Ergebnisse der Vorversuche

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Versuche mit Kapillaren 6,0 h 95°C: zunächst Blau-, später Goldfärbung
Leitfähigkeit 6,0 h 95°C: zunächst Blau-, später Goldfärbung 150 Ω auf 30 mm Ω starke Beschädigungen des Goldfilms
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Selektive Abscheidung von Gold Cars
Seite 4 und 5:
Problemstellung Selektive Beschicht
Seite 6 und 7:
Problemstellung Beschichtungstechni
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Seite 14 und 15: Eigenschaften des Precursors - hohe
Seite 16 und 17: MPS Mercaptopropyl-trimethoxysilan
Seite 18 und 19: MPS Mercaptopropyl-trimethoxysilan
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Seite 56 und 57: Versuche mit Kapillaren gereinigte,
Seite 60 und 61: Zusammenfassung CVD zur Darstellung
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