Schwingungsdämpfung mit niederfrequenten Luftfedern - fabreeka.de
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<strong>Schwingungsdämpfung</strong><br />
<strong>mit</strong> <strong>nie<strong>de</strong>rfrequenten</strong> <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong><br />
<strong>Schwingungsdämpfung</strong><br />
<strong>mit</strong> <strong>nie<strong>de</strong>rfrequenten</strong> <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong>
Globales<br />
Denken<br />
� Fabreeka ® International, Inc.<br />
Hauptsitz <strong>de</strong>s Unternehmens − Stoughton, MA, USA<br />
� Fabreeka-Canada Ltd.<br />
� Fabreeka United Kingdom<br />
� Fabreeka GmbH Deutschland<br />
� Fabreeka Taiwan<br />
2<br />
Fabreeka ® ist seit 1936 international<br />
führend auf <strong>de</strong>m Gebiet <strong>de</strong>r Schock- und<br />
Schwingungsisolierung. Wir bieten<br />
Lösungen zur Schwingungs- und<br />
Schockisolation für Industrieunternehmen<br />
weltweit.<br />
Die Zuverlässigkeit unserer Isolations-<br />
systeme basiert auf fundierten ingenieur-<br />
mäßigen Grundlagen und im Test<br />
überprüftem Übertragungsverhalten.<br />
Fabreeka ® ist mehr als ein Hersteller von<br />
Isolatoren. Wir entwerfen Lösungen für<br />
Ihre Schwingungs- und Schockprobleme.<br />
� Service<br />
� Lösungen<br />
� Produkte<br />
Wir stehen Ihnen weltweit in je<strong>de</strong>r unserer<br />
Nie<strong>de</strong>rlassungen gern zur Verfügung.<br />
Diese sind auf <strong>de</strong>r Rückseite aufgelistet.
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Einführung<br />
Das Ziel <strong>de</strong>r Isolation ist es, negative Auswirkungen stören<strong>de</strong>r<br />
Schwingungen innerhalb tolerierbarer Grenzen zu halten.<br />
Technische Beschreibung – <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong><br />
Grundlagen zur Auslegung von <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> – Eigenfrequenz, Dämpfung<br />
und Übertragungsverhalten.<br />
Design Service<br />
Unsere Ingenieure bieten Schwingungsmessungen und -analysen,<br />
Struktur- und dynamische Analyse sowie Finite-Elemente-Berechnungen<br />
und Modalanalyse als Bestandteile einer Gesamtlösung.<br />
Produkte<br />
Precision-Aire TM Luftfe<strong>de</strong>relemente <strong>mit</strong> automatischer<br />
Niveauregelung (PAL)<br />
Nie<strong>de</strong>rfrequente selbstnivellieren<strong>de</strong> Luftfe<strong>de</strong>relemente für Einzeltraglasten<br />
je Fe<strong>de</strong>relement von bis zu 42.000 kg.<br />
Delta-K TM Luftfe<strong>de</strong>r-Systemmodul<br />
Mit diesem Modul erzielen Sie einen höheren Gerätedurchsatz, da es eine<br />
schnelle Messung/Positionierung ermöglicht – je nach <strong>de</strong>m, für welche<br />
Genauigkeit das Gerät ausgelegt ist.<br />
Precision-Aire TM Digitale elektropneumatische Niveauregelung<br />
Der PA-DEL Controller kommt zum Einsatz, wenn eine hohe<br />
Niveauregelgenauigkeit und eine kurze Ausregelzeit <strong>de</strong>s Luftfe<strong>de</strong>rsystems<br />
erfor<strong>de</strong>rlich ist.<br />
RDS (Rapid Deflate System) und SSTTAATTUUSS<br />
Das RDS-Modul ermöglicht einen schnellen Druckabbau im Luftfe<strong>de</strong>rsystem<br />
für die Werkstückbeladung und -entladung. SSTTAATTUUSS gibt eine<br />
Rückmeldung zur Position und stellt auch die Höhe <strong>de</strong>s ausgefe<strong>de</strong>rten<br />
Luftfe<strong>de</strong>rsystems dar.<br />
Precision-Aire TM PLM Luftfe<strong>de</strong>relemente<br />
Robuste, nie<strong>de</strong>rfrequente Elastomer-Luftfe<strong>de</strong>relemente.<br />
Anwendungen<br />
Präzisionswerkzeugmaschinen<br />
Diamantdrehmaschinen und hochpräzise Werkzeugmaschinen.<br />
Messtechnik-/Prüfungsgeräte<br />
Koordinatenmessgeräte, Waferprüfmaschinen sowie hochempfindliche<br />
Prüfmaschinen.<br />
Automobil Prüfstän<strong>de</strong><br />
Anwendungen wie Motorprüfstän<strong>de</strong>, Straßensimulations-Prüfstand,<br />
Shakerprüfstän<strong>de</strong>.<br />
Aerospace Prüfungen<br />
Vakuumkompatible Luftfe<strong>de</strong>risolatoren und <strong>Schwingungsdämpfung</strong> von<br />
Vakuumkammern.<br />
Soft Support System (SSS) für <strong>de</strong>n Ground Vibration Test<br />
Soft Support System (SSS) für <strong>de</strong>n Ground Vibration Test.<br />
MRT / NMR Spektrometergeräte<br />
Schwingungsisolationslösungen für MRT- und NMR-Geräte.<br />
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Einführung<br />
Nie<strong>de</strong>rfrequente Schwingungen und Schocks können Genauigkeit, Wie<strong>de</strong>rholgenauigkeit und Durchsatz von<br />
Präzisionsmessgeräten, Positionier- und Fertigungsmaschinen beeinflussen. Da die Anfor<strong>de</strong>rungen an die Genauigkeit <strong>de</strong>s<br />
fertigen Produktes stetig steigen, verlangen Herstellungs-, Messtechnik-, Engineering- und Forschungseinrichtungen eine<br />
verbesserte dynamische Stabilität. Um eine Reduzierung <strong>de</strong>r aktuellen Schwingungsbelastung zu erreichen, hat sich die<br />
nie<strong>de</strong>rfrequente und ultranie<strong>de</strong>rfrequente Schwingungsisolation hervorragend bewährt. Das Ziel dieser Metho<strong>de</strong> ist eine<br />
verbesserte Fertigungsgenauigkeit. Alternativ kann eine Lösung angeboten wer<strong>de</strong>n, <strong>mit</strong> <strong>de</strong>r man <strong>de</strong>r schwingungsfreien<br />
Umgebung möglichst nahe kommt.<br />
Mechanische Schwingungen und Schocks gibt es in<br />
je<strong>de</strong>r Umgebung. Wie stark ein Gerät durch<br />
Schwingungen o<strong>de</strong>r Schocks beeinträchtigt wird, hängt<br />
von <strong>de</strong>r Stärke <strong>de</strong>r Störung sowie <strong>de</strong>r Empfindlichkeit<br />
<strong>de</strong>s Geräts ab.<br />
Eine Schwingungsanregung von geringer seismischer<br />
Stärke, wie sie überall auf <strong>de</strong>r Welt vorkommt, mag für<br />
Menschen nicht wahrnehmbar sein – die Funktion von<br />
empfindlichen Geräten kann jedoch erheblich<br />
beeinträchtigt wer<strong>de</strong>n. Dazu kommen die alltäglichen<br />
Schwingungen, die von Fahrzeugen, Fußgängerverkehr,<br />
Gabelstaplern, Maschinen sowie Heizungs-, Lüftungsund<br />
Klimatechnik verursacht wer<strong>de</strong>n, wodurch sich <strong>de</strong>r<br />
Kreis <strong>de</strong>r betroffenen Geräte noch vergrößert.<br />
Schwingungen, die von Maschinen o<strong>de</strong>r an<strong>de</strong>ren<br />
Quellen (auch akustisch) erzeugt wer<strong>de</strong>n, können auf<br />
eine tragen<strong>de</strong> Konstruktion, wie zum Beispiel einen<br />
Hallenfußbo<strong>de</strong>n, übertragen wer<strong>de</strong>n und haben so einen<br />
negativen Einfluss auf die Umgebung. Außer<strong>de</strong>m<br />
erzeugen sie eine ungewollte Schwingungsbelastung.<br />
Zu <strong>de</strong>n Geräten und Prozessen, die durch mechanische<br />
Schwingungen beeinträchtigt wer<strong>de</strong>n, gehören<br />
beispielsweise Präzisionswerkzeugmaschinen,<br />
Koordinatenmessmaschinen, Kernspinresonanztomographen<br />
(MRT/NMR), Laborgeräte wie auch<br />
Fertigungsgeräte in <strong>de</strong>r Halbleiterindustrie.<br />
Ziel <strong>de</strong>r Schwingungsisolation ist es, stören<strong>de</strong><br />
Schwingungen zu beherrschen und so die negativen<br />
Auswirkungen in erträglichen Grenzen zu halten. Für<br />
vielfältige Anwendungen wer<strong>de</strong>n Schwingungsisolatoren<br />
entworfen, die vor <strong>de</strong>n Auswirkungen von<br />
Schwingungen und Schocks schützen sollen.<br />
Ist das zu isolieren<strong>de</strong> Gerät selbst die Quelle <strong>de</strong>r<br />
unerwünschten Schwingungen (z. B. Schock- und<br />
Schwingungstestgeräte), wird die Übertragung <strong>de</strong>r<br />
Schwingungen von <strong>de</strong>r Quelle in die Umgebung durch<br />
eine Isolierung reduziert. (Abb. 1)<br />
Ist hingegen das zu isolieren<strong>de</strong> Gerät selbst <strong>de</strong>r<br />
Empfänger stören<strong>de</strong>r Schwingungen (z. B.<br />
Elektronenmikroskope, Koordinatenmessmaschinen),<br />
reduziert eine Isolierung die Umgebungsschwingungen<br />
auf <strong>de</strong>n Empfänger. (Abb. 2)<br />
4<br />
Ein Isolator ist ein elastisches Lager, das ein Objekt von<br />
schädlichen wie auch erzwungenen Schwingungen<br />
entkoppelt. Der größte Vorteil von <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> ist <strong>de</strong>r,<br />
dass sie so ausgelegt wer<strong>de</strong>n können, dass ihre<br />
vertikalen und horizontalen Eigenfrequenzen lediglich<br />
0,4 Hz bis 0,5 Hz betragen. Daher kann eine<br />
Schwingungsisolation bis zu Frequenzen von nur 0,7 Hz<br />
erreicht wer<strong>de</strong>n.<br />
Abb. 1<br />
Ein Straßensimulations-Prüfstand erzeugt Schwingungen<br />
großer Amplitu<strong>de</strong>n und Schocks bei niedrigen Frequenzen,<br />
um Fahrzeuge akustisch auf Quietsch- und Klappergeräusche<br />
zu untersuchen. <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> reduzieren die an die Umgebung<br />
abgegebenen Schwingungen und Schocks.<br />
Abb. 2<br />
Aufgrund <strong>de</strong>r Messgenauigkeit <strong>de</strong>s Geräts reagiert eine<br />
Koordinatenmessmaschine empfindlich auf Schwingungen<br />
und Schocks. <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> bieten nie<strong>de</strong>rfrequente<br />
Schwingungsisolation, um die Umgebungsschwingungen zu<br />
reduzieren.
