

F=30<br />

3.4 ” Power-Recycling“<br />

0<br />

-2 0 2 4 6 8<br />

φres [rad]<br />

Abbildung 3.11: Leistungsüberhöhung im Inneren eines impedanzangepassten<br />

Resonators für verschiedene Werte der Finesse über einen freien Spektralbereich.<br />

Überhöhung von Resonatoren verschiedener Finesse über einem freien Spektralbereich<br />

dargestellt. Die Überhöhung steigt <strong>mit</strong> der Finesse, während die<br />

Breite der Resonanz abnimmt. Hohe Reflektivitäten und da<strong>mit</strong> hohe Werte<br />

für die Finesse werden wesentlich durch Verluste im Resonator und an den<br />

Spiegeln li<strong>mit</strong>iert. Die Bestimmung der Finesse liefert da<strong>mit</strong> eine präzise<br />

Methode auf Verluste von Resonatorkomponenten zurückzuschließen.<br />

3.4 ” Power-Recycling“<br />

Ist das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> auf den dunklen Ausgang eingestellt, reflektiert<br />

es, bis auf Verluste, die gesamte Leistung zum Laser. Dieses Licht kann<br />

wiederverwendet werden, um die Leistung im <strong>Interferometer</strong> zu erhöhen.<br />

Dafür wird ein halbdurchlässiger Spiegel in den Eingang des <strong>Interferometer</strong>s<br />

gestellt (vgl. Abbildung 3.12), der zusammen <strong>mit</strong> dem <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

einen Fabry-Perot-Resonator bildet, in dem die Leistung resonant überhöht<br />

werden kann. Als Verluste des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s werden alle Anteile<br />

bezeichnet, die nicht zur Reflexion beitragen. Diese entstehen durch<br />

eine Abweichung vom Arbeitspunkt, eine nicht perfekte Kohärenz C0 der<br />

Teilstrahlen und eine Resttransmission an den Endspiegeln 1 − ρ 2 m <strong>mit</strong> der<br />

Amplitudenreflektivität ρm. Unter Berücksichtigung dieser Punkte sind Amplitudenreflektivität<br />

ρmi und Amplitudentransmissivität τmi des <strong>Michelson</strong>-<br />

<strong>Interferometer</strong>s nach (3.26), (3.27) und (3.29) gegeben durch<br />

��τ ρmi = 4<br />

bs + ρ4 bs + 2τ2 bsρ2 bsC0 cos(2k∆L) � ρ2 m, (3.51)<br />

25


3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />

Laser<br />

ρ ,τ 1<br />

1<br />

l<br />

ρ m<br />

ρ ,τ bs<br />

bs<br />

Abbildung 3.12: Schematische Darstellung eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong><br />

” Power-Recycling “.<br />

τmi =<br />

�<br />

2τ 2 bs ρ2 bs [1 − C0 cos(2k∆L)] ρ 2 m. (3.52)<br />

Da<strong>mit</strong> können die im vorherigen Abschnitt gewonnenen Ergebnisse für Amplitudenreflektivität<br />

(3.42) und Amplitudentransmissivität (3.43) eines Fabry-<br />

Perot-Resonators übernommen werden, indem die Amplitudenreflektivität<br />

und Amplitudentransmissivität des zweiten Spiegels durch die des <strong>Interferometer</strong>s<br />

ersetzt werden:<br />

tpr = −<br />

φpr<br />

i<br />

τ1τmie 2<br />

L<br />

ρ m<br />

, (3.53)<br />

iφpr 1 − ρ1ρmie<br />

rpr = ρ1<br />

�<br />

− ρmi ρ2 1 + τ2 �<br />

iφpr<br />

1 e<br />

1 − ρ1ρmieiφpr . (3.54)<br />

Dabei wurde die Abstimmung φpr = 2klpr <strong>mit</strong> der Länge des PR-Resonators<br />

lpr = L + l eingeführt, die sich zusammensetzt aus der <strong>mit</strong>tleren Armlänge<br />

des <strong>Interferometer</strong>s L und dem Abstand des PR-Spiegels zum <strong>Interferometer</strong><br />

l. Die Leistungsüberhöhung auf Resonanz ist dann gemäß (3.44) gegeben<br />

durch<br />

Gpr =<br />

τ 2 1<br />

(1 − ρ1ρmi) 2.<br />

26<br />

(3.55)


3.4 ” Power-Recycling“<br />

Im Experiment wird ein perfekter Kontrast nicht erreicht. Die Auswirkungen<br />

auf das ” Power-Recycling“ wurden im Experiment genutzt, um Information<br />

darüber zu erhalten, wie gut der Modenüberlapp am <strong>Strahlteiler</strong><br />

ist, da eine direkte Bestimmung des Kontrasts nicht mehr durchgeführt werden<br />

kann. Mit Hilfe dieser Kenntnis konnte der Aufbau auf geringe Verluste<br />

in den dunklen Ausgang optimiert werden.<br />

Ein nicht perfekter Kontrast in einem <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> hat zur<br />

Folge, dass gemäß (3.52) eine gewisse Leistung in den dunklen Ausgang gelangt.<br />

Der Kontrast ist da<strong>mit</strong> ein entscheidender Faktor für die erreichbare<br />

Leistungsverstärkung und bestimmt im Zusammenspiel <strong>mit</strong> den Spiegelparametern<br />

wie dunkel der Ausgang wird [27]. In Abbildung 3.13 ist dieser<br />

Zusammenhang für feste Spiegelparameter dargestellt, sowie die maximale<br />

Leistungsverstärkung im Resonator nach (3.55). Dafür wurde die Phase des<br />

<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s durchgestimmt, während der Resonator gleichzeitig<br />

auf Resonanz gehalten wurde. Bei perfekter Kohärenz C0 = 1 wird wie<br />

|τ mi | 2 [a.u.]<br />

G [a.u.]<br />

1<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

80<br />

60<br />

40<br />

20<br />

C 0 =1<br />

C 0 =0.999<br />

C 0 =0.99<br />

C 0 =0.9<br />

C 0 =0.5<br />

0<br />

-3 -2 -1 0 1 2 3<br />

0<br />

-3 -2 -1 0<br />

φmi [rad]<br />

1 2 3<br />

Abbildung 3.13: Oben: Die berechnete normierte Leistung im dunklen Ausgang<br />

eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> Power-Recycling als Funktion der Abstimmung<br />

φmi, während der Resonator gleichzeitig auf Resonanz gehalten wird. Unten: Die<br />

Leistungsverstärkung im <strong>Interferometer</strong>. Variiert wurden Verluste durch eine nicht<br />

perfekte Kohärenz C0. Die Reflektivitäten sind <strong>mit</strong> ρ 2 1 = 0.95 und ρ 2 m = 0.9999 für<br />

Einkoppelspiegel bzw. Endspiegel ähnlich denen im Experiment gewählt.<br />

zu erwarten keine Leistung bei φmi = 0 trans<strong>mit</strong>tiert. Durch Verluste steigt<br />

die Leistung im dunklen Ausgang, bleibt aber solange die Transmission des<br />

27


3 Grundlagen der verwendeten optischen Systeme<br />

Einkoppelspiegels größer ist als die Verluste durch Kontrast und Endspiegel<br />

minimal im Arbeitspunkt (überkoppelt). Bei Impedanzanpassung tritt der<br />

Extremfall ein, dass beinahe die gesamte Leistung in den dunklen Ausgang<br />

gelangt. Noch größere Verluste führen zu einer Unterkopplung, so dass die<br />

Intensität wieder sinkt, aber maximal im Arbeitspunkt ist.<br />

Im Experiment lag insbesondere der überkoppelte Fall vor. Das Verhältnis<br />

der Leistung im dunklen Ausgang |τmi| zu der Verstärkung G ist bei perfekter<br />

Kohärenz C0 = 1 minimal. Dies stellte, wie später beschrieben wird,<br />

einen guten Anhaltspunkt im Experiment dar, um den ” Power-Recycling“<br />

Resonator zu justieren.<br />

28


KAPITEL 4<br />

<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong><br />

<strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />

In diesem Kapitel werden zunächst ein konventioneller Fensterstrahlteiler<br />

und ein Reflexionsgitter <strong>mit</strong> Blick auf ihre strahlverformenden Eigenschaften<br />

verglichen. Die rein-reflektive Topologie eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong><br />

Gitterstrahlteiler bedingt, dass die in 0. und 1.Ordnung gebeugten Strahlprofile<br />

prinzipiell voneinander verschieden sind. Es wird gezeigt, dass es nicht<br />

ausreichend ist eine symmetrische <strong>Interferometer</strong>anordnung zu wählen, um<br />

einen hohen Kontrast zu erreichen, sondern dass zusätzlich das Strahlprofil<br />

des einfallenden Strahls berücksichtigt werden muss. Anschließend wird eine<br />

analytische Lösung für das Design eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong><br />

<strong>Strahlteiler</strong> vorgestellt, das sphärische Spiegel verwendet und die<br />

Implementierung von ” Power-Recycling “ erlaubt.<br />

4.1 Fenster- und Gitterstrahlteiler<br />

Wie in Kapitel 3 gezeigt, lässt sich der Streumatrixformalismus gleichermaßen<br />

auf einen teildurchlässigen Spiegel und einen diffraktiven <strong>Strahlteiler</strong><br />

anwenden. Das Amplitudenverhalten eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s ist<br />

deshalb unabhängig von der Art des <strong>Strahlteiler</strong>s. Unter anderem existiert<br />

in beiden Topologien ein symmetrischer und ein asymmetrischer Ausgang<br />

bezüglich der Amplitudenkoeffizienten (vgl.Abbildung 4.1). Am symmetrischen<br />

Ausgang sind die Amplituden identisch und unabhängig vom Teilungs-


4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />

verhältnis des <strong>Strahlteiler</strong>s und von der Reihenfolge in der sie reflektiert und<br />

trans<strong>mit</strong>tiert (rt, tr) bzw. in die 0. und 1. Ordnung gebeugt (01, 10) wurden,<br />

sofern gleiche Verluste in den Armen angenommen werden.<br />

Die Symmetrie des Ausgangs ist im Allgemeinen nicht auf die räumlichen<br />

Laser<br />

rr<br />

tt<br />

rt tr<br />

Abbildung 4.1: Analogie der <strong>Interferometer</strong>topologien <strong>mit</strong> trans<strong>mit</strong>ierendem und<br />

<strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> bezüglich der Amplitudenkoeffizienten.<br />

Strahleigenschaften übertragbar. Wenn sich die aufgeteilten Strahlprofile unterscheiden,<br />

werden sie sich während der Propagation im <strong>Interferometer</strong> auf<br />

unterschiedliche Weise verändern. Bei erneuter Aufteilung und anschließender<br />

Überlagerung am <strong>Strahlteiler</strong> wird dieser Unterschied im Allgemeinen<br />

nicht wieder kompensiert, was einen verminderten Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s<br />

zur Folge hat. Ein hoher Kontrast wird nur erreicht, wenn die strahlformenden<br />

Eigenschaften der optischen Komponenten berücksichtigt werden<br />

und das <strong>Interferometer</strong> entsprechend designt wird. Die Berechnung erfolgt<br />

<strong>mit</strong> dem bekannten ABCD-Matrixformalismus, der auf Gaußsche Strahlen<br />

angewendet wird.<br />

Transformation Gaußscher Strahlen<br />

Strahlen <strong>mit</strong> einem Gaußschen Intensitätsprofil erfüllen die Wellengleichung<br />

in paraxialer Näherung. Sie stellen ebenso die transversalen Eigenmoden<br />

von Resonatoren dar und sind deshalb geeignet zur Beschreibung von realen<br />

Laserstrahlen. Eine charakteristische Eigenschaft Gaußscher Strahlen ist<br />

die beugungsbedingte Aufweitung des Strahls während der Propagation, wodurch<br />

sich der Strahlradius w(z) und der Krümmungsradius der Wellenfront<br />

R(z) gemäß (A.22) und (A.23) verändern. Optische Elemente verändern das<br />

Strahlprofil durch Reflexion, Brechung oder Beugung ebenfalls in definierter<br />

Weise. Die Transformation Gaußscher Strahlen lässt sich <strong>mit</strong> dem ABCD-<br />

Matrixformalismus beschreiben [23]. Ein Gaußscher Strahl kann vollständig<br />

durch den ortsabhängigen, komplexen Strahlparameter<br />

q0 = izR − z0<br />

30<br />

Laser<br />

11<br />

00<br />

01<br />

10<br />

(4.1)


4.1 Fenster- und Gitterstrahlteiler<br />

beschrieben werden, wobei z0 den Ort der Strahltaille <strong>mit</strong> Größe w0 =<br />

� zRλ/π auf der optischen Achse markiert, wobei λ die Wellenlänge des<br />

Lichts ist. Im Abstand z von der Strahltaille gilt dann<br />

q(z) = q0 + z. (4.2)<br />

Jedes strahlverändernde Element wird durch eine 2 × 2 Matrix<br />

M =<br />

� A B<br />

C D<br />

repräsentiert, die einen Strahlparameter q1 vor der Komponente gemäß<br />

q2 = Aq1 + B<br />

Cq1 + D<br />

�<br />

(4.3)<br />

(4.4)<br />

in einen Strahlparameter q2 nach der Komponente überführt. Diese Definition<br />

bringt den Vorteil, dass die Aneinanderreihung von strahlverändernden<br />

Elementen leicht ausgeführt werden kann. Durchläuft ein Gaußscher Strahl<br />

ein System aus mehreren Komponenten, so kann dieses System durch eine<br />

kombinierte Matrix beschrieben werden, die sich aus dem Produkt der<br />

Einzelmatrizen nach<br />

� A B<br />

C D<br />

�<br />

=<br />

� An Bn<br />

Cn Dn<br />

� �<br />

A2 B2<br />

. . .<br />

C2 D2<br />

�� A1 B1<br />

C1 D1<br />

�<br />

(4.5)<br />

berechnet.<br />

Neben einfachen Abbildungen, die durch Abstände, herkömmliche Linsen<br />

oder sphärische Spiegel erzeugt werden, ist es auch möglich, Abbildungseigenschaften<br />

verkippter Komponenten und toroidischer Oberflächen zu beschreiben<br />

[28]. Mit toroidisch wird hier eine Fläche bezeichnet, die durch<br />

zwei unterschiedliche, senkrecht zueinander angeordnete Krümmungsradien<br />

entsteht. Die entsprechende Überlagerung der zwei sphärischen Oberflächen<br />

wird durch ein Segment der Außenhülle eines Torus beschrieben.<br />

Der Strahlparameter wird dafür in zwei Ebenen senkrecht zur Ausbreitungsrichtung<br />

aufgeteilt. Beschränkt sich der optische Aufbau auf eine horizontale<br />

Ebene, dann liegt die Tangentialebene parallel und die Saggitalebene<br />

senkrecht dazu. Die Saggitalebene ist dadurch ausgezeichnet, dass sich ihre<br />

Lage bei Richtungsänderung des Strahls <strong>mit</strong>verändert, während die Tangentialebene<br />

erhalten bleibt. Zur Unterscheidung dieser Orientierungen werden<br />

die ABCD-Matrizen und Strahlparameter im Folgenden <strong>mit</strong> einem hochgestellten<br />

Index t(tangential) oder s(saggital) versehen.<br />

Eine Übersicht allgemein gehaltener Matrizen ist <strong>mit</strong> Verweisen im Anhang<br />

zu finden. Die im Folgenden angewendeten Matrizen sind einfachere Spezialfälle<br />

davon.<br />

31


4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />

Fensterstrahlteiler<br />

An einem Fensterstrahlteiler haben reflektierter und trans<strong>mit</strong>tierter Strahl<br />

annähernd das gleiche Strahlprofil. Eine kleine Asymmetrie entsteht, weil ein<br />

Strahl direkt reflektiert wird, während der andere das Substrat durchquert,<br />

wie in Abbildung 4.2 schematisch dargestellt. Um den Strahlparameter zu<br />

n 1<br />

θ 1<br />

d<br />

n 2<br />

θ 2<br />

n 1<br />

Abbildung 4.2: Strahlengang durch ein <strong>Strahlteiler</strong>substrat.<br />

bestimmen, der den Strahl nach Durchgang des Substrats charakterisiert,<br />

müssen der Eintritt in das Substrat, die Strecke im Material und der Austritt<br />

berücksichtigt werden. Bei schrägem Einfall auf eine planparallele Platte<br />

wird der Strahl zunächst in das Medium gebrochen. Das Snellius’sche Gesetz<br />

liefert den Zusammenhang von Eintritts- und Brechungswinkel Θ1 bzw. Θ2<br />

beim Übergang zwischen den Medien <strong>mit</strong> den Brechungsindizes n1 und n2.<br />

Der geometrische Weg im Substrat der Dicke d ist gegeben durch<br />

l =<br />

l<br />

θ 2<br />

θ 1<br />

d<br />

. (4.6)<br />

cos (θ2)<br />

Abschließend tritt der Strahl wieder unter dem ursprünglichen Winkel aus<br />

der Platte aus. Die drei aufgeführten Schritte entsprechen den ABCD-Matrizen<br />

für einen Spiegel in Transmission (A.35) <strong>mit</strong> unendlichem Krümmungsradius<br />

und der Strecke (A.30) in einem Medium. In tangentialer Ebene erhält<br />

man die Abbildungsmatrix des gesamten <strong>Strahlteiler</strong>s durch Hintereinanderschaltung<br />

der Elemente nach<br />

M t bs = Mt TMLM t T (4.7)<br />

=<br />

�<br />

1 l cos2 (Θ1)<br />

cos2 n1<br />

(Θ2) n2<br />

0 1<br />

�<br />

. (4.8)<br />

Da nur in tangentialer Ebene eine Winkeländerung auftritt, nimmt die Matrix<br />

in saggitaler Ebene <strong>mit</strong> den Matrizen (A.37) und (A.30) die einfachere<br />

32


Form<br />

4.1 Fenster- und Gitterstrahlteiler<br />

M s bs = Ms TMLM s T (4.9)<br />

=<br />

� 1 l n1<br />

n2<br />

0 1<br />

an. Mit einem runden Eingangsstrahl q t 0 = qs 0<br />

Strahlparameter nach obiger Definition (4.4) zu<br />

�<br />

(4.10)<br />

berechnen sich die neuen<br />

q t bs = qt 0 + l n1 cos<br />

n2<br />

2 (Θ1)<br />

cos2 , (4.11)<br />

(Θ2)<br />

q s bs = qs 0 + l n1<br />

. (4.12)<br />

n2<br />

Da nur der Realteil verändert wird, bleibt die Größe der Strahltaille und da<strong>mit</strong><br />

die Divergenz des Strahls erhalten. Die Lage der Strahltaille in saggitaler<br />

und tangentialer Ebene ist aber zueinander versetzt. Sind Einfallswinkel und<br />

