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Siegelnahtinspektion mit Licht

Siegelnahtqualität und Mikroperformation in der laufenden Produktion überwachen.

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Siegelnahtqualität und<br />

Mikroperforation in der laufenden<br />

Produktion überwachen.<br />

OCT Bild aus einem Datensatz<br />

Das OCT- Bild zeigt einen Einschluss in der Siegelnaht.


2<br />

Ausgangslage<br />

Die Streuung in Siegelnähten darf nicht vernachlässigt werden, was vor allem bei oxidoder<br />

faserhaltigen Schichten (Tyvek) der Fall ist. Bei transparenten Schichten bestehen<br />

keine Einschränkungen.<br />

Die OCT-Technologie eignet sich zur Überprüfung der Qualität von transparenten<br />

Schichten sehr gut und von semi transparenten Schichten gut. Der Einsatz des OCT-<br />

Verfahrens an streuenden Schichten ist eingeschränkt.<br />

Das OCT-Verfahren erfordert eineTransmission der Schicht, die betrachtet werden soll.<br />

Bei opakem Material (nicht Transparant) liefert das OCT-Verfahren keine Information mehr<br />

zu Schichten im Untergrund. Bei stark streuendem Material wie zum Beispiel Titanoxid<br />

oder bei Tyvek Schichten, geht die Laufzeitinformation infolge der Streuung verloren.<br />

Qualitative Aussagen sind möglich wenn die Streuung in der Algorithmik berücksichtigt<br />

wird.<br />

Aufgabenstellung:<br />

Zur <strong>Siegelnahtinspektion</strong> sind Prüfeinrichtungen gesucht, welche in Produktionsanlagen<br />

eingebaut werden können und eine zuverlässige Überprüfung der Siegelnahtqualität<br />

sicherstellen. Die Prüfeinrichtung soll verschiedene Aufgaben, wie zum Beispiel in der<br />

folgenden Tabelle aufgeführt, erfüllen.<br />

Fehlerart<br />

Beschädigte Folie<br />

Folie<br />

Folie<br />

Schmutz<br />

Siegelnaht<br />

Partikel<br />

Falten<br />

Ausrichtung<br />

Dichtung<br />

Schalenschaden<br />

Siegelzone<br />

Dichtung<br />

eingezogen<br />

Luftblasen<br />

Fehlende Kalotte<br />

Siegelnaht<br />

Kontamination<br />

Siegelnahtfehler<br />

Gassperrschicht<br />

Haftver<strong>mit</strong>tler<br />

Siegelnaht<br />

Andere Kriterien<br />

Beschreibung<br />

Bestehen Löcher, Risse oder Folienlücken? Sind Microlöcher vorhanden?<br />

Sind alle Lagen in der Folie vorhanden?<br />

Wie dick sind die einzelnen Schichten in der Folie?<br />

Sind Schmutz oder Fremdkörper in der Siegelnaht eingebettet?<br />

Bestehen in der Siegelnaht kleinste Durchbrüche? (Haare, Gerären, Krümel)<br />

Sind noch Restpartikel in einer Kavität? (Kunststoffe, Glas oder sonstige<br />

Fremdprodukte)<br />

Bestehen Falten in der Folie?<br />

Sind das Produkt, die Kavität oder der Deckel richtig ausgerichtet?<br />

Ist die Dichtung richtig auf der PP-Schale? Ist sie zentriert?<br />

Sind Teile der Verpackung (PP-Schale) gebrochen, gerissen oder verbogen,<br />

defekt oder unsauber?<br />

Ist der Siegelrand eben oder parallel zu definierten Ebenen?<br />

Gibt es einen Einfluss welcher zu einer schwächeren oder offenen Siegelnaht<br />

führt? (z.B. Folie kann nicht abgedichtet werden).<br />

Bestehen Hohlräume in einer PP-Schale oder in einer Siegelnaht?<br />

(Kaltverklebung).<br />

Fehlen eine oder mehrere Kriterien zur Qualitätsüberwachung oder liegen alle<br />

Resultate vor? Sind die Kalotten gefüllt?<br />

Ist der Blisterstreifen vollständig?<br />

Bestehen Deformationen auf der Siegelnaht-Oberfläche? Bestehen Unterschiede<br />

in der Rauheit?<br />

Sind Schmutzpartikel oder Fremdkörper in der versiegelten Verpackung?<br />

Bestehen Nahtfehler wie Wrinkles, Kanäle, oder andere Unregelmäßigkeiten in<br />

der Siegelnaht?<br />

Ist die Gassperrschicht vorhanden und wie dick ist diese Schicht?<br />

Ist der Haftver<strong>mit</strong>tler vorhanden oder bestehen Haftungsfehler?<br />

