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Solarzellen aus a-Si:H - LTI

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Übersicht über die Vorlesung Solarenergie<br />

Vorlesung Termin<br />

Nr.<br />

Thema Dozent<br />

1 Di. 24.10.06 Wirtschaftliche Aspekte/Energiequelle<br />

Sonne<br />

Lemmer/Heering<br />

2 Di. 31.10.06 Halbleiterphysikalische Grundlagen Lemmer<br />

3 Fr. 03.11.06 Kristalline pn-<strong>Solarzellen</strong> Heering<br />

Di. 07.11.06 Lichttechnik-Tage "Automobile Lichtund<br />

Displaytechnik" in Karlsruhe<br />

4 Fr. 10.11.06 Elektrische Eigenschaften Heering<br />

5 Di. 14.11.06 Optimierung kristalliner <strong>Solarzellen</strong> Lemmer<br />

6 Di. 21.11.06 Technologie kristalliner <strong>Solarzellen</strong> Lemmer<br />

7 Fr. 24.11.06 Anorganische Dünnschichtsolarzellen Lemmer<br />

8 Di. 28.11.06 Organische Dünnschichtsolarzellen Lemmer<br />

9 Di. 05.12.06 Third Generation Photovoltaics Lemmer<br />

10 Fr. 08.12.06 Photovoltaische Systeme I Heering<br />

11 Di. 12.12.06 Photovoltaische Systeme II Heering<br />

12 Di. 19.12.06 Solarkollektoren<br />

Weihnachtsferien<br />

Heering<br />

13 Di. 09.01.07 Passive Sonnenenergienutzung Heering<br />

14 Di. 16.01.07 Solarthermische Kraftwerke Lemmer<br />

15 Di. 23.01.07 Energiespeicher/Solarchemie Heering<br />

16 Di. 30.01.07 Kostenrechnungen zu Solaranlagen Heering<br />

17 Di. 06.02.07 Energieszenarien Lemmer<br />

Di. 13.02. 07 Exkursion Heering/Lemmer<br />

7.1


7.2<br />

Nachtrag zur<br />

Energierücklaufzeit<br />

Quelle:<br />

Photon<br />

Dez. 2002


7.3<br />

Nachtrag zur<br />

Energierücklaufzeit<br />

Quelle:<br />

Photon<br />

Dez. 2002


7.4<br />

Nachtrag zur<br />

Energierücklaufzeit<br />

Quelle:<br />

Photon<br />

Dez. 2002


7.5<br />

Marktanteile der verschiedenen <strong>Solarzellen</strong>materialien


Marktentwicklung der versch. PV-Technologien<br />

7.6<br />

Quelle: Sarasinstudie


- hohe Wirkungsgrade<br />

Warum c-<strong>Si</strong> und multi-<strong>Si</strong> ?<br />

- hohe Zuverlässigkeit, hohe Langzeitstabilität (> 20 J.)<br />

- reichlich <strong>Si</strong> vorhanden<br />

- nicht toxisch<br />

7.7


Warum nicht c-<strong>Si</strong> ? Warum Dünnschicht ?<br />

-c-<strong>Si</strong> ist teuer - kostengünstigere Herstellung<br />

-c-<strong>Si</strong> wird noch teurer, wenn der<br />

Bedarf nicht mehr durch<br />

Ausschuss von EG-<strong>Si</strong> <strong>aus</strong> der<br />

Mikroelektronik gedeckt werden<br />

kann (mittlerweile passiert)<br />

-c-<strong>Si</strong> Technologie ist energieintensiv<br />

(Energierücklaufzeiten<br />

6-8 Jahre)<br />

-großer Materialaufwand, Wafer sind<br />

-zu dick<br />

- kein großflächiger Prozess<br />

- geringere Energierücklaufzeiten<br />

-Schichtdicken im nm-Bereich<br />

kontrollierbar<br />

- großflächige Deposition<br />

- monolithische Verschaltung<br />

7.8


Struktur c-<strong>Si</strong> ↔ a-<strong>Si</strong><br />

c-<strong>Si</strong>: Nah- und Fernordnung a-<strong>Si</strong>: nur Nahordnung<br />