Substratmaterial vorgegeben, so skaliert der Unterschied der Strahlparameter<br />

<strong>mit</strong> der Dicke des Substrats. In großem Abstand zur Strahltaille gilt für<br />

den Krümmungsradius der Wellenfront R(z) ≈ z, so dass die Differenz der<br />

Strahltaillelagen nur einen kleinen Unterschied bezüglich der Wellenfrontkrümmung<br />

in saggitaler und tangentialer Ebene zur Folge hat.<br />

Diffraktiver <strong>Strahlteiler</strong><br />

Ein Reflexionsgitter <strong>mit</strong> zwei Beugungsordnungen ist ebenfalls ein <strong>Strahlteiler</strong>.<br />

Eine räumliche Trennung von einfallendem Strahl und gebeugten<br />

Strahlen wird in einer nicht-Littrow-Konfiguration realisiert. Die 0. und<br />

1. Ordnung werden dann unter verschiedenen Winkeln gebeugt und unterscheiden<br />

sich in ihren Strahlprofilen. Insbesondere gilt, dass der Einfallswinkel<br />

Θin und der Beugungswinkel der 1. Ordnung Θ1 in tangentialer Ebene<br />

nicht übereinstimmen, wie in Abbildung 4.3 dargestellt ist. Die Verzerrung<br />

des Strahls in der Beugungsebene ist durch die geometrische Beziehung<br />

w1 = cos(Θ1)<br />

cos(Θin) win<br />

(4.13)<br />

gegeben, <strong>mit</strong> den Strahlradien win und w1 für einfallenden bzw. ausgehenden<br />

Strahl am Gitter. Der Strahlparameter in saggitaler Ebene bleibt dagegen<br />

erhalten, da effektiv nur an einer planen Oberfläche reflektiert wird. Als<br />

Konsequenz wird ein runder Eingangsstrahl elliptisch in 1.Ordnung und<br />

bleibt rund in 0.Ordnung. Die ABCD-Matrix eines Reflexionsgitters [29]<br />

<strong>mit</strong> planer Oberfläche für die Beugungsebene lautet<br />

M t �<br />

cos(Θ1)<br />

cos(Θin)<br />

G(Θin,Θ1) =<br />

0<br />

0<br />

�<br />

. (4.14)<br />

33<br />

cos(Θin)<br />

cos(Θ1)


4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />

w in<br />

θ in<br />

Abbildung 4.3: Strahlverformung an einem Reflexionsgitter in tangentialer Ebene.<br />

Die beugungsbedingte Aufweitung des Strahls ist nicht dargestellt.<br />

Ein in die 1.Ordnung gebeugter runder Eingangsstrahl (qt 0 = qs 0 ) wird dann<br />

durch die Strahlparameter<br />

θ 1<br />

cos 2 (Θ1)<br />

q t G = q t 0<br />

cos2 ,<br />

(Θin)<br />

(4.15)<br />

q s G = q s 0 (4.16)<br />

beschrieben. Je näher Einfalls- und Beugungswinkel beieinander liegen, desto<br />

geringer ist erwartungsgemäß die Verzerrung. Durch die Transformation<br />

wird aber, im Gegensatz zum oben beschriebenen Fensterstrahlteiler, neben<br />

dem Realteil auch der Imaginärteil des Strahlparameters verändert, was<br />

zusätzlich zur toroidischen Wellenfrontkrümmung eine unterschiedliche Divergenz<br />

des Strahlprofils in saggitaler und tangentialer Ebene zur Folge hat.<br />

Beides wird im Folgenden <strong>mit</strong> der Bezeichnung elliptische Strahlen zusammengefasst.<br />

4.2 <strong>Interferometer</strong>design<br />

In einem <strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> Fensterstrahlteiler haben trans<strong>mit</strong>tierter und<br />

reflektierter Strahl das gleiche Strahlprofil, wenn der Durchgang durch das<br />

Substrat vernachlässigt wird. Für gleiche Armlängen des <strong>Interferometer</strong>s und<br />

Krümmungsradien der Endspiegel wird unabhängig vom Eingangsstrahl ein<br />

perfekter Überlapp der Teilstrahlen am <strong>Strahlteiler</strong> erreicht.<br />

34<br />

w 1


4.2 <strong>Interferometer</strong>design<br />

Bei einem diffraktiven <strong>Strahlteiler</strong> unterscheiden sich die Strahlprofile<br />

prinzipiell voneinander. Ein runder Eingangsstrahl bleibt in der 0. Beugungsordnung<br />

rund, wird jedoch elliptisch in 1.Beugungsordnung. Nach Durchlaufen<br />

der <strong>Interferometer</strong>arme werden sich beide Teilstrahlen im Allgemeinen<br />

unterschiedlich verändert haben und am <strong>Strahlteiler</strong> nur unvollständig<br />

interferieren. In diesem Abschnitt wird gezeigt, wie durch Anpassung des<br />

Eingangsstrahls an das <strong>Interferometer</strong> dennoch ein perfekter Kontrast erreicht<br />

werden kann. Dafür wurde sich auf ein planes Reflexionsgitter und<br />

sphärische Endspiegel beschränkt. Die Einbeziehung asphärischer Spiegeloberflächen<br />

würde eine gezielte Anpassung an die Strahlveränderung ermöglichen<br />

und das Design vereinfachen. Beispiele dafür sind toroidisch geschliffene<br />

Spiegel oder die Korrektur von Krümmungsradien durch thermisch adaptive<br />

Optik [30].<br />

Die verbleibenden Parameter für die Berechnung der Strahlveränderungen<br />

im <strong>Interferometer</strong> sind in Abbildung 4.4 eingezeichnet und gegeben durch<br />

die Armlängen des <strong>Interferometer</strong>s L1, L2, die Krümmungsradien der Endspiegel<br />

Rc0, Rc1 sowie die Gitterperiode d, die bei gegebener Wellenlänge λ<br />

und Einfallswinkel k den Beugungswinkel 1. Ordnung g gemäß der Gittergleichung<br />

(2.1) festlegt. Mit Blick auf eine Leistungsüberhöhung im Interfe-<br />

R c1<br />

Laser<br />

L 1<br />

g<br />

k<br />

Abbildung 4.4: Parameter eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong><br />

<strong>Strahlteiler</strong>. Gekennzeichnet sind die Armlängen L0, L1, der Einfallswinkel k, der<br />

Beugungswinkel in die 1. Ordnung g, die Gitterperiode d, sowie die Krümmungsradien<br />

der Endspiegel Rc0 und Rc1.<br />

rometer durch einen zusätzlichen, ebenfalls sphärischen Spiegel im Eingang<br />

des <strong>Interferometer</strong>s wird von einem runden Eingangsstrahl <strong>mit</strong><br />

q0 = q t in = q s in<br />

35<br />

L 0<br />

d<br />

R c0<br />

(4.17)


4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />

ausgegangen. Daraus folgt, dass bei gleicher Armlänge<br />

L = L0 = L1<br />

auch gleiche Krümmungsradien der Endspiegel<br />

Rc = Rc0 = Rc1<br />

(4.18)<br />

(4.19)<br />

gewählt werden müssen, da<strong>mit</strong> in saggitaler Ebene die Strahlparameter von<br />

0. und 1. Ordnung übereinstimmen.<br />

4.2.1 Berechnung eines Eingangstrahls<br />

Ein perfekter Kontrast wird erreicht, wenn an einem Ausgang des <strong>Interferometer</strong>s<br />

die Strahlparameter der Teilstrahlen nach Propagation durch das <strong>Interferometer</strong><br />

übereinstimmen. Aus Energieerhaltungsgründen sind dann die<br />

Strahlparameter am anderen Ausgang ebenfalls identisch. Die Strahlparameter<br />

werden zum Einen nach saggitaler und tangentialer Ebene unterschieden<br />

und zum Anderen nach der Reihenfolge in der die Strahlen am <strong>Strahlteiler</strong> in<br />

0. und 1. Ordnung gebeugt werden (vgl. Abbildung 4.1). Durch den symmetrischen<br />

Aufbau gemäß (4.18) und (4.19) ist festgelegt, dass alle saggitalen<br />

Strahlparameter (q s 00 ,qs 11 ,qs 01 ,qs 10 ) und der tangentiale Parameter qt 00 übereinstimmen,<br />

da sie am <strong>Strahlteiler</strong> nicht verändert werden. Die äquivalenten<br />

Bedingungen für einen perfekten Kontrast sind deshalb durch<br />

q t 00 = q t 11<br />

q t 01 = q t 10<br />

(4.20)<br />

(4.21)<br />

gegeben. In Abbildung 4.5 ist schematisch ein aufgeklapptes <strong>Interferometer</strong><br />

dargestellt um zu verdeutlichen, wie die Strahlparameter berechnet werden.<br />

Nacheinander trifft der Strahl auf das Gitter (z = 0), propagiert über eine<br />

Länge, wird an einem sphärischen Endspiegel (z = L) reflektiert, durchläuft<br />

die gleiche Länge wie zuvor und wird erneut am Gitter (z = 2L) aufgeteilt.<br />

Es werden die Abbildungsmatrizen für eine Länge ML und die Reflexion<br />

an einem Spiegel Mt R <strong>mit</strong> Krümmungsradius Rc gemäß (A.30) bzw. (A.32)<br />

verwendet. Die Gittermatrix Mt G (g,k) enthält nach (4.14) zwei Parameter,<br />

wobei in diesem Beispiel die Stelle von k den Einfallswinkel und die Stelle<br />

von g den Beugungswinkel bezeichnet. Durch Kombination aller Segmente<br />

erhält man die abbildende Wirkung des gesamten <strong>Interferometer</strong>s auf den<br />

einfallenden Strahl. Die Matrizen für die Transformationen in tangentialer<br />

Ebene lauten<br />

M t 00 = MG(k,k)MLMRMLMG(k,k) (4.22)<br />

�<br />

Rc−2L 2L(Rc−L)<br />

= Rc Rc<br />

− 2<br />

�<br />

Rc−2L , (4.23)<br />

Rc Rc<br />

36


Gitter Endspiegel Gitter<br />

0 L 2L<br />

4.2 <strong>Interferometer</strong>design<br />

Abbildung 4.5: Propagation durch das <strong>Interferometer</strong>. Bezugspunkt ist das Gitter<br />

bei z = 0.<br />

M t 11 = MG(g,k)MLMRMLMG(k,g) (4.24)<br />

�<br />

Rc−2L 2L(Rc−L) cos<br />

Rc Rc<br />

=<br />

2 (k)<br />

cos2 (g)<br />

− 2 cos<br />

Rc<br />

2 (g)<br />

cos2 �<br />

, (4.25)<br />

Rc−2L<br />

(k) Rc<br />

M t 01 = MG(k,g)MLMRMLMG(k,k) (4.26)<br />

�<br />

Rc−2L cos(g) 2L(Rc−L) cos(g)<br />

Rc cos(k) Rc cos(k)<br />

=<br />

− 2<br />

�<br />

cos(k) Rc−2L cos(k) , (4.27)<br />

Rc cos(g) Rc cos(g)<br />

M t 10 = MG(g,g)MLMRMLMG(k,g) (4.28)<br />

�<br />

Rc−2L cos(g) 2L(Rc−L) cos(k)<br />

Rc cos(k) Rc cos(g)<br />

=<br />

− 2<br />

�<br />

cos(g) Rc−2L cos(k) . (4.29)<br />

Rc cos(k) Rc cos(g)<br />

In saggitaler Ebene sind die Matrizen <strong>mit</strong> (4.23) identisch. Die gesuchten<br />

Strahlparameter berechnen sich nach Definition (4.4) zu<br />

q t 01 = 2 cos2 (g) � L2 + L(q0 − Rc) − 1<br />

2q0Rc �<br />

cos2 , (4.30)<br />

(k)(2q0 − Rc + 2L)<br />

q t 10 = 2L(L − Rc)cos2 (k) + 2 cos2 (g)q0(L − 1<br />

(2L − Rc)cos2 (k) + 2 cos2 (g)q0<br />

z<br />

2Rc) , (4.31)<br />

q t 00 = 2L2 + 2L(q0 − Rc) − q0Rc<br />

, (4.32)<br />

2q0 − Rc + 2L<br />

37


4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />

q t 11 = L(L − Rc)cos2 (k) + q0 cos2 (g) � L − 1<br />

�<br />

cos2 (k) + q0 cos2 (g)<br />

� L − 1<br />

2 Rc<br />

2 Rc<br />

�<br />

cos2 (k)<br />

cos2 , (4.33)<br />

(g)<br />

wobei q0 der Eingangsstrahlparameter ist. Gleichsetzen der Strahlparameter<br />

gemäß (4.20) oder (4.21) und Auflösen zu<br />

±<br />

q0 = L(Rc − L)(cos 2 (g) + cos 2 (g))<br />

(2L − Rc)cos 2 (g)<br />

(4.34)<br />

� L(L − Rc)[(Rc − L)cos 2 (k) + Lcos 2 (g)][(L − Rc)cos 2 (g) − Lcos 2 (k)]<br />

(2L − Rc)cos 2 (g)<br />

ergibt den Eingangsstrahlparameter für den in Abhängigkeit der Größen<br />

L, Rc, g, k ein perfekter Kontrast erreicht wird. Das Ergebnis (4.34) enthält<br />

die möglichen Anordnungen eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong><br />

<strong>Strahlteiler</strong> und wird im Folgenden ausführlich diskutiert.<br />

Aus dem Real- und Imaginärteil von (4.34) lassen sich die Lage und Größe<br />

der Taille des Eingangsstrahls nach<br />

�<br />

Im(q0)λ<br />

z0 = −Re(q0) und w0 =<br />

(4.35)<br />

π<br />

berechnen. Aus (4.35) folgt, dass nur Lösungen <strong>mit</strong> Im(q0) > 0 physikalisch<br />

sinnvoll sind. Im Folgenden wird sich ergeben, dass der Krümmungsradius<br />

Rc deshalb unter anderem immer kleiner sein muss als die Armlänge L. Da<strong>mit</strong><br />

ist der Nenner in (4.34) immer größer Null und im zweiten Term nur<br />

das positive Vorzeichen relevant. Mit Hilfe der angegebenen Lösung (4.34)<br />

kann für eine <strong>Interferometer</strong>anordnung <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> der Eingangsstrahl<br />

berechnet werden, <strong>mit</strong> dem ein perfekter Kontrast erreicht wird.<br />

Planung eines Experiments<br />

Bisher wurde ein allgemeines Design beschrieben, das durch die Forderung<br />

Im(q0) > 0 eingeschränkt wird. Für die Planung eines experimentellen Aufbaus<br />

können daraus die möglichen Parameter der optischen Komponenten<br />

bestimmt werden.<br />

In Gleichung (4.34) können die Nullstellen abgelesen werden, die Bereiche<br />

gültiger Strahlparameter eingrenzen. Für die Krümmungsradien Rc der<br />

Endpiegel gilt<br />

�<br />

cos2 (g) − cos2 (k)<br />

Rc <<br />

cos2 �<br />

L konvex, (4.36)<br />

(g)<br />

�<br />

cos2 (k) − cos2 (g)<br />

cos2 �<br />

L < Rc < L konkav, (4.37)<br />

(k)<br />

38


4.2 <strong>Interferometer</strong>design<br />

wenn Armlänge L und Beugungswinkel k < g vorgegeben sind. Für die Wahl<br />

k > g ändern sich die Relationen entsprechend und ergeben die gleichen<br />

Bereiche. Im Folgenden wird dies an einem <strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> einer vorgegebenen<br />

Armlänge von L = 1 m illustriert. Es wurden weiterhin ein Einfallswinkel<br />

und ein Beugungswinkel der 1.Ordnung von k = 30 ◦ bzw. g = 60 ◦<br />

gewählt, was einer <strong>Interferometer</strong>anordnung <strong>mit</strong> senkrecht zueinander stehenden<br />

Armen entspricht. In Abbildung 4.6 sind die Größe der Taille des<br />

Eingangsstrahls w0 und Lage z0 bezüglich des Gitters in Abhängigkeit des<br />

Krümmungsradius Rc dargestellt. Es ergeben sich zwei Bereiche möglicher<br />

Krümmungsradien: ein Bereich für den unüblichen Fall konvexer Endspiegel<br />

Rc < −2 m und ein Bereich für konkave Endspiegel <strong>mit</strong> 0,75 m < Rc < 1 m.<br />

w 0 [µm]<br />

1000<br />

800<br />

600<br />

400<br />

200<br />

0<br />

-4 -3 -2 -1<br />

Rc [m]<br />

0 1<br />

z 0 [m]<br />

4<br />

3.5<br />

3<br />

2.5<br />

2<br />

1.5<br />

1<br />

0.5<br />

0<br />

-4 -3 -2 -1 0 1<br />

Rc [m]<br />

Abbildung 4.6: Größe w0 und Lage z0 der Strahltaille als Funktion des<br />

Krümmungsradius Rc, bei einer Armlänge von L = 1m und Beugungswinkeln<br />

von k = 30 ◦ und g = 60 ◦ . Krümmungsradien Rc < 0 entsprechen vom <strong>Interferometer</strong><br />

aus gesehen konvexen Spiegeln, Rc > 0 konkaven Spiegeln. In dem Bereich<br />

−2m < Rc < 0.75m kann kein perfekter Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s erreicht<br />

werden.<br />

Um zu verdeutlichen wie sich der Strahl im <strong>Interferometer</strong> verändert,<br />

können der Strahlradius w(z) und der Krümmungsradius der Wellenfront<br />

R(z) an jeder Stelle z des <strong>Interferometer</strong>s berechnet werden. In Abbildung<br />

