UNIVEX Sistemas de recubrimientos en vacío para experimentos de ...

UNIVEX
Sistemas de recubrimientos
en vacío para experimentos
de investigación y desarrollo
y para producciones piloto
Información técnica 184.04.06

UNIVEX
– de la experimentación a la producción en serie
En las modernas tecnologías, el recubrimiento
en vacío se ha convertido en
indispensable en muchas aplicaciones.
En el desarrollo de nuevos productos se
necesitan realizar de forma experimental
procesos adecuados de recubrimiento.
Las pruebas de laboratorio de dichos
procesos constituyen una parte importante
de dicho proceso de desarrollo.
Oerlikon Leybold Vacuum ha desarrollado
una familia de sistemas de experimentación
universal UNIVEX para su uso
en investigación y desarrollo, así como
en las instalaciones de producción piloto.
Su aplicación se extiende principalmente
al área de la tecnología de recubrimientos
en vacío, así como a experimentos en el
área de la ingeniería de procesos de vacío.
Los sistemas de experimentación universal
están basados en un moderno concepto
modular. Es posible llevar a cabo actualizaciones
y modificaciones de forma sencilla.
Los beneficios más importantes
de este concepto modular:
■ Utilizable universalmente para casi todos
los procesos de recubrimientos en vacío
■ Fácil de manejar
■ Compacto
■ Modificaciones y actualizaciones sencillas
■ Moderna tecnología de vacío con sistemas
de bombas turbomoleculares o
de bombas criogénicas
Los sistemas universales de experimentación
de Oerlikon Leybold Vacuum se
dividen en uno de estos tres tipos: sistemas
de campana de vacío, de cámara o
de agrupación (cluster).
Sea cual sea el tipo de experimento que esté planificando,
permitamos fabricar su sistema personalizado
basado en nuestro concepto modular
universal.
Nuestro grupo de soporte de aplicaciones estará
encantado de ayudarle.

UNIVEX 300
Sistema de campana
El UNIVEX 300 es un sistema de campana
adecuado para su ubicación como
sistema de sobremesa.
El diámetro de la cámara es de 300 mm.
El sistema de bombeo de alto vacío se
ha integrado en el rack y está formado
en su versión estándar por una bomba
turbomolecular y una bomba de respaldo.
Dichas bombas deben adaptarse a
las necesidades de bombeo de cada
proceso.
La cámara y el sistema de bombeo forman
el equipo básico que puede
ampliarse con la adición de componentes
de proceso específicamente seleccionados
por el cliente.
Están disponibles las siguientes
opciones:
■ Evaporadores térmicos
■ Sistemas de ataque químico
■ Evaporador mediante cañón de electrones
■ Fuentes de pulverización catódica por
CC
■ Componentes auxiliares como portasustratos,
calentadores, instrumentos
de medición del espesor de la película
■ Dispositivo elevador de la campana de
vacío
■ Instalaciones personalizadas de acuerdo
a las necesidades del cliente
El UNIVEX 300 es la unidad básica
de la familia UNIVEX y se ha diseñado
especialmente para la fabricación
de sencillas películas funcionales.
Además de su uso en investigación,
es especialmente adecuado
para la formación de estudiantes.
UNIVEX 350
Sistema de cámara con
puerta de acceso
El UNIVEX 350 es un sistema de cámara
y consiste en dos racks que pueden ser
independientes. En un lado se sitúan la
cámara de vacío (370 mm de largo, 500
mm de alto y 370 de ancho) y los sistemas
de alto vacío. El otro lado contiene
todas las fuentes de energía eléctrica.
Este diseño del sistema permite la instalación
del mismo en la pared de una sala
limpia.
El sistema de bombeo consiste en una
bomba turbomolecular estándar y una
bomba de respaldo. Dichas bombas
deben adaptarse a las necesidades de
bombeo de cada proceso.
Tanto el sistema de bombeo como las
funciones básicas del UNIVEX 350C están
controlados mediante un PLC.
Opcionalmente, el PLC puede también
controlar el proceso de forma total o parcial.
Puede añadirse fácilmente una cámara
de carga en una de las bridas laterales
de la cámara.

La configuración básica del UNIVEX 350
puede ampliarse con la adición de componentes
de proceso específicamente seleccionados
por el cliente. Estos componentes
de proceso pueden ajustarse a todas
las paredes disponibles de la cámara.
Además de todas las opciones comentadas
para el UNIVEX 300, el UNIVEX 350
puede también contener fuentes de pulverización
catódica por RF u otros procesos
RF (como limpieza RF, por ejemplo),
además de limpieza por plasma.
El UNIVEX 350C se ha diseñado
especialmente para la producción
de películas mono y multicapa. El
diseño de la cámara permite la
mayor flexibilidad en lo referente a
la instalación de componentes y
sustratos del proceso.
El UNIVEX 350 es especialmente
apropiado para aplicaciones de investigación
en salas limpias.
El controlador opcional de procesos
garantiza unos resultados con una
extraordinaria reproducibilidad.
El diseño de este sistema resulta
igualmente apropiado para la formación
de estudiantes.
UNIVEX 450B
Sistema de cámara con
puerta de acceso
El UNIVEX 450B es un sistema de cámara
cuyo desarrollo se basa en el UNIVEX 350.
La sección mecánica del sistema consiste
en una cámara de vacío (490 mm de
largo, 680 mm de alto y 500 mm de
ancho) y en un sistema de bombeo de
alto vacío. La bomba de alto vacío y la
bomba de respaldo se adaptan en cada
caso a las necesidades particulares de
los procesos.
La fuente de energía eléctrica está situada
en un rack independiente de 19”.
Esto permite una fácil instalación de la
cámara en lla pared de una sala limpia.
También en el caso del UNIVEX 450B, el
sistema de bombeo y las funciones básicas
del sistemas están controladas por
un PLC. De manera opcional, el PLC
puede controlar también el proceso de
forma total o parcial. Se puede montar
fácilmente una cámara de carga en una
de las bridas laterales de la cámara.
Todos los componentes de proceso anteriormente
citados pueden instalarse en la
cámara del UNIVEX 450B. Gracias al
espacio adicional disponible, el número de
posibles combinaciones es casi ilimitado.
El UNIVEX 450B se ha diseñado
especialmente para la producción
de películas mono y multicapa en
grandes sustratos.
El diseño de la cámara permite una
mayor flexibilidad en lo referente a
la instalación de componentes y
sustratos de proceso.
El UNIVEX 450B resulta especialmente
apropiado para su aplicación
en investigación y en sistemas de
producción piloto, así como en
salas limpias. El control opcional del
proceso garantiza unos resultados
especialmente reproducibles.
El diseño de este sistema es también
adecuado para la formación de
estudiantes.