7.9


Struktur c-<strong>Si</strong> ↔ a-<strong>Si</strong><br />

Fehlende Fernordnung hat drastische Auswirkungen auf die elektronischen<br />

Eigenschaften:<br />

- keine Periodizität → keine Bandstruktur → kein indirekter Halbleiter mehr<br />

→ Erhöhung der Absorption<br />

7.10


Elektronische Struktur von amorphem <strong>Si</strong><br />

-Variation der<br />

Bindungslängen/Bindungswinkel/<br />

Bindungsstärken<br />

→ Ausschmieren der Bandkanten,<br />

flache Störstellen<br />

-nichtabgesättigte Bindungen<br />

(dangling bonds)<br />

→Zustände in der Mitte der<br />

Bandlücke<br />

7.11


a-<strong>Si</strong>/a-<strong>Si</strong>:H<br />

7.12<br />

-bei der Abscheidung wird<br />

prozessbedingt H in den Film eingebaut<br />

(amorphe <strong>Si</strong>/H-Legierung, a-<strong>Si</strong>:H)<br />

-durch Optimierung der Wasserstoffkonzentration<br />

wird die Dichte der<br />

dangling bonds /deep traps minimiert<br />

-beste elektronische Eigenschaften für<br />

10-15 % H


Elektronische Struktur in amorphem <strong>Si</strong><br />

Beweglichkeiten c-<strong>Si</strong>: µ e=1100 cm 2 V -1 s -1 ; µ h=300 cm 2 V -1 s -1<br />

Beweglichkeiten a-<strong>Si</strong>:H: µ=2 cm 2 V -1 s -1<br />

7.13


pin-Solarzelle a-<strong>Si</strong>:H<br />

-die c-<strong>Si</strong> Solarzelle beruht<br />

auf der Diffusion von<br />

Minoritätsladungsträgern<br />

L Diff(c-<strong>Si</strong>)>200µm<br />

- L Diff(a-<strong>Si</strong>:H)≈150 nm<br />

- aber: Driftlänge ≈ 1 µm<br />

7.14<br />

-Design der Solarzelle so, dass<br />

Absorption in der RLZ<br />

- dotierte Bereiche möglichst<br />

dünn<br />

→ pin-Struktur


<strong>Solarzellen</strong> <strong>aus</strong> a-<strong>Si</strong>:H<br />

-Dotierung mittels Zugabe von B 2H 6<br />

und PH 3<br />

7.15


<strong>Solarzellen</strong> <strong>aus</strong> amorphem <strong>Si</strong>lizium<br />

Abscheidereaktoren für die Herstellung von <strong>Solarzellen</strong> <strong>aus</strong> amorphem <strong>Si</strong>lizium<br />

bei RWESchottSolar (www.schottsolar.de)<br />

7.16


<strong>Solarzellen</strong> <strong>aus</strong> a-<strong>Si</strong>:H<br />

-superstrate -substrate<br />

7.17


Legierbarkeit von a-<strong>Si</strong>/Ge/C:H: Multiple Zellen<br />

-Beimischung von GeH 4<br />

während der Abscheidung<br />

7.18


Stabilität<br />

- „Staebler-Wronski-Effekt“: licht- und ladungsträgerinduzierte Alterung durch<br />

Aufbrechen von Bindungen<br />

7.19


7.20<br />

Monolithische Verschaltung von Dünnschichtzellen


Monolithische Verschaltung<br />

a-<strong>Si</strong>:H-Solarmodul<br />

7.21


Roll to roll process (R2R)<br />

Kontinuierliche Abscheidung auf flexiblen Substraten (Stahl, Polymer)<br />

7.22<br />

www.rolltronics.com


+ kostengünstig<br />

+ Energierücklaufzeiten 2-3 J.<br />

+ <strong>aus</strong>reichend für viele Consumer-Anwendungen<br />

+ Abscheidung auf kostengünstige und flexible Substrate<br />

- bescheidene Wirkungsgrade<br />

7.23


Zwischen a-<strong>Si</strong> und c-<strong>Si</strong>: Das mikrokristalline <strong>Si</strong> (µc-<strong>Si</strong>:H)<br />