Technische Beschreibung<br />
Eigenfrequenz<br />
<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> bestehen aus einem Luftvolumen (Luftkammer), das<br />
<strong>mit</strong> einer verstärkten, flexiblen Membrane verschlossen ist. Im<br />
Betriebszustand trägt <strong>de</strong>r Isolator seine Nutzlast unter<br />
Verwendung eines Kolbens, <strong>de</strong>r auf <strong>de</strong>r Membrane aufliegt. (Abb. 3)<br />
Kolben<br />
Membrane<br />
Fe<strong>de</strong>rkammer<br />
V S<br />
Abb. 3<br />
Die Wirkfläche <strong>de</strong>r Membrane und <strong>de</strong>r Druck auf die Membrane<br />
legen die Nutzlast <strong>de</strong>s Isolators fest. Der Druck im Isolator wird<br />
durch ein Niveauregelventil gesteuert, das sowohl <strong>de</strong>n<br />
Innendruck wie auch die ausgefe<strong>de</strong>rte Arbeitshöhe <strong>de</strong>s Isolators<br />
regelt.<br />
Grundsätzlich beinhalten Fabreeka ® Precision Aire <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong><br />
eine zweigeteilte Luftkammer, bestehend aus einer Fe<strong>de</strong>rkammer<br />
und einer Dämpfungskammer. Dämpfungskammer und<br />
Fe<strong>de</strong>rkammer sind räumlich voneinan<strong>de</strong>r getrennt und durch eine<br />
Pneumatikleitung <strong>mit</strong>einan<strong>de</strong>r verbun<strong>de</strong>n (siehe Dämpfung).<br />
Dieser Zweikammer-Aufbau kann verschie<strong>de</strong>nartig gestaltet<br />
wer<strong>de</strong>n, für die Eigenfrequenz <strong>de</strong>s Isolators ist das Volumen (V)<br />
sowie die effektive Wirkfläche <strong>de</strong>r Membrane (A eff)<br />
ausschlaggebend (Gleichung 1). Zu beachten ist, dass <strong>de</strong>r Druck<br />
(P abs) proportional zur Last (m) ist und dadurch eine konstante<br />
Eigenfrequenz beibehalten wird, auch wenn sich die Last än<strong>de</strong>rt.<br />
Hierbei gilt: F n = Eigenfrequenz (Hz)<br />
g = Erdbeschleunigung (m/s 2 )<br />
*Für einen Betriebsdruck größer als 3 bar.<br />
Gleichung 1*<br />
Niveauregelventil<br />
Dämpfungskammer<br />
V D<br />
n = Verhältnis <strong>de</strong>r spezifischen<br />
Wärme von Gas bei konstantem<br />
Druck und konstantem<br />
Volumen (1,4 für Luft)<br />
m = Masse <strong>de</strong>r abgefe<strong>de</strong>rten Last<br />
(kg)<br />
A eff = Wirkfläche <strong>de</strong>r Membrane<br />
(m 2 )<br />
V = Luftvolumen (m 3 )<br />
P abs = absoluter Druck (bar)<br />
Die Steifigkeit von <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> hängt<br />
hauptsächlich vom Druck und <strong>de</strong>m Volumen<br />
einer gegebenen Luftsäule ab. Die Steifigkeit<br />
einer Luftfe<strong>de</strong>r kann man von <strong>de</strong>r Druck-<br />
Volumen-Beziehung <strong>de</strong>r Gasgesetze ableiten,<br />
ausgehend von:<br />
(a) Adiabatische Kompression<br />
(b) Volumenän<strong>de</strong>rung im Vergleich zum<br />
ursprünglichen Volumen gering<br />
Daraus ergibt sich:<br />
Gleichung 2<br />
Hierbei gilt:<br />
C = Steifigkeit (N/m)<br />
n = Verhältnis <strong>de</strong>r spezifischen<br />
Wärme von Gas (n = 1,0 für<br />
Luft bei niedrigen Frequenzen<br />
unter 1 Hz)<br />
Pabs = Absolutdruck <strong>de</strong>r Luftsäule (bar)<br />
Aeff = Wirkfläche <strong>de</strong>r Membrane (m2 )<br />
Dieser Ausdruck zeigt, dass das Verhalten einer<br />
Masse, die auf einer ungedämpften Luftfe<strong>de</strong>r<br />
gelagert wird, vom Luftvolumen und <strong>de</strong>r<br />
Wirkfläche <strong>de</strong>r Membrane abhängt.<br />
Auch wenn eine dünne, flexible Membrane<br />
verwen<strong>de</strong>t wird, ist zu beachten, dass das<br />
Elastomermaterial <strong>de</strong>r Membrane bei niedrigen<br />
Betriebsdrücken <strong>de</strong>r <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> einen Anstieg <strong>de</strong>r<br />
Gesamtsteifigkeit verursacht. Diese zusätzliche<br />
Steifigkeit hat Auswirkungen auf das dynamische<br />
Gesamtverhalten <strong>de</strong>s Isolators. Um diesen<br />
relativen Anstieg <strong>de</strong>r Steifigkeit zu reduzieren,<br />
sollte <strong>de</strong>r Betriebsdruck einer Luftfe<strong>de</strong>r immer<br />
höher als 3 bar sein. Die Ventilsteifigkeit kann<br />
die Gesamtsteifigkeit eines Luftfe<strong>de</strong>relements<br />
ebenfalls beeinflussen.<br />
5
Dämpfung<br />
Das Ziel <strong>de</strong>r Dämpfung in einem Isolator ist es, Energie<br />
so schnell wie möglich abzubauen o<strong>de</strong>r abzuleiten. Ein<br />
weiterer Vorteil <strong>de</strong>r Dämpfung ist die Verringerung <strong>de</strong>r<br />
Schwingungsamplitu<strong>de</strong>n bei Resonanz. Resonanz tritt<br />
dann auf, wenn die Eigenfrequenz <strong>de</strong>s Isolators <strong>mit</strong> <strong>de</strong>r<br />
Anregungsfrequenz übereinstimmt.<br />
Der i<strong>de</strong>ale Isolator hat in seinem Isolationsbereich so<br />
wenig Dämpfung wie möglich und bei seiner<br />
Eigenfrequenz so viel Dämpfung wie möglich, um eine<br />
Verstärkung bei Resonanz zu verringern. Dämpfung<br />
kann jedoch auch die Wirkung <strong>de</strong>r Isolation min<strong>de</strong>rn.<br />
(Abb. 5)<br />
Für die vertikale Dämpfung eines Systems wird eine<br />
Dämpfungskammer über eine Pneumatikleitung <strong>mit</strong> <strong>de</strong>r<br />
Fe<strong>de</strong>rkammer verbun<strong>de</strong>n. Eine Aussage für die<br />
Dämpfung erhält man, in<strong>de</strong>m man die Größe <strong>de</strong>r<br />
Energieumwandlung untersucht, die beim Strömen <strong>de</strong>r<br />
Luft zwischen <strong>de</strong>n Kammern auftritt. Dieser Ausdruck<br />
ist von <strong>de</strong>r Leitung und <strong>de</strong>m Volumenverhältnis<br />
zwischen <strong>de</strong>r Fe<strong>de</strong>r- und <strong>de</strong>r Dämpfungskammer<br />
abhängig.<br />
Abb. 4<br />
Einstellbare<br />
Dämpfung<br />
Die Systemdämpfung muss sorgfältig untersucht<br />
wer<strong>de</strong>n, um die effektivste Isolierung zu erreichen, die<br />
möglich ist. Für Luftfe<strong>de</strong>r-Masse-Systeme ist die<br />
Dämpfung unerlässlich, um die nach einer Anregung<br />
ausgelösten Schwingungen, wie die Bewegungen einer<br />
Bühne o<strong>de</strong>r einer Brücke, abklingen zu lassen, o<strong>de</strong>r die<br />
Amplitu<strong>de</strong> einer Störschwingung bei <strong>de</strong>r Eigenfrequenz<br />
<strong>de</strong>s Isolators zu begrenzen. Für ein bestimmtes<br />
Volumenverhältnis wer<strong>de</strong>n Länge und Durchmesser <strong>de</strong>s<br />
Dämpfungsschlauchs ausgewählt, um eine laminare<br />
Charakteristik im Dämpfer zu erzeugen. Länge und<br />
Durchmesser <strong>de</strong>r Leitung wer<strong>de</strong>n so gewählt, dass im<br />
Dämpfer eine laminare Strömung erzeugt wird. Dieser<br />
Aufbau ermöglicht einen großen Bereich an<br />
6<br />
Dämpfungsfaktoren, die für unterschiedliche<br />
Anwendungen genutzt wer<strong>de</strong>n können. Die Dämpfung<br />
ist dann optimal, wenn <strong>de</strong>r Luftstrom in <strong>de</strong>r Leitung<br />
sowohl im Fall großer als auch kleiner Störungen<br />
laminar ist.<br />
Übertragungsfunktion<br />
Die Eigenfrequenz (dynamische Steifigkeit) und die<br />
Dämpfungseigenschaften eines Isolators bestimmen die<br />
Übertragungsfunktion <strong>de</strong>s Isolators.<br />
Das Verhältnis <strong>de</strong>r nach <strong>de</strong>r Isolierung übertragenen<br />
Schwingung zur Störschwingung wird als<br />
„Übertragungsfunktion“ bezeichnet und wird in seiner<br />
Grundform in Gleichung 3 angegeben, wobei F d die<br />
Störfrequenz <strong>de</strong>r Schwingung ist und F n die<br />
Eigenfrequenz <strong>de</strong>s Isolators.<br />
Gleichung 3<br />
Berücksichtigt man die Dämpfung, än<strong>de</strong>rt sich die<br />
Gleichung (Gleichung 4), wobei ξ die Dämpfung <strong>de</strong>s<br />
Isolators darstellt.<br />
Gleichung 4<br />
Das Maximum <strong>de</strong>r Übertragungsfunktion <strong>de</strong>s Isolators<br />
tritt auf, wenn bei Resonanz das Verhältnis <strong>de</strong>r<br />
Störfrequenz zur Eigenfrequenz 1 entspricht (F d / F n = 1).<br />
Gleichung 5 zeigt die Übertragungsfunktion bei<br />
Resonanz. Zu beachten ist, dass die Größe <strong>de</strong>r<br />
Verstärkung <strong>de</strong>s Isolators bei Resonanz eine Funktion<br />
<strong>de</strong>r Dämpfung <strong>de</strong>s Isolators ist.<br />
Gleichung 5<br />
Abbildung 5 zeigt die grafische Darstellung <strong>de</strong>r<br />
Übertragungsfunktion eines Isolators als Funktion <strong>de</strong>s<br />
Frequenzverhältnisses. Verschie<strong>de</strong>ne Prozentsätze <strong>de</strong>r<br />
kritischen Dämpfung wer<strong>de</strong>n dargestellt, um die<br />
Wirkung <strong>de</strong>r Dämpfung im Isolationsbereich und im<br />
Verstärkungsbereich zu zeigen, einschließlich <strong>de</strong>r<br />
maximalen Verstärkung bei Resonanz.
