FabEagle - AIS Automation Dresden GmbH

FabEagle ® TFM|

FabEagle ® TFM |
FabEagle ® MES
FabEagle ® TFM –
在 半 導 體 生 產 線 從 手 動 操 作 成 長 為 更 高 度 的 自 動 化 級 別 時 ,
分 析 設 備 的 績 效 資 訊 變 得 愈 發 重 要 。
利 用 自 動 搜 集 的 機 台 績 效 資 料 進 行 分 析 成 為 了 生 產 計 畫 的 焦
點 , 其 影 響 設 備 利 用 率 的 提 升 以 及 採 購 額 外 設 備 成 本 的 節
約 。
FabEagle ® TFM –
FabEagle ® TFM 以 負 載 均 衡 的 方 式 運 行 於 Window 伺 服 器 上 , 並
將 所 有 資 料 儲 存 於 SQL 資 料 庫 中 。
與 其 他 功 能 成 員 / 模 組 的 通 訊 可 以 由 標 準 的 通 訊 層 , 比 如 說
Message buses, XML,SECS/GEM, Field Bus, ODBC 或 者 物 件
導 向 介 面 ( 比 如 說 CORBA)
OEE 計 算 的 下 一 個 步 驟 , 以 FabEagle ® TFM 搜 集 的 機 台 績 效 資 料
進 行 預 防 性 維 護 計 畫 開 始 。
AIS 自 動 化 德 累 斯 頓 公 司 , 作 為 SEMI 的 成 員 , 我 們 支 援 SEMI
OEE 標 準 的 規 格 , 並 且 擴 展 這 些 標 準 , 利 用 FabEagle ® TFM 提 供
更 具 體 的 分 析 方 法
本 文 描 述 為 何 為 什 麼 FabEagle ® TFM 是 提 升 廠 務 系 統 ( 比 如 說
化 學 氣 體 供 應 ) 的 和 半 導 體 以 及 光 伏 生 產 線 的 效 率 的 重 要 軟
體 工 具 。 我 們 一 兩 個 例 子 來 描 述 製 造 成 本 是 如 何 降 低 的 。
n 品 質 及 產 量 需 求 的 顯 著 提 升
n 技 術 設 備 和 制 程 愈 發 複 雜
n 對 於 昂 貴 的 設 備 的 利 用 率 必 須 盡 可 能 的 高 效
n 複 雜 的 集 群 設 備 不 能 僅 用 一 種 設 備 狀 態 來 描 述
n 資 源 計 畫 以 及 派 送 需 要 設 備 可 用 率 的 相 關 資 料
n 對 於 不 同 廠 房 內 設 備 效 率 的 對 比
n 減 少 設 備 錯 誤 和 警 報
FabEagle ® TFM
n 縮 短 新 制 程 步 驟 的 調 試 時 間
n 監 控 單 個 機 台 和 機 台 群 組 的 設 備 效 率
n 具 體 分 析 集 群 設 備 的 每 個 子 腔 體
n 提 升 資 源 規 劃 和 派 送 的 品 質
n 提 供 多 種 可 能 性 和 技 術 來 整 合 可 用 的 設 備 資 料 至 EPT 系 統
n 偵 測 、 分 類 並 報 告 設 備 的 錯 誤 和 警 報
n 縮 減 非 生 產 時 間
n 提 供 預 防 性 維 護 , 並 且 減 少 維 護 努 力

