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在 高 真 空 区 域 放 气 作 用 处 于 支 配 地 位 ,, 放 气 率<br />
Q Q exp( t / t )<br />
i<br />
<br />
0 1<br />
S S ( p / p)<br />
s<br />
t=0 时 的 放 气 率 系 统 的 特 定 常 数<br />
0<br />
1<br />
u<br />
代 入 式<br />
dp<br />
dt<br />
<br />
Q<br />
V<br />
i<br />
<br />
S p<br />
s<br />
V<br />
系 统 处 于 远 远 高 于 极 限 压 力 时 的 抽 速<br />
p <br />
p<br />
1<br />
<br />
p<br />
u<br />
p<br />
u<br />
S0t<br />
Q0[exp( t / t1) exp( S0t / V )]<br />
exp( ) <br />
V S ( p p )[ 1<br />
( V / S t )]<br />
0 1 u<br />
0 1<br />
系 统 初 始 压 力<br />
放 气 率 可 以 表 示 为 比 表 面 放 气 率 q 1 ( 单 位 表 面 积 上 经 过 一 定 时 间 t' 时 的 放 气 速 率 ) 和<br />
表 面 积 A 的 乘 积<br />
Qi q1 A Q0 exp( t'/ t1)<br />
或 Q0 q1 Aexp( t'/ t1)
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