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Vorschlag für eine UHV Reinigung - Hasylab - Desy

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Konzeption:<br />

• Ölfrei durch Verwendung von trockenen Vorvakuumpumpen<br />

SCROLL Pumpen der Firmen EDWARDS<br />

• Einsatz von Turbomolekulapumpen der Firma Pfeiffer wegen der höheren Lebensdauer<br />

• Verhinderung der Partikelrückströmung von der SCROLL- Pumpe durch Sperrventile<br />

• Anpumpen über Bypass → Verbesserung des Leitwertes<br />

• Reduzierung der SCROLL Laufzeit bei Dauerbetrieb durch Einsatz <strong>eine</strong>s Puffers<br />

• möglichst hoher Leitwert im Pumpstand durch angepasste Rohrdurchmesser<br />

• Verwendung <strong>eine</strong>r SPS auf Basis <strong>eine</strong>s Altera Bausteins<br />

• Lecksuche im Gegenstrom möglich (BYPASS)<br />

M. Hesse DESY FS-BT Beamline Technology<br />

DESY

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