Bei Frequenzen größer als 1,4142 mal <strong>de</strong>r Eigenfrequenz <strong>de</strong>s<br />
Isolators setzt die Isolation (Reduzierung <strong>de</strong>r Übertragungsfunktion)<br />
ein. Die Isolierwirkung verbessert sich <strong>mit</strong><br />
steigen<strong>de</strong>m Frequenzverhältnis. Der größte Vorteil einer<br />
Luftfe<strong>de</strong>r ist seine niedrige Eigenfrequenz und die sich daraus<br />
ergeben<strong>de</strong> Übertragungsfunktion bei niedrigen Frequenzen.<br />
Eine Verringerung von 80 % bis 90 % können unter 10 Hz<br />
selbst bei hoher Dämpfung erreicht wer<strong>de</strong>n.<br />
Es ist zu beachten, dass bei Erhöhung <strong>de</strong>r Dämpfung <strong>de</strong>r<br />
Verlauf <strong>de</strong>r Übertragungsfunktion insgesamt flacher wird, so<br />
dass im Bereich <strong>de</strong>r Resonanz (Frequenzverhältnis = 1,0) die<br />
Resonanzverstärkung zwar abnimmt, im Isolationsbereich<br />
(Frequenzverhältnis > 1) jedoch Isolierwirkung verloren geht.<br />
Die Kurven zeigen, dass für eine signifikante Dämpfung in<br />
einem Isolator <strong>de</strong>ssen Eigenfrequenz reduziert wer<strong>de</strong>n muss,<br />
um <strong>de</strong>n erfor<strong>de</strong>rlichen Isolationsgrad im gewünschten<br />
Frequenzband zu erhalten.<br />
Abb. 5<br />
Übertragungsfunktion zu Frequenzverhältnis<br />
Übertragungsfunktion<br />
Frequenzverhältnis<br />
Verstärkungsbereich<br />
Isolationsbereich<br />
Theoretische (berechnete) Übertragungsfunktionskurven<br />
berücksichtigen nicht <strong>de</strong>n Einfluss <strong>de</strong>r Schwingungsamplitu<strong>de</strong> <strong>de</strong>r<br />
Störfrequenzen (F d) an. Alle Schwingungsdämpfer, einschließlich<br />
<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong>, besitzen unterschiedliche dynamische Eigenfrequenzen<br />
resultierend aus <strong>de</strong>n Störamplitu<strong>de</strong>n. Bei sehr kleinen<br />
Schwingungsamplitu<strong>de</strong>n können sich Isolatoren relativ “steifer”<br />
verhalten und <strong>de</strong>shalb eine etwas höhere Eigenfrequenz haben. Bei<br />
größeren Anregungsamplitu<strong>de</strong>n folgt das Verhalten von Isolatoren<br />
ihrer theoretischen Übertragungsfunktion recht genau.<br />
Gemessene Übertragungsfunktionen sollten <strong>de</strong>shalb stets die<br />
Eingangsamplitu<strong>de</strong> <strong>de</strong>r Schwingung, die bei <strong>de</strong>r Messung verwen<strong>de</strong>t<br />
wird, aufzeigen.<br />
Anwendung<br />
Vor <strong>de</strong>r endgültigen Auswahl eines Luftfe<strong>de</strong>rsystems<br />
durch Analyse o<strong>de</strong>r Test sollte das gelagerte<br />
Gerät inklusive Befestigungs- und Tragkonstruktion<br />
für eine korrekte Auslegung dynamisch untersucht<br />
wer<strong>de</strong>n. Eine geringe strukturelle Steifigkeit kann<br />
die Isolationseffizienz eines Systems beeinträchtigen.<br />
Die Befestigungsstruktur eines Testobjekts<br />
kann als Fe<strong>de</strong>r angesehen wer<strong>de</strong>n, da ihre<br />
Steifigkeit berechnet o<strong>de</strong>r <strong>mit</strong> einem Test bestimmt<br />
wer<strong>de</strong>n kann. Wenn die Stützkonstruktion <strong>de</strong>r<br />
Traglast zu „weich“ ist und sich bei niedrigen<br />
Frequenzen nahe <strong>de</strong>r Eigenfrequenz <strong>de</strong>s<br />
Isolationssystems verbiegt o<strong>de</strong>r verdreht, reduziert<br />
dies die Isolationseffizienz <strong>de</strong>s Systems.<br />
Um sicherzustellen, dass <strong>de</strong>r Isolator wie gewünscht<br />
funktioniert, hat sich <strong>de</strong>r Einsatz einer Unterkonstruktion<br />
bewährt, <strong>de</strong>ren dynamische Steifigkeit<br />
(je nach Anwendung) min<strong>de</strong>stens 10-20 Mal so<br />
hoch ist wie die <strong>de</strong>s Isolators. Je<strong>de</strong> Stützkonstruktion<br />
(Rahmen, Unterbau, seismische Trägheitsmasse)<br />
hat seine eigene Masse und Steifigkeit. Auch<br />
Stützkonstruktionen haben viele Eigenfrequenzen,<br />
bei <strong>de</strong>nen sie schwingen o<strong>de</strong>r <strong>mit</strong>schwingen. Diese<br />
Frequenzen wer<strong>de</strong>n Strukturresonanzen genannt.<br />
Sie ergeben sich als Funktion <strong>de</strong>r Form, Anordnung<br />
und Material <strong>de</strong>r Konstruktion.<br />
Wie die Übertragungsfunktionskurve gezeigt hat,<br />
ist es beim Einsatz von <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> möglich, eine 80-<br />
90 %ige Isolation bei Frequenzen über 10 Hz zu<br />
erreichen. Ist die Steifigkeit <strong>de</strong>r Unterkonstruktion<br />
also min<strong>de</strong>stens 10 Mal größer als die<br />
Eigenfrequenz <strong>de</strong>s Isolators führt dies zu einer<br />
erheblichen Min<strong>de</strong>rung <strong>de</strong>r Schwingungsübertragung<br />
im Bereich <strong>de</strong>r Strukturresonanz. Das<br />
ist beson<strong>de</strong>rs wichtig bei Unterkonstruktion aus<br />
Stahl o<strong>de</strong>r Aluminium. Da diese Metalle eine sehr<br />
geringe Eigendämpfung aufweisen, wenn sie in<br />
ihrer strukturellen Eigenfrequenz angeregt wer<strong>de</strong>n,<br />
ist die Verstärkung im Resonanzfall hoch. (Abb. 6)<br />
7
Übertragungsfunktion<br />
Wenn Strukturresonanzen nicht akzeptabel sind,<br />
besteht eine gute Lösung darin, die<br />
Stützkonstruktion <strong>mit</strong> einer Dämpfung zu versehen,<br />
welche die Verstärkung bei Strukturresonanz<br />
verringert. Auch eine Versteifung <strong>de</strong>r Konstruktion<br />
kann hilfreich sein, da höhere strukturelle<br />
Eigenfrequenzen die Gesamtleistung <strong>de</strong>s Systems<br />
nicht beeinträchtigen.<br />
Ein zweites Kriterium für eine korrekte Auslegung<br />
eines Luftfe<strong>de</strong>rsystems ist die Lage/Positionierung <strong>de</strong>s<br />
Isolators. Bei <strong>de</strong>r Konstruktion sollte die Fe<strong>de</strong>rebene<br />
<strong>de</strong>r Isolatoren i<strong>de</strong>alerweise in <strong>de</strong>r gleichen Ebene wie<br />
<strong>de</strong>r Gesamtschwerpunkt <strong>de</strong>s Testobjekts und seiner<br />
Unterkonstruktion liegen. Auf diese Weise wirken<br />
sich nur die translativen Modi (horizontale und<br />
vertikale) <strong>de</strong>s Isolators aus. Da sich alle Isolatoren in<br />
allen sechs Achsen frei bewegen können<br />
(translational und rotierend), wer<strong>de</strong>n Rotationsmodi<br />
<strong>mit</strong> berücksichtigt, wenn die Isolatoren unterhalb <strong>de</strong>s<br />
Schwerpunkts liegen. (Abb. 6)<br />
Wenn eine Last ausschließlich vertikal schwingt, ist<br />
<strong>de</strong>r Verlauf <strong>de</strong>r Übertragungsfunktion <strong>de</strong>r<br />
theoretischen Kurve aus Abbildung 5 sehr ähnlich.<br />
Zusätzlich zu linearen Schwingungen wer<strong>de</strong>n Drehbzw.<br />
Kippschwingungen erzeugt, wenn eine Last<br />
horizontal schwingt und <strong>de</strong>r Gesamtschwerpunkt<br />
oberhalb <strong>de</strong>r elastischen Ebene <strong>de</strong>r Isolatoren liegt.<br />
Nicht akzeptablen Dreh- bzw. Kippschwingungen<br />
kann man entgegenwirken, in<strong>de</strong>m die Lage <strong>de</strong>s Isolators so<br />
geän<strong>de</strong>rt wird, dass die Rotationsschwingungsmodi <strong>mit</strong> <strong>de</strong>n<br />
Translationsschwingungsmodi gekoppelt wer<strong>de</strong>n.<br />
8<br />
Frequenz Hz<br />
Abb. 6<br />
Die Übertragungsfunktionskurve zeigt die Translations- und Rotationsfrequenzen<br />
<strong>de</strong>s Isolators, sowie das Schwingungsspektrum (Resonanzen) <strong>de</strong>s<br />
Fundaments/Maschinenunterbaus über 80 Hz.<br />
Wenn <strong>de</strong>r Schwerpunkt zu weit über <strong>de</strong>r<br />
elastischen Ebene <strong>de</strong>s Isolators liegt, kann<br />
es zu Instabilität kommen. Die Lage von<br />
<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> muss <strong>de</strong>n Anfor<strong>de</strong>rungen eines<br />
stabilen Systems genügen. Diese<br />
Anfor<strong>de</strong>rung wird durch die Positionierung<br />
<strong>de</strong>s Isolators innerhalb <strong>de</strong>r Grenzen <strong>de</strong>r<br />
Konstruktionsrichtlinien für ein stabiles<br />
System erfüllt. (Abb. 7)<br />
Es entspricht <strong>de</strong>m Industriestandard,<br />
Gera<strong>de</strong>n zu ziehen, welche die Mittellinien<br />
<strong>de</strong>r Isolatoren verbin<strong>de</strong>n. Hierdurch<br />
entsteht eine Fläche, die elastische Ebene<br />
<strong>de</strong>s Isolationssystems. Auf dieser Ebene als<br />
Grundfläche wird ein Tetrae<strong>de</strong>r konstruiert,<br />
<strong>de</strong>ssen Höhe 1/3 <strong>de</strong>r kürzesten Länge<br />
einer Grundseite entspricht. Wenn die<br />
Projektion <strong>de</strong>s Massenschwerpunktes auf<br />
dieser Ebene innerhalb <strong>de</strong>s Dreiecks liegt,<br />
sollte das System stabil sein und optimale<br />
Isolations- und Dämpfungseigenschaften<br />
besitzen.<br />
Anmerkung: Die relative Lage beziehungsweise <strong>de</strong>r<br />
Abstand <strong>de</strong>r Isolatoren zueinan<strong>de</strong>r in sämtlichen<br />
Rotationsachsen ist <strong>de</strong>r wichtigste Konstruktionsgesichtspunkt<br />
für ein stabiles System. Ein weiterer<br />
entschei<strong>de</strong>n<strong>de</strong>r Faktor für Stabilität ist die Konstruktion<br />
<strong>de</strong>s Isolators. Die Dämpfungsrate, das effektive<br />
Volumen und <strong>de</strong>r Ventildurchfluss sind mögliche<br />
Variablen. Fabreeka ® Ingenieure geben Ihnen<br />
kompetente Empfehlungen für Ihren Anwendungsfall.<br />
Abb. 7<br />
Wenn <strong>de</strong>r Schwerpunkt außerhalb <strong>de</strong>s Dreiecks liegt, wird das<br />
System für Stabilitätsprobleme anfällig sein. In manchen Fällen<br />
besteht die Möglichkeit, die Eigenschaften <strong>de</strong>r Isolatoren vor Ort zu<br />
verän<strong>de</strong>rn, in<strong>de</strong>m man zusätzliche Dämpfung o<strong>de</strong>r Niveauregelventile<br />
<strong>mit</strong> geringerer Regelkreisverstärkung verwen<strong>de</strong>t. Eine zusätzliche<br />
Dämpfung wird jedoch die Steifigkeit <strong>de</strong>s Systems etwas erhöhen<br />
und dadurch auch die vertikale Eigenfrequenz <strong>de</strong>r Isolatoren.