4.7 ist ein Ergebnis für den üblicheren Fall eines konkaven Endspiegels<br />

Rc > 0 dargestellt. Der Strahl trifft das Gitter bei z = 0 m und wird am<br />

Endspiegel bei z = 0,55 m reflektiert. Bei z = 1,1 m trifft der Strahl erneut<br />

auf das Gitter. Die Taille des Eingangsstrahls liegt in diesem Beispiel im<br />

<strong>Interferometer</strong>. Durch die Endspiegel werden die divergenten Teilstrahlen so<br />

fokussiert, dass sie bei Überlagerung am Gitter übereinstimmen. Die Wel-<br />

39


4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />

lenfrontkrümmungen der Teilstrahlen in tangentialer und saggitaler Ebene<br />

entsprechen bei z = L den Krümmungsradien der Endspiegel, so dass ein<br />

konfokaler Aufbau realiert ist und der vom <strong>Interferometer</strong> reflektierte Strahl<br />

nicht nur rund ist sondern exakt dem Eingangsstrahl entspricht. Im dunklen<br />

Ausgang sind saggitaler und tangentialer Strahlparameter verschieden, so<br />

dass ein elliptischer Strahl austritt, wie im rechten Teil von Abbildung 4.7<br />

dargestellt.<br />

Im Fall konvexer Endspiegel R < 0 liegt die Strahltaille hinter den Endspiegeln,<br />

die den Strahl in Reflexion aufweiten.<br />

Wahl der Armlänge<br />

Bei vorgegebenem Krümmungsradius Rc der Endspiegel, sowie Einfallswinkel<br />

k und Beugungswinkel in 1.Ordnung g am Gitter kann der Eingangsstrahl<br />

in Abhängigkeit von der Armlänge L berechnet werden. Die Relationen<br />

Rc < L < Rc<br />

0 < L < Rc<br />

cos 2 (k)<br />

cos 2 (k) − cos 2 (g)<br />

cos 2 (g)<br />

cos 2 (g) − cos 2 (k)<br />

falls Rc > 0 , (4.38)<br />

falls Rc < 0, (4.39)<br />

grenzen die möglichen Armlängen ein, wobei k < g gilt. Im Experiment<br />

standen Endspiegel <strong>mit</strong> Rc = 0,5 m zur Verfügung und ein Gitter, dass<br />

annähernd unter den Winkeln k = 30 ◦ und g = 60 ◦ das beste Teilungsverhältnis<br />

aufwies. Innerhalb des dadurch beschränkten Bereichs bezüglich<br />

der Armlänge lassen sich die Strahleigenschaften weiter untersuchen. In Abbildung<br />

4.8 ist dargestellt, <strong>mit</strong> welchen Strahlgrößen eine Anpassung an das<br />

<strong>Interferometer</strong> in Abhängigkeit von der Armlänge erreicht wird. Mit den<br />

kleinen Strahltaillen an den Bereichsgrenzen ist eine große Divergenz des<br />

Strahls verbunden. Die Größe des Strahls auf dem Gitter und den Endspiegeln<br />

ist ein weiteres Kriterium bei der Wahl der Armlänge. Die berechneten<br />

Werte werden in Abbildung 4.8 gezeigt.<br />

40


w [µm]<br />

R [m]<br />

w [µm]<br />

R [m]<br />

1400<br />

1200<br />

1000<br />

800<br />

600<br />

400<br />

200<br />

0<br />

1<br />

0.5<br />

1400<br />

1200<br />

1000<br />

800<br />

600<br />

400<br />

200<br />

0<br />

4.2 <strong>Interferometer</strong>design<br />

-0.5 0 0.5 1 1.5<br />

z [m]<br />

s<br />

t 00<br />

t 11<br />

0<br />

-0.5<br />

-1<br />

s<br />

t 00<br />

t 11<br />

-0.5 0 0.5 1 1.5<br />

1<br />

0.5<br />

z [m]<br />

-0.5 0 0.5 1 1.5<br />

z [m]<br />

s<br />

t 01<br />

t 10<br />

0<br />

s<br />

-0.5<br />

-1<br />

-0.5 0 0.5<br />

t 01<br />

t 10<br />

1 1.5<br />

z [m]<br />

Abbildung 4.7: Veränderung des Strahlradius w und Krümmungsradius der Wellenfront<br />

R in saggitaler (s) und tangentialer (t) Ebene in Abhängigkeit von der<br />

Position z im <strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> L = 0,55m, Rc = 0.5m, k = 30 ◦ und g = 60 ◦ . 0<br />

und 1 geben die Ordnungen und Reihenfolge an in denen der Strahl gebeugt wird.<br />

Der Eingangstrahl hat eine Strahltaille von w0 = 273,5µm bei z = 0.184m. Der<br />

Strahl trifft bei z = 0m auf das Gitter. Bei z = 0,55m wird er am Endspiegel<br />

reflektiert und trifft bei z = 1,1m ein zweites mal auf das Gitter. Am Ausgang des<br />

<strong>Interferometer</strong>s stimmen die Strahlparameter der interferierenden Teilstrahlen in<br />

tangentialer Ebene überein.<br />

41


4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />

w 0 [µm]<br />

400<br />

350<br />

300<br />

250<br />

200<br />

150<br />

100<br />

50<br />

0<br />

0.5 0.6 0.7<br />

L [m]<br />

z 0 [m]<br />

1<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

0<br />

0.5 0.6 0.7<br />

L [m]<br />

Abbildung 4.8: Größe w0 und Lage z0 der Strahltaille des Eingangsstrahls als<br />

Funktion der <strong>Interferometer</strong>armlänge L für Endspiegel <strong>mit</strong> Krümmungsradius Rc =<br />

0.5m, Einfallswinkel k = 30 ◦ und Beugungswinkel in 1. Ordnung g = 60 ◦ .<br />

w(z=0) [µm]<br />

2000<br />

1500<br />

1000<br />

500<br />

t<br />

s<br />

0<br />

0.5 0.55 0.6 0.65 0.7 0.75<br />

L [m]<br />

w(z=L) [µm]<br />

2000<br />

1500<br />

1000<br />

500<br />

t<br />

s<br />

0<br />

0.5 0.55 0.6 0.65 0.7 0.75<br />

L [m]<br />

Abbildung 4.9: Strahlgrößen in tangentialer (t) und saggitaler (s) Ebene auf dem<br />

Gitter w(z = 0) und auf dem Endspiegel w(z = L) im Arm der 1. Beugungsordnung<br />

als Funktion der Armlänge L für Endspiegel <strong>mit</strong> Rc = 0.5m, Einfallswinkel k = 30 ◦<br />

und Ausfallswinkel g = 60 ◦ .<br />

42


4.2 <strong>Interferometer</strong>design<br />

4.2.2 ” Power-Recycling“ im diffraktiven <strong>Interferometer</strong><br />

Bei einem <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> definiert<br />

die in (4.34) gegebene Lösung für den Eingangsstrahl eine Mode des <strong>Interferometer</strong>s,<br />

für die ein perfekter Kontrast möglich ist. Jede Abweichung von<br />

diesem Strahlparameter verschlechtert den Kontrast im Gegensatz zu einem<br />

konventionellen <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> Fensterstrahlteiler. Die Erweiterung<br />

des <strong>Interferometer</strong>s durch optische Resonatoren zur Leistungsüberhöhung,<br />

wie das ” Power-Recycling“ in dieser Arbeit, muss dies berücksichtigen.<br />

Andere Resonatormoden führen, auch wenn sie der Stabilitätsbedingung<br />

für Resonatoren [31] genügen, zu einem geringeren Kontrast und<br />

würden sich selbst in ihrer Verstärkung li<strong>mit</strong>ieren. Der zusätzliche Spiegel<br />

im Eingang des <strong>Interferometer</strong>s muss also konfokal sein zur Mode, die das<br />

<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> reflektiert. Der berechnete Strahlparameter kann<br />

direkt benutzt werden, um die Position des Spiegels l zu berechnen, bei der<br />

Wellenfrontkrümmung des auslaufenden Strahls R(z) und der Krümmungsradius<br />

des Spiegels Rcp übereinstimmen. Aus der Gleichung für die Änderung<br />

des Krümmungsradius der Wellenfront (A.23) folgt<br />

l = z0 + 1<br />

2 Rcp<br />

�<br />

± R2 cp − 4z2 R , (4.40)<br />

wobei sich die Größen auf das Gitter bei z = 0 beziehen. Ein vom <strong>Interferometer</strong><br />

aus gesehener konkaver Spiegel wird dann durch Rcp < 0 richtig beschrieben.<br />

In Abbildung 4.10 ist l bezüglich der Gitterposition in Abhängigkeit<br />

von der <strong>Interferometer</strong>armlänge L gezeigt. Positive Werte für l geben eine<br />

Position im <strong>Interferometer</strong> an, so dass für den ” Power-Recycling“-Spiegel<br />

nur die negativen Werte benutzt werden können.<br />

43


4 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />

l [m]<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

0<br />

-0.2<br />

-0.4<br />

-0.6<br />

0.5 0.55 0.6 0.65 0.7 0.75<br />

L [m]<br />

Abbildung 4.10: Position des Power-Recycling Spiegels l bezüglich des <strong>Strahlteiler</strong>s<br />

als Funktion der Armlänge L, wobei l < 0m eine Position vor dem <strong>Interferometer</strong><br />

angibt. Parameter waren der Krümmungsradius Rc2 = −0.6m eines Einkoppelspiegels<br />

und der Krümmungsradius des Endspiegels Rc1 = 0.5, die vom <strong>Strahlteiler</strong><br />

aus gesehen beide konkav sind. Einfallswinkel ist k = 30 ◦ und Beugunsgwinkel in<br />

1. Ordnung g = 60 ◦ .<br />

44


KAPITEL 5<br />

Experiment<br />

In diesem Kapitel wird die experimentelle Umsetzung eines <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s<br />

<strong>mit</strong> ” Power-Recycling“ auf Basis eines Gitterstrahlteilers präsentiert.<br />

Mit dem Aufbau wurden zwei Gitter auf ihre Gesamtverluste untersucht.<br />

Die Voraussetzungen dafür werden detailliert erläutert und die experimentellen<br />

Ergebnisse dargestellt.<br />

5.1 Experimentelle Grundlagen<br />

Im ersten Teil des Aufbaus wird eine definierte Lasermode für die Experimente<br />

hergestellt. Als kohärente Lichtquelle stand ein stabiles Lasersystem<br />

zur Verfügung. Ein optischer Resonator wurde <strong>mit</strong> Hilfe des Pound-Drever-<br />

Hall Verfahrens auf den Laser geregelt. Das räumlich und spektral gefilterte<br />

Laserlicht ist Ausgangspunkt für die weiteren Experimente.<br />

Das Lasersystem<br />

Als kohärente Lichtquelle stand ein Nd:YAG-Laser der Firma InnoLight aus<br />

der Produktreihe Mephisto <strong>mit</strong> einer Ausgangsleistung von 1,2 W bei einer<br />

Wellenlänge von 1064 nm zur Verfügung. Das Lasersystem ist als nicht planarer<br />

Ringoszillator (NPRO) aufgebaut. Ein Nd:YAG-Kristall dient dabei als<br />

laseraktives Medium, das <strong>mit</strong> Dioden bei einer Wellenlänge von 808 nm gepumpt<br />

wird, und gleichzeitig durch Totalreflexion an den Oberflächen einen<br />

Resonator bildet. Die Umlaufrichtung wird durch die nicht-planare Kristallgeometrie<br />

und einem extern angelegten Magnetfeld vorgegeben. Durch den


5 Experiment<br />

monolithischen Aufbau besitzt der NPRO eine hohe mechanische Stabilität.<br />

Das Modenfilter<br />

Das Modenfilter im Experiment ist ein quasimonolithischer Ringresonator<br />

aus drei Spiegeln, dessen Entwicklung ausführlich in [32] beschrieben ist.<br />

Zwei plane Spiegel dienen als Ein- und Auskoppelspiegel. Ein hochreflektierender<br />

Spiegel <strong>mit</strong> Krümmungsradius 1 m legt zusammen <strong>mit</strong> der Resonatorlänge<br />

420 mm die optischen Eigenmoden des Resonators fest. Um die<br />

mechanische Stabilität zu erhöhen, sind die drei Spiegel fest über einen Abstandshalter<br />

aus Aluminium verbunden, dessen Innenvolumen staubdicht<br />

verschlossen wurde. Zwischen dem sphärischen Spiegel und dem Halter ist<br />

ein ringfömiger Piezokristall angebracht. Durch Anlegen einer Spannung an<br />

den Piezokristall kann die Resonatorlänge variiert und an die Laserfrequenz<br />

angepasst werden. Unter entsprechend gewählten Bedingungen kommt nur<br />

die fundamentale TEM00-Mode zur Resonanz. Hinter dem Modenfilter steht<br />

dann ein beugungsbegrenzter Strahl in der Fundamentalmode zur Verfügung,<br />

dessen Strahltaille von 372µm zwischen den beiden planen Spiegeln liegt. Eine<br />

Möglichkeit das Modenfilter resonant zur Laserfrequenz zu halten, bietet<br />

das nachfolgend beschriebene Pound-Drever-Hall Verfahren.<br />

5.1.1 Pound-Drever-Hall Verfahren<br />

Das Pound-Drever-Hall (PDH) Verfahren ist eine Methode zur Stabilisierung<br />

einer Laserfrequenz auf einen optischen Resonator [33]. In dieser Arbeit wurde<br />

es genutzt, um optische Resonatoren (Modenfilter, ” Power-Recycling“)<br />

auf die Frequenz eines stabilen Lasersystems zu regeln. In abgewandelter<br />

Form wurde das PDH-Verfahren ebenfalls angewendet, um die Linienbreite<br />

einer Resonanz zu vermessen. Die Grundlagen sind identisch und werden an<br />

dieser Stelle beschrieben. Anschließend folgt die Beschreibung der experimentellen<br />

Umsetzung.<br />

Das Ziel des PDH-Verfahrens ist es, ein Signal zu gewinnen, das angibt in<br />

welche Richtung die Resonatorlänge verändert werden muss, da<strong>mit</strong> die Laserfrequenz<br />

resonant ist. Auf Resonanz ist die reflektierte Intensität minimal<br />

und nimmt bei Verstimmung zu beiden Seiten zu. Die Phase des reflektierten<br />

Lichts zeigt dagegen einen Vorzeichenwechsel, kann aber nicht direkt detektiert<br />

werden. Beim PDH-Verfahren werden dem Laserlicht der Frequenz<br />

ω, auch Träger genannt, durch eine Phasenmodulation der Frequenz Ω Seitenbänder<br />

bei ω ±Ω aufgeprägt. Die Phasenmodulation wird im Experiment<br />

zum Beispiel durch einen elektro-optischen Modulator (EOM) geleistet. In<br />

Reflexion vom Resonator wird dann die Überlagerung der Seitenbänder <strong>mit</strong><br />

dem Träger durch eine Photodiode detektiert. Abseits der Resonanz erfahren<br />

die Seitenbänder und der Träger eine Phasenverschiebung zueinander,<br />

so dass bei der Überlagerung ein Anteil Amplitudenmodulation bei der Mo-<br />

46


5.1 Experimentelle Grundlagen<br />

dulationsfrequenz auftritt, der <strong>mit</strong> der Photodiode detektiert werden kann.<br />

Durch elektronische Demodulation <strong>mit</strong> einem Oszillator gleicher Frequenz<br />

kann dieser Anteil extrahiert werden. Die Form des demodulierten Signals<br />

hängt von der Phase des Oszillators zum detektierten Signal ab. In Abbildung<br />

5.1 ist das demodulierte Signal für zwei unterschiedliche Demodulationsphasen<br />

dargestellt. Die rote Kurve zeigt das typische Pound-Drever-Hall<br />

Signalamplitude [willk. Einheiten]<br />

2<br />

1.5<br />

1<br />

0.5<br />

0<br />

-0.5<br />

-1<br />

-1.5<br />

-2<br />

-20 -15 -10 -5 0 5 10 15 20<br />

f [MHz]<br />

Abbildung 5.1: Dispersionssignal (rot) und Absorptionssignal (grün) des Pound-<br />

Drever-Hall Verfahrens um die Resonanzfrequenz des Trägers für eine Modulationsfrequenz<br />

von 8MHz.<br />

Fehlersignal, auch Dispersionssignal genannt, dass einen Nulldurchgang auf<br />

Resonanz zeigt und da<strong>mit</strong> als Fehlersignal für die Regelung des Resonators<br />

verwendet werden kann. Bei Änderung der Demodulationsphase um<br />

90 ◦ erhält man das sogenannte Absorptionssignal. Dies zeigt ein Minimum<br />

und ein Maximum bei der Modulationsfrequenz. Das Absorptionssignal wird<br />

in dieser Arbeit verwendet um Frequenzmarker für die Vermessung einer Resonanz<br />

zu setzen.<br />

5.1.2 Aufbau des Modenfilters<br />

Einen Überblick des Aufbaus zur Filterung des Laserlichts zeigt Abbildung<br />

5.2. Un<strong>mit</strong>telbar hinter dem Laser folgt ein Faraday-Isolator als optische<br />

Diode, um Rückreflexe in den Laser zu unterdrücken. Er besteht aus<br />

zwei polarisierenden <strong>Strahlteiler</strong>n und einem Kristall an dem ein permanentes<br />

Magnetfeld anliegt. Linear polarisiertes Licht erfährt in dem Kristall eine<br />

nicht-reziproke Drehung der Polarisation. Durch geeignete Orientierung<br />

der polarisierenden <strong>Strahlteiler</strong> zueinander, können hin-und rücklaufender<br />

47


5 Experiment<br />

0,9 W<br />

mc<br />

PD<br />

λ/2<br />

HV-Verstärker Servo Mischer<br />

EOM<br />

λ/2<br />

10 Mhz<br />

Isolator<br />

λ/2<br />

λ/4<br />

Laser<br />

Abbildung 5.2: Aufbau zur Filterung des Laserlichts durch einen Ringresonator<br />

(mc) <strong>mit</strong> dem Pound-Drever-Hall Verfahren.<br />

Strahl getrennt werden. Mit einer λ/4 Scheibe wird die Polarisation des Lasers<br />

linearisiert und <strong>mit</strong> einer λ/2 Scheibe die Polarisation auf den Faraday-<br />

Isolator angepasst.<br />

Die Seitenbänder für das PDH-Verfahren wurden <strong>mit</strong> einem breitbandigen<br />

EOM durch Phasenmodulation bei 10 MHz erzeugt. Mit einer Photodiode<br />

wird das am Ringresonator reflektierte Licht detektiert. Um möglichst<br />

viel Leistung in den Resonator einzukoppeln, wurde der Strahl nach dem<br />

EOM <strong>mit</strong> einem Strahlanalysegerät vermessen und <strong>mit</strong> zwei ausgesuchten<br />

Linsen auf den Resonator angepasst. Mit einer weiteren λ/2 Scheibe vor dem<br />

Resonator wurde das Licht auf p-Polarisation gedreht. Die grob bestimmte<br />

Finesse betrug F= 340. Die nach dem Modenfilter zur Verfügung stehende<br />

Leistung von 0,9 W wurde auf meherer Experimente aufgeteilt, wobei das<br />

hier vorgestellte Experiment <strong>mit</strong> ausreichenden 60 mW bedacht wurde.<br />

