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5.3 涡 轮 分 子 泵
机 械 式
高 速 旋 转 的 多 级 涡 轮 转 子 叶 片 和 静 止 涡 轮 叶 片 的 组 合
利 用 高 速 旋 转 的 动 叶 轮 将 动 量 传 给 气 体 分 子 , 使 气 体 产 生 定 向 流 动 而 抽 气 的 真 空 泵 。
特 点 : 在 分 子 流 区 域 内 对 被 抽 气 体 产 生 很 高 的 压 缩 比 , 从 而 获 得 所 需 要 的 真 空 性 能 ,
对 被 抽 气 体 无 选 择 性 、 无 记 忆 效 应 、 操 作 简 单 、 使 用 方 便 。 由 于 对 分 子 量 大 的 气 体
具 有 很 高 的 压 缩 比 , 因 此 在 运 转 过 程 中 , 高 真 空 区 域 不 会 受 到 油 蒸 汽 的 污 染 , 该 泵
不 需 要 冷 阱 和 油 挡 板 , 即 可 获 得 清 洁 的 高 真 空 和 超 高 真 空 环 境 。
应 用 领 域 : 表 面 分 析 、 加 速 器 技 术 、 等 离 子 体 技 术 、 电 真 空 器 件 制 造 及 真 空 技 术 等