-Herstellung durch Dünnschichtprozeß (wie a-<strong>Si</strong>:H),<br />

-aber vorteilhafte Eigenschaften eines Kristalls<br />

7.24


c-<strong>Si</strong><br />

a-<strong>Si</strong>:H<br />

7.25


7.26


7.27


Tandemsolarzellen a:<strong>Si</strong>:H/µc-<strong>Si</strong>:H<br />

Wirkungsgrade 11-12 %<br />

7.28


www.csgsolar.com: Polykristalline Dünnschicht-<strong>Si</strong>lizumzellen<br />

7.29


Borosilicate Glass<br />

3mm<br />

Texture Coat Both Surfaces<br />

(Dipping)<br />

7.30


<strong>Si</strong>N<br />

Borosilicate Glass<br />

3mm<br />

Deposit Anti-Reflection Coating<br />

(PECVD)<br />

7.31


<strong>Si</strong><br />

<strong>Si</strong>N<br />

Borosilicate Glass<br />

1.5 µm<br />

3mm<br />

p+<br />

p<br />

n+<br />

Deposit <strong>Si</strong>licon Film<br />

(PECVD)<br />

7.32


<strong>Si</strong><br />

<strong>Si</strong>N<br />

Borosilicate Glass<br />

1.5 µm<br />

3mm<br />

0<br />

Crystallise <strong>Si</strong><br />

7.33


<strong>Si</strong><br />

<strong>Si</strong>N<br />

1.6 µm 0<br />

Borosilicate Glass<br />

3mm<br />

Anneal Defects<br />

7.34


<strong>Si</strong><br />

<strong>Si</strong>N<br />

Borosilicate Glass<br />

+<br />

1.5 µm<br />

3mm<br />

+<br />

+<br />

+<br />

Hydrogen Passivation<br />

+<br />

+<br />

+<br />

0<br />

+<br />

+<br />

+<br />

+<br />

+<br />

+<br />

+ +<br />

7.35


<strong>Si</strong><br />

<strong>Si</strong>N<br />

Borosilicate Glass<br />

1.5 µm<br />

3mm<br />

Hydrogen Passivation<br />

0<br />

7.36


Einkristalline Dünnschichtzellen ?<br />

7.37


7.38<br />

Chalkopyrite als <strong>Solarzellen</strong>materialien (I-III-VI 2 -Halbleiter)<br />

- niedrige Abscheidetemperaturen<br />

- geringe Oberflächenrekombination<br />

- hohe Absorptionskonstanten<br />

- geeignetes Bandgap<br />

- legierbar


7.39


7.40


7.41


7.42


Polykristalline CIS-Zellen<br />

7.43


pn-Heteroübergänge<br />

- n-Dotierung schwierig<br />

- Verwendung einer n-dotierten<br />

Fensterschicht (CdS)<br />

7.44


CIS: Herstellung der Absorberschicht<br />

7.45


7.46


7.47<br />

Idee zur weiteren Verbeserung: Chalkopyrit-Tandemzelle


Industrielle Aktivitäten CIS-Fertigung weltweit<br />

mit produktrelevanten Substratgrößen (2004)<br />

Firma<br />

Shell Solar USA<br />

Würth Solar<br />

Marbach<br />

Global Solar<br />

USA<br />

Showa Shell<br />

Japan<br />

Honda Japan<br />

Sulfur Cell Berlin<br />

Shell Solar<br />

München<br />

Fertigungsleistung<br />

in<br />

MWp/a<br />

3<br />

0.4<br />

< 0.4<br />

-<br />

0.15<br />

-<br />

-<br />

Substrat<br />

Glas<br />

(m x m)<br />

0,3 x1,2<br />

0,6 x 1,2<br />

Metallfolie<br />

1ft x .. ft<br />

(Rolle)<br />

0,3 x1,2<br />

0,8 x 1,3<br />

(0,2 x 0,2)<br />

0,6 x 1,2<br />

0,6 x 1,2<br />

Wirkungsgrad<br />

max/mittel<br />

< 13% / 11%<br />

< 13% / 11,5%<br />

10% / 8%<br />

14,2% / 11,8%<br />

/ 10%<br />

-<br />

13,1% / 12,2%<br />

Markt<br />

Ja<br />

Ja<br />

Militär (teilweise<br />

Consumer)<br />

Nein<br />

Nein<br />

Nein<br />

Nein<br />

7.48

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