Der elektronische Regelkreis für das Modenfilter ist ebenfalls in Abbildung<br />

5.2 skizziert. Der von der Photodiode detektierte frequenzabhängige<br />

Teil der Intensität wird in einem Mischer bei 10 MHz phasenrichtig demoduliert<br />

und elektronisch tiefpassgefiltert. Das so gewonnene Fehlersignal wurde<br />

in einem Servo weiterverarbeitet und <strong>mit</strong> einem Hochspannungsverstärker<br />

auf das Piezoelement des Resonators zurückgeführt. Eine gute Einführung<br />

in Regelungstechnik geben [35, 36].<br />

48


Temperaturnachführung des Modenfilters<br />

5.1 Experimentelle Grundlagen<br />

Im Experiment stellte sich heraus, dass über den Piezo nicht genügend<br />

Hub aufgebracht werden konnte, um temperaturbedingte Ausdehnungen des<br />

Aluminiumhalters über einen Zeitraum in der Größenordnung von 10 min<br />

zu kompensieren. Der Hochspannungsverstärker erreichte dann seine maximale<br />

Spannung und die Regelung fiel aus. Mit dem Piezo wurde zu diesem<br />

Zeitpunkt nur noch eine Durchstimmung des Resonators kleiner als<br />

ein freier Spektralbereich erreicht. Da durch die Offsetspannung des Servostellsignals<br />

direkt ein Fehlersignal zur Verfügung stand, wurde entschieden,<br />

das Modenfilter <strong>mit</strong> einer Temperaturnachführung zu versehen. Dazu<br />

wurde symmetrisch an den Seiten des Resonators jeweils ein Peltierelement<br />

und Kühlkörper <strong>mit</strong> Wärmeleitkleber befestigt, wie in Abbildung 5.3 zu sehen.<br />

Mit einer Spannung von 0.3 V konnte etwa 1 FSR durchgestimmt wer-<br />

Abbildung 5.3: Modenfilter <strong>mit</strong> Peltierelementen und Kühlkörpern zur Temperaturnachführung.<br />

den. Das Stellsignal für die Peltierelemente wurde deshalb, im Vergleich<br />

zum Piezo, um einen Faktor abgeschwächt. Für einen zusätzlichen Integrator<br />

wurde die Zeitkonstante des Systems auf 2 min abgeschätzt, indem<br />

die Zeit bestimmt wurde, die das Modenfilter brauchte, um sich nach einer<br />

Erwärmung wieder im Gleichgewicht zu befinden. Eine Spannungsbegrenzung<br />

vervollständigte diesen einfachen PI-Regler. Die langzeitigen Temperaturdrifts<br />

konnten so kompensiert werden. Der mechanische Einfluss der<br />

Nachrüstung auf den Resonator wurde in vorher und nachher aufgenommenen<br />

Transferfunktionen vom Regelkreis des Modenfilters kontrolliert und<br />

war vernachlässigbar.<br />

49


5 Experiment<br />

5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

Ein <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> besteht aus einem <strong>Strahlteiler</strong> und zwei hochreflektierenden<br />

Endspiegeln. In dieser Arbeit wurden zwei rein-reflektive<br />

<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> aufgebaut, wobei dielektrische Reflexionsgitter als<br />

<strong>Strahlteiler</strong> verwendet wurden. Von vornherein wurde die Leistungsüberhöhung<br />

durch ” Power-Recycling“ eingeplant, wofür ein teildurchlässiger Spiegel<br />

vor dem <strong>Interferometer</strong> verwendet wird. In diesem Abschnitt werden<br />

zunächst die verwendeten Gitter und Spiegel für das anschließende <strong>Interferometer</strong>design<br />

charakterisiert. Eine Regelung des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s<br />

<strong>mit</strong> interner Modulation wurde umgesetzt und der Kontrast bestimmt.<br />

5.2.1 Die verwendeten Gitterstrahlteiler<br />

Es standen in dieser Arbeit im wesentlichen zwei Gitterstrahlteiler zur Verfügung,<br />

die am Institut für Angewandte Physik (IAP) in Jena im Rahmen<br />

einer Diplomarbeit [22] berechnet und hergestellt wurden. Nach einer kurzen<br />

Beschreibung der Gitter wird die experimentelle Bestimmung der winkelabhängigen<br />

Beugungseffizienzen und der Gitterperiode erläutert.<br />

Abbildung 5.4 zeigt eine Aufnahme der Substrate <strong>mit</strong> Gittern. Die Git-<br />

Abbildung 5.4: Mit einer Infrarotkamera aufgenommene Bilder der Gitter, als<br />

das jeweilige <strong>Interferometer</strong> justiert war. Zu sehen sind die runden Zoll Substrate<br />

auf denen sich die Gitterstrukturen befinden und der Auftreffpunkt des Lasers<br />

ter befinden sich jeweils auf einem runden Zoll Substrat, dass von der Firma<br />

Layertec <strong>mit</strong> einem hochreflektierenden Schichtsystem aus Quarz (SiO2) <strong>mit</strong><br />

Brechungsindex 1,44 und Tantalpentoxid (Ta205) <strong>mit</strong> Brechungsindex 2,048<br />

beschichtet wurde. Da das Licht unter verschiedenen Winkeln auf den <strong>Strahlteiler</strong><br />

einfällt, wurde ein Schichtsystem gewählt, dass für einen breiten Winkelbereich<br />

hochreflektierend ist. Mit der Elektronenstrahl-Belichtungsanlage<br />

LION LV-1 wurde eine binäre Gitterstruktur geschrieben und anschließend<br />

durch Ionenstrahlätzen in die oberste Lage des Schichtsystems übertragen.<br />

50


Folgende Gitter wurden untersucht [37]:<br />

5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

• Substrat 1: Zu Testzwecken wurden vier Gitterstrahlteiler <strong>mit</strong> den Abmaßen<br />

3 × 3 mm hergestellt. Die Belichtungszeit lag bei 10 Stunden<br />

pro Gitter. Durch Variation der Füllfaktoren wurden unterschiedliche<br />

Beugungseffizienzen erreicht, wie später in Abbildung 5.6 gezeigt wird.<br />

• Substrat 2: Auf diesem Substrat wurde ein Gitter <strong>mit</strong> den Abmaßen<br />

5 × 5 mm hergestellt. Die Belichtung dauerte 14 Stunden. In [22] wird<br />

das Design und die Herstellung dieses Gitters ausführlich beschrieben.<br />

Winkelabhängige Charakterisierung von Gittern<br />

Zwei wichtige Eigenschaften eines diffraktiven <strong>Strahlteiler</strong>s sind die Beugungseffizienzen<br />

und die Winkel der Beugungsordnungen zueinander, die<br />

durch die Gitterperiode bestimmt werden. In diesem Abschnitt werden die<br />

Gitter auf diese winkelabhängigen Beugungseigenschaften untersucht, wobei<br />

zunächst die Durchführung dieser Messung beschrieben wird.<br />

Da<strong>mit</strong> die Winkel von Eingangs- und Ausgangsstrahlen vernünftig zueinander<br />

in Beziehung gesetzt werden können, muss der Auftreffpunkt des<br />

Strahls auf der Gitteroberfläche gut bekannt sein. Bei feststehendem Eingangsstrahl<br />

erfolgt dann die Winkeländerung des Gitters um diesem festen<br />

Punkt. Eine Schablone <strong>mit</strong> radial verlaufenden um jeweils 2 Grad gedrehten<br />

Linien und zwei Blenden in Richtung 0.Ordnung wurden, wie in Abbildung<br />

5.5 skizziert, genutzt, um die Position des Gitters für jeden neuen Winkel zu<br />

finden. Der Autreffpunkt auf dem Gitter wurde zudem <strong>mit</strong> einer Infrarotkamera<br />

beobachtet. Die Winkel konnten auf diese Weise <strong>mit</strong> einer Genauigkeit<br />

λ/2<br />

Abbildung 5.5: Aufbau für winkelabhängige Messungen.<br />

51


5 Experiment<br />

von etwa ±0,5 ◦ abgelesen werden. Die Gittereigenschaften wurden für TM-<br />

Polarisation berechnet. Mit einer λ/2 Scheibe und einem polarisierenden<br />

<strong>Strahlteiler</strong> wurde das Licht deshalb so eingestellt, dass bei Entfernen des<br />

polarisierenden <strong>Strahlteiler</strong>s p-polarisiertes Licht auf das Gitter trifft.<br />

Die Beugungseffizienzen wurden für verschiedene Winkel <strong>mit</strong> einem Leistungsmessgerät<br />

bestimmt. In Abbildung 5.6 sind die gemessenen Beugungseffizienzen<br />

für die 0. und 1. Ordnung für die vier Gitter des ersten Substrats<br />

dargestellt. Die Messungen zeigen deutlich den Einfluss des variierten Füll-<br />

Beugungseffizienz [%]<br />

Beugungseffizienz [%]<br />

100<br />

75<br />

50<br />

25<br />

100<br />

G1a<br />

0<br />

25 30 35 40<br />

75<br />

50<br />

25<br />

G1c<br />

0<br />

25 30 35 40<br />

Einfallswinkel [°]<br />

100<br />

75<br />

50<br />

25<br />

100<br />

G1b<br />

0.Ordnung<br />

1.Ordnung<br />

0<br />

25 30 35 40<br />

75<br />

50<br />

25<br />

G1d<br />

0<br />

25 30 35 40<br />

Einfallswinkel [°]<br />

Abbildung 5.6: Gemessene Beugungseffizienzen in Abhängigkeit des Einfallswinkels<br />

für die vier Gitter G1a-G1d des Substrats 1.<br />

faktors. Nur ein Gitter (G1a) zeigte ein 50/50 Teilungsverhältnis und wurde<br />

im weiteren verwendet.<br />

Für das später erhaltende zweite Substrat <strong>mit</strong> Gitter G2 wurde diese<br />

Messung <strong>mit</strong> breiterem Winkelbereich durchgeführt. Zum besseren Ver-<br />

52


5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

gleich wurde auch G1a nochmal vermessen. Die Ergebnisse zeigt Abbildung<br />

5.7. Bei den Aussparungen handelt es sich um Konfigurationen nahe<br />

Beugungseffizienz [%]<br />

Beugungseffizienz [%]<br />

100<br />

75<br />

50<br />

25<br />

100<br />

0<br />

20 30 40 50 60 70<br />

75<br />

50<br />

25<br />

G1a<br />

G2<br />

0.Ordnung<br />

1.Ordnung<br />

0.Ordnung<br />

1.Ordnung<br />

0<br />

20 30 40 50 60 70<br />

Einfallswinkel [°]<br />

Abbildung 5.7: Gemessene Beugungseffizienzen in Abhängigkeit des Einfallswinkels<br />

für Gitter G1a oben und Gitter G2 unten.<br />

dem Littrow-Winkel, bei denen eine direkte Leistungsmessung nicht möglich<br />

war. Die äußeren Winkel waren wegen des streifenden Lichteinfalls nicht<br />

mehr messbar. Die Winkel αbs1,αbs2 bei denen ein 50/50-Teilungsverhältnis<br />

besteht sind in Tabelle 5.1 aufgelistet.<br />

Eine weitere Größe für das <strong>Interferometer</strong>design <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong><br />

ist die Gitterperiode. Sie bestimmt die geometrische Aufteilung der<br />

Strahlen und da<strong>mit</strong> die Strahlverformung bei gegebenem Einfallswinkel. Die<br />

Messung des Littrow-Winkels αLit, bei dem Einfallswinkel und Beugungswinkel<br />

in die 1.Ordnung übereinstimmen, ist eine einfache Möglichkeit auf<br />

53


5 Experiment<br />

die Gitterperiode zu schließen. Aus der Gittergleichung (2.1) folgt<br />

d =<br />

mλ<br />

, (5.1)<br />

2 sin(αLit)<br />

so dass die Gitterperiode durch eine einzige Winkelmessung bestimmt werden<br />

kann. Die gemessenen Littrow-Winkel und die daraus abgeleiteten Gitterperioden<br />

sind in Tabelle5.1 aufgelistet. Aus der Gitterperiode lässt sich<br />

der Einfallswinkel α⊥ berechnen, der eine <strong>Interferometer</strong>konfiguration <strong>mit</strong><br />

senkrecht zueinander angeordneten Armen erlaubt. Die Winkel α⊥ und dazu<br />

gehörigen Teilungsverhältnisse von 0. zu 1. Ordnung sind für beide Gitter<br />

ebenfalls in Tabelle 5.1 zu finden.<br />

αbs1[ ◦ ] αbs2[ ◦ ] αLit[ ◦ ] d[nm] α⊥[ ◦ ] Tv. bei α⊥[%]<br />

G1a 33,5 56,0 43 780,1 29,7 58/42<br />

G2 29,0 61,0 42,5 787,5 27,8 53/47<br />

Tabelle 5.1: Experimentell bestimmte Beugungseigenschaften der Gitter G1a und<br />

G2. Bei den Einfalsswinkeln αbs1 und αbs2 wird ein 50/50 Teilunsgverhältnis in<br />

0. und 1. Beugungsordnung erreicht, αLit und d sind der Littrow-Winkel und die<br />

daraus abgeleitete Gitterperiode. Mit dem Einfallswinkel α⊥ ist eine <strong>Interferometer</strong>anordnung<br />

<strong>mit</strong> senkrecht zueinander stehenden Armen möglich, wobei ein Teilungsverhältnis<br />

Tv. von 0. zu 1. Ordnung besteht.<br />

5.2.2 Die verwendeten Spiegel<br />

Das im <strong>Interferometer</strong> am Gitterstrahlteiler in 0. und 1.Ordnung aufgeteilte<br />

Licht, propagiert im jeweiligen Arm und wird durch hochreflektierende<br />

Endspiegel M0 bzw. M1 zurückreflektiert (vgl. Abbildung 5.8). Das <strong>Interferometer</strong><br />

wird beim ” Power-Recycling“ um einen halbdurchlässigen Spiegel<br />

Mp im Eingang erweitert. Dieser bildet <strong>mit</strong> dem <strong>Interferometer</strong> einen Resonator<br />

und dient als Einkoppelspiegel. Für das vorliegende Experiment und<br />

die Auswertung der Ergebnisse ist die genaue Kenntnis der optischen Spiegeleigenschaften<br />

essentiell. Da durch die rein-reflektive Toplogie die <strong>Interferometer</strong>anordnung<br />

auf bestimmte Sets von Parametern beschränkt wird,<br />

sind insbesondere die Krümmungsradien der Endspiegel für das <strong>Interferometer</strong>design<br />

wichtig. Die erreichbare Leistungsüberhöhung wird durch die<br />

Reflektivitäten bestimmt.<br />

Im Experiment standen zwei hochreflektierende Endspiegel <strong>mit</strong> einem<br />

Krümmungsradius von 0,5 m zur Verfügung. Sie wurden vom Hersteller<br />

(REO) <strong>mit</strong> einer Transmission von (300±30)ppm und Verlusten von 30 ppm<br />

spezifiziert. Der verwendete Einkoppelspiegel hat einen Krümmungsradius<br />

von 0,6 m und eine angegebene Reflektivität von (95 ± 1)%.<br />

54


5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

Dennoch wurde das Reflexions- und Transmissionsverhalten der Spiegel<br />

charakterisiert, da die genaue Kenntnis dieser Werte wichtig für die spätere<br />

Bestimmung der Gitterverluste ist.<br />

Für die Bestimmung der Reflektivität wurden aus den drei Spiegeln, drei<br />

Resonatoren aufgebaut und jeweils die Finesse er<strong>mit</strong>telt, wobei eine Methode<br />

<strong>mit</strong> Frequenzmarkern angewendet wurde, die in einem späteren Abschnitt<br />

erläutert wird. Die Resonatorlänge wurde so gewählt, dass sie dem späteren<br />

Aufbau des <strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> ” Power-Reycling“ entspricht und so<strong>mit</strong> als<br />

Referenz benutzt werden kann. Aus der Finesse F eines Resonators lässt sich<br />

auf das Produkt der Spiegelreflektivitäten schließen. Durch Kombination der<br />

Ergebnisse für die drei Resonatoren<br />

Fp0 = 119,4 ± 2,9, (5.2)<br />

Fp1 = 119,9 ± 2,4, (5.3)<br />

F01 = 5400 ± 500, (5.4)<br />

wobei die Indizes auf die jeweils verwendeten Spiegel hinweisen, lässt sich<br />

die Reflektivität jedes einzelnen Spiegels bestimmen.<br />

Die Transmission der Spiegel wurde zusätzlich <strong>mit</strong> einem Leistungsmessgerät<br />

er<strong>mit</strong>telt, wobei das Wechseln des Messkopfes bei den hochreflektierenden<br />

Spiegeln durch einen größeren Fehler berücksichtigt wurde. Die Reflektivitäten<br />

und Transmissivitäten für die Einzelkomponenten sind durch<br />

ρ 2 0 = 0,9993 ± 0,0012 τ 2 0 = (265 ± 27)ppm (5.5)<br />

ρ 2 1 = 0,9995 ± 0,0012 τ 2 1 = (264 ± 26)ppm, (5.6)<br />

ρ 2 p = 0,9494 ± 0,0012 τ 2 p = 0,0502 ± 0,0025, (5.7)<br />

gegeben, was innerhalb der Messungenauigkeiten den Spezifikationen entspricht.<br />

Für die spätere Bestimmung der Gitterverluste werden die Resonatorkombinationen<br />

<strong>mit</strong> Mp als Referenz verwendet.<br />

5.2.3 Design und Aufbau des <strong>Interferometer</strong>s<br />

Das Design des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s basiert auf der in Kapitel4 gegebenen<br />

analytischen Lösung (4.34) für ein <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong><br />

<strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong>. Sie beschreibt wie bei einer vorgegebenem <strong>Interferometer</strong>anordnung<br />

der Eingangsstrahl gewählt werden muss, um einen hohen<br />

Kontrast zu erreichen.<br />

Zunächst wurden die Strahleigenschaften im <strong>Interferometer</strong> für verschiedene<br />

Einfallswinkel auf den jeweiligen Gitterstrahlteiler um 30 ◦ untersucht.<br />

Dazu gehörten die Strahlgrößen auf dem Gitter und den Endspiegeln, die<br />

Elliptizität des Strahls an einem Endspiegel und die Länge des ” Power-<br />

Recycling“ Resonators. Die Unterschiede waren für die Realisierung des <strong>Interferometer</strong>s<br />

unbedeutend, so dass sich für einen Einfallswinkel <strong>mit</strong> einem<br />

