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• 离 子 泵 不 适 宜 于 压 力 大 于 1Pa 的 抽 空 , 因 为 较 高 压 力 下 阴 极 寿 命 将 很 短 。
• 离 子 泵 在 抽 空 气 时 , 其 典 型 操 作 范 围 在 10mPa 至 10nPa 压 力 之 间 , 离 子 泵 抽 空 的
极 限 压 力 大 约 在 0.25nPa(2×10 -12 乇 )。
在 高 真 空 区 域 , 离 子 泵 的 一 个 重 要 优 点 是 离
子 泵 本 身 可 用 作 真 空 计 , 因 为 作 用 在 离 子 泵
上 的 电 流 与 被 抽 空 间 气 体 的 绝 对 压 力 成 正 比 。
由 于 离 子 泵 不 采 用 油 , 因 此 与 扩 散 泵 比 它 是
一 清 洁 操 作 泵 。
离 子 泵 的 主 要 缺 点 是 需 要 高 功 耗 (10 mPa 下 ,
一 50 l/s 的 离 子 泵 需 475 W 的 功 耗 ), 以 及 其
整 体 及 部 件 的 造 价 过 高 。
离 子 泵 钛 板