Informationen zur Software - ProMicron

MCS-OWI
Optische Wafer Inspektion
Supervisor
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Wafermapping
über 6 Dies (3 x 3 y und manuelle Eingabe von Randdies
= "ugly Dies")
oder Import des pass/fail Mapping Tester (post inking)
Manuelle Auswahl der zu inspizierenden Chips
Auswahl per Zufall (absolute Zahl oder in %)
daraus > Erstellen des Inspektionsfiles, d.h. ein Setup
mit allen Systemeinstellungen,
Mikroskopeinstellungen (Vergrößerung,
Kontrastmethode HF/DF, Ap. Blende)
wahlweise Beleuchtungseinstellung,
wahlweise Kameraeinstellungen,
Abschluss des Setups durch Speichern als Inspektionsfile
(beliebig viele sind möglich)
Definition des Microscans
a.) durch manuelles Teachen per Joystick
(wahlweise Autofokus an oder aus, Auswahl der Objektiv-
Vergr. Auswahl HF / DF Anfahren der Positionen)
b.) durch mäanderförmige Tischbewegung auf Dies in
bildfeldbezogenen Schritten
c.) alternativ steht ein Modus für kontinuierliches Fahren
zur Verfügung
Start und Endpunkt werden aus Wafermap automatisch
abhängig vom gewählten Objektiv berechnet
Operator
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Eingabe Wafertyp / Los und Nr.
Inspektionsablauf:
Waferalignment (durch manuelles Anfahren von
Referenzpositionen)
Mikroskopische Inspektion
· einzelne Inspektionspunkte werden vom Operator mit
Spacetaste quittiert, manueller Eingriff in den Ablauf ist
zu jedem Zeitpunkt möglich, dabei sind beliebige
Vergrößerungen und Tischpositionen frei wählbar, optional
können Bilder gespeichert werden (mit jedem Bild wird
xy Position als Chipnr. und als Koordinate und Vergrößerung
gespeichert). Wahlweise ist die Vergabe von Defectcodes
und ein Update der Post Ink Map möglich
Internet
eMail
www.promicron.de
info@promicron.de
Aufruf des Inspektionsprogramms/
Referenzpunkte anfahren/
Inken schlechter Dies/ Ink-Map Erstellung -
Ausgabe Statistik/ ggf. physikalisches Inken/
Automatischer Wafertransport
Tel (07 143) 40 56 -0
Fax (07 143) 40 56 -15
Optical Wafer Inspection