Wie breit ist die Siegelnaht?<br />

Bestehen schwache (nicht gut haftende) Siegelnahtbereiche,<br />

Breite der Siegelnaht ( 1,5 mm) oder offene Siegelnaht.<br />

Mit dem OCT-Verfahren werden noch weitere Kriterien beantwortet.<br />

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3<br />

<strong>Licht</strong>laufzeitmessung:<br />

Ein Bild der <strong>Licht</strong>laufzeitmessung besteht aus 300 * 300 axialen Interferogrammen, die<br />

einander seitlich berühren. Mit dem Verfahren wird die Flugzeit reflektierter oder gestreuter<br />

<strong>Licht</strong>teilchen von einer Objektoberfläche <strong>mit</strong> der eines Referenzstrahls verglichen. Die<br />

Interferogramme aus den zwei Armen (Messarm und Referenzarm) ergeben ein lineares<br />

Muster von Strukturen unterschiedlicher Helligkeit. Die relative optische Wegstrecke wird<br />

als Tiefen- respektive als Abstandsprofil abgebildet. Mit Rasterverfahren wird die<br />

<strong>Licht</strong>ebene transversal (in x- oder y-Richtung) geführt, sodass sich ein flächiges<br />

Tomogramm oder ein dreidimensionales Volumen ergibt.<br />

Anders als bei der konventionellen <strong>Licht</strong>mikroskopie ist bei der <strong>Licht</strong>laufzeitmessung nach<br />

dem OCT-Verfahren die transversale Auflösung von der lateralen Auflösung entkoppelt.<br />

Die laterale Auflösung (in der Ebene) wird durch die numerische Apertur der Optik<br />

bestimmt, die transversale Auflösung (z-Richtung) hängt dagegen von der spektralen<br />

Breite des verwendeten <strong>Licht</strong>s ab. Auf dem ASP-Array (Active Sensor Pixel Array) sind die<br />

300 x 300 „Interferometer“ auf einem CMOS-Chip aufgebaut. Jeder Bildpunkt auf dem Chip<br />

ist <strong>mit</strong> einer eigenen Optik und <strong>mit</strong> einer eigenen Signalvorverarbeitung ausgerüstet.<br />

OCT-Messkopf und Steuerung<br />

Die Anlage zur <strong>Siegelnahtinspektion</strong> für den Laborbetrieb (links) und eine Prüfzelle als Off-<br />

Line Station (rechts) haben sich im täglichen Einsatz in der Industrie bewährt.<br />

Die <strong>Licht</strong>laufzeitmessung ist in der Medizin gut etabliert. Das Verfahren findet Anwendung<br />

in der Krebsdiagnose, bei der Diagnose von Arterien und in der Augenchirurgie. Es werden<br />

laufend neue Anwendungen in medizinischen Anwendungen erschlossen. In der Industrie<br />

ist das OCT-Verfahren neu, beginnt sich aber aufgrund in verschiedenen Marktbereichen<br />

zu etablieren.<br />

Messvorgang<br />

Von der ausgesendeten <strong>Licht</strong>front gelangen die ersten Photonen zum Sensor zurück, die<br />

von der Oberfläche reflektiert oder zurückgestreut werden. Im Signalverlauf ergibt sich ein<br />

erster Peak. Die folgenden Peaks ergeben sich durch den Anteil der <strong>Licht</strong>front, der die<br />

erste Oberfläche durchdingt (Transmission) und das Material durchdringt. Dabei ergeben<br />

Streueffekte im Material selber oder Reflektionen an Schichtübergängen weitere Peaks,<br />

die wiederum zeitlich zugeordnet werden können.<br />

Alle vom Sensor von zurückgelangenden Photonen werden registriert und über die<br />

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Ansteuer- und Ausleseelektronik verarbeitet. Aus der Messung der <strong>Licht</strong>laufzeit ergeben<br />

sich die Topografie einer Oberfläche in Mikrometergenauigkeit oder die Dicke einer Schicht<br />

unter Berücksichtigung des Brechungsindexes. Aus den Signalen lassen sich auch<br />

