3 TripleCoatings - PLATIT
3 TripleCoatings - PLATIT
3 TripleCoatings - PLATIT
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2<br />
Classics<br />
®<br />
3<br />
AlXN<br />
®<br />
3<br />
SiX<br />
<strong>PLATIT</strong><br />
Allgemeine Informationen<br />
• Kompakte Hartstoffbeschichtungsanlage<br />
® ®<br />
• Basierend auf <strong>PLATIT</strong> LARC - und CERC -Technologien<br />
(LAteral Rotating Cathodes und CEntral Rotating Cathodes)<br />
• Schichten auf Werkzeugstählen (TS) über 230 °C,<br />
auf HSS bei 350 - 500 °C und<br />
auf HM (WC) zwischen 350 - 600 °C<br />
Hartstoffschichten<br />
• Monolayers, Multilayers, Nanogradiants, Nanolayers,<br />
3®<br />
Nanocomposites, <strong>TripleCoatings</strong> und ihre Kombinationen<br />
®<br />
• Standard: TiN, TiAlN, AlTiN, nACo<br />
® ®<br />
• Optional: SuperTiN, TiCN, cVIc , TiAlCN, GRADVIc , CrN,<br />
® ®<br />
CROMVIc , CrTiN, CROMTIVIc , Ti2N, ZrN, AlCrN, AlTiCrN,<br />
® ®<br />
® ® ®<br />
nACo , Fǐ-VIc , nACRo , nACVIc , nATCRo ,<br />
alle <strong>TripleCoatings</strong>3®<br />
*1<br />
• Die flexibelste Beschichtungsanlage: mehr als 30<br />
verschiedeneSchichten ohne Kathodenwechsel!<br />
Hardware<br />
• Maschinenmaße: B2350 x T1660 x H2300 mm<br />
• Interne Maße der Vakuumkammer<br />
B580 x T566 x H580 mm<br />
• Nutzbares Beschichtungsvolumen: Ø485 x H440 mm<br />
• System mit Turbo-Molekularpumpe<br />
® ®<br />
• VIRTUAL und TUBE Shutters für alle LARC Kathoden<br />
• Ionen-Plasma Reinigung:<br />
• Ätzen mit Argon (Ar/H ); Glimmentladung,<br />
2<br />
• Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)<br />
• Gepulste (30 oder 350 kHz) BIAS-Steuerung<br />
• 6 (+1) Gaskanäle, 5 (+1) MFC gesteuert<br />
• Spezielle Heizer mit Staubfilter<br />
• Elektrische Anschlusswerte: 3x400V, 100A, 50-60 Hz, 45 kW<br />
• Aufrüstbar zur 311+DLC und 311+OXI vor Ort<br />
3®<br />
p p<br />
3®<br />
<strong>TripleCoatings</strong> abscheidbar von der p311<br />
Voll kompatibel zur<br />
Farbe Nanohärte Schichtdicke Reib-(Fretting-) Max. Anwendungs- Symbolbis<br />
[GPa] [µm] Koeffizient temperatur [°C] farbe<br />
1 nACo violett-blau 45 / 34 1 - 7 0.45 1200 / 900<br />
2 3®<br />
nACRo blau-grau 40 / 34 1 - 7 0.35 1100 / 900<br />
3 3®<br />
nATCRo blau-grau 42 / 34 1 - 7 0.40 1150 / 900<br />
3®<br />
4 AlCrN schwarz 38 / 32 1 - 7 0.4 900<br />
5 3®<br />
AlTiCrN blau-grau 32 / 34 1 - 7 0.6 900<br />
3®<br />
Triple<br />
6 TiXCo kupfer 47 / 40 1 - 3 0.55 1100 / 1200<br />
7 3®<br />
nACoX schwarz 30 / 40 7 - 18 0.4 1200<br />
8 Anwender-Triple Anwender-Triple: z.B. CrN - AlCrN-Multilayer/SiN - AlCrN/SiN<br />
3®<br />
*1 Das <strong>TripleCoatings</strong> -Prinzip wurde am 23.04.2007 an der ICMCTF-Konferenz in San Diego vorgestellt:<br />
Morstein, M., Cselle, T., Coddet, O., Holubar, P., Jilek; M., Luemkemann, A., Torp, B.: Rotating ARC PVD Cathodes - Five Years of Dependable High Performance<br />
3<br />
Coatings ®
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