BegrÃ¼Ãung - CiS

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CiS Institut für Mikrosensorik •Prozessentwicklung für Si-Solarzellen •Messtechnik und Analytik für Wafer und Zellen •Prozesslinie für dünne Wafer bis 210 mm Kantenlänge •Synergiepotentiale zwischen der Mikrosystemtechnik und Photovoltaik werden genutzt Dr.Freitag 26.10 06 Innoforum SolarInnovativ Erfurt 8
CiS Institut für Mikrosensorik Strategisches Ausbaukonzept Solarzentrum wurde mit der CiS – Roadmap 2010 erarbeitet •Ausbau des Solarzentrums (Reinraum und Personal) •Schließung der technologischen Prozeßkette (PECVD / p n Diffusion /Oxidation) •Metallisierung(chemisch/galvanisch/sputtern) •Erweiterung Messtechnik/Analytik Dr.Freitag 26.10 06 Innoforum SolarInnovativ Erfurt 9
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Seite 3 und 4: Dr.Freitag 26.10 06 Innoforum Solar
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