OEE
Time (hrs)
160
TR 25 Level 3
FabEagle ® TFM 提 供 下 面 的 功 能 模 組
140
n 線 上 視 覺 化
120
n 警 報 統 計 和 報 表
100
n 產 出 及 OEE 分 析
n 實 際 產 出 和 特 徵 的 比 較
n 按 細 目 分 析 機 台 部 件 的 處 理
n 制 程 趨 勢
n 集 群 設 備 分 析 / 節 拍 追 蹤
80
60
40
20
0
05.12.2000
06.12.2000 07.12.2000 08.12.2000 09.12.2000 10.12.2000 11.12.2000
Day
n 基 板 追 蹤
PU
RSRL
PSL
SB
EN
SD
UD
NS
CM
EX
FabEagle ® TFM RAM
可 靠 率 , 可 用 率 和 可 維 護 率
一 個 系 統 的 可 靠 率 指 標 :
n MTBF (P) – 平 均 故 障 間 隔
n MTBA (P) – 平 均 協 助 間 隔
n MUTBF – 平 均 故 障 間 隔 內 可 用 時 間
一 個 系 統 的 可 維 護 率 指 標
n MTTR – 平 均 修 理 時 間
一 個 系 統 的 利 用 率 指 標
n AV[%] – 可 用 率
n UP[%] – 執 行 時 間
n UPm[%] – 生 產 執 行 時 間
n TU[%] – 總 利 用 率
n OU[%] – 操 作 利 用 率
n UU[%] – 執 行 時 間 利 用 率
n MU[%] – 生 產 利 用 率
Day PU RSRL PSL SB EN SD UD NS EX CM MT(h) MR(%) TT(h)
05.12.00 19.58 1.03 15.45 10.16 0.00 0.51 2.77 0.00 0.03 159.41 55.50 38.54 144.00
06.12.00 34.23 1.70 22.64 22.16 0.00 6.34 7.50 0.00 16.98 35.74 93.58 64.98 144.00
07.12.00 22.93 1.21 19.77 30.85 0.00 11.26 14.15 0.00 43.84 0.00 100.16 69.56 144.00
08.12.00 25.34 1.33 22.80 51.22 0.00 12.26 14.75 0.00 16.29 0.00 127.71 88.69 144.00
09.12.00 19.20 1.01 22.51 51.62 0.00 12.89 19.36 0.00 17.41 0.00 126.59 87.91 144.00
10.12.00 29.50 1.55 21.15 68.64 0.00 11.84 10.35 0.00 0.98 0.00 143.02 99.32 144.00
11.12.00 27.38 1.44 23.12 61.76 0.00 12.88 10.60 0.00 6.82 0.00 137.18 95.27 144.00
FabEagle ® TFM
客 戶 A, 利 用 FabEagle ® TFM 分 析 了 33 個 不 同 種 類 設 備 的
使 用 狀 況 , 得 出 下 面 的 結 果 :
n 提 升 了 OEE 從 低 於 80% 至 超 過 90%
n 縮 減 宕 機 時 間 從 25% 到 11%
n 提 升 了 25% 甚 至 更 多 的 產 出
n 減 少 了 10% 的 設 備 成 本
n 降 低 了 8% 的 製 造 成 本
客 戶 B 在 300mm 半 導 體 製 造 廠 的 曝 光 工 段 利 用
FabEagle ® TFM 超 過 5 年 時 間 , 提 升 了 步 進 電 動 機 的 利 用
率 , 減 少 了 步 進 電 機 的 採 購 量 。
FabEagle ® TFM
FabEagle ® TFM
FabEagle ® TFM AIS

AIS
AIS 自 動 化 德 累 斯 頓 公 司 , 總 部 位 於 德 累 斯 頓 , 成 立 於 1990 年
, 是 德 國 的 一 個 權 威 的 系 統 和 軟 體 研 發 機 構 。
AIS 為 光 伏 、 半 導 體 、 汽 車 產 業 以 及 薄 膜 、 等 離 子 和 真 空 技
術 提 供 工 廠 和 製 造 自 動 化 軟 體 解 決 方 案 。 其 他 的 業 務 還 有 交
通 和 鐵 路 產 業 的 工 藝 和 工 廠 自 動 化 。
對 於 工 廠 自 動 化 , 我 們 的 業 務 涵 蓋 完 整 的 生 產 資 訊 化 領 域 。
對 於 生 產 控 制 , 我 們 的 FabEagle ® MES ,APS 解 決 方 案 用 於 具
體 的 生 產 規 劃 ,RES-Q 用 作 生 產 環 境 的 模 擬 , 以 及 FabEagle ®
框 架 用 作 制 程 改 進 比 如 說 APC, SPC, FDC。
AIS 是 Roth & Rau 集 團 的 子 公 司 , 進 而 對 於 全 球 的 客 戶 支 援 提
供 擴 展 服 務 與 支 援 網 路 。
AIS Automation Dresden GmbH
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01237 Dresden
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Fax +49 351 2166 3000
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