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MCS CD
Linienbreitenmessungen
Hocheffiziente modulare Software für
mikroskopische Systeme mit vollautomatischer
Strukturbreiten- und
Overlay- Messung.
Die (Critical Dimension) CD Messungssoftware
MCS CD verbindet ein automatisches Mikroskop
mit hochauflösender Kamera, motorisiertem
Kreuztisch, Beleuchtung , Handlingsystem und
Encoder. Eine übersichtliche Nutzeroberfläche
macht das komplexe System für jeden Operator
leicht bedienbar.
Features MCS CD
• automatische CD Messung
• CD Messung, Overlay
und via-Messung
• komplexe CD Messungen
auf verschiedenen Höhenstufen
• CD Messung durch Analyse von
Schärfenstapeln (focus stacks / z-stacks)
• CD Messung durch die Kombination von
Subpixel Analyse und Analyse konfokaler Daten
Internet www.promicron.de
eMail info@promicron.de
Tel (+49 (0)7 143) 40 56 - 0
Fax (+49 (0)7 143) 40 56 -15
MCS CD
Linewidth Measurement
Highly efficient modular software for
microscopic systems with fully automatic
structure width and overlay measuring.
The (Critical Dimension) CD measurement
software MCS CD integrates an automated
microscope, high resolution camera, motorized
XY-stage, illumination, handling system, encoder.
A clear user interface makes the complex system
easy to use for any operator.
Features MCS CD
• automated CD measurement
• CD measurement, overlay
and via-measurement
• complex CD measurements
on various height levels
• CD measurement by analysis
of focus stack (z-stack)
• CD measurements by
combined analysis of subpixel
and confocal data
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Das System arbeitet mit den neusten Bild-
Algorithmen und kann auch deutliche
Abweichungen erlernter Strukturen oder
Alignment Patterns betreffend Größe, Helligkeit,
Farbe, etc. tolerieren und eine sehr exakte
Positionierung und Kantenfindung vornehmen.
Die fallbezogen arbeitende Software führt den
Anwender durch die notwendigen Parameter
und Setup-Einstellungen um in kürzester Zeit
automatisch ablaufende Programme zu
erstellen.
Sogar die Basic-Version ist mit Laser-Autofokus
und Kreuztisch ausgestattet, um höchste
Wiederholbarkeit und Genauigkeit zu
gewährleisten. Mustererkennung wird
stadardmäßig angewendet und garantiert auch
in Bereichen mit sehr tiefen Strukturen und
Linienmustern CD Messungen.
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ProMicron
Bachmühlweg 24
74366 Kirchheim /Neckar
Phone: +49(0)7143 - 40560
Fax: +49(0)7143 - 405615
Email: info@promicron.de
Based on the latest imaging algorithms, the
system is able to tolerate even significant
variations of learned structures or alignment
pattern regarding size, brightness, color, etc.
Providing a highly exact positioning and edge
detection.
Software, working case-relatedly, guides the
user through the necessary parameters and
setup settings, to create automatic running
programs within a short time.
Even the basic version is equipped with laser
autofocus and XY scanning stage for highest
repeatability and accuracy.
Pattern Recognicition is used by default und
guarantees CD measurements even in areas
of very high structure depths and line patterns.
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