50/50 Teilungsverhältnis entschieden wurde.<br />

55


5 Experiment<br />

Die Armlänge L des <strong>Interferometer</strong>s hat dagegen einen sehr viel entscheideneren<br />

Einfluss. In Anhang 2 finden sich einige Abbildungen in denen<br />

die genannten Strahleigenschaften über der Armlänge aufgetragen sind. Die<br />

Vorteile, wie geringe Elliptizität und Strahlgrößen auf den optischen Komponenten<br />

können eher den kürzeren Armlängen zugeordnet werden. Nachteilig<br />

wirkt sich aus, dass <strong>mit</strong> kleineren Armlängen die Länge l von ” Power-<br />

Recycling“ Spiegel zu Gitter sehr schnell größer wird, was die Entscheidung<br />

für eine Armlänge maßgeblich beeinflusste. Die gewählten Parameter<br />

für beide Aufbauten sind in Tabelle5.2 zusammengefasst. Jede Abweichung<br />

αin[ ◦ ] α1[ ◦ ] L[m] w0[µm] z0[m] l[m]<br />

G1a 34 53,6 0,58 271,6 0,208 0,299<br />

G2 29 60 0,55 274,6 0,186 0,315<br />

Tabelle 5.2: Designparameter für die experimentellen Aufbauten <strong>mit</strong> den Gittern<br />

G1a und G2. Aus dem gewählten Einfallswinkel αin resultierte der Beugungswinkel<br />

α1 in 1. Ordnung. Aus der Armlänge L folgte die Größe w0 und Lage z0 der<br />

Strahltaille, die da<strong>mit</strong> im <strong>Interferometer</strong> liegt. Der Abstand l vom Einkoppelspiegel<br />

des ” Power-Recycling“ Resonators zum Gitterstrahlteiler vervollständigt den<br />

Parametersatz.<br />

einer dieser Größen führt zu einem neuen Satz von Parametern, so dass<br />

beim Aufbau des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s eine Vielzahl an Freiheitsgraden<br />

bewältigt werden musste.<br />

Experimentelle Umsetzung<br />

Eine Übersicht des Aufbaus ist in Abbildung 5.8 gezeigt. Der durch den Modenfilter<br />

(mc) gereinigte Strahl wurde auf mehrere Experimente aufgeteilt,<br />

wobei der Strahl für dieses Experiment an den verwendeten <strong>Strahlteiler</strong>n<br />

konsequent nur reflektiert wurde, um mögliche Strahlverformungen beim<br />

Durchgang durch die planparallen <strong>Strahlteiler</strong>substrate zu vermeiden. Eine<br />

λ/2 Scheibe und ein polarisierender <strong>Strahlteiler</strong> wurden benutzt, um die Leistung<br />

für das Experiment variieren zu können. Mit Hilfe einer weiteren λ/2<br />

Scheibe wurde die Polarisation auf das Experiment angepasst. Der darauf<br />

folgende <strong>Strahlteiler</strong> wurde eingebaut, um die vom <strong>Interferometer</strong> reflektierte<br />

Leistung <strong>mit</strong> der Photodiode PD− zu detektieren.<br />

Die Modenanpassung an das <strong>Interferometer</strong> begann an dem Punkt (S),<br />

der 0,762 m vom Tailienradius w0 = 372µm im Modenfilter entfernt war.<br />

Nun wurden alle Längen bis zum <strong>Interferometer</strong> festgelegt, wobei mehrere<br />

Kriterien erfüllt werden sollten. Die Modenanpassung sollte über zwei<br />

Linsen realisiert werden, zwischen denen der Strahl fokussiert ist, um den<br />

nachträglichen Einbau eines EOM zu ermöglichen. Die Winkeleinstellung<br />

von Gitter und einfallendem Strahl erfolgte so, dass ein Arm parallel zur<br />

56


PD +<br />

Servo<br />

HV<br />

M 0<br />

Mischer<br />

GS<br />

M p<br />

213 kHz<br />

M 1<br />

PD t<br />

5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

S<br />

λ/2<br />

PD -<br />

λ/2<br />

PBS<br />

Abbildung 5.8: Skizzierter Aufbau für das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> Regelkreis<br />

zur internen Modulation.<br />

Tischkante lag, was leicht kontrolliert werden kann. Dadurch lässt sich die<br />

Gitteroberfläche wieder sehr genau positionieren und es muss nur der Winkel<br />

zum einlaufenden Strahl eingestellt werden. Aus diesem Grund wurden die<br />

zwei Umlenkspiegel nötig, die die Strecke (S) zum <strong>Interferometer</strong> aufteilten.<br />

Auf Basis dieser Längenvorgaben wurden <strong>mit</strong> dem Programm Mode-<br />

Matcher [38] mögliche Linsenkombinationen gefunden, die anschließend <strong>mit</strong><br />

der Software Finesse [39] auf Justagetoleranzen getestet wurden, wobei eine<br />

empfindliche Abhängigkeit bevorzugt wurde. Im Aufbau wurden die Linsenpositionen<br />

durch das Verfahren von Mikrometertischen verändert.<br />

Nachdem Linsen, Umlenkspiegel und Gitter justiert waren, wurden die<br />

Endspiegel positioniert. Der Endspiegel M0 war <strong>mit</strong> einem Piezokristall gehaltert,<br />

um die Länge des Armes durchzustimmen. Der andere Spiegel war<br />

auf einer sehr gut justierbaren Halterung (Lees) befestigt. Am dunklen Ausgang<br />

wurde die Leistung <strong>mit</strong> der Photodiode PD+ detektiert.<br />

Der langwierige Teil des Aufbaus bestand nun darin einen hohen Kontrast<br />

zu erreichen, indem Armlängen und Linsenpositionen systematisch,<br />

Strahllagen und Winkel probeweise verändert wurden. Die Tendenz der<br />

57<br />

mc


5 Experiment<br />

Veränderungen wurde am Verhältnis von maximaler und minimaler Intensität<br />

an PD+ auf einem Oszilloskop abgelesen.<br />

Bei einem feststehenden Endspiegel wurde systematisch die Position des<br />

anderen angepasst. Danach wurde <strong>mit</strong> den Linsen eine Modenanpassung<br />

analog zu Resonatoren durchgeführt. Anschließend wurde der feste Endspiegel<br />

um etwa einen Millimeter verschoben und alles erneut durchgeführt.<br />

Wenn sich keine Verbesserung mehr einstellte, wurden die weiteren Freiheitsgrade,<br />

wie Strahllagen und Einfallswinkel geändert. Dies führte entweder zu<br />

Verbesserungen oder zu einem Neuanfang. Die typischen Interferenzstreifen<br />

in dunklem und reflektierten Ausgang bei mikroskopischer Durchstimmung<br />

einer Armlänge des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s sind in Abbildung 5.9 dargestellt.<br />

normierte Photospannung [V]<br />

1<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

0<br />

-0.04 -0.03 -0.02 -0.01 0 0.01 0.02 0.03 0.04<br />

Zeit [s]<br />

PD +<br />

PD -<br />

Abbildung 5.9: Normierte Photospannung am dunklen Ausgang (PD+) und in<br />

Reflexion (PD−) des <strong>Interferometer</strong>s beim Durchstimmen der Piezospannung.<br />

Interne Modulation<br />

Der Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s ist definiert über die maximale und minimale<br />

Intensität am dunklen Ausgang. Für eine exakte Bestimmung dieser<br />

Werte wurde eine Regelung für das <strong>Interferometer</strong> aufgebaut, um es auf minimaler<br />

und maximaler Intensität zu stabilisieren. Für die Regelung gibt es<br />

verschiedene Methoden die unter den Namen interne, externe und Schnupp<br />

Modulation bekannt sind. Eine ausführliche Darstellung ist in [25] zu finden.<br />

In dieser Arbeit wurde die interne Modulation benutzt, da sie einfacher<br />

umzusetzen ist als die externe Modulation und keine Armlängendifferenz<br />

benötigt wie die Schnupp Modulation.<br />

58


5.2 <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

Der Regelkreis für die interne Modulation ist in Abbildung 5.8 skizziert.<br />

Die interne Modulation beruht auf Phasenmodulationen, die dem Licht innerhalb<br />

des <strong>Interferometer</strong>s aufgeprägt werden und am dunklen Ausgang<br />

detektiert werden. Durch Demodulation erhält man ein richtungsabhängiges<br />

Stellsignal für einen Endspiegel. Für die Phasenmodulation kann ein EOM<br />

in einen Arm gestellt werden, der aber die Strahlprofile entscheidend stört,<br />

so dass kein ganz hoher Kontrast erreicht werden würde. In dieser Arbeit<br />

wurde die Phasenmodulation über einen Endspiegel (M0) <strong>mit</strong> Piezokristall<br />

auf das Licht aufgeprägt. Dafür wurde eine sinusförmige Schwingung <strong>mit</strong><br />

der Modulationsfrequenz an den Kristall angelegt.<br />

Impedanz [Ω]<br />

10000<br />

1000<br />

100<br />

10<br />

1<br />

0.1<br />

Imp<br />

Pha<br />

-45<br />

-90<br />

-135<br />

-180<br />

10000 100000 1e+006 1e+007<br />

Frequenz [Hz]<br />

Abbildung 5.10: Impedanzmessung des Endspiegelpiezos. Für die Regelung des<br />

<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> interner Modulation wurde eine Modulationsfrequenz von<br />

213kHz gewählt.<br />

Die Modulation wurde vor dem Hochspannungsverstärker (HV) auf das<br />

Stellsignal des Piezos addiert. Es wurde eine Frequenz von 213 kHz gewählt,<br />

weil die Impedanzmessung (Abb.5.10) des Piezos in dieser Umgebung keine<br />

Resonanzen zeigte, die unter Umständen von Temperaturänderungen oder<br />

mechanischen Einflüssen abhängig sind. Als Phasenschieber wurde bei dieser<br />

niedrigen Frequenz ein Allpass <strong>mit</strong> Kapazitätsdiode (BB112) verwendet und<br />

in ein vorahandenens Mischerdesign integriert. Das Fehlersignal ist in Abbildung<br />

5.11 zu sehen. Die deutlich unterschiedliche Ausprägung der Fehlersignale<br />

ist ebenfalls in Nahaufnahmen bei den Intensitätsminima zu erkennen<br />

und zeigt womöglich eine geringe Dejustage durch die Piezoausdehnung.<br />

59<br />

180<br />

135<br />

90<br />

45<br />

0<br />

Phase [°]


5 Experiment<br />

normierte Photospannung [V]<br />

1<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

0<br />

-0.2<br />

PD +<br />

demod. PD +<br />

-0.015 -0.01 -0.005 0 0.005 0.01 0.015<br />

Zeit [s]<br />

Abbildung 5.11: Normierte Photospannung am dunklen Ausgang (PD+) und das<br />

demodulierte Signal für die Regelung des <strong>Interferometer</strong>s beim Durchstimmen der<br />

Piezospannung.<br />

5.2.4 Bestimmung des Kontrasts<br />

Der Kontrast wurde gemäß (3.30) aus maximaler und minimaler Intensität<br />

Imax bzw. Imin am dunklen Ausgang bestimmt. Dazu wurde das <strong>Interferometer</strong><br />

abwechselnd auf diese Arbeitspunkte stabilisiert. Aus zwanzig Wertepaaren<br />

wurde dann der Wert des Kontrasts C ge<strong>mit</strong>telt. und der Verlustanteil<br />

Ac in den dunklen Ausgang nach (3.33) berechnet. Für den ersten Aufbau<br />

ergab sich<br />

C1 = 0,99937 ± 0,00063 ⇒ Ac1 = (316 ± 315)ppm. (5.8)<br />

Beim zweiten Aufbau wurde <strong>mit</strong><br />

C2 = 0,99887 ± 0,00042 ⇒ Ac2 = (564 ± 213)ppm (5.9)<br />

ein geringerer, aber noch sehr guter Kontrast erreicht. In Abbildung 5.12<br />

ist die auf Imax normierte Intensität Imin am dunklen Ausgang dargestellt.<br />

Das justierte <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> ist Ausgangspunkt für die nächsten<br />

Experimente. Es wurden im Folgenden weder Armlängen noch Linsenpositionen<br />

verändert. Ein leicht verringerter Kontrast wurde gegebenfalls über<br />

Stahllagekorrekturen auf den Ausgangswert verbessert.<br />

60


normierte Photospannung PD +<br />

0.0014<br />

0.0012<br />

0.001<br />

0.0008<br />

0.0006<br />

0.0004<br />

0.0002<br />

0<br />

-0.0002<br />

Aufbau 1<br />

-0.02 0 0.02<br />

Zeit [s]<br />

0.0014<br />

0.0012<br />

0.001<br />

0.0008<br />

0.0006<br />

0.0004<br />

0.0002<br />

0<br />

5.3 ” Power-Recycling“<br />

Aufbau 2<br />

-0.0002<br />

-0.02 0 0.02<br />

Zeit [s]<br />

Abbildung 5.12: Normierte Photospannung am dunklen Ausgang über der Detektonszeit.<br />

Dargestellt ist das Dunkelrauschen der Photodiode (rot), die Intensitätsminima<br />

bei Verstimmung des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s (blau) und die auf<br />

dunklen Ausgang stabilisierte Intensität (grün). links: der erste Aufbau <strong>mit</strong> einem<br />

Kontrast von C = 0,99937 rechts: der zweite Aufbau <strong>mit</strong> geringerem Kontrast von<br />

C = 0,99887.<br />

5.3 ” Power-Recycling“<br />

In diesem Abschnitt wird die experimentelle Realisierung von ” Power-Recycling<br />

“ für ein <strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> vorgestellt. Dieser<br />

Aufbau wurde weiterhin benutzt, um den Gitterstrahlteiler als Teil eines Resonators<br />

auf seine optischen Gesamtverluste zu untersuchen. Eine Übersicht<br />

des um den Einkoppelspiegel Mp erweiterten Aufbaus zeigt Abbildung 5.13.<br />

Eine Voraussetzung für das Experiment ist die Regelung des <strong>Michelson</strong>-<br />

<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> ” Power-Recycling“. Der dazugehörige Regelkreis ist in<br />

Abbildung 5.13 skizziert und wird als erstes beschrieben. Anschließend wird<br />

gezeigt wie die Spiegelposition des Einkoppelspiegels Mp optimiert wurde,<br />

um Verluste in den dunklen Ausgang zu minimieren. Die Messung der Finesse<br />

und die Bestimmung der Gitterverluste schließen das Kapitel ab.<br />

Da ein sehr hoher Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s erzielt wurde, war es sinn-<br />

61


5 Experiment<br />

PD +<br />

Servo<br />

BS +<br />

HV<br />

M 0<br />

Mischer<br />

GS<br />

M p<br />

213 kHz<br />

M 1<br />

EOM<br />

PD t<br />

f marker<br />

S<br />

PD p<br />

10 MHz<br />

λ/2<br />

PD -<br />

λ/2<br />

PBS<br />

Abbildung 5.13: Aufbau des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> ” Power-Recycling“<br />

und den Regelkreisen für die interne Modulation (213kHz) und den ” Power-<br />

Recycling“ Resonator (10MHz). Zudem ist die Erzeugung von Frequenzmarkern<br />

schematisch dargestellt. Über den EOM werden Seitenbänder auf das Laserlicht<br />

moduliert. In Reflexion von dem ” Power-Recycling“ Resonator werden sie <strong>mit</strong> PD−<br />

detektiert und anschließend demoduliert.<br />

voll alle weiteren Komponenten an den vorhandenen Aufbau anzupassen.<br />

Der Einkoppelspiegel für den ” Power-Recycling“ Resonator (PR-Resonator)<br />

wurde <strong>mit</strong> einem Ringpiezo montiert. Die Halterung (Thorlabs: K6X) wurde<br />

so gewählt, dass neben der Verkippung des Spiegels auch eine horizontale<br />

und vertikale Verschiebung möglich war. Dadurch ließ sich die Lage des<br />

Spiegels auf den Eingangsstrahl justieren. In Abbildung 5.14 ist ein freier<br />

Spektralbereich gezeigt, bei manuell auf dunklem Ausgang gehaltenen<br />

<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>. Neben der Grundmode des Resonators ist noch<br />

eine vertikale TEM02-Mode im Spektrum zu sehen, die sich allein über den<br />

Einkoppelspiegel Mp nicht wegjustieren ließ.<br />

5.3.1 Längenregelung des ” Power-Recycling“ Resonators<br />

Das Stellsignal für die Regelung des PR-Resonators wurde <strong>mit</strong> dem Pound-<br />

Drever-Hall Verfahren gewonnen. Dazu wurden die 10 MHz Seitenbänder aus<br />

der Transmission des Modenfilters benutzt. Diese konnten in Reflexion am<br />

62<br />

mc


normierte Photospannung [V]<br />

1<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

0<br />

-0.001 0 0.001<br />

Zeit [s]<br />

5.3 ” Power-Recycling“<br />

Abbildung 5.14: Freier Spektralbereich des ” Power-Recycling“ Resonators, gemessen<br />

hinter einem Endspiegel. Das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> wurde manuell auf<br />

dunklem Ausgang gehalten. Neben der Fundamentalmode ist noch eine TEM02 im<br />

Spektrum zu sehen, die allein über den Einkoppelspiegel nicht wegjustiert werden<br />

konnte.<br />

PR-Resonator <strong>mit</strong> einer bei 10 MHz resonanten Photodiode PDp detektiert<br />

werden.<br />

Ein praktisches Problem besteht darin, dass die Regelung von <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

und PR-Resonator nicht unabhängig voneinander sind.<br />

Ist der PR-Resonator nicht auf Resonanz, gelangt nur wenig Licht in das<br />

<strong>Interferometer</strong>, wodurch die Regelsignale im Ausgang des <strong>Interferometer</strong>s<br />

entsprechend klein sind. Umgekehrt hängt die Regelung des Resonators von<br />

Verlusten in den dunklen Ausgang ab. In diesem Experiment wurde deshalb<br />

das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> zunächst manuell auf dem Intensitätsminimum<br />

gehalten und die Regelung des Resonators eingeschaltet. Danach konnte<br />

das <strong>Interferometer</strong> ebenfalls stabilisiert werden. Die Regelkreisverstärkungen<br />

wurden gegebenfalls über ihren jeweiligen Proportionalanteil angepasst.<br />

Die Regelung des Resonators funktionierte ebenfalls noch, wenn das <strong>Interferometer</strong><br />

um seinen Arbeitspunkt verstimmt wurde. Abbildung 5.15 zeigt<br />

die gemessenen Intensitäten hinter einem Endspiegel (PDt) und im dunklen<br />

Ausgang (PD+). Das Fehlersignal für die Regelung des <strong>Interferometer</strong>s ist<br />

ebenfalls dargestellt.<br />

63<br />

PD t


5 Experiment<br />

Spannung [V]<br />

3<br />

2<br />

1<br />

0<br />

-1<br />

-2<br />

-3<br />

-0.015 -0.01 -0.005 0 0.005 0.01 0.015<br />

Zeit [s]<br />

PD +<br />

demod. PD +<br />

PD t<br />

Rampe<br />

Abbildung 5.15: Durchstimmung des <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s während der<br />