Design Service<br />
Schwingungsmessung & Analyse<br />
Nie<strong>de</strong>rfrequente Schwingungen und starke Schocks<br />
können Genauigkeit, Wie<strong>de</strong>rholgenauigkeit und<br />
Durchsatz von Präzisionsmaschinen und -geräten<br />
beeinflussen. Die meisten Hersteller von<br />
Präzisionswerkzeugmaschinen und<br />
Koordinatenmessmaschinen haben zulässige<br />
Schwingungsspezifikationen für ihre Maschinen<br />
festgelegt. Zur Messung <strong>de</strong>r Schwingungsamplitu<strong>de</strong><br />
und -frequenz setzt Fabreeka ® hochpräzise<br />
Messinstrumente ein, um geeignete Empfehlungen für<br />
die Schwingungsisolation zu geben.<br />
Unsere Ingenieure führen weltweit regelmäßig<br />
Schwingungsanalysen durch, wobei die Anfor<strong>de</strong>rungen<br />
an die Messungen von Fall zu Fall sehr unterschiedlich<br />
sein können.<br />
Abbildung 8 (oben rechts): Die Software für<br />
Schwingungsmessung zeichnet Amplitu<strong>de</strong>n- und<br />
Frequenzdaten für die Analyse auf. Je<strong>de</strong> Nie<strong>de</strong>rlassung<br />
von Fabreeka ® führt weltweit Schwingungsmessungen<br />
bei Ihnen vor Ort durch.<br />
Abbildung 9 (Mitte rechts): Ein Vergleich <strong>de</strong>r vor Ort<br />
gegebenen Schwingungsamplitu<strong>de</strong>n <strong>mit</strong> <strong>de</strong>n<br />
Herstellerspezifikationen zeigt <strong>de</strong>n erfor<strong>de</strong>rlichen<br />
Isoliergrad bei <strong>de</strong>n Frequenzen, bei <strong>de</strong>nen die<br />
gemessenen Schwingungsamplitu<strong>de</strong>n über <strong>de</strong>n<br />
Schwingungswerten liegen, die für das Gerät zulässig<br />
sind.<br />
Abbildung 10 (unten rechts): Unsere Ingenieure führen<br />
auch Abnahmemessungen <strong>de</strong>s Dämpfungssystems nach<br />
<strong>de</strong>r Installation durch. Die Abnahmemessungen<br />
belegen, wie die Schwingungsamplitu<strong>de</strong>n nach<br />
Installation <strong>de</strong>r Isolationssysteme aussehen.<br />
Abb. 8<br />
Abb. 9<br />
Abb. 10<br />
9
Dynamische Analyse und Finite-Elemente-Berechnung<br />
Wie in <strong>de</strong>r technischen Beschreibung (Seite 7)<br />
bereits erwähnt, ist die Betrachtung <strong>de</strong>s<br />
dynamischen Verhaltens einer Tragkonstruktion<br />
ein wichtiger Teil <strong>de</strong>r Isolationslösung für das<br />
Gesamtsystem.<br />
Die Untersuchung <strong>de</strong>r Schwingungsformen in<br />
einem schwingen<strong>de</strong>n System ist wichtig, um das<br />
Schwingungsverhalten an wichtigen Stellen <strong>de</strong>s<br />
Systems richtig einstellen zu können, in<strong>de</strong>m man<br />
Steifigkeit, Masse o<strong>de</strong>r Dämpfung variiert.<br />
Eine Finite-Elemente-Berechnung <strong>de</strong>finiert und<br />
mo<strong>de</strong>lliert die Schwingungsformen und<br />
Schwingfrequenzen eines angeregten Systems.<br />
Auch beschreibt sie die Wirkung eines<br />
Isolationssystems auf maschinen- o<strong>de</strong>r<br />
umweltinduzierte Schwingungsbelastungen.<br />
Schwingungsformen (dynamische Steifigkeit in<br />
je<strong>de</strong>r Raumrichtung) i<strong>de</strong>ntifizieren die<br />
physikalische Richtung je<strong>de</strong>s Frequenzanteils und<br />
je<strong>de</strong>r Verformung, wie Verbiegung o<strong>de</strong>r<br />
Verwindung. Grundsätzlich betrachtet zeigen die<br />
Schwingungsformen einer Konstruktion <strong>de</strong>n Grad<br />
<strong>de</strong>r relativen Steifigkeit an zwischen verschie<strong>de</strong>nen<br />
Punkten dieser Konstruktion. (Abb. 11)<br />
Die vorgeschlagene Konstruktion eines<br />
Fundaments o<strong>de</strong>r einer Tragkonstruktion muss<br />
einen strukturellen Aufbau haben, <strong>de</strong>r auch <strong>de</strong>n<br />
statischen und dynamischen Anfor<strong>de</strong>rungen an<br />
diese Konstruktion genügt. Verformungen unter<br />
statischen Lasten o<strong>de</strong>r durch dynamische<br />
Kräfte/Einwirkungen müssen innerhalb zulässiger<br />
Grenzen bleiben.<br />
10<br />
Diese konstruktive Vorgehensweise erfor<strong>de</strong>rt eine Mo<strong>de</strong>llbildung,<br />
die eine Vorhersage <strong>de</strong>s späteren Schwingungsverhaltens <strong>de</strong>r<br />
Stützkonstruktion erlaubt und dadurch weitgehend Fehler<br />
vermei<strong>de</strong>t.<br />
Die Steifigkeitsberechnungen einer Tragkonstruktion ergeben das<br />
statische und dynamische Verhalten sowie die Punkte, an <strong>de</strong>nen<br />
Spannungskonzentrationen auftreten. Spannungen hängen von<br />
<strong>de</strong>r Geometrie <strong>de</strong>r Stützkonstruktion sowie von <strong>de</strong>r Verteilung<br />
<strong>de</strong>r Lasten und Kräfte ab, die auf sie einwirken. Eine<br />
Festigkeitsanalyse zeigt die Größe <strong>de</strong>r Spannungen, die statische<br />
und dynamische Lasten bewirken. (Abb. 12)<br />
Von-Mises Kontur-Spannungs-Diagramm<br />
Abb. 12<br />
Festigkeitsanalyse eines Stahl-Tragrahmens für ein Elektronenmikroskop.<br />
Außer<strong>de</strong>m wird <strong>de</strong>r Rahmen auch dynamisch auf Schwingungsformen<br />
(Resonanzen) untersucht.<br />
Modus 7: 69.58533 Hz Modus 8: 73.43653 Hz<br />
Modus 9: 99.11916 Hz<br />
Abb. 11<br />
Die ersten drei Schwingungsformen eines Schwingungsfundaments aus Beton für ein MRT-Gerät.
Produkte<br />
Precision-Aire TM Luftfe<strong>de</strong>relemente<br />
<strong>mit</strong> automatischer Niveauregelung (PAL)<br />
Luftfe<strong>de</strong>relemente <strong>de</strong>r PAL-Serie bieten überlegene<br />
nie<strong>de</strong>rfrequente Schwingungsisolierung für<br />
messtechnische Geräte, Elektronenmikroskope, MRT-<br />
Geräte, Koordinatenmessmaschinen und<br />
Präzisionsfertigungsmaschinen.<br />
Precision-Aire TM Leveling PAL-Luftfe<strong>de</strong>rsysteme von<br />
Fabreeka ® verwen<strong>de</strong>n niveaugeregelte <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong>.<br />
Diese Isolatoren sind optimal für Bedingungen geeignet,<br />
bei <strong>de</strong>nen Niveaukonstanz und Schwingungsisolierung<br />
gleichzeitig gegeben sein müssen. Die PAL-Isolatoren<br />
von Fabreeka ® erfüllen alle entschei<strong>de</strong>n<strong>de</strong>n<br />
Anfor<strong>de</strong>rungen von messtechnischen Geräten,<br />
Elektronenmikroskopen, Messarbeitsplätzen und<br />
Präzisionsfertigungsmaschinen.<br />
Beschreibung <strong>de</strong>r PAL-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong><br />
Die Standard-PAL-Isolatoren von Fabreeka ® haben eine<br />
Eigenfrequenz herab zu 1,7 Hz abhängig von <strong>de</strong>r<br />
Isolatorhöhe. Bei kun<strong>de</strong>nspezifisch hergestellten<br />
Isolatoren sind sogar noch niedrigere Eigenfrequenzen<br />
(bis 0,5 Hz) möglich.<br />
Ein komplettes PAL-System von Fabreeka ® besteht aus<br />
min<strong>de</strong>stens drei Hauptisolatoren (Master) für eine 3-<br />
Punkt-Niveauregelung. Je<strong>de</strong>r Isolator verfügt über ein<br />
eingebautes Niveauregelventil, das als Lastfühler und<br />
Höhenregler fungiert. Um das Gesamtgewicht <strong>de</strong>s<br />
Gerätes zu tragen, können beliebig viele<br />
Zusatzisolatoren (Slave) hinzugefügt wer<strong>de</strong>n.<br />
Der Lieferumfang eines Systems beinhaltet eine<br />
Kontrolleinheit, automatische Niveauregelventile,<br />
Pneumatikleitungen und sämtliches weiteres<br />
pneumatisches Zubehör, das für eine vollständige<br />
Systeminstallation notwendig ist.<br />
Maschinengestell einer Koordinatenmessmaschine <strong>mit</strong> eingebauten<br />
PAL-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong>.<br />
Funktion <strong>de</strong>r PAL-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong><br />
PAL-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> reagieren schnell auf Last- und<br />
Schwerpunktwechsel, Abweichungen aus einer einmal<br />
voreingestellten Position wer<strong>de</strong>n automatisch<br />
nachgeregelt.<br />
Die Leistung eines Luftfe<strong>de</strong>rsystems ist immer ein<br />
Kompromiss zwischen Eigenfrequenz (Isolation),<br />
Rückstellgenauigkeit <strong>de</strong>s Niveauregelventils und<br />
Ausregelzeit.<br />
Die Ausregelzeit wird <strong>de</strong>finiert als die Zeit, die das<br />
Isolationssystem benötigt, um eine voreingestellte<br />
Führungsgröße nach einer <strong>de</strong>finierten Störung wie<strong>de</strong>r<br />
zu erreichen. Die Störung kann durch<br />
Umwelteinwirkungen o<strong>de</strong>r maschineneigene Kräfte<br />
verursacht wer<strong>de</strong>n. Dies ist beispielsweise <strong>de</strong>r Fall, wenn<br />
sich die Messbrücke einer Messmaschine bewegt.<br />
Die Ausregelzeit wird minimal bei optimaler Dämpfung<br />
und entsprechen<strong>de</strong>m Ventildurchfluss. Lange<br />
Ausregelzeiten <strong>mit</strong> <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> sind nicht akzeptabel, da<br />
dies bei Präzisionsmessgeräten und<br />
Positioniermaschinen zu Fehlern in <strong>de</strong>r<br />
Wie<strong>de</strong>rholgenauigkeit sowie zu Einbußen beim<br />
Teiledurchsatz führen kann.<br />
Je nach Anwendungsfall bietet Fabreeka ® viele<br />
verschie<strong>de</strong>ne Niveauregelventile an. Die entschei<strong>de</strong>n<strong>de</strong>n<br />
Variablen in <strong>de</strong>r Auslegung einer akzeptablen Lösung<br />
sind Ventildurchfluss, Steifigkeits- und<br />
Genauigkeitsmerkmale. Rückstellgenauigkeiten von<br />
+/− 0,15 mm o<strong>de</strong>r +/− 0,025 mm sind verfügbar.<br />
Ventildurchfluss und -steifigkeit wer<strong>de</strong>n anhand <strong>de</strong>s<br />
Luftfe<strong>de</strong>r<strong>de</strong>signs und <strong>de</strong>r Dämpfung gewählt.<br />
11
Isolationseigenschaften/-spezifikationen Maße <strong>de</strong>s Isolators*<br />
Eigenfrequenz (−6) (−12)<br />
Vertikal 2,5 − 2,7 Hz 1,5 − 1,7 Hz<br />
Horizontal 2,0 − 4,5 Hz 2,0 − 4,5 Hz<br />
Dämpfung<br />
Vertikal (einstellbar) 6% − 20% 6% − 20%<br />
Horizontal 5% − 6% 5% − 6%<br />
12<br />
H H Max. Traglast 1<br />
Typ D1 D2 Drucklos Max. Hub L kg<br />
PAL 18-6 165 mm 152 mm 153 mm 160 mm 234 mm 800<br />
PAL 21-6 200 mm 150 mm 153 mm 163 mm 270 mm 950<br />
PAL 21-12 200 mm 200 mm 305 mm 315 mm 270 mm 950<br />
PAL 36-6 220 mm 190 mm 153 mm 163 mm 290 mm 1.630<br />
PAL 55-6 260 mm 230 mm 153 mm 163 mm 330 mm 2.500<br />
PAL 55-12 260 mm 260 mm 305 mm 315 mm 330 mm 2.500<br />
PAL 75-6 300 mm 265 mm 153 mm 163 mm 370 mm 3.400<br />
PAL 133-6 380 mm 350 mm 153 mm 163 mm 450 mm 6.030<br />
PAL 133-12 380 mm 380 mm 305 mm 315 mm 450 mm 6.030<br />
PAL 255-6 530 mm 470 mm 153 mm 165 mm 600 mm 11.560<br />
PAL 255-12 530 mm 460 mm 305 mm 317 mm 600 mm 11.560<br />
PAL 416-8 640 mm 585 mm 203 mm 215 mm 710 mm 18.200<br />
PAL 1000-6 950 mm 910 mm 153 mm 178 mm 1020 mm 42.000<br />
PAL 1000-18 914 mm 914 mm 450 mm 475 mm 990 mm 42.000<br />
1 Bei einem maximalen Betriebsdruck von 7 bar<br />
*Än<strong>de</strong>rungen <strong>de</strong>r Maße vorbehalten.