Schichtablösungen oder Kavitäten im Materialinnern feststellen. Die nachfolgende Skizze<br />

illustriert das Messprinzip.<br />

4<br />

Produkte werden verpackt und in den Markt gebracht. Im Gesetz steht, dass der Hersteller<br />

des Produktes verpflichtet ist, einen Schaden, der aus einem Fehler eines Produktes<br />

entsteht, zu ersetzen. Verpackungen müssen also alle möglichen Anforderungen erfüllen<br />

(dicht verschlossen, steril, schmutzfrei), was nur durch eine vollständige Inspektion der<br />

Siegelnaht gewährleistet werden kann.<br />

Um die Risiken aus der Produktehaftung zu minimieren und dem Kunden den höchst<br />

möglichen Qualitätsstandard zu liefern ist eine gleichbleibende Prüfung der Siegelnähte<br />

ohne Störeinflüsse wichtig. In allen Fällen werden zwei OCT-Messköpfe eingesetzt, weil<br />

da<strong>mit</strong> die zu prüfende Flächen von beiden Seiten her begutachtet werden können.<br />

Die Qualität einer Siegelnaht lässt sich <strong>mit</strong> einem OCT-System in der erforderlichen<br />

Dynamik und in hoher geometrischer Auflösung gewährleisten. Mit dem OCT<br />

Verfahren werden kleinste Löcher in ihrer Lage (Laterale Dimension) und in der Tiefenlage<br />

berührungsfrei festgestellt.<br />

Das OCT-Verfahren erschliesst eine neue Dimension in der <strong>Siegelnahtinspektion</strong>.<br />

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Partikel<br />

In einer streuenden Siegelnaht eingeschweisste Partikel zeigen sich im OCT-Bild, weil das<br />

<strong>Licht</strong> im Bereich des Partikels um die Dicke des Partikels länger unterwegs ist als im<br />

Bereich ohne Partikel. Das Partikel erscheint als zusätzliche Schicht im Vergleich zu einer<br />

homogenen Siegelnaht. Da <strong>mit</strong> dem OCT-System relative Abweichungen zur Oberfläche<br />

der zu prüfenden Schicht festgestellt werden, spielt die Aussenkontur des Produktes keine<br />

Rolle. Eine Dicke von bis zu 2 mm kann noch durchstrahlt werden.<br />

Topografieveränderung infolge eines in der<br />

Siegelnaht eingeschweissten Haares.<br />

5<br />

Kannte des eingeschweissten Partikels<br />

Keine Verklebung<br />

Mit dem <strong>Licht</strong>laufzeitverfahren werden <strong>Licht</strong>erscheinungen als Zeitfunktion dargestellt. Das<br />

heisst, die ersten Photonen gelangen von der Oberfläche des Objektes zum Sensor zurück<br />

und die folgenden Photonen, diese aus tiefer liegenden Schichten erscheinen, später. Das<br />

folgende OCT-Bild zeigt den Eintritt der Photonen in die erste Schicht (1) und den<br />

Übergang zur Kleberschicht (2). Hinter der Kleberschicht bestehen mehr oder weniger<br />

ausgeprägte Lufteinschlüsse bei (3).<br />

1<br />

Träger<br />

2<br />

¨<br />

3<br />

Im OCT-Bild links erkennt man die Deckfolie, die aus 2 Schichten besteht. (1) Es folgen<br />

die Klebeschicht und der Träger der Kleberschicht. (2) Die Klebeschicht ist partiell mehr<br />

oder weniger vom Träger abgelöst, hat also keine geschlossene Verbindung. (3) Die OCT<br />

Signale zeigen exakt den zeitlichen Verlauf der Erscheinung, sodass daraus auf die Tiefe<br />

einer <strong>Licht</strong>reflektion geschlossen werden kann.<br />

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Die Vermessung erfolgt mikrometergenau. Was einmal vermessen ist, bleibt für<br />

verschiedene Auswertungen zugänglich. Bei jedem Schichtübergang wird <strong>Licht</strong> zum<br />

Sensor zurückreflektiert oder zurückgestreut, was die geometrische Zuordnung eines<br />

Signals im untersuchten Objekt erlaubt. Die folgenden OCT-Bilder zeigen Resultate die an<br />

