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<strong>CiS</strong> Institut für Mikrosensorik Anwendungszentrum Mikrosystemtechnik Forschung und Produktion unter einem Dach“ • 7.000 m² Bruttogeschoßfläche • 600 m² Reinraum Klasse 10 - 100 • 800 m² Reinraum Klasse 10.000 • 1.250 m² klimatisierte Laborfläche • 1.350 m² Büro-, Seminar- und Lagerraum Dr.Freitag 26.10 06 Innoforum SolarInnovativ Erfurt 2

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