Isolationseigenschaften/-spezifikationen<br />
Pen<strong>de</strong>l<br />
Eigenfrequenz (−15/−19) (−36) (−52/−60)<br />
Vertikal 1,3 − 1,5 Hz 0,9 − 1,0 Hz 0,7 − 0,9 Hz<br />
Horizontal 1,3 − 1,5 Hz 0,6 − 0,7 Hz 0,4 − 0,5 Hz<br />
Dämpfung<br />
Vertikal 6% − 20% 6% − 20% 6% − 20%<br />
(einstellbar)<br />
Horizontal 3% − 6% 3% − 6% 3% − 6%<br />
(einstellbar)<br />
Pen<strong>de</strong>lluftfe<strong>de</strong>rn<br />
1 Bei einem maximalen Betriebsdruck von 7 bar<br />
Maße <strong>de</strong>r <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong>*<br />
*Än<strong>de</strong>rungen <strong>de</strong>r Maße vorbehalten.<br />
H H Max. Traglast 1<br />
Typ D1 D2 Drucklos Max. Hub L kg<br />
PAL 21-15P 200 mm 279 mm 381 mm 391 mm N/A 950<br />
PAL 55-15P 260 mm 470 mm 381 mm 391 mm 603 mm 2.500<br />
PAL 55-52P 260 mm 470 mm 1321 mm 1331mm 603 mm 2.500<br />
PAL 75-19P 295 mm 378 mm 483 mm 493 mm N/A 3.400<br />
PAL 133-36P 380 mm 622 mm 914 mm 924 mm 800 mm 6.030<br />
PAL 133-60P 380 mm 622 mm 1524 mm 1534 mm 800 mm 6.030<br />
PAL 255-36P 530 mm 775 mm 914 mm 926 mm 953 mm 11.560<br />
PAL 255-60P 530 mm 775 mm 1524 mm 1536 mm 953 mm 11.560<br />
PAL 416-36P 640 mm 927 mm 914 mm 926 mm 1143 mm 18.870<br />
PAL 416-60P 640 mm 927 mm 1524 mm 1536 mm 1143 mm 18.870<br />
Speziell konstruierte Membranen können eingesetzt<br />
wer<strong>de</strong>n, um die horizontale Eigenfrequenz eines Isolators<br />
auf 1,5 Hz zu verringern. Alternativ können <strong>mit</strong> Hilfe von<br />
Pen<strong>de</strong>ln Eigenfrequenzen von nur 0,4 Hz. erreicht wer<strong>de</strong>n.<br />
Die Eigenfrequenz von Pen<strong>de</strong>ln ist in Gleichung 6<br />
dargestellt. L entspricht <strong>de</strong>r Länge <strong>de</strong>s Pen<strong>de</strong>ls.<br />
Gleichung 6<br />
In <strong>de</strong>r Abbildung rechts sieht man PAL 133-36P <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong>, auf<br />
<strong>de</strong>nen eine 36.000 kg schwere Reaktionsmasse für die<br />
Satellitenprüfung gelagert ist. Die vertikalen und horizontalen<br />
Eigenfrequenzen sind 0,7 Hz und 0,5 Hz.<br />
13
Son<strong>de</strong>ranfertigungen/OEM-Isolatoren<br />
<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> für OEM-Anwendungen o<strong>de</strong>r Son<strong>de</strong>ranwendungen sind<br />
verfügbar und lassen sich einfach in bestehen<strong>de</strong><br />
Maschinenkonstruktionen integrieren. Für Reinraumeinsätze wird die<br />
Abluft <strong>de</strong>r Niveauregelventile abgeleitet und die Isolatoren wer<strong>de</strong>n aus<br />
reinraumverträglichen Materialen hergestellt, danach gereinigt und<br />
verpackt. Außer<strong>de</strong>m können zur Herstellung von Lufe<strong>de</strong>rn auch nichtmagnetische<br />
Materialen verwen<strong>de</strong>t wer<strong>de</strong>n.<br />
Niveauregelventile<br />
Niveauregelventile gibt es in verschie<strong>de</strong>nen Arten. Mit einer<br />
Genauigkeit von +/− 0,15 mm bis +/− 0,025 mm und<br />
unterschiedlichen Durchflussraten erfüllen Fabreeka ® Niveauregelventile<br />
alle Einsatzerfor<strong>de</strong>rnisse. Ventilsteifigkeit, Durchflussrate und<br />
Genauigkeit sind wichtige Variablen für eine optimale Ausregelzeit und<br />
Isolationseffizienz.<br />
14<br />
*Ein Hebelarm beeinflusst die Genauigkeit <strong>de</strong>r Ventile, vergrößert allerdings <strong>de</strong>n Einstellbereich.<br />
H H Max. Traglast 1<br />
Typ D1 D2 Drucklos Max. Hub L kg<br />
PAL 3-2.5 80 mm 80 mm 64 mm 70 mm 157 mm 126<br />
PAL 5.5-2.5 100 mm 100 mm 64 mm 70 mm 177 mm 238<br />
PAL 9-4 130 mm 130 mm 94 mm 98 mm 207 mm 385<br />
PAL 9-6 130 mm 130 mm 153 mm 159 mm 221 mm 385<br />
1 Bei einem maximalen Betriebsdruck von 7 bar<br />
PAL 5.5 − 2.5 PAL 5.5 − 2.5 <strong>mit</strong><br />
PALV 5 − 5 Ventil<br />
Klasse 100.000<br />
reinraumverträgliche<br />
Luftfe<strong>de</strong>r<br />
PALV 5 − 5 Ventil<br />
Ventil <strong>mit</strong> Hebelarm Ventil <strong>mit</strong> Hebelarm PAL <strong>mit</strong> Ventil
Abgehängte Plattformen und Maschinenrahmen<br />
Der Einsatz von abgehängten Plattformen o<strong>de</strong>r<br />
individuell angepassten Maschinenrahmen verbessert<br />
die Stabilität von schwingungsisolieren<strong>de</strong>n,<br />
niveaugeregelten Luftfe<strong>de</strong>rsystemen. Gleichzeitig<br />
verringert sich die relative Schwerpunkthöhe <strong>de</strong>s<br />
isolierten Geräts.<br />
Ein wichtiges Kriterium für eine korrekte Auslegung <strong>de</strong>r<br />
<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> ist ihre Lage/Platzierung unter <strong>de</strong>n zu<br />
isolieren<strong>de</strong>n Geräten o<strong>de</strong>r Maschinen. Bei <strong>de</strong>r<br />
Systemkonstruktion sollte die elastische Ebene <strong>de</strong>s<br />
Isolators möglichst nah am Gesamtschwerpunkt <strong>de</strong>s<br />
gelagerten Gerätes und seiner Stützkonstruktion<br />
platziert wer<strong>de</strong>n.<br />
Dreh- und Kippschwingungen entstehen, wenn eine<br />
Traglast horizontal schwingt und <strong>de</strong>r Schwerpunkt über<br />
<strong>de</strong>r elastischen Ebene <strong>de</strong>r Isolatoren liegt. Wenn <strong>de</strong>r<br />
Schwerpunkt zu weit über <strong>de</strong>r elastischen Ebene <strong>de</strong>s<br />
Isolators liegt, kann es zu Instabilität kommen. Die Lage<br />
von <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> muss <strong>de</strong>n Anfor<strong>de</strong>rungen an ein stabiles<br />
System genügen. (Abb. 7, Seite 8)<br />
Ein abgehängtes Isolationssystem wird eingesetzt, um<br />
die elastische Ebene <strong>de</strong>r Isolatoren näher an <strong>de</strong>n<br />
Gesamtschwerpunkt zu bringen und Kippschwingungen<br />
zu min<strong>de</strong>rn. (Darstellung oben rechts)<br />
Weiterhin kommt eine abgehängte Plattform zum<br />
Einsatz, wenn <strong>de</strong>r Unterbau einer Maschine nicht<br />
modifiziert wer<strong>de</strong>n kann, um <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> aufzunehmen,<br />
und ein starrer Tragrahmen notwendig ist.<br />
Entschei<strong>de</strong>nd ist hier die statische und dynamische<br />
Auslegung <strong>de</strong>s Hängegerüsts. (Abb. 12, Seite 10)<br />
Spannungen und Verformungen (Biegung) unter <strong>de</strong>m<br />
Einfluss <strong>de</strong>s Gewichts einer Maschine/eines Gerätes und<br />
<strong>de</strong>r dynamischen Steifigkeit (Strukturresonanzen) sind<br />
Teil einer erfolgreichen Lösung beim Einsatz von PALo<strong>de</strong>r<br />
PLM-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong>.<br />
15
Balgzylin<strong>de</strong>r-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong><br />
Balgzylin<strong>de</strong>r-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> bieten nie<strong>de</strong>rfrequente<br />
Schwingungsisolation für Motorprüfstän<strong>de</strong>, große<br />
Reaktionsmassen und Anwendungen, bei <strong>de</strong>nen große<br />
dynamische Schwingwege und Hubhöhen erfor<strong>de</strong>rlich<br />
sind.<br />
Balgzylin<strong>de</strong>r-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> können vertikale und<br />
horizontale Eigenfrequenzen von 1 Hz bis 4,0 Hz<br />
haben, abhängig von <strong>de</strong>r Betriebshöhe und Bauart <strong>de</strong>s<br />
Balgzylin<strong>de</strong>rs (Einzel-, Doppel- o<strong>de</strong>r Rollbalg). Die<br />
horizontale Fe<strong>de</strong>rrate (Steifigkeit) und Stabilität sind<br />
ebenfalls eine Funktion <strong>de</strong>r Betriebshöhe. Aus diesem<br />
Grund hat je<strong>de</strong>r Luftkissentyp eine optimale<br />
Betriebshöhe. Niedrigere vertikale Eigenfrequenzen<br />
erhält man, wenn man das Luftvolumen erhöht,<br />
beispielsweise <strong>mit</strong> einem Zusatztank.<br />
Eine wesentliche Eigenschaft von Balgzylin<strong>de</strong>rn ist <strong>de</strong>r<br />
große nutzbare Hubbereich. Abhängig von <strong>de</strong>r<br />
Ausführung <strong>de</strong>s Balges können Hübe von 50 mm bis<br />
75 mm realisiert wer<strong>de</strong>n. Diese Tatsache macht sie<br />
prä<strong>de</strong>stiniert für Anwendungen, bei <strong>de</strong>nen große<br />
dynamische Auslenkungen auftreten können.<br />
Sowohl Balgzylin<strong>de</strong>r wie auch Membran-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong><br />
haben eine sehr geringe Dämpfung (3 % – 4 %), es sei<br />
<strong>de</strong>nn, ein Dämpfungsvolumen ist <strong>mit</strong> <strong>de</strong>m<br />
Luftfe<strong>de</strong>rvolumen gekoppelt. Die meisten Auslegungen<br />
erfor<strong>de</strong>rn eine Dämpfung von 10 % – 15 %, abhängig<br />
von <strong>de</strong>r Anwendung und <strong>de</strong>n Spezifikationen für die<br />
Isolation und Ausregelzeit.<br />
Ein komplettes Isolationssystem besteht aus min<strong>de</strong>stens<br />
drei gesteuerten <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> für eine 3-Punkt-<br />
Niveauregelung. Je<strong>de</strong>r Isolator verfügt über ein<br />
eingebautes Niveauregelventil, das als Lastfühler und<br />
Lagesensor fungiert. Zur Lagerung großer Gewichte<br />
können beliebig viele Zusatz-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> hinzugefügt<br />
wer<strong>de</strong>n.<br />
Der Lieferumfang eines Systems beinhaltet eine<br />
Kontrolleinheit, automatische Niveauregelventile,<br />
Druckluftleitungen und sämtliches pneumatisches<br />
Zubehör, das für eine vollständige Systeminstallation<br />
notwendig ist.<br />
16<br />
Rollbalgzylin<strong>de</strong>r-Isolatoren bieten eine niedrige Eigenfrequenz<br />
und einen großen dynamischen Arbeitsbereich, wenn<br />
dynamische Einfe<strong>de</strong>rung zulässig ist.<br />
Einfach-Balgzylin<strong>de</strong>r <strong>mit</strong> Dämpfungskammer und<br />
Niveauregelventil tragen eine Reaktionsmasse für einen<br />
elektrodynamischen Shaker.<br />
Doppel-Balgzylin<strong>de</strong>r <strong>mit</strong> zusätzlichem Luftvolumen als<br />
Dämpfungskammern und Niveauregelventilen. Dieses<br />
Isolationssystem trägt eine Reaktionsmasse <strong>mit</strong> einer Gussplatte<br />
für einen Motorprüfstand.
