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5.2 油 扩 散 泵<br />
扩 散 泵 需 要 一 台 机 械 泵 作 为 前 级 泵 以 使 扩 散 泵 的 出 口 压 力 在 1Pa 至 2Pa 左 右<br />
油 扩 散 泵 高 真 空 机 组
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