TTM2 Messung der Positionsunsicherheit von Teiltischen ... - OEG

Das Meßverfahren
TTM2 ist vom Meßverfaren her an das Rosettenverfahren angelehnt. Durch die Ausnutzung aller
Möglichkeiten der Matrizenrechnung stellt es jedoch eine innovative Weiterentwicklung dieses Verfahrens
dar.
Beim Rosettenverfahren wird ein Polygon mit n Flächen auf den Teiltisch montiert. Der Autokollimator
wird so eingerichtet, daß er von den Flächen des Polygons ein Referenzsignal erhält. Dreht sich der
Teiltisch um genau 360/n Grad, zeigt der Autokollimator für jede Polygonfläche den gleichen Winkelwert
an. Aus den Abweichungen jeder Polygonfläche vom Ausgangswert können die Kenndaten für die
Positionsunsicherheit berechnet werden. Üblicherweise werden beim Rosettenverfahren n Meßreihen
durchgeführt. Jede Polygonfläche dient einmal als Ausgangspunkt der Messung. Das klassische
Rosettenverfahren ist also sehr zeitaufwendig.
TTM2 - die Innovation
In Abb. 1. sind schematisch die an einem rotierenden Positioniersystem auftretenden Fehler dargestellt.
TTM2 erfaßt in Verbindung mit einem Autokollimator und einem Polygonspiegel die winkelbezogene
Größen Teilerfehler und Taumelfehler. Die neue Software TTM2 ermöglicht es erstmalig, bereits aus
minimal 2 Meßreihen alle Kenndaten des Teiltisches zu berechnen.
Weiterhin ist die Meßgenauigkeit von TTM2 ausschließlich durch die Auflösung des
Meßstart
Meßstrahl und
Bezugsgerade
Polygonfläche: 1 2 3 4 5 6
Tischposition: 0° 60° 120° 180° 240° 300°
360°
0°
1
1. Meßreihe
Teilertisch
Polygon
Neupositionierung
des Polygon
Meßstrahl und
Bezugsgerade
1
2. Meßreihe
Polygonfläche: 2 3 4 5 6 1
Tischposition: 0° 60° 120° 180° 240° 300°
Autokollimationssystems und die Umweltbedingungen bestimmt. Fehler des Polygons gehen nicht in die
Meßergebnisse ein. Es ist sogar möglich, mit Hilfe eines teilungsfehlerbehafteten Teiltisches eine
Polygonvermessung durchzuführen.
Damit stellt TTM2 eine absolut neuartige Softwarelösung dar, die gleichermaßen für den Geräte- und
Maschinenbau zur Teiltischvermessung wie in der optischen Industrie zur Polygonvermessung eingesetzt
werden kann.
Das Programm ist in der Lage, Polygone mit maximal 72 Flächen auszuwerten und dabei bis zu 36
Meßreihen zu berücksichtigen. Entsprechend dem verwendeten Meßsystem, speziell dem ELCOMAT
2000, werden die Winkelabweichungen mit einer Genauigkeit von 0.1“ bei einer Auflösung von 0.05“
innerhalb eines Meßbereiches von 2000“ (entspricht ca. 0.5°) bestimmt.
OEG GmbH, Wildbahn 8b, 15236 Frankfurt(Oder), Tel.: 0335 5213 894, Fax: -896
e-mail: Info@oeg-messtechnik.de, Internet: http://www.oeg-messtechnik.de
360°
0°
Teilertisch
Polygon
Startposition 1. Meßreihe Startposition 2. Meßreihe
0°
Meßende