Delta K TM Luftfe<strong>de</strong>r-Systemmodul<br />
Nie<strong>de</strong>rfrequente Schwingungen <strong>mit</strong> großer Amplitu<strong>de</strong><br />
können Genauigkeit, Wie<strong>de</strong>rholbarkeit und Durchsatz<br />
von Präzisionsmaschinen beeinflussen. Ein Luftfe<strong>de</strong>rsystem<br />
muss für die Isolation von Umgebungsschwingungen<br />
und -erschütterungen bei gleichzeitiger<br />
Minimierung <strong>de</strong>r relativen Bewegung zwischen <strong>de</strong>m<br />
Werkstück und <strong>de</strong>m Messtaster/Messfühler sorgen.<br />
Der Delta K TM (∆K TM ) Controller von Fabreeka ® arbeitet<br />
<strong>mit</strong> einem <strong>nie<strong>de</strong>rfrequenten</strong> Luftfe<strong>de</strong>rsystem. Er erlaubt<br />
sowohl die Schwingungsisolation als auch eine<br />
Erhöhung <strong>de</strong>r Wie<strong>de</strong>rholbarkeit und <strong>de</strong>s Durchsatzes,<br />
da er <strong>de</strong>n Betrieb einer Messmaschine <strong>mit</strong> ihrer<br />
vorgesehenen Geschwindigkeit unter rauhen<br />
Umgebungsbedingungen möglich macht.<br />
Funktionsprinzip<br />
∆K kann für je<strong>de</strong> Präzisionsmessmaschine in Betracht<br />
gezogen wer<strong>de</strong>n, die schnelle Messungen durchführt<br />
und für welche eine Luftfe<strong>de</strong>rlagerung erfor<strong>de</strong>rlich ist.<br />
Das Schwingungsisolationssystem <strong>mit</strong> ∆K Controller ist<br />
eine Spezialkonstruktion <strong>mit</strong> einer hohen (steifen)<br />
Fe<strong>de</strong>rkonstante, wenn die Maschine in Bewegung ist,<br />
und einer niedrigen (weichen) Fe<strong>de</strong>rkonstante, wenn<br />
die Maschine Messungen durchführt.<br />
Wenn <strong>de</strong>r bewegliche Teil <strong>de</strong>r Maschine beschleunigt<br />
und vor <strong>de</strong>m Messpunkt abbremst, verhin<strong>de</strong>rt <strong>de</strong>r steife<br />
Isolator <strong>mit</strong> einer hohen Dämpfung eine übermäßige<br />
Maschinenbewegung und reduziert da<strong>mit</strong> die<br />
Ausregelzeit vor <strong>de</strong>r Messung. Zum Zeitpunkt <strong>de</strong>r<br />
Messung empfängt <strong>de</strong>r ∆K Controller ein Signal vom<br />
Messtaster/Messfühler o<strong>de</strong>r <strong>de</strong>m<br />
Messmaschinencontroller und verän<strong>de</strong>rt die Steifigkeit<br />
und Dämpfung <strong>de</strong>s Isolationssystems, in<strong>de</strong>m er es in ein<br />
weicheres Isolationssystem umwan<strong>de</strong>lt. Im Grun<strong>de</strong> wird<br />
bei <strong>de</strong>n Isolatoren eine Än<strong>de</strong>rung <strong>de</strong>r Steifigkeit<br />
vorgenommen (∆K). (Abb. 13)<br />
Die Brown & Sharpe Global 7.10.7 CMM ist auf <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong><br />
gelagert. Das Delta K TM Luftfe<strong>de</strong>rsystemmodul ermöglicht <strong>de</strong>n<br />
Betrieb bei <strong>de</strong>r vorgesehenen Geschwindigkeit und Genauigkeit.<br />
Übertragungsfunktion<br />
Die Vorteile eines Delta K TM Controllers von<br />
Fabreeka ® :<br />
�� Verbesserung <strong>de</strong>r Maschinenwie<strong>de</strong>rholgenauigkeit,<br />
wenn die Messmaschine auf<br />
Isolatoren angewiesen ist<br />
� Schnelle Ausregelzeit<br />
Delta K<br />
Übertragungsfunktionen<br />
Übertr. zu Frequ.<br />
Frequenz Hz<br />
Abb. 13<br />
� Die Maschine kann ohne Einbußen <strong>de</strong>r<br />
Genauigkeit o<strong>de</strong>r Wie<strong>de</strong>rholbarkeit <strong>mit</strong><br />
100%iger Beschleunigung arbeiten<br />
� ∆K kann bei bereits eingebauten<br />
Luftfe<strong>de</strong>rsystemen eingesetzt wer<strong>de</strong>n und die<br />
Leistung <strong>de</strong>r Maschine und <strong>de</strong>r Isolation<br />
verbessern<br />
� Der ∆K Controller arbeitet sowohl <strong>mit</strong> Antast-<br />
Triggern wie auch <strong>mit</strong> Verformungsfühlern<br />
17
Precision-Aire TM Digitale elektropneumatische<br />
Niveauregelung (PA-DEL ®)<br />
Die PA-DEL ® digitale elektropneumatische<br />
Niveauregelung wird eingesetzt in Luftfe<strong>de</strong>rsystemen,<br />
wenn eine hohe Niveauregelgenauigkeit und eine kurze<br />
Ausregelzeit gewünscht wer<strong>de</strong>n.<br />
PA-DEL ® verwen<strong>de</strong>t einen digitalen Controller,<br />
berührungslose Wegsensoren und elektrisch betätigte<br />
Regelventile <strong>mit</strong> großem Durchfluß, um die Leistung <strong>de</strong>r<br />
selbstnivellieren<strong>de</strong>n Luftfe<strong>de</strong>rsysteme zu verbessern. Die<br />
elektrischen Ventile und Wegsensoren ermöglichen es<br />
<strong>de</strong>n Isolatoren, das Maschinenniveau drei Mal schneller<br />
einzuregeln als herkömmliche mechanische<br />
Niveauregelventile. Die Niveauregelgenauigkeit <strong>de</strong>s<br />
PA-DEL ® Controllers beträgt +/− 20 µm (Mikrometer),<br />
und die Durchflussrate <strong>de</strong>r elektrischen Ventile kann für<br />
Isolatoren jeglicher Größen eingestellt wer<strong>de</strong>n.<br />
Der PA-DEL ® Controller kann <strong>mit</strong> bestehen<strong>de</strong>n<br />
Luftfe<strong>de</strong>rsystemen kombiniert wer<strong>de</strong>n, wenn ein<br />
höherer Durchsatz ohne Verluste bei <strong>de</strong>r<br />
Schwingungsisolation gewünscht wird.<br />
Bedienfunktionen<br />
�� Digital aufgebauter Regelkreis (Controller,<br />
Verstärker, Ventile) ermöglicht eine feed forward<br />
o<strong>de</strong>r feedback Signalverarbeitung<br />
�� Der digitale Steueralgorithmus ermöglicht eine<br />
einfache Einstellung <strong>de</strong>r optimalen Regelparameter<br />
durch kombinierte Impulsdauer-/Impulsfrequenzmodulation<br />
�� Absenkmöglichkeit auf eine voreingestellte Position<br />
zur Werkstückbeladung und -entladung<br />
�� Die Programmierung <strong>de</strong>s Controllers und die<br />
Einstellung <strong>de</strong>r Kontrolleinheit erfolgen <strong>mit</strong> Hilfe<br />
eines seriellen Anschlusses<br />
�� Der PA-DEL Controller kann <strong>mit</strong> bestehen<strong>de</strong>n SPS-<br />
Maschinenreglern verbun<strong>de</strong>n wer<strong>de</strong>n, um ihn in die<br />
Prozessautomatisierung einzubin<strong>de</strong>n<br />
�� Auf Wunsch kann eine Fernsteuerung <strong>mit</strong>geliefert<br />
wer<strong>de</strong>n, wodurch die Nivellierung von sehr großen<br />
Anlagen von nur einer Person durchgeführt wer<strong>de</strong>n<br />
kann<br />
�� Einbaumöglichkeit in Standard 19 Zoll<br />
Schaltschränke o<strong>de</strong>r freistehend<br />
18<br />
Lageregelung<br />
�� Berührungslose Lageerfassung, dadurch ist eine<br />
Schwingungsübertragung zwischen <strong>de</strong>r isolierten<br />
Maschine und <strong>de</strong>r Umgebung ausgeschlossen<br />
�� Messbereich <strong>de</strong>r Sensoren 20 mm (bis zu 45 mm<br />
optional)<br />
�� Optional können auch Son<strong>de</strong>ranfertigungen von<br />
Sensoren eingesetzt wer<strong>de</strong>n (Spannungs- o<strong>de</strong>r<br />
Stromarten)<br />
�� Die Genauigkeit <strong>de</strong>r Lageregelung kann je nach<br />
Anwendung bis +/− 20 µm angepasst wer<strong>de</strong>n
RDS (Rapid Deflate System)<br />
RDS eignet sich bestens für Anwendungen, bei <strong>de</strong>nen<br />
die isolierte Maschine vor <strong>de</strong>r Werkstückbeladung o<strong>de</strong>r<br />
-entladung in einer Referenzebene positioniert wer<strong>de</strong>n<br />
muss.<br />
Die RDS-Komponenten können je<strong>de</strong>r pneumatischen<br />
Kontrolleinheit hinzugefügt wer<strong>de</strong>n, so dass <strong>de</strong>r<br />
Bediener eine auf einem Luftfe<strong>de</strong>rsystem gelagerte<br />
Maschine schnell heben o<strong>de</strong>r senken kann. Dies ist vor<br />
allem bei großen Messmaschinen nötig, die Fundamente<br />
und viele Isolatoren erfor<strong>de</strong>rn.<br />
Bei herkömmlichen Systemen entweicht die Druckluft<br />
durch die Niveauregelventile. Mit RDS erfolgt die<br />
Entlüftung o<strong>de</strong>r Belüftung fünf bis zehn mal schneller.<br />
Nur 0,7 bar Druckabbau wird verwen<strong>de</strong>t, wodurch die<br />
Isolatoren so lange weiter unter Druck stehen, bis sie<br />
erneut belüftet wer<strong>de</strong>n. RDS kann <strong>mit</strong> bestehen<strong>de</strong>n<br />
Maschinenreglern verbun<strong>de</strong>n wer<strong>de</strong>n, um es in <strong>de</strong>n<br />
Automatisierungsprozess einzubin<strong>de</strong>n.<br />
SSTTAATTUUSS<br />
Der STATUS Controller verwen<strong>de</strong>t Näherungssensoren,<br />
um die ausgefe<strong>de</strong>rte Position eines<br />
Luftfe<strong>de</strong>rsystems zu überwachen. Die Sensoren wer<strong>de</strong>n<br />
an <strong>de</strong>n drei gesteuerten Hauptluftfe<strong>de</strong>rn je<strong>de</strong>s<br />
Luftfe<strong>de</strong>rsystems installiert.<br />
Wenn eine Hauptluftfe<strong>de</strong>r o<strong>de</strong>r ein an<strong>de</strong>rer Isolator<br />
seiner Gruppe außerhalb seiner voreingestellten Position<br />
ausgefe<strong>de</strong>rt o<strong>de</strong>r gesenkt wird, zeigt <strong>de</strong>r STATUS<br />
Controller <strong>mit</strong> einer roten LED an, dass ein Problem<br />
aufgetreten ist. Auf Wunsch ist auch ein akustischer<br />
Alarm möglich.<br />
Häufig ist es nicht möglich, visuell zu bestimmen, ob<br />
sich die Isolatoren in ihrer korrekten Arbeitsposition<br />
befin<strong>de</strong>n, beson<strong>de</strong>rs, wenn sie unter großen<br />
Fundamenten eingebaut sind. Isolatoren können<br />
ungewollt ausfe<strong>de</strong>rn o<strong>de</strong>r sich absenken, wenn die<br />
Niveauregelventile Schmutz o<strong>de</strong>r Feuchtigkeit<br />
ausgesetzt wer<strong>de</strong>n o<strong>de</strong>r Öl bzw. Fett in <strong>de</strong>r<br />
Luftversorgung vorhan<strong>de</strong>n ist.<br />