Siegelnähten aufgenommen wurden. Die Skizze dient zum besseren Verständnis der<br />

gemessenen OCT-Signale.<br />

6<br />

Im Bild oben ist eine Siegelnaht <strong>mit</strong> verschiedenen Fehlerarten skizziert. Dargestellt sind<br />

die OCT-Bilder zu verschiedenen Siegelfehlern und Einschlüssen in der Siegelnaht an<br />

flachen und profilierten Aussenseiten bis zu mehr oder weniger grossen Lufteinschlüssen<br />

oder gar Leckstellen. Das OCT-Verfahren eignet sich zur Prüfung von transparenten<br />

sowohl als auch von streuenden Siegelnähten. Es können auch Siegelnähte <strong>mit</strong><br />

metallischen Einlagen <strong>mit</strong> dem OCT-System geprüft werden.<br />

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Die folgenden zwei Bilder zeigen das Normalbild einer Siegelnaht und das OCT-Bild dazu.<br />

Die Deckfolie sowie das eingeschweisste Partikel sind im OCT-Bild klar zu erkennen. Sie<br />

lassen sich auch in ihrer Tiefenlage exakt bestimmen.<br />

Wenn Standardkameras<br />

und Visualisierungssysteme<br />

kaum Resultate liefern,<br />

bietet das OCT-Verfahren<br />

klaren Einblick.<br />

Im OCT-Tomogramm rechts<br />

sind die Deckfolie und ein<br />

eingeschweisstes Laminat<br />

erkennbar.<br />

7<br />

Die Siegelnahtqualität ist <strong>mit</strong> einem OCT-System in hoher Dynamik prüfbar.<br />

Die Siegelnahtprüfung <strong>mit</strong> dem OCT-Verfahren erreicht lateral eine geometrische<br />

Auflösung tzwischen 1 µm bis 40 µm. Sie erfolgt von beiden Seiten her, weil die Resultate<br />

im OCT-Bild nicht gleich aussehen. Sperrschichten oder bestimmte Funktionsschichten<br />

üben ihren Einfluss aus. Die Siegelzone ist in der folgenden Skizze am Beispiel einer Folie<br />

aus 4 Schichten. Das OCT erfasst alle Photonen die zum Sensor zurück gelangen. Eine<br />

lückenlose Prüfung einer Siegelnaht ist nur <strong>mit</strong> zwei OCT-Kamerasystemen möglich.<br />

Siegelnahtfehler<br />

Haar in der<br />

Siegelnaht<br />

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Weil beim OCT-Verfahren die Auflösung in z-Richtung von der lateralen Auflösung<br />

entkoppelt ist, können Kanäle im Innern eines Mikrofluid-Bauteils exakt vermessen werden.<br />

Das 3D-Bild zeigt 3 Mikrofluid Kanäle in einem transparenten Mikrofluid-Chip. Die Kanaltiefe<br />

sowie die Kanalbreite können <strong>mit</strong> dem OCT-Verfahren berührungslos gemessen werden.<br />

8<br />

In der Skizze rechts sieht man einen Mikrokanal von 20 µm * 20 µm <strong>mit</strong> einer Abdeckung<br />

von 100 µm. Links ist das Tomogramm einer solchen Szene <strong>mit</strong> 3 Mikrokanälen. Das<br />

Tomogramm zeigt die äussere Oberfläche, gefolgt von den 3 Mikrokanälen und der<br />

Unterseite des Kanalträgers. Mit dem ASP Array werden gleichzeitig 300 * 300 Bildpunkte<br />

pro Bildebene vermessen. Ein Stack besteht aus bis zu 500 Bildern und erlaubt die<br />

Vermessung einer Topografie im Nanometerbereich.<br />

Bei einem minimalen Bildpunktdurchmesser<br />

von 800 nm, erfasst<br />

der Sensor bei einem Lochdurchmesser<br />

von 10 µm noch 12 Messpunkte.<br />

Die Folge der Peaks im Signal zeigt<br />

die nebenstehende Skizze.<br />

<br />

<br />

<br />

Vertiefung von der Oberfläche,<br />

nicht durchgehend<br />

Peak 1,2,3. (Ganz links)<br />

Loch durchgehend:<br />

Peak 1,2. (Mitte)<br />

Vertiefung von der Rückseite,<br />

nicht durchgehend<br />

Peak 1,2. (Ganz rechts)<br />

Das pOCT-Bild liefert eine Informationen zum Verhalten von <strong>Licht</strong> das ein Medium<br />

durchquert. Bei jeder Änderung des Brechungsindexes ergibt sich im OCT-Signal ein Peak,<br />