UNIVEX 450C
Sistema Cluster
El UNIVEX 450C es un sistema de tipo
agrupado (cluster) en el que las distintas
cámaras se fabrican con el tamaño adecuado
a las necesidades del cliente.
El UNIVEX 450C está formado por una o
varias cámaras de proceso, así como
una cámara de transferencia y una
cámara de carga. Cada cámara está
equipada con sus propios sistemas de
bombeo de alto vacío. Todas las fuentes
de energía eléctrica están situadas en un
rack independiente de 19”.
Los sistemas de bombeo suelen consistir
en una bomba turbomolecular y una
bomba de respaldo. Dichas bombas se
adaptan a las necesidades de bombeo
de cada proceso.
Los sistemas de bombeo y todos los
pasos del proceso de UNIVEX 450C
están controlados por un autómata programable
(PLC).
Pueden guardarse y procesarse numerosos
procesos y parámetros diferentes en
forma de recetas.
En las cámaras de proceso pueden instalarse
varios componentes de vacío:
■ Evaporadores térmicos
■ Sistemas de ataque químico
■ Evaporador mediante cañón de electrones
■ Fuentes de pulverización catódica por CC
■ Fuentes de pulverización catódica por RF
■ Componentes auxiliares como portasustratos,
calentadores, instrumentos de
medición del espesor de la película
■ Instalaciones personalizadas de acuerdo
a las necesidades del cliente
■ Limpieza por RF y plasma
■ Sistema de transporte controlado por
robot
El UNIVEX 450C se ha diseñado especialmente
para la producción de películas
mono y multicapa con un procesamiento
totalmente automático. El controlador
del proceso permite unos rendimientos
elevados y garantiza unos resultados
altamente reproducibles. El diseño
de la cámara está estrictamente orientado
a los requisitos específicos del
cliente.
El UNIVEX 450C es especialmente
adecuado para la investigación
industrial y universitaria, así como
para producciones piloto en salas
limpias.

UNIVEX
Aplicaciones especiales y sistemas de prueba
Además del concepto estándar para los
sistemas UNIVEX, existen diversos sistemas
que han sido diseñados para aplicaciones
específicas.
UNIVEX 450 para
dactiloscopia
Con este sistema, las huellas en principio
invisibles (huellas digitales, por ejemplo)
en recipientes con una gran superficie
(bolsas de plástico, por ejemplo), se
vuelven visibles.
El recipiente con las huellas se reviste
por evaporación con oro y zinc en una
cámara de proceso especialmente diseñada
para ello. Para asegurar un revestimiento
uniforme, se han colocado diversas
estaciones de evaporación en la
cámara. El rack de este sistema alberga
el sistema de bombeo y las fuentes de
energía eléctrica.
La cámara de procesos está situada en
un bastidor diferente junto al cuadro
eléctrico. Como sistema de bombeo se
utiliza una bomba criogénica con la
bomba de respaldo correspondiente.
Este sistema incluye todo lo necesario
para que los tiempos de inactividad sean
muy breves.
El UNIVEX 450 para dactiloscopia
se ha desarrollado para su uso en
laboratorios especializados en
investigaciones policiales y judiciales.
Oficina Comercial y Servicio de
Asistencia Técnica en España
Oerlikon
Leybold Vacuum Spain, S.A.
C/ Huelva, 7
E-08940 Cornellá de Llobregat (Barcelona)
Tel: + 34 93 666 4616
Fax: +34 93 666 4370
sales.vacuum.ba@oerlikon.com
www.oerlikon.com
Sistemas de prueba
Los procesos industriales, en especial
aquellos que implican la fabricación de
tubos, lámparas especiales, etc., requieren
unos métodos de prueba cada vez
más complejos que necesitan realizarse
en condiciones de alto vacío. Para dichas
tareas podemos proporcionar soluciones
totales perfectamente adaptadas en cada
caso a las necesidades del cliente.
Proporcionamos una solución “llave en
mano”, desde la cámara de vacío,
pasando por los sistemas de bombeo
hasta sistemas de comprobación totalmente
automáticos, e incluimos una
completa documentación del proceso.
Damos cobertura a todo el proyecto,
desde la etapa de planificación hasta la
puesta en marcha.
Estaremos encantados de proyectar y fabricar los
sistemas de prueba de alto vacío especialmente
para sus procesos y de acuerdo a sus necesidades.
Simplemente diríjase a nuestro departamento de
sistemas y plantee sus ideas y necesidades.
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Imprimido en Alemania en papel blanqueado sin cloro Modificaciones técnicas reservadas