Bestehen<strong>de</strong> Systeme können im Feld einfach <strong>mit</strong> RDS<br />
aufgerüstet wer<strong>de</strong>n.<br />
STATUS kann auf je<strong>de</strong>m bestehen<strong>de</strong>n Luftfe<strong>de</strong>rsystem<br />
o<strong>de</strong>r schwingungsisolierten Tisch installiert wer<strong>de</strong>n.<br />
19
Precision-Aire TM PLM Luftfe<strong>de</strong>relemente<br />
Precision-Aire Luftfe<strong>de</strong>relemente bieten<br />
nie<strong>de</strong>rfrequente Schwingungs- und Schockisolation für<br />
Messplätze, Koordinatenmessmaschinen, Lüfter,<br />
Luftkompressoren, Motor- und Generatoreinheiten,<br />
Hochgeschwindigkeitspressen und mehr.<br />
Die Fabreeka ® PLM Luftfe<strong>de</strong>rserie umfasst<br />
nie<strong>de</strong>rfrequente Schwingungs- und Schockisolatoren,<br />
die unerwünschte Schwingungen min<strong>de</strong>rn und<br />
gleichzeitig die gelagerten Geräte nivellieren.<br />
Als Schwingungsdämpfer eingesetzt garantiert die<br />
interne Luftkammer eine signifikante Isolierwirkung<br />
bereits ab 5 Hz aufwärts. Die Eigenfrequenz liegt bei<br />
nur 3,0 Hz.<br />
Precision-Aire TM Luftfe<strong>de</strong>relemente isolieren auch im<br />
drucklosen Zustand. Die vertikale Eigenfrequenz <strong>de</strong>s<br />
Elastomerkörpers beträgt ungefähr 10 Hz, so dass<br />
Störungen oberhalb von 14 Hz isoliert wer<strong>de</strong>n.<br />
Das Verhältnis von vertikaler zu horizontaler<br />
Eigenfrequenz beträgt ungefähr 1:1 <strong>mit</strong> einer hohen<br />
horizontalen Stabilität.<br />
Bei Anwendungen <strong>mit</strong> Schock- o<strong>de</strong>r Stoßbelastung<br />
bietet die Elastomerwandkonstruktion <strong>de</strong>r PLM-<br />
<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> einen großen dynamischen Fe<strong>de</strong>rweg.<br />
Möchte man gleichzeitig die niedrige Eigenfrequenz<br />
von 3 Hz beibehalten, so ist <strong>de</strong>r Einsatz von externen<br />
Anschlägen ratsam, um ein Durchschlagen <strong>de</strong>r<br />
Luftfe<strong>de</strong>r zu verhin<strong>de</strong>rn.<br />
Spezifikationen <strong>de</strong>r PLM-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong><br />
20<br />
Mo<strong>de</strong>ll<br />
PLM 1<br />
PLM 3<br />
PLM 6<br />
PLM 12<br />
PLM 24<br />
PLM 48<br />
PLM 96<br />
PLM 192<br />
106 mm<br />
130 mm<br />
175 mm<br />
254 mm<br />
343 mm<br />
470 mm<br />
610 mm<br />
Links abgebil<strong>de</strong>t ist ein elektrodynamischer<br />
Shakerprüfstand, <strong>de</strong>r eine Kraft von 80 kN bis 225 kN<br />
produziert. Die Anlage ist auf PLM-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> installiert,<br />
um die Schwingung zu min<strong>de</strong>rn, die während <strong>de</strong>r<br />
Prüfung entsteht.<br />
A B C D*<br />
Maße<br />
E F G H I<br />
76 mm 60,5 mm 6,9 mm<br />
M10 12,0 mm 73 mm 25 mm 65 mm 3,2 mm<br />
89 mm<br />
108 mm<br />
152 mm<br />
216 mm<br />
305 mm<br />
406 mm<br />
508 mm<br />
6,9 mm<br />
7,4 mm<br />
7,4 mm<br />
14,2 mm<br />
14,2 mm<br />
20,6 mm<br />
20,6 mm<br />
* Bitte kontaktieren Sie Fabreeka ® bezüglich <strong>de</strong>r genauen Maße.<br />
M12<br />
M12<br />
M12<br />
M16<br />
M16<br />
M24<br />
M24<br />
13,5 mm<br />
13,5 mm<br />
13,5 mm<br />
19,0 mm<br />
19,0 mm<br />
22,4 mm<br />
22,4 mm<br />
Arbeitshöhe<br />
(H)<br />
105 mm<br />
127 mm<br />
171 mm<br />
245 mm<br />
338 mm<br />
468 mm<br />
610 mm<br />
56 mm<br />
60 mm<br />
100 mm<br />
138 mm<br />
190 mm<br />
267 mm<br />
400 mm<br />
65 mm<br />
90 mm<br />
90 mm<br />
90 mm<br />
90 mm<br />
90 mm<br />
90 mm<br />
3,2 mm<br />
3,2 mm<br />
3,2 mm<br />
4,8 mm<br />
4,8 mm<br />
6,4 mm<br />
6,4 mm<br />
Max. Traglast<br />
45 kg<br />
135 kg<br />
250 kg<br />
550 kg<br />
1100 kg<br />
2200 kg<br />
4400 kg<br />
8800 kg
Funktionen<br />
Die PLM-Konstruktion besitzt einen einvulkanisierten<br />
Gewin<strong>de</strong>einsatz, wodurch die <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> entwe<strong>de</strong>r <strong>mit</strong><br />
Hilfe eines Standard-Reifenventils o<strong>de</strong>r einer<br />
pneumatischen Verschraubung aufgeblasen wer<strong>de</strong>n<br />
können. Son<strong>de</strong>ranschlüsse sind nicht nötig.<br />
Die Isolatoren wer<strong>de</strong>n <strong>mit</strong> einem Tankventil geliefert.<br />
Aufgeblasen und nivelliert wer<strong>de</strong>n sie manuell <strong>mit</strong> Hilfe<br />
von Handpumpen o<strong>de</strong>r Adaptern, die an eine<br />
Luftversorgung angeschlossen wer<strong>de</strong>n. Wird eine<br />
Druckluftverschraubung an <strong>de</strong>n <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> angebracht,<br />
können sie an die jeweilige geregelte Luftversorgung<br />
angeschlossen wer<strong>de</strong>n. Dies erleichtert die<br />
Druckbeaufschlagung und die Niveauregelung. Für <strong>de</strong>n<br />
Fall, dass keine Niveauregelventile eingesetzt wer<strong>de</strong>n,<br />
kann zur Regulierung <strong>de</strong>s Drucks und <strong>de</strong>r Höhe <strong>de</strong>r<br />
untereinan<strong>de</strong>r verbun<strong>de</strong>nen <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> auch eine<br />
Regelkontrolleinheit (rechts) zur Verfügung gestellt<br />
wer<strong>de</strong>n.<br />
Außer<strong>de</strong>m können die PLM-Luftfe<strong>de</strong>relemente noch <strong>mit</strong><br />
automatischen Niveauregelventilen zur Höhenregelung<br />
geliefert wer<strong>de</strong>n. Je<strong>de</strong>r Hauptisolator verfügt über ein<br />
angebautes Niveauregelventil, das als Lastfühler und<br />
Lagesensor fungiert. Um die Tragfähigkeit <strong>de</strong>s<br />
Gesamtsystems zu erhöhen, können beliebig viele<br />
Parallel-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> hinzugefügt wer<strong>de</strong>n.<br />
Der Lieferumfang eines Systems beinhaltet eine<br />
Kontrolleinheit, automatische Niveauregelventile,<br />
Leitungen und sämtliches pneumatisches Zubehör, das<br />
für eine vollständige Systeminstallation notwendig ist.<br />
PLM-3-<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> sind in die Rahmen <strong>de</strong>r Carl Zeiss EVO<br />
SEM Mikroskope integriert. Durch die Schwingungsisolierung<br />
<strong>de</strong>r SEM-Kammer wer<strong>de</strong>n in <strong>de</strong>r Röntgengeometrie<br />
und <strong>de</strong>r Elektronenmikroskopie Vergrößerungen von<br />
mehr als 300.000-fach möglich.<br />
Flache Niveauregelventile können zusammen <strong>mit</strong> PLM-<br />
<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> eingesetzt wer<strong>de</strong>n, wenn eine automatische<br />
Höhenregelung erwünscht ist.<br />
21
Anwendungen<br />
Präzisionswerkzeugmaschinen<br />
Die Anfor<strong>de</strong>rungen an die Genauigkeit von<br />
Präzisionswerkzeugmaschinen wer<strong>de</strong>n immer höher.<br />
Geräte, die <strong>mit</strong> Nanotechnologie schnei<strong>de</strong>n, drehen,<br />
polieren und positionieren ermöglichen Feinarbeiten<br />
und Messungen im Mikron- und sogar Angströmbereich.<br />
Ultrapräzisisionsgeräte wer<strong>de</strong>n in vielen Branchen<br />
eingesetzt. Dazu gehören Halbleiter- und Waferverarbeitung,<br />
Optik und Linsenherstellung sowie nicht<br />
standardisierte Materialverarbeitungsprozesse.<br />
Hochpräzise Positioniermaschinen, wie Diamantdrehmaschinen,<br />
X-Y Bühnen und CD-Messgeräte, arbeiten<br />
normalerweise <strong>mit</strong> Laser-Interferometrie (Positionsfeedback),<br />
um die Materialien nanometergenau zu<br />
positionieren. Zur Durchführung von Messungen im<br />
Submikronbereich benötigt man außer<strong>de</strong>m Messgeräte<br />
wie Profilmesser, Form- und Oberflächentester sowie<br />
Rauhigkeits- und Rundheitsmessmaschinen.<br />
Das ultrapräzise Schnei<strong>de</strong>n und Mikroschleifen von<br />
Materialien, wie optischen Gläsern, Kristallen,<br />
eisenfreien Metallen, Polymeren und Keramiken gehört<br />
ebenfalls zu <strong>de</strong>n Möglichkeiten dieser Geräte. Die<br />
Oberflächen dieser Materialien wer<strong>de</strong>n so genau<br />
bearbeitet, dass anschließend nur wenig o<strong>de</strong>r gar kein<br />
Polieren mehr notwendig ist – die Oberflächen haben<br />
eine Submikron-Körnung. Auf diese Weise wer<strong>de</strong>n<br />
unter an<strong>de</strong>rem CDs, Kontaktlinsenwerkzeuge,<br />
Komponenten für optische Linsen und Spiegel für<br />
Laseranwendungen hergestellt.<br />
Nie<strong>de</strong>rfrequente Schwingungs- und Schockisolationssysteme<br />
von Fabreeka ® versetzen Hersteller<br />
und Anwen<strong>de</strong>r von Präzisionswerkzeugmaschinen in die<br />
Lage, die vorgesehene Genauigkeit ihrer Geräte sicherzustellen.<br />
Für manche Anwendungen sind spezielle<br />
System- und Strukturanalysen nötig. Die Auslegung <strong>de</strong>r<br />
Unterkonstruktion und <strong>de</strong>s Rahmens, die in Verbindung<br />
<strong>mit</strong> <strong>de</strong>m Isolationssystem eingesetzt und in die<br />
Maschinenkonstruktion integriert wird, kann ebenfalls<br />
kun<strong>de</strong>nspezifisch angepasst wer<strong>de</strong>n.<br />
22<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung von Precitech)<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung von X-TEK)<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung von Precitech)<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung von Motion X)
Messtechnik-/Prüfungsgeräte<br />
Die Messgeschwindigkeit und -genauigkeit von<br />
Koordinatenmessgeräten (KMG) steigt von Jahr zu Jahr.<br />
Neuere KMGs wer<strong>de</strong>n Werkstatt-tauglich konstruiert und<br />
hergestellt, so dass sie auch in <strong>de</strong>r Produktion <strong>mit</strong> hoher<br />
Wie<strong>de</strong>rholgenauigkeit arbeiten können. Störschwingungen<br />