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9<br />

der als Signal zur Auswertung verwendet wird.<br />

<strong>Licht</strong>eintritt auf der Oberfläche<br />

Peak 1<br />

Partikel in einer Folie<br />

Peak 2<br />

Peak 3<br />

<strong>Licht</strong>austritt auf der Folienrückseite<br />

Durchgehende Löcher in einer Schicht. Das Signal am Schichteintritt fehlt, das Signal am<br />

Schichtaustritt ebenfalls. Die Dimension (Durchmesser und Ortslage) sowie die Tiefe eines<br />

Lochs werden aus den erfassten Signalen er<strong>mit</strong>telt. Im OCT-Bild links ist Perforationen auf<br />

einem Träger dargestellt. Die Grafik rechts zeigt das Tiefenprofil.<br />

Mit dem OCT-Verfahren werden Topografieunterschiede und Abweichungen in der Planarität<br />

oder in der Parallelität im Bereich weniger Nanometer festgestellt. Die folgenden OCT-Bilder<br />

zeigen feinste Strukturen in Bauteilen. Es handelt sich um Lasermarkierungen <strong>mit</strong><br />

Durchmessern um 10 Mikrometer.<br />

Mikrokanäle vermessen.<br />

Module <strong>mit</strong> eingebauten Mikrokanälen. Bild links zeigt 3 Mikrokanäle, Bild rechts 2. Die<br />

Geometrie der Kanäle sowie eventuelle Inhalte die in den Kanälen zirkulieren, können <strong>mit</strong><br />

dem OCT-Verfahren exakt vermessen werden. Die kleinste laterale Auflösung liegt im<br />

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Bereich von 1 Mikrometer, die Auflösung in z-Richtung erreicht im Bedarfsfalle unter 500<br />

nm. Dank des ASP Arrays ist das pOCT-System einzigartig im Markt.<br />

10<br />

Die Grafik oben zeigt die Breite der Mikrokanäle in<br />

Mikrometer. Das ganze Volumen im Mikrokanal wird <strong>mit</strong><br />

dem OCT-System exakt vermessen. Aus der<br />

gleichzeitigen Vermessung der Partikelgeschwindigkeit<br />

kann das Durchsatzvolumen abgeleitet werden.<br />

Die Breite der Mikrokanäle sowie deren Tiefe oder auch die Geschwindigkeit des Mediums<br />

werden aus einem einzigen Messvorgang bestimmt.<br />

Wie integrierte Schaltungen die Computertechnologie<br />

revolutioniert haben, revoluzioniert die Mikrofluid-Technik die<br />

Biologie. Mit Mikrofluiden kann ein biologisches Labor auf einem<br />

Chip integriert werden, sodass sich chemische Experimente die<br />

heute in Reagenzgläsern oder Glaskolben gemacht werden, auf<br />

einem Mikrofluid-Chip durchführen lassen.<br />

Mögliche Anwendungen für die Mikrofluidik finden sich in der<br />

biologischen Forschung, in vielen industriellen Anwendungen und<br />

im Gesundheitswesen.<br />

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11<br />

Mikrolöcher lokalisieren<br />

Mikrolöcher sind zum Teil erwünscht, z.B. wenn Oberflächen “atmungsaktiv” sein sollen<br />

oder wenn gewisse Bereiche gezielt perforiert sein müssen. In Verpackungsfolien sind<br />

Mikrolöcher jedoch unerwünscht. Die OCT-Bilder zeigen ein Loch <strong>mit</strong> 60 µm Durchmesser.<br />

Das Loch ist nicht durchgehend. Der Ort der Mikropore sowie deren Tiefe werden <strong>mit</strong> dem<br />

OCT-Verfahren berührungslos festgestellt.<br />

Lochtiefe<br />

Lochtiefe<br />

S=Distance/10/n<br />

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Die folgenden OCT-Bilder zeigen ein Loch <strong>mit</strong> 60 µm Durchmersser das von der Frontseite<br />

durch einen transparenten Träger hindurch führt. Auf der <strong>Licht</strong>austritts-Seite erkennt man<br />

keinen Sprung im Brechungsindex.<br />

12<br />

Loch durchgehend<br />

Reflektion<br />

im Loch<br />

S=Distance/10/n<br />

Weitere Informationen finden Sie auf unserer Webseite und im Sammelbericht, wo<br />

auf mehr als 170 Seiten Anwendungsbeispiele aus der Praxis beschrieben sind.<br />

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