” Power-Recycling“ Resonator auf Resonanz geregelt wurde. Dargestellt sind normierte<br />

Leistungen im dunklen Ausgang PD+, in Transmission eines Endspiegels<br />

PD− und das Fehlersignal (demod. PD+) für die interne Modulation.<br />

5.3.2 Position des ” Power-Recycling“ Spiegels<br />

Im oben beschriebenen Aufbau des <strong>Interferometer</strong>s wurde durch die Anpassung<br />

von Eingangsstrahl und <strong>Interferometer</strong> aufeinander ein hoher Kontrast<br />

erreicht. Theoretisch entspricht dies einer konfokalen Anordnung, die<br />

den Strahl exakt in sich zurück abbildet. Jede Abweichung des Strahls bei<br />

feststehendem Aufbau führt zu einem schlechteren Kontrast. Aus diesem<br />

Grund muss der Einkoppelspiegel vor dem <strong>Interferometer</strong> ebenfalls konfokal<br />

für diese Mode sein, so dass Resonatormode und <strong>Interferometer</strong>mode<br />

identisch sind.<br />

In Kapitel 3 wurde der Einfluss des Kontrasts auf ein <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

<strong>mit</strong> ” Power-Recycling“ diskutiert. Die Resultate können verwendet<br />

werden, um die optimale Position des Einkoppelspiegels zu finden. Ein hoher<br />

Kontrast bedeutet eine hohe interne Leistung auf Resonanz, die bis auf<br />

einen Faktor in Transmission der Endspiegel gemessen werden kann. Im<br />

dunklen Ausgang sind die Verluste messbar. Wenn der Kontrast besser ist,<br />

misst man bei mehr interner Leistung verhältnismäßig weniger am dunklen<br />

Ausgang.<br />

Das Verhältnis von Verlusten zu Verstärkung wurde für verschiedene<br />

Entfernungen l des Einkoppelspiegels vom Gitter gemessen. An jeder Spiegelposition<br />

wurde zuerst auf maximale Überhöhung justiert, wobei das <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

manuell auf dunklen Ausgang gestellt wurde. An-<br />

64


5.3 ” Power-Recycling“<br />

schließend konnte bei geregeltem Gesamtsystem durch leichten Druck auf<br />

die Spiegelhalterungen festgestellt werden, ob das Verhältnis der Photospannungen<br />

U+ zu Ut der Photodioden PD+ bzw. PDt minimal war. Das Ergebnis<br />

dieser Messungen ist in Abbildung 5.16 für beide Aufbauten gezeigt.<br />

Demnach war die Spiegelpositionen für die beste Anpassung an die Mode<br />

norm. Photospannung U + /U t<br />

10<br />

9<br />

8<br />

7<br />

6<br />

5<br />

4<br />

3<br />

2<br />

1<br />

0<br />

Aufbau 1<br />

Aufbau 2<br />

28 30 32 34 36<br />

lpr [cm]<br />

38 40 42 44<br />

Abbildung 5.16: Normiertes Verhältnis der Photospannungen am dunklen Ausgang<br />

(PD+) und in Transmsission eines Endspiegel (PDt) für verschiedene Entfernung<br />

l des ” Power-Recycling“ Spiegels von dem Gitterstrahlteiler für zwei unterschiedliche<br />

Aufbauten. Die geringsten Verluste in den dunklen Ausgang werden bei<br />

minimalen Verhältnis erreicht.<br />

des <strong>Interferometer</strong>s im ersten Aufbau bei 0,341 m. Die Abweichung von dem<br />

Designwert 0,299 m ist konsistent da<strong>mit</strong>, dass eine Armlänge von 0,566 m<br />

statt 0,58 m realisiert wurde, was in Abbildung B.2 zu sehen ist. Ähnliches<br />

gilt für den zweiten Aufbau, bei dem statt einer Armlänge von 0,55 m<br />

0,538 m aufgebaut wurde. Der Unterschied in der Position des Einkoppelspiegels<br />

von den geplanten 0,315 m zu den gemessenen 0,398 m ist ebenfalls<br />

konsistent <strong>mit</strong> den berechneten Werten, die in Abblidung B.4 gezeigt sind.<br />

5.3.3 Bestimmung der Finesse<br />

Es werden zwei Methoden zur Bestimmung der Finesse erläutert und die<br />

Ergebnisse vorgestellt. Im darauf folgenden Abschnitt werden die Ergebnisse<br />

verwendet, um die Verluste des Gitters zu bestimmen.<br />

65


5 Experiment<br />

Kalibration des Piezos<br />

Um die Länge des Resonators mikroskopisch zu verändern, ist der Einkoppelspiegel<br />

auf einem Ringpiezo befestigt, der <strong>mit</strong> einer Dreiecksspannung angesteuert<br />

wird. Da die Spannungs-Ausdehnung-Kennlinie eines Piezos nicht<br />

linear ist, werden als Resultat die Abstände der Transmissionmaxima sowie<br />

die Breite der Resonanzen <strong>mit</strong> steigender Spannung verzerrt. Dies muss<br />

bei Bestimmung der Finesse, die das Verhältnis beider ist, beachtet werden.<br />

Neben der Nichtlinearität weist die Kennlinie eine Hysterese auf und<br />

ist zudem abhängig von der angelegten Offsetspannung und Frequenz. Um<br />

diese Effekte zu berücksichtigen kann der Piezo für verschiedene Arbeitspunkte<br />

kalibriert werden, so dass aus der angelegten Rampenspannung auf<br />

die Längenänderung geschlossen werden kann [40].<br />

Eine andere Kalibration, die unabhängig von einzelnen Arbeitspunkten<br />

ist, wurde für den ersten Aufbau durchgeführt. Dafür wurden <strong>mit</strong> einer<br />

Rampenflanke mehrere freie Spektralbereiche aufgenommen. Das <strong>Michelson</strong>-<br />

<strong>Interferometer</strong> wurde auf den dunklen Ausgang eingestellt, was am Photodiodensignal<br />

PD+ kontrolliert wurde, und sich über Zeiträume von wenigen<br />

Sekunden als genügend stabil erwies. Der Verlauf der Rampenspannung und<br />

die trans<strong>mit</strong>tierte Intensität, die hinter einem Endspiegel detektiert wurde,<br />

sind in Abbildung 5.17 gezeigt. Die Intensitätsmaxima benachbarter TEM00-<br />

normierte Spannung [V]<br />

1<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

0<br />

-0.08 -0.06 -0.04 -0.02 0<br />

Zeit [s]<br />

PD t<br />

Rampe<br />

Abbildung 5.17: Aufnahme von fünf freien Spektralbereichen des PR-Resonators.<br />

Dargestellt sind die gemessene Leistung in Transmission eines Endspiegels (PDt)<br />

und die Rampenspannung am Piezo. Die unterschiedlichen Abstände der Resonanzen<br />

sind auf die Nichtlinearität des Piezos zurückzuführen.<br />

Moden markieren Punkte die genau einen freien Spektralbereich (FSR) aus-<br />

66


5.3 ” Power-Recycling“<br />

einanderliegen. Aus diesen wird eine Kalibrationsfunktion νFSR(Upz) gebildet,<br />

die die angelegte Spannung in Frequenzen umrechnet.<br />

Die Daten wurden <strong>mit</strong> einem Oszilloskop von Agilent aufgenommen und<br />

über einen Rechner <strong>mit</strong> entsprechender Software ausgelesen. Auf diese Weise<br />

wurden mehrere freie Spektralbereiche <strong>mit</strong> einer Auflösung von einer Million<br />

Datenpunkte aufgenommen. In Abbildung 5.18 ist oben dargestellt, wie sich<br />

die Spannungsdifferenz ∆U benachbarter Transmissionsmaxima für aufeinanderfolgende<br />

freie Spektralbereiche unterscheidet. In diesem Bild entspricht<br />

ein lineares Piezoverhalten einer horizontalen Linie. Das untere Bild zeigt die<br />

∆ U [willk. Einheiten]<br />

ν [FSR]<br />

8<br />

6<br />

4<br />

2<br />

0<br />

1.8<br />

1.6<br />

1.4<br />

1.2<br />

1<br />

0 1 2 3 4 5 6<br />

FSR<br />

Messung<br />

1.Ordnung<br />

2.Ordnung<br />

0 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07<br />

Upiezo [willk. Einheiten]<br />

Abbildung 5.18: Das obere Bild zeigt die Spannungsdifferenz ∆U benachbarter<br />

Transmissionsmaxima für fünf freie Spektralbereiche des ” Power-Recycling“ Resonators.<br />

Unten sind Kalibrationspolynome 1. und 2. Ordnung für den Piezo dargestellt.<br />

Kalibrationsfunktion ν(Upiezo) für Polynome 1. und 2. Ordnung. Mit einem<br />

Polynom 3. Ordnung wurde keine sichtbare Verbesserung erzielt. Die Daten<br />

aus zehn Messungen <strong>mit</strong> je fünf freien Spektralbereichen wurden kalibriert<br />

und ergaben für den Aufbau <strong>mit</strong> Gitter G1 eine Finesse von<br />

F = ∆νFSR<br />

∆νFWHM<br />

= 1,0019 ± 0,097<br />

= 103,2 ± 5,2, (5.10)<br />

0,0097 ± 0,0004<br />

67


5 Experiment<br />

wobei die Standardabweichungen der Messwerte angeben sind. Die Höhe der<br />

Standardabweichung wird durch die Messung der Linienbreite dominiert,<br />

was auf die Anzahl der Messwerte zurückgeführt werden kann. Ein weiterer<br />

Grund für die Streuung der Messwerte könnte eine leichte Dejustage durch<br />

die Ausdehnung des Piezokristalls sein, weshalb im zweiten Aufbau diese<br />

Methode nicht weiter verfolgt wurde.<br />

Frequenzmarker<br />

Die Finesse eines Resonators setzt sich zusammen aus der Linienbreite und<br />

dem freien Spektralbereich. Bei der vorherigen Methode wurden diese Größen<br />

aus einer Messung zueinander in Bezug gesetzt. Dabei wurde insbesondere<br />

die Bestimmung der Bandbreite durch die Auflösung li<strong>mit</strong>iert. Alternativ<br />

können beide Größen unabhängig voneinander bestimmt werden. Nach<br />

(3.48) ist der freie Spektralbereich durch die Resonatorlänge festgelegt. Die<br />

Linienbreite eines Resonators lässt sich <strong>mit</strong> Hilfe von Frequenzmarkern vermessen.<br />

Dazu werden dem Laserlicht durch eine Phasenmodulation der Frequenz<br />

Ω Seitenbänder vor dem Resonator aufgeprägt. Analog zum Pound-<br />

Drever-Hall Verfahren wird das vom Resonator reflektierte Licht detektiert<br />

und über einen Mischer bei der gleichen Frequenz demoduliert. Bei richtiger<br />

Einstellung der Demodulationsphase zeigt das Ausgangssignal ein Maximum<br />

und ein Minumum bei den Frequenzen ±Ω, die symmetrisch um die Resonanz<br />

liegen. Der Abstand dieser Frequenzen wird benutzt, um die Achse<br />

der Resonatorverstimmung zu kalibrieren. Wenn die Frequenzmarker nahe<br />

der Resonanz gesetzt werden, kann die oben beschriebene Nichtlinearität<br />

des Piezos vernachlässigt werden und man erhält eine gute Auflösung der<br />

Datenpunkte.<br />

Im Experiment wurden die Seitenbänder über einen breitbandigen EOM<br />

erzeugt, der nachträglich zwischen die Linsen zur Modenanpassung gestellt<br />

wurde. Dadurch war zuvor eine optimale Justage von <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong><br />

und Einkoppelspiegel an einem ungestörten Strahl möglich. Durch den<br />

Einbau des EOM verschlechterte sich zwar die einfallende Mode auf das<br />

<strong>Interferometer</strong>, da aber der Resonator den Strahl räumlich filtert, wurde<br />

effektiv nur eine geringere Leistung eingekoppelt.<br />

Für die Modulation des EOM wurde ein Frequenzgenarator (Stanford)<br />

benutzt. Ein zweiter gleicher Bauart wurde phasenestarr gekoppelt und als<br />

Lokaloszillator für die Demodulation eingesetzt. Die Phasenanpassung konnte<br />

dann über einen der Frequenzgeneratoren erfolgen. Die Signale wurden<br />

in Reflexion des Einkoppelspiegels an PD− detektiert und über einen Mischer<br />

demoduliert. Die Phase wurde so eingestellt, dass das demodulierte<br />

Signal einen flachen Verlauf auf Resonanz zeigte. Dies ist in Abbildung 5.19<br />

für den Aufbau <strong>mit</strong> Gitter G1 oben und den Aufbau <strong>mit</strong> Gitter G2 unten<br />

gezeigt, wobei eine Modulationsfrequenz von fmod = 8 ± 0,08 MHz verwendet<br />

wurde. Der Fehler der Markerposition resultiert aus der Einstellung der<br />

68


5.3 ” Power-Recycling“<br />

Demodulationsphase und wurde aus simulierten Fehlersignalen abgeleitet.<br />

normierte Photospannung<br />

normierte Photospannung<br />

1.2<br />

1<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

0<br />

1.2<br />

1<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

0<br />

1.Aufbau<br />

PD t<br />

dem. PD -<br />

-0.01 -0.005 0 0.005 0.01<br />

2.Aufbau<br />

-0.0002 -0.0001 0 0.0001 0.0002<br />

Zeit [s]<br />

PD t<br />

dem. PD -<br />

Abbildung 5.19: Dargestellt sind 8MHz Frequenzmarker (grün) für die Bestimmung<br />

der Linienbreite der Resonanz (rot) des ” Power-Recycling“ Resonators. oben:<br />

Messung zum Aufbau <strong>mit</strong> Gitter G1a, unten: Messung zum Aufbau <strong>mit</strong> Gitter G2<br />

Für die Bestimmung der Linienbreite ∆ν wurden mindestens 20 Aufnahmen<br />

ausgewertet und ergaben<br />

∆ν1 = (1,63 ± 0,10)MHz (5.11)<br />

∆ν2 = (1,41 ± 0,02)MHz (5.12)<br />

für ersten bzw. zweiten Aufbau, wobei die Standardabweichungen angegeben<br />

sind. Die deutlich kleineren Schwankungen beim zweiten Aufbau sind auf<br />

gewonnene Erfahrungen <strong>mit</strong> dem Experiment zurückzuführen. Insbesondere<br />

wurde darauf geachtet, dass die Spannungen an den Piezos von Endspiegel<br />

und Einkoppelspiegel optimal gewählt wurden.<br />

Die Länge der <strong>Interferometer</strong>arme L0 und L1 und der Abstand von Gitter<br />

zu Einkoppelspiegel lp wurde für jeden Aufbau von mehreren Personen<br />

gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 5.3 zusammengefasst, wobei die<br />

Resonatorlänge <strong>mit</strong> lres = lp + L = lp + (L0 + L1)/2 berechnet wurde. Die<br />

69


5 Experiment<br />

Aufbau L0[m] L1[m] L[m] lp[m] lres[m]<br />

Gitter1 0,566 0,565 0,566 0,341 0,906 ± 0,004<br />

Gitter2 0,537 0,538 0,538 0,398 0,936 ± 0,004<br />

Tabelle 5.3: Gemessene Armlängen L0, L1, ge<strong>mit</strong>telte Armlänge L, Abstand von<br />

Einkoppelspiegel zu Strahlteier lp und Resonatorlänge des ” Power-Recycling“ Resonators<br />

lres.<br />

Messungenauigkeit betrug dabei ±2 mm pro Längenmessung. Aus den angegebenen<br />

Werten berechnet sich die Finesse F gemäß (3.50) zu<br />

F1 = 101,4 ± 6,6 (5.13)<br />

F2 = 113,8 ± 2,0. (5.14)<br />

Die unterschiedlich hohen Standardabweichungen wurden oben begründet.<br />

Vor der jeweiligen Messung der Linienbreite wurden die Verluste in den<br />

dunklen Ausgang am justierten Aufbau gemessen. Diese wurden für die Bestimmung<br />

der Verluste des Gitterstrahlteilers gebraucht. Dafür wurden bei<br />

stabilisiertem Gesamtsystem die Leistungen hinter den Endspiegeln M0, M1<br />

und nach dem <strong>Strahlteiler</strong> BS+ im dunklen Ausgang <strong>mit</strong> einem Leistungsmessgerät<br />

bestimmt. Aus der gemessenen Leistung hinter einem Endspiegel<br />

bekannter Transmissivität konnte auf die Leistung im jeweiligen Arm<br />

geschlossen werden. Aus dieser wurde dann, über das Teilungsverhältnis<br />

des Gitterstrahlteilers, die interne Gesamtleistung des Resonators bestimmt.<br />

Aus dem Verhältnis von gemessener Leistung im dunklen Ausgang zu interner<br />

Resonatorleistung ergab sich der Verlustanteil Ac des Resonators durch<br />

einen nicht perfekten Modenüberlapp am <strong>Strahlteiler</strong>. Die Ergebnisse für<br />

ersten und zweiten Aufbau sind<br />

Ac1 = (232 ± 37)ppm (5.15)<br />

Ac2 = (548 ± 88)ppm (5.16)<br />

und im Bezug zu den oberen Werten der Finesse zu sehen, da sie direkt<br />

nacheinander aufgenommen wurden. Die Verluste ohne ” Power-Recycling “<br />

durch einen nicht perfekten Kontrast (5.8) und (5.9) waren beinahe identisch,<br />

was ein zusätzlicher Anhaltspunkt dafür ist, dass der Einkoppelspiegel<br />

sehr gut positioniert und justiert war. Die experimentellen Ergebnisse dieses<br />

Abschnitts werden zur Bestimmung der Gitterverluste verwendet.<br />

5.3.4 Verluste des Gitterstrahlteilers<br />

In den vorherigen Abschnitten wurde die experimentelle Realisierung eines<br />

<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s <strong>mit</strong> ” Power-Recycling “ gezeigt. Der Gitterstrahlteiler<br />

ist in dem Versuch Teil eines Resonators, der sich aus dem Einkoppelspiegel<br />

und dem <strong>Interferometer</strong> bildet. Die Bestimmung der Gitterverluste<br />