gehören zu <strong>de</strong>n Umgebungsfaktoren, welche die<br />
Genauigkeit und Wie<strong>de</strong>rholgenauigkeit eines KMG<br />
beeinträchtigen können.<br />
Wenn alle Komponenten eines KMG, einschließlich <strong>de</strong>m zu<br />
messen<strong>de</strong>n Teil, bei einer bestimmten Frequenz, Amplitu<strong>de</strong>,<br />
Phase und Ausrichtung im Einklang <strong>mit</strong>einan<strong>de</strong>r<br />
schwingen, dann ist <strong>de</strong>r I<strong>de</strong>alzustand erreicht – die<br />
gemessene Leistung verringert sich nicht. Für das KMG ist<br />
diese Situation gleichbe<strong>de</strong>utend <strong>mit</strong> einem Zustand völliger<br />
Schwingungsfreiheit, da sich alle Teile <strong>de</strong>s KMG synchron<br />
zueinan<strong>de</strong>r bewegen wür<strong>de</strong>n. Wenn Komponenten<br />
gegenphasig zu schwingen beginnen, o<strong>de</strong>r wenn es zu<br />
einer strukturellen Resonanz kommt, können<br />
Messungenauigkeiten auftreten.<br />
Um keine Einbußen bei <strong>de</strong>r Messgenauigkeit in Kauf<br />
nehmen zu müssen, <strong>de</strong>finieren die KMG-Hersteller für <strong>de</strong>n<br />
jeweiligen Maschinentyp zulässige Schwingungsniveaus,<br />
bei welchen ihre Geräte noch einwandfrei funktionieren.<br />
Dieser zulässige Schwingungswert ist ein wichtiger Faktor<br />
bei <strong>de</strong>r Entscheidung, ob eine Maschine eine<br />
Schwingungsisolation benötigt o<strong>de</strong>r nicht.<br />
Isolierung eines mehrachsigen<br />
Ultrapräzisionsmaschinensystems für diamantgedrehte<br />
optische Mikrostrukturen.<br />
23
Automobil Prüfstän<strong>de</strong><br />
Fabreeka ® International spielt eine führen<strong>de</strong> Rolle auf <strong>de</strong>m<br />
Gebiet <strong>de</strong>r Dämpfungssysteme und Entwicklungsdienstleistungen<br />
im Automobil-Prüfstandsbereich und erfüllt<br />
die steigen<strong>de</strong>n Anfor<strong>de</strong>rungen <strong>de</strong>r Automobilprüfungen und<br />
<strong>de</strong>r Umweltsimulation. Regelmäßig stellt Fabreeka ®<br />
Isolationslösungen für viele Anwendungen zur Verfügung,<br />
wie beispielsweise Rollen- und Motorprüfstän<strong>de</strong>,<br />
Straßensimulations-Prüfstän<strong>de</strong> und mehrachsige<br />
Schwingtische. Fabreeka ® bietet Engineeringleistungen wie<br />
die Erstellung <strong>de</strong>r Statik von Unterkonstruktionen und<br />
Reaktionsmassen, statische und dynamische Analysen sowie<br />
Abnahmeprüfungen an.<br />
Rollenleistungsprüfstand auf einem schwingungsisolierten<br />
Fundament<br />
Mehrachsiger Schwingtisch / Schwingungsanalyse /<br />
dynamische Analyse<br />
24<br />
Strukturfrequenzen<br />
Straßensimulations-Prüfstand<br />
Motorprüfungstand auf Gussplatte und<br />
Schwingfundament<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung von Schenck)
Aerospace Prüfungen<br />
Fabreeka ® bietet nie<strong>de</strong>rfrequente Schwingungsisolationssysteme<br />
für schwierige Test-Applikationen in<br />
<strong>de</strong>r Aerospace-/Verteidigungsindustrie, die eine sehr<br />
nie<strong>de</strong>rfrequente Isolation erfor<strong>de</strong>rn. Mögliche<br />
Anwendungen sind auch Nano-Messungen, <strong>de</strong>ren<br />
Fehlergrenzen im Mikrometer-Bereich liegen o<strong>de</strong>r nur<br />
Zehntel von Bogensekun<strong>de</strong>n betragen.<br />
Wer<strong>de</strong>n große Flugkörper o<strong>de</strong>r Satelliten, die in <strong>de</strong>n<br />
Orbit geschickt wer<strong>de</strong>n sollen, getestet, dann muss <strong>de</strong>r<br />
Test unter simulierten Weltraumbedingungen<br />
durchgeführt wer<strong>de</strong>n. Zu diesem Zweck wird eine<br />
Vakuumkammer o<strong>de</strong>r Thermo-Vakuumkammer<br />
eingesetzt. Sie schafft eine Umgebung, welche <strong>de</strong>n<br />
Druck und die Hitzeeffekte eines Starts o<strong>de</strong>r<br />
Weltraumfluges simuliert.<br />
In <strong>de</strong>n Fällen, bei <strong>de</strong>nen die Größe o<strong>de</strong>r Konstruktion<br />
<strong>de</strong>r Vakuumkammer keine „externen“ Isolatoren<br />
zulässt, muss das Testobjekt innerhalb <strong>de</strong>r Kammer<br />
isoliert wer<strong>de</strong>n. Dazu wird ein vakuumkompatibles<br />
Isolationssystem verwen<strong>de</strong>t. Wer<strong>de</strong>n Isolatoren<br />
innerhalb einer Vakuumkammer eingesetzt, müssen sie<br />
strenge Material-Spezifikationen erfüllen, wodurch das<br />
Ausgasen beschränkt wer<strong>de</strong>n soll. Ihre Konstruktion<br />
muss außer<strong>de</strong>m strengen molekularen<br />
Reinheitsanfor<strong>de</strong>rungen genügen. Während Thermo-<br />
Vakuum-Einsätzen müssen die Isolatoren unter<br />
extremen Temperaturen arbeiten. Hier können<br />
Heizmatten nötig sein, um die Temperaturen lokal in<br />
einem Bereich zu halten, in <strong>de</strong>m die Isolatoren<br />
funktionstüchtig sind.<br />
Die Grenzwerte für vakuumkompatible, pneumatische<br />
Isolationsmaterialen liegen beim Gesamtmassenverlust<br />
(total mass lost TML) bei 0,85 % und bei <strong>de</strong>m<br />
gesammelten flüchtigen Material (collected volatile<br />
consumable material CVCM) bei 0,09 %. Die Produkte<br />
von Fabreeka ® können in einer Umgebung von 1 x 10 -6<br />
Torr arbeiten und haben eine maximale Leckrate von<br />
10 -7 cc/sec.<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung von B.F. Goodrich)<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung <strong>de</strong>r NASA)<br />
25
Soft Support System (SSS) für <strong>de</strong>n Ground Vibration Test<br />
Fabreeka ® hat mehrere Soft Support Systeme (SSS) für<br />
Ground Vibration Tests (GVT) von Flugzeugen<br />
entwickelt, in die Standard- o<strong>de</strong>r speziell angefertigte<br />
<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> integriert sind. Um bei einem GVT korrekte<br />
Ergebnisse zu erhalten, erfor<strong>de</strong>rt die Bestimmung <strong>de</strong>r<br />
modalen Parameter von Flugzeugen die Simulation<br />
einer sogenannten „free-free“ Umgebung. Bei solchen<br />
Projekten arbeitet Fabreeka ® eng <strong>mit</strong> <strong>de</strong>n Spezialisten<br />
für Strukturdynamik <strong>de</strong>r jeweiligen Flugzeughersteller<br />
bei <strong>de</strong>r Konstruktion <strong>de</strong>r benötigten SSS für <strong>de</strong>n GVT<br />
zusammen.<br />
Während das Flugzeug dynamischen Tests und einer<br />
Modalanalyse unterzogen wird, tragen die <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong><br />
das Flugzeug und entkoppeln es vom Bo<strong>de</strong>n. Vor allem<br />
bei <strong>de</strong>r I<strong>de</strong>ntifizierung von Strukturresonanzen und <strong>de</strong>r<br />
Bewertung <strong>de</strong>s Schwingverhaltens spielt das Soft<br />
Support System eine wichtige Rolle. Das SSS kann auch<br />
ein Hebesystem beinhalten, um das Flugzeug aus<br />
seinem Fahrgestell zu heben.<br />
26<br />
Embraer 190<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung von Embraer)<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung von EADS)<br />
Isolatoren, die für GVT eingesetzt wer<strong>de</strong>n, haben<br />
vertikale und horizontale Eigenfrequenzen bis herab zu<br />
0,5 Hz.<br />
F-35 Kampfflugzeug<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung von Lockheed Martin)
MRT / NMR Spektrometergeräte<br />
(Magnetresonanztomographie / Kernspinresonanzspektroskopie)<br />
Auf <strong>de</strong>m Gebiet <strong>de</strong>r Schwingungsisolierung bieten wir<br />
unseren Kun<strong>de</strong>n eine sehr hohe Fachkompetenz, große<br />
Produktkenntnis und bewährte Konstruktionslösungen.<br />
Wir liefern <strong>Schwingungsdämpfung</strong>ssysteme für alle<br />
Arten von hochauflösen<strong>de</strong>n MRT, NMR und Kryostate<br />
im Bereich von 300 MHz bis 900 MHz.<br />
<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> für <strong>de</strong>n Einsatz in NMR-Anwendungen sind<br />
grundsätzlich nichtmagnetisch, eingesetzte Materialien<br />
sind E<strong>de</strong>lstahl, Aluminium o<strong>de</strong>r Messing. Die<br />
Arbeitshöhe <strong>de</strong>r Isolatoren wird an die Erfor<strong>de</strong>rnisse <strong>de</strong>s<br />
entsprechen<strong>de</strong>n Magnetmo<strong>de</strong>lls angepasst, um<br />
vorhan<strong>de</strong>ne Tragkonstruktionen <strong>de</strong>s Magneten nutzen<br />
zu können.<br />
Zu <strong>de</strong>n angebotenen Lösungen gehören auch<br />
Schwingungsmessungen und die Dimensionierung von<br />
Unterkonstruktionen, einschließlich statischer und<br />
dynamischer Analysen.<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung <strong>de</strong>r Cleveland Clinic)<br />
Oben links das Foto eines 800 MHz Magneten, <strong>de</strong>r von<br />
drei PAL 133-72P Isolatoren getragen wird<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung von Magnex Scientific)<br />
Oben rechts die Darstellung eines NMR-Magneten. Die<br />
<strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong> können Höhen von ca. 700 mm bis ca.<br />
1800 mm haben, <strong>mit</strong> vertikalen und horizontalen<br />
Eigenfrequenzen von nur 0,8 Hz.<br />
Horizontal-Kryostat von Varian<br />
(Foto <strong>mit</strong> freundlicher Genehmigung von Astra-Zeneca)<br />
MRT-Geräte wer<strong>de</strong>n normalerweise von einer<br />
T-förmigen Plattform o<strong>de</strong>r einer seismischen<br />
Trägheitsmasse getragen, die auf <strong>Luftfe<strong>de</strong>rn</strong><br />
unter <strong>de</strong>m Fußbo<strong>de</strong>n <strong>de</strong>s Untersuchungsraums<br />
gelagert sind.<br />
27
United States<br />
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1023 Turnpike Street<br />
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Canada<br />
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