70


5.3 ” Power-Recycling“<br />

kann über die gemessene Finesse erfolgen, wenn die anderen Komponenten<br />

und Verluste gut bekannt sind.<br />

Im verlustfreien Fall kann aus der Finesse F eines Resonators auf das<br />

Produkt der Spiegelreflektivitäten<br />

�<br />

π<br />

�<br />

R = ρ1ρ2 = 2 − cos −<br />

F<br />

�<br />

� �<br />

π<br />

� �2 cos − 2 − 1 (5.17)<br />

F<br />

geschlossen werden, wobei ρ1 die Amplitudenreflektivität des Einkoppelspiegels<br />

und ρ2 die Amplitudenreflektivität des zweiten Spiegels sind. Durch<br />

einen Verlust A bezüglich der Lichtleistung, der dem zweiten Spiegel zugerechnet<br />

werden kann, wird das Produkt (5.17) um den Faktor a = √ 1 − A<br />

kleiner sein, so dass RA = √ 1 − AR gilt und der Verlust aus<br />

A = 1 −<br />

� RA<br />

R<br />

� 2<br />

(5.18)<br />

berechnet werden kann.<br />

Aus den Endspiegeln M0, M1 und dem Einkoppelspiegel Mp wurden in einem<br />

vorherigen Abschnitt Resonatoren aufgebaut, die annähernd die gleiche<br />

Länge hatten wie der ” Power-Recycling “ Resonator. Die ge<strong>mit</strong>telte Finesse<br />

Fref der Resonatoren, die aus den Kombinationen Mp-M0 und Mp-M1 gebildet<br />

wurden, stellt eine ideale Referenz für den Aufbau <strong>mit</strong> Gitter dar,<br />

weil sowohl die Reflektivitäten der Spiegel als auch Verluste des Aufbaus,<br />

wie Lichtstreuung, in die Messung eingehen. Durch die <strong>Interferometer</strong>anordnung<br />

werden dann zwei zusätzliche Verluste eingeführt. Dies ist zum einen<br />

der Gesamtverlust des Gitters AG durch Transmission, Überordnungen und<br />

Streulicht, der bestimmt werden soll. Daneben wird ein Verlustanteil Ac<br />

durch eine nicht perfekte Interferenz am <strong>Strahlteiler</strong> auftreten, der, wie oben<br />

beschrieben, gemessen werden konnte.<br />

Ausgehend vom Referenzwert Rref, der gemäß (5.17) <strong>mit</strong> der Finesse<br />

Fref bestimmt wurde, berechnen sich die zusätzlichen Gesamtverluste des<br />

Aufbaus <strong>mit</strong> Gitter zu<br />

� �2 RG<br />

A = 1 − , (5.19)<br />

Rref<br />

<strong>mit</strong> dem noch zu bestimmenden Wert RG für den jeweils untersuchten<br />

” Power-Recycling“ Resonator. In A sind dann sowohl die Verluste in den<br />

dunklen Ausgang Ac enthalten, als auch der doppelte Gitterverlust 2AG ,<br />

da das Gitter als <strong>Strahlteiler</strong> zweimal getroffen wird. Der Gesamtverlust des<br />

Gitters berechnet sich demnach zu<br />

A − Ac<br />

AG = . (5.20)<br />

2<br />

Die gemessenen Lininienbreiten ∆ν und freien Spektralbereiche FSR der<br />

untersuchten Resonatoraufbauten sind in Tabelle 5.4 <strong>mit</strong> der jeweils berechneten<br />

Finesse F zusammengestellt.<br />

71


5 Experiment<br />

Aufbau ∆ν[MHz] FSR[GHz] F<br />

Ref. 1,39 ± 0,03 0,167 ± 0,003 119,7 ± 2,7<br />

G1a 1,63 ± 0,10 0,165 ± 0,006 101,4 ± 6,6<br />

G2 1,41 ± 0,02 0,160 ± 0,006 113,8 ± 2,0<br />

Tabelle 5.4: Gemessene Werte der Linienbreite ∆ν, Resonatorlänge L und die<br />

daraus berechnete Finesse von drei Experimenten. Die Referenz wurde aus Fabry-<br />

Perot-Resonatoren <strong>mit</strong> den Spiegelkombinationen Mp-M0 und Mp-M1 ge<strong>mit</strong>telt.<br />

Bei den Experimenten <strong>mit</strong> den Gittern G1a und G2 handelt es sich um <strong>Michelson</strong>-<br />

<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> ” Power-Recycling“, wobei die gleichen Spiegel M0 und M1 als<br />

Endspiegel und Mp als Resonatoreinkoppelspiegel verwendet wurden.<br />

Die Gesamtverluste des ersten Aufbaus wurden, wie oben beschrieben,<br />

zu A1 = (0,94 ± 0,41)% berechnet. Für den zweiten Aufbau ergab sich<br />

A2 = (0,27 ± 0,16)%. Die Fehler wurden über eine Fehlerfortpflanzung und<br />

anschließender Bildung des quadratischen Mittelwerts (qmw) bestimmt, wobei<br />

die Messabweichungen von ∆ν, L, fmarker und der Referenz eingegangen<br />

sind. Dafür wurde jeder Fehler einzeln in den entsprechenden Fehler des Verlusts<br />

umgerechnet. Diese Projektion der Einzelfehler ist in in Tabelle 5.5 für<br />

beide Gitterexperimente zusammengefasst Die Gesamtverluste des Gitters<br />

Aufbau 1 Aufbau 2<br />

Größe Fehler Ai Fehler Ai<br />

L ±4 mm ±225 ppm ±4 mm ±205 ppm<br />

∆ν ±6,1% ±3850 ppm ±1,4% ±780 ppm<br />

fmarker ±80 kHz ±620 ppm ±80 kHz ±550 ppm<br />

Referenz - ±1230 ppm - ±1230 ppm<br />

qmw ±0,41 % ±0,16 %<br />

Tabelle 5.5: Analyse der Messfehler bei der Verlustbestimmung von Aufbau 1 <strong>mit</strong><br />

Gitter G1a und Aufbau 2 <strong>mit</strong> G2. Dargestellt sind die Fehler der Einzelmessungen<br />

für Armlänge L, Linienbreite ∆ν, Position der Frequenzmarker fmod und durch den<br />

Referenzresonator. Durch Fehlerfortpflanzung wurden sie einzeln auf den Fehler<br />

für den Verlust Ai projiziert. Der Gesamtfehler bei der Verlustbestimmung ist als<br />

quadratischer Mittelwert qmw angegeben.<br />

durch Streuung, Absorbtion, Transmission und Überordnungen erhält man<br />

nach Abzug der Verluste in den dunklen Ausgang (5.15, 5.16) gemäß (5.20)<br />

zu<br />

AG1a = (0,46 ± 0,21)% (5.21)<br />

AG2 = (0,11 ± 0,08)%. (5.22)<br />

Die Genauigkeit der Messung wurde durch die Fehler bei der Linienbreiten-<br />

72


5.3 ” Power-Recycling“<br />

bestimmung dominiert, was unter anderem auf mechanische und akustische<br />

Störungen zurückzuführen ist, da das Experiment an Luft aufgebaut wurde<br />

und immerhin eine Resonatorlänge von ≈ 0,9 m hatte, wodurch sich Störungen<br />

über die Entfernung stärker auswirken, als bei einem kleineren Aufbau.<br />

Zudem wurde das <strong>Interferometer</strong> nicht aktiv stabilisiert, sondern manuell<br />

auf dunklen Ausgang eingestellt. Dies erwies sich zwar als recht stabil, da<br />

Lufströmungen durch Abdeckungen reduziert wurden, ist aber sicher nicht<br />

optimal. Eine noch offene Option ist die Verwendung eines Einkoppelspiegels<br />

höherer Reflektivität, so dass die Verluste des Gitters dominierend werden.<br />

Zusätzlich muss dann versucht werden, die Störungen auf das System weiter<br />

zu verringern.<br />

73


5 Experiment<br />

74


KAPITEL 6<br />

Zusammenfassung<br />

Für zukünftige Generationen hochpräziser Laserinterferometer zur Gravitationswellendetektion,<br />

die durch thermische Effekte li<strong>mit</strong>iert sein werden,<br />

bieten rein-reflektive Topologien auf Basis von Reflexionsgittern einen vielversprechenden<br />

Ansatz zur Steigerung der Empfindlichkeit. Dafür sollten<br />

diffraktive Optiken eine vergleichbar hohe Qualität und geringe Verluste wie<br />

die konventionell verwendeten Optiken aufweisen. Dielektrische Reflexionsgitter<br />

könnten diese Anforderungen erfüllen. Die Entwicklung und Herstellung<br />

der verwendeten Gitter ist Gegenstand aktueller Forschung und ist von<br />

unserem Projektpartner dem IAP in Jena durchgeführt worden.<br />

Zusammenfassung der Arbeit<br />

Gegenstand dieser Arbeit war die Untersuchung eines speziell angefertigten<br />

dielektrischen Reflexionsgitters als zentraler 50/50-<strong>Strahlteiler</strong> in einer <strong>Interferometer</strong>anordnung.<br />

Dafür wurde erstmalig ein Design für ein <strong>Michelson</strong>-<br />

<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> ” Power-Recycling“ auf Basis eines strahlteilenden Reflexionsgitters<br />

entwickelt und experimentell realisiert. Mit diesem Aufbau war<br />

es möglich die optischen Gesamtverluste der Gitter zu bestimmen, wobei<br />

insbesondere das Streulicht <strong>mit</strong> erfasst wird.<br />

Es wurde zunächst erläutert, dass die rein-reflektive Topologie eines<br />

<strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong>s zwei unterschiedliche Strahlprofile in den Armen<br />

bedingt. Trotz der Beschränkung auf sphärische Spiegel konnte gezeigt werden,<br />

dass ein perfekter Kontrast des <strong>Interferometer</strong>s möglich ist, wenn der<br />

einfallende Strahl an das <strong>Interferometer</strong> angepasst wird. Das Design war


6 Zusammenfassung<br />

weiterhin darauf ausgelegt die Leistungsüberhöhung im <strong>Interferometer</strong> durch<br />

” Power-Recycling“ zu ermöglichen, um über die Finesse des ” Power-Recycling“<br />

Resonators auf die Gesamtverluste des Gitters zu schließen.<br />

Die experimentellen Ergebnisse von zwei nacheinander durchgeführten<br />

Aufbauten <strong>mit</strong> unterschiedlichen Gittern, bestätigten das gefundene Design<br />

und die Vorgehensweise. Es konnte ein hoher <strong>Interferometer</strong>kontrast von<br />

0,99936 im ersten und 0,99887 im zweiten Aufbau erreicht werden. Der Einfluss<br />

der Position des Einkoppelspiegels auf die Verluste in den dunklen<br />

Ausgang war ebenfalls konsistent <strong>mit</strong> den Überlegungen, dass das <strong>Interferometer</strong><br />

eine Mode für den Eingangsstrahl festlegt. Die gemessenen Gitterverluste<br />

von (0,46±0,21)% für ein Testgitter und ein bisher unerreicht niedriger<br />

Verlust von (0,11 ±0,08)% für ein optimiertes Gitter zeigen die Fortschritte<br />

auf dem Gebiet der Herstellung und Design von diffraktiven Komponenten.<br />

Die Messergebnisse zeigen ebenfalls, dass die vorgestellte Methode zur<br />

Messung der Gesamtverluste eines Gitterstrahlteilers geeignet ist.<br />

Ausblick<br />

Im Vergleich <strong>mit</strong> früheren Arbeiten zeigt sich eine stetige Verbesserung der<br />

Qualität diffraktiver Komponenten, die noch viel Potential beinhaltet. Das<br />

Streulicht stellt den wohl dominierenden Verlustanteil dar und könnte zum<br />

Beispiel durch überbeschichtete Strukturen reduziert werden. Ein weiterer<br />

Ansatz stellen neue Herstellungsverfahren dar. Derzeit wird am IAP in Jena<br />

eine neue Belichtungsanlage (SB350 OS) in Betrieb genommen, <strong>mit</strong> der<br />

die Qualität der Komponenten sicher weiter verbessert werden kann. Ebenso<br />

muss untersucht werden, in welcher Größe und <strong>mit</strong> welchen Materialien<br />

Beugungsgitter herstellbar sind, um die Anforderungen von großen Laserinterferometern<br />

zu erfüllen.<br />

Es kann weiterhin untersucht werden inwieweit die vorgestellte Messmethode<br />

verfeinert werden kann, um Gitter <strong>mit</strong> weit weniger Verlusten zu charakterisieren.<br />

Eine andere Möglichkeit ist die vorgestellte Topologie, um weitere<br />

<strong>Interferometer</strong>techniken wie ” Signal-Recycling“zu erweitern.<br />

Die Skalierung auf größere Aufbauten kann Aufschluss darüber bringen,<br />

wie die dispersiven und diffraktiven Eigenschaften der Gitter in hochpräzisen<br />

<strong>Interferometer</strong>n kontrolliert werden können.<br />

76


ANHANG A<br />

Gauß Strahlen<br />

Die experimentell gewonnenen Maxwell-Gleichungen der Elektrodynamik<br />

für das elektrische und das magnetische Feld entkoppeln im ladungs- und<br />

stromfreien Vakuum zur Wellengleichung für das elektrische Feld E (und<br />

analog für das magnetische Feld B) gegeben durch<br />

∆E(r,t) − 1<br />

c2 ∂2 ∂t2E(r,t) = 0, (A.1)<br />

wobei c die Lichtgeschwindigkeit ist. Ein allgemeiner Ansatz für das elektrische<br />

Feld <strong>mit</strong> den Bezeichnungen für komplexe Amplitude α, optische<br />

Frequenz ν und der Polarisation P als Einheitsvektor lautet<br />

� � i2πνt<br />

E(r,t) = E0 α(r,t)e + c.c. P. (A.2)<br />

Wird nur eine Polarisation betrachtet, erhält man für die zeitunabhängige<br />

Amplitude α(r) die skalare Differentialgleichung<br />

wobei k = 2π<br />

λ<br />

∆α(r) + k 2 α(r) = 0, (A.3)<br />

die Wellenzahl zur Wellenlänge λ = c<br />

ν ist.<br />

Näherung für ebene Wellen<br />

Transversal zur Ausbreitungsrichtung (z-Richtung) verschwinden bei ebenen,<br />

unendlich ausgedehnten Wellen die zweiten Ableitungen, so dass sich<br />

die skalare Wellengleichung in kartesischen Koordinaten zu<br />

∂ 2 α<br />

∂z 2 + k2 α = 0 (A.4)


A Gauß Strahlen<br />

vereinfacht. Eine mögliche Lösung sind die periodischen, ebenen Wellen<br />

<strong>mit</strong> konstanter Amplitude α0.<br />

Paraxiale Näherung<br />

α(z) = α0e −ikz<br />

(A.5)<br />

Die paraxiale Näherung geht von einer in z-Richtung propagierenden Welle<br />

aus, deren Amplitudenverteilung sich auf Grund von z. B. Beugungs- und<br />

Streueffekten verändert. Die Amplituden- und Phasenänderungen transversal<br />

zur Ausbreitungsrichtung sind deshalb von der zurückgelegten Distanz<br />

abhängig. Diese Forderungen lassen sich zusammenfassen in<br />

α(x,y,z) = u(x,y,z)e −ikz . (A.6)<br />

Eingesetzt in die skalare Wellengleichung (A.3) führt dieser Ansatz auf<br />

∂ 2 u<br />

∂x 2 + ∂2 u<br />

∂y2 + ∂2u − 2ik∂u = 0. (A.7)<br />

∂z2 ∂z<br />

Unter der Annahme, dass nur langsame Veränderungen in Ausbreitungsrichtung<br />

stattfinden kann die zweite Differentiation nach z vernachlässigt<br />

werden: �<br />

��� ∂2u ∂z2 �<br />

�<br />

�<br />

� ≪<br />

�<br />

�<br />

�<br />

�2k∂u �<br />

�<br />

�<br />

∂z � ,<br />

�<br />

�<br />

�<br />

∂<br />

�<br />

2u ∂x2 �<br />

�<br />

�<br />

� ,<br />

�<br />

�<br />

�<br />

∂<br />

�<br />

2u ∂y2 �<br />

�<br />

�<br />

� . (A.8)<br />

Mit dieser sogenannten paraxialen Näherung vereinfacht sich die exakte Wellengleichung<br />

(A.7) zu<br />

∂2u ∂x2 + ∂2u − 2ik∂u = 0. (A.9)<br />

∂y2 ∂z<br />

Ein Ansatz, der die Strahlprofile in den zwei Raumdimensionen senkrecht<br />

zur Ausbreitungsrichtung unterscheidet, lautet <strong>mit</strong> den noch unbekannten<br />

Funktionen A(z), qx(z) und qy(z)<br />

x2 y2<br />

−ik<br />

u(x,y,z) = A(z)e qx(z)e<br />

−ik qy(z) . (A.10)<br />

Einsetzen von (A.10) in (A.7) führt auf folgende Differentialgleichung<br />

0 =<br />

�<br />

k<br />

q2 �2 � �<br />

dqx<br />

− 1 x<br />

x(z) dz 2 �<br />

k<br />

+<br />

q2 �2 � �<br />

dqy<br />

− 1 y<br />

y(z) dz 2<br />

(A.11)<br />

�<br />

1<br />

−ik +<br />

qx<br />

1<br />

�<br />

qy<br />

�<br />

�<br />

1 2 dA<br />

1 +<br />

. (A.12)<br />

A(z) dz<br />

1 1 + qy qy<br />

78


Da<strong>mit</strong> Lösungen für alle x und y existieren, müssen folgende Gleichungen<br />

separat gelöst werden<br />

dqx<br />

dz<br />

dqy<br />

dz<br />

dA<br />

dz<br />

Die dazugehörigen Lösungen lauten<br />

= 1, (A.13)<br />

= 1, (A.14)<br />

�<br />

1<br />

= −A(z) +<br />

2 qx<br />

1<br />

�<br />

.<br />

qy<br />

(A.15)<br />

qx(z) = z + q0x, (A.16)<br />

qy(z) = z + q0y, (A.17)<br />

A(z) =<br />

A0<br />

√ . (A.18)<br />

qxqy<br />

Die Lösung der Wellengleichung in paraxialer Nähererung <strong>mit</strong> dem Ansatz<br />

(A.10) lautet demnach<br />

A0<br />

u(x,y,z) = �<br />

(z + q0x)(z + q0y) e−ik<br />

x 2<br />

y<br />

−ik<br />

(z+q0x ) e 2<br />

(z+q0y ) (A.19)<br />

und wird als Fundamentalmode oder TEM00-Mode bezeichnet. Durch die<br />

Zerlegung des Strahlparameters in Real- und Imaginärteil gemäß<br />

q(z) = z − z0 + izR<br />

(A.20)<br />

und der Rayleigh-Länge zR = πw2 0<br />

λ lässt sich die gefundene Lösung leichter<br />

interpretieren, wobei im folgenden qx(z) = qy(z) angenommen wird und<br />

r 2 = x 2 + y 2 gilt. Die Strahlparameter in den Argumenten der Exponentialfunktionen<br />

aus (A.19) lassen sich dann umschreiben zu<br />

1 1 1<br />

= − i2 , (A.21)<br />

q(z) R(z) k w(z)<br />

wobei w(z) den Radius des Strahls und R(z) den Krümmungsradius der<br />

Wellenfront darstellen:<br />

� � � �<br />

2<br />

z − z0<br />

1 + , (A.22)<br />

w 2 (z) = w 2 0<br />

R(z) = z<br />

�<br />

1 +<br />

� zR<br />

zR<br />

z − z0<br />

� 2 �<br />

. (A.23)<br />

Der Radius ist da<strong>mit</strong> definiert durch den Abstand von der Strahlachse in<br />

dem die Amplitude auf 1/e abgefallen ist. Der minimale Strahlradius der<br />

79


A Gauß Strahlen<br />

Größe w0 liegt bei z = z0 und wird Strahltaille genannt. Die normierte<br />

Lösung lautet dann<br />

�<br />

2 1 q0<br />

kr2<br />

u(x,y,z) = e−i2q(z). (A.24)<br />

π q(z)<br />

w0<br />

Eine übliche Umformung des Vorfaktors führt auf<br />

u(x,y,z) =<br />

� 2<br />

π<br />

wobei die longitudinale oder Gouy-Phase durch<br />

� �<br />

z<br />

φL = arctan<br />

1 r2<br />

e− w<br />

w(z) 2 (z)e −i<br />

�<br />

kr<br />

2<br />

2R(z) −arctan<br />

� ��<br />

z<br />

zR , (A.25)<br />

zR<br />

gegeben ist und die transversale Phase durch<br />

(A.26)<br />

φT = kr2<br />

. (A.27)<br />

2R(z)<br />

Die Gouy-Phase hat unter anderem zur Folge, dass höhere Moden, die in [23]<br />

besprochen werden, in Resonatoren fester Länge nicht gleichzeitig resonant<br />

sind.<br />

A.1 Transformation Gaußscher Strahlen<br />

In Kapitel 4 wurde der ABCD-Matrixformalismus für die Transformation<br />

Gaußscher Strahlen erläutert und angewendet. Die Matrizen, die den Berechnungen<br />

zu Grunde liegen, werden hier aufgeführt und die Notation kurz<br />

wiederholt.<br />

Ein paraxiales otisches Element führt einen Gaußschen Strahl <strong>mit</strong> Strahlparameter<br />

q1 wieder in einen Gaußschen Strahl <strong>mit</strong> einem neuen Strahlparameter<br />

q2 über. Die Transformation wird durch eine Koeffizientenmatrix<br />

� �<br />

A B<br />

M =<br />

(A.28)<br />

C D<br />

geleistet und ist durch<br />

q2 = Aq1 + B<br />

Cq1 + D<br />

(A.29)<br />

definiert. Die ABCD-Matrizen sind die gleichen, wie in der Strahlenoptik,<br />

das heißt ein Gaußscher Strahl transformiert sich durch ein paraxiales optisches<br />

System nach der selben Regel wie der Krümmungsradius einer Kugelwelle<br />

in geometrischer Optik [23].<br />

Zwei einfache Beispiele sind die Propagation des Lichts durch ein homogenes<br />

Medium der Länge L und eine Linse, die nützlich für die Berechnung von<br />

Modenanpassungen sind.<br />

80


A.1 Transformation Gaußscher Strahlen<br />

• Propagation durch ein homogenes Medium der Länge L:<br />

ML =<br />

� 1 L<br />

0 1<br />

• Durchgang durch eine dünne Linse <strong>mit</strong> Brennweite f:<br />

Mf =<br />

� 1 0<br />

− 1<br />

f 1<br />

�<br />

. (A.30)<br />

�<br />

. (A.31)<br />

Die Reflexion und Brechung an sphärischen Oberflächen wird in saggitale<br />

und tangentiale Ebene unterschieden [28]. Trifft das Licht unter einem<br />

Winkel auf eine gewölbte Oberfläche führt die Projektion auf einen effektiven<br />

Krümmungsradius. In Transmission durch eine Oberfläche wird dann<br />

gemäß dem Snelliusschen Gesetz die Brechung berücksichtigt. In [29] wird<br />

der Formalismus auf die strahlverformende Eigenschaft eines Beugungsgitters<br />

erweitert. Im Folgenden werden die Abbildungsmatrizen durch einen<br />

Index (s) saggital oder (t) tangential gekennzeichnet.<br />

• Die Reflexion an einem Spiegel <strong>mit</strong> Krümmungsradius R <strong>mit</strong> Einfallswinkel<br />

Θ wird durch folgende Matrizen beschrieben<br />

M t � �<br />

R =<br />

, (A.32)<br />

M s R =<br />

�<br />

1 0<br />

− 2<br />

R cos(Θ) 1<br />

1 0<br />

1<br />

− 2cos(Θ)<br />

R<br />

�<br />

, (A.33)<br />

wobei R < 0 für konvexe und R > 0 für konkave Wölbung gilt.<br />

• Die Transmission durch eine Oberfläche <strong>mit</strong> Krümmungsradius R, Einfallswinkel<br />

Θ1 und Beugungswinkel Θ2 wird beschrieben durch<br />

M t �<br />

�<br />

cos(Θ2)<br />

cos(Θ1) 0<br />

T =<br />

(A.34)<br />

=<br />

⎛<br />

⎜<br />

⎝<br />

M s T =<br />

=<br />

n2 cos(Θ2−n1 cos(Θ1))<br />

Rn2 cos(Θ1) cos(Θ2)<br />

√ n 2 r−sin 2 (Θ1)<br />

nr cos(Θ1)<br />

cos(Θ1)− √ n 2 r −sin2 (Θ1)<br />

R cos(Θ1) √ n 2 r −sin2 (Θ1)<br />

�<br />

�<br />

cos(Θ1)<br />

nr cos(Θ2)<br />

0<br />

cos(Θ1)<br />

√ n 2 r −sin 2 (Θ)1<br />

1 0<br />

n2 cos(Θ2)−n1 cos(Θ1)<br />

Rn2<br />

1<br />

nr<br />

1 0<br />

cos(Θ1)− √ n 2 r −sin2 (Θ1)<br />

81<br />

Rnr<br />

1<br />

nr<br />

�<br />

�<br />

⎞<br />

⎟<br />

⎠ (A.35)<br />

(A.36)<br />

, (A.37)


A Gauß Strahlen<br />

wobei nr = n2/n1 abgekürzt wurde. Die Matrizen für Transmission in<br />

tangentialer und saggitaler Ebene sind in zwei Formen angegeben, die<br />

über das Snelliussche Brechungsgesetz n1 sin(Θ1) = n2 sin(Θ2) ineinander<br />

umgerechnet werden können.<br />

• Die ABCD-Matrizen für ein Reflexionsgitter <strong>mit</strong> Krümmungsradius R,<br />

Einfallswinkel Θ1 und Beugungswinkel Θ2 lauten<br />

M t g =<br />

�<br />

M s g =<br />

cos(Θ2)<br />

cos(Θ1)<br />

− (cos(Θ1)+cos(Θ2))<br />

R cos(Θ1)cos(Θ2)<br />

�<br />

0<br />

cos(Θ1)<br />

cos(Θ2)<br />

1 0<br />

1<br />

− (cos(Θ1)+cos(Θ2))<br />

R<br />

�<br />

, (A.38)<br />

�<br />

. (A.39)<br />

Die Winkel Θ1 und Θ2 sind über die Gittergleichung (2.1) verknüpft. Wenn<br />

Θ1 = Θ2 gilt (Litrrow-Konfiguration), sind die Gittermatrizen <strong>mit</strong> denen<br />

eines gekrümmten Spiegels identisch.<br />

82


ANHANG B<br />

<strong>Interferometer</strong>design<br />

In dieser Arbeit wurden zwei <strong>Michelson</strong>-<strong>Interferometer</strong> <strong>mit</strong> ” Power-Recycling“<br />

und <strong>diffraktivem</strong> <strong>Strahlteiler</strong> designt und experimentell umgesetzt. Dafür<br />

wurden Endspiegel <strong>mit</strong> einem Krümmungsradius von 0,5 m und ein Einkoppelspiegel<br />

<strong>mit</strong> Krümmungsradius von 0,6 m verwendet. Der Einfallswinkel<br />

lag im ersten Aufbau <strong>mit</strong> Gitter G1 bei 34 ◦ und im zweiten Aufbau <strong>mit</strong><br />

Gitter G2 bei 29 ◦ . Die daraus berechneten Abstände der Spiegel zum Gitter<br />

sind in TabelleB.1 zusammen <strong>mit</strong> den experimentell realisierten Werten<br />

aufgelistet.<br />

Ldes[m] Lexp[m] ldes[m] lexp[m]<br />

G1a 0,58 0,566 0,299 0,341<br />

G2 0,55 0,538 0,315 0,398<br />

Tabelle B.1: Übersicht der geplanten und experimentell realisierten <strong>Interferometer</strong>armlängen<br />

Ldes bzw. Lexp und Abstände vom Einkoppelspiegel des ” Power-<br />

Recycling“ Resonators zum Gitter ldes bzw. lexp für die Aufbauten <strong>mit</strong> Gitter G1a<br />

und Gitter G2.<br />

Die folgenden Abbildungen zeigen berechnete Strahlparameter für beide<br />

Aufbauten, basierend auf den oben genannten Parametern. Die Abweichungen<br />

der Größen im experimentellen Aufbau von den Designwerten sind<br />

konsistent <strong>mit</strong> den gezeigten Berechnungen.


B <strong>Interferometer</strong>design<br />

W 0 [µm]<br />

W end [µm]<br />

l pr [m]<br />

500<br />

400<br />

300<br />

200<br />

100<br />

0<br />

0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1<br />

2000<br />

1500<br />

1000<br />

500<br />

0<br />

-0.1<br />

-0.2<br />

-0.3<br />

-0.4<br />

-0.5<br />

s<br />

t<br />

0<br />

0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1<br />

-0.6<br />

0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1<br />

L [m]<br />

z 0 [m]<br />

w gr [m]<br />

w t /w s an M 1<br />

1<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

0<br />

0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1<br />

2000<br />

1500<br />

1000<br />

10<br />

500<br />

8<br />

6<br />

4<br />

2<br />

s<br />

t<br />

0<br />

0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1<br />

0<br />

0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1<br />

L [m]<br />

Abbildung B.1: Aufbau 1: Darstellung berechneter Strahlparameter über dem<br />

möglichen Bereich der Armlänge L. Dargestellt sind Lage z0 und Größe w0 der<br />

Taille des Eingangsstrahls, die Strahlradien in saggitaler (s) und tangentialer (t)<br />

Ebene auf dem Gitter wgr und auf einem Endspiegel wend, der Abstand von Gitter<br />

zu Einkoppelspiegel l bezüglich des Gitters, und das Verhältnis der Strahlradien in<br />

tangentialer und saggitaler Ebene am Endpiegel wt/ws.<br />

84


W 0 [µm]<br />

W end [µm]<br />

l pr [m]<br />

300<br />

280<br />

260<br />

240<br />

220<br />

200<br />

180<br />

160<br />

450<br />

400<br />

350<br />

300<br />

250<br />

200<br />

-0.2<br />

-0.25<br />

-0.3<br />

-0.35<br />

-0.4<br />

0.56 0.58 0.6<br />

s<br />

t<br />

0.56 0.58 0.6<br />

0.56 0.58 0.6<br />

L [m]<br />

z 0 [m]<br />

w gr [m]<br />

w t /w s an M 1<br />

0.3<br />

0.25<br />

0.2<br />

0.15<br />

0.1<br />

0.05<br />

1000<br />

900<br />

800<br />

700<br />

600<br />

500<br />

400<br />

1.8<br />

1.75<br />

1.7<br />

1.65<br />

1.6<br />

1.55<br />

1.5<br />

1.45<br />

1.4<br />

0.56 0.58 0.6<br />

s<br />

t<br />

0.56 0.58 0.6<br />

0.56 0.58 0.6<br />

L [m]<br />

Abbildung B.2: Aufbau 1: Darstellung berechneter Strahlparameter um den im<br />

Experiment realisierten Bereich der Armlänge L. Dargestellt sind Lage z0 und<br />

Größe w0 der Taille des Eingangsstrahls, die Strahlradien in saggitaler (s) und<br />

tangentialer (t) Ebene auf dem Gitter wgr und auf einem Endspiegel wend, der Abstand<br />

von Gitter zu Einkoppelspiegel l bezüglich des Gitters, und das Verhältnis<br />

der Strahlradien in tangentialer und saggitaler Ebene am Endpiegel wt/ws.<br />

85


B <strong>Interferometer</strong>design<br />

W 0 [µm]<br />

W end [µm]<br />

l pr [m]<br />

500<br />

400<br />

300<br />

200<br />

100<br />

0<br />

0.5 0.55 0.6 0.65 0.7<br />

2000<br />

1500<br />

1000<br />

500<br />

0<br />

-0.1<br />

-0.2<br />

-0.3<br />

-0.4<br />

-0.5<br />

s<br />

t<br />

0<br />

0.5 0.55 0.6 0.65 0.7<br />

-0.6<br />

0.5 0.55 0.6 0.65 0.7<br />

L [m]<br />

z 0 [m]<br />

w gr [m]<br />

w t /w s an M 1<br />

1<br />

0.8<br />

0.6<br />

0.4<br />

0.2<br />

0<br />

0.5 0.55 0.6 0.65 0.7<br />

2000<br />

1500<br />

1000<br />

10<br />

500<br />

8<br />

6<br />

4<br />

2<br />

s<br />

t<br />

0<br />

0.5 0.55 0.6 0.65 0.7<br />

0<br />

0.5 0.55 0.6 0.65 0.7<br />

L [m]<br />

Abbildung B.3: Aufbau 2: Darstellung berechneter Strahlparameter über dem<br />

möglichen Bereich der Armlänge L. Dargestellt sind Lage z0 und Größe w0 der<br />

Taille des Eingangsstrahls, die Strahlradien in saggitaler (s) und tangentialer (t)<br />

Ebene auf dem Gitter wgr und auf einem Endspiegel wend, der Abstand von Gitter<br />

zu Einkoppelspiegel l bezüglich des Gitters, und das Verhältnis der Strahlradien in<br />

tangentialer und saggitaler Ebene am Endpiegel wt/ws.<br />

86


W 0 [µm]<br />

W end [µm]<br />

l pr [m]<br />

300<br />

250<br />

200<br />

150<br />

100<br />

0.52 0.54 0.56 0.58<br />

500<br />

450<br />

400<br />

350<br />

300<br />

250<br />

200<br />

150<br />

100<br />

s<br />

t<br />

0.52 0.54 0.56 0.58<br />

-0.1<br />

-0.15<br />

-0.2<br />

-0.25<br />

-0.3<br />

-0.35<br />

-0.4<br />

-0.45<br />

-0.5<br />

0.52 0.54 0.56 0.58<br />

L [m]<br />

z 0 [m]<br />

w gr [m]<br />

w t /w s an M 1<br />

0.3<br />

0.25<br />

0.2<br />

0.15<br />

0.1<br />

0.05<br />

1400<br />

1200<br />

1000<br />

800<br />

600<br />

0<br />

0.52 0.54 0.56 0.58<br />

s<br />

t<br />

400<br />

0.52 0.54 0.56 0.58<br />

2.4<br />

2.2<br />

2<br />

1.8<br />

1.6<br />

0.52 0.54 0.56 0.58<br />

L [m]<br />

Abbildung B.4: Aufbau 2: Darstellung berechneter Strahlparameter um den im<br />

Experiment realisierten Bereich der Armlänge L. Dargestellt sind Lage z0 und<br />

Größe w0 der Taille des Eingangsstrahls, die Strahlradien in saggitaler (s) und<br />

tangentialer (t) Ebene auf dem Gitter wgr und auf einem Endspiegel wend, der Abstand<br />

von Gitter zu Einkoppelspiegel l bezüglich des Gitters, und das Verhältnis<br />

der Strahlradien in tangentialer und saggitaler Ebene am Endpiegel wt/ws.<br />

87


B <strong>Interferometer</strong>design<br />

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[37] Stephan Fahr<br />

Persönliche Mitteilung.<br />

[38] Patrick Kwee<br />

Persönliche Mitteilung.<br />

[39] http://www.rzg.mpg.de/ adf<br />

[40] P. Kwee<br />

Charakterisierung von Lasersystemen für Gravitationswellendetektoren<br />

Diplomarbeit, Hannover (2005)<br />

92


Danksagung<br />

Zunächst danke ich Prof. Dr. Karsten Danzmann für die Ermöglichung dieser<br />

Arbeit. Besonderer Dank gebührt Jun. Prof. Dr. Roman Schnabel für die<br />

engagierte und lehrreiche Betreuung.<br />

Für die angenehme Arbeitsatmosphäre danke ich allen Instituts<strong>mit</strong>gliedern.<br />

Alexander Bunkowski und Oliver Burmeister danke ich, dass sie mir über<br />

das letzte Jahr zur Seite gestanden und wesentlich zum Gelingen der Arbeit<br />

beigetragen haben. Danke auch für hilfreiche Korrekturen der Arbeit.<br />

Neben vielen anderen, die mir auf vielfältige Weise geholfen haben, möchte<br />

ich Henning Vahlbruch, Boris Hage, Simon Chelkowski, Alexander Franzen,<br />

Andre Thüring und Stephan Fahr danken.<br />

Frank Seifert danke ich dafür, dass er immer noch eine Minute Zeit gehabt<br />

hat.<br />

Auch auf die Unterstützung derjenigen, die mich während des Studiums<br />

begleitet haben, konnte ich immer zählen. Vielen Dank.<br />

Meinen lieben Eltern möchte ich hier<strong>mit</strong> ganz besonders danken, dass sie<br />

mich und meine Interessen jederzeit unterstützt haben.<br />

Von ganzem Herzen danke ich Caroline für ihre unschätzbare Unterstützung<br />

und Liebe.

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