mesures 2D et 3D Polycopié de cours— 2002/2003
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Optique C1— 18851<br />
Images optiques; <strong>mesures</strong> <strong>2D</strong> <strong>et</strong> <strong>3D</strong><br />
<strong>Polycopié</strong> <strong>de</strong> <strong>cours—</strong> <strong>2002</strong>/<strong>2003</strong><br />
Conservatoire National <strong>de</strong>s Arts <strong>et</strong> Métiers<br />
Yves Surrel, chaire d’instrumentation
Table <strong>de</strong>s matières<br />
I Diffraction <strong>et</strong> formation <strong>de</strong>s images 11<br />
1 Diffraction <strong>de</strong> Fraunhofer 13<br />
1.1 Amplitu<strong>de</strong> complexe d’une on<strong>de</strong> monochromatique . . . . . . . . . . . . . 13<br />
1.2 Développement limité <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> sphérique . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14<br />
1.3 Transparence en amplitu<strong>de</strong> - Cas <strong>de</strong> la lentille . . . . . . . . . . . . . . . . 15<br />
1.4 Principe d’Huygens - Fresnel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17<br />
1.5 Diffraction <strong>de</strong> Fraunhofer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18<br />
1.5.1 Conditions d’observation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18<br />
1.5.2 Amplitu<strong>de</strong> diffractée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19<br />
1.5.3 Fente unique <strong>et</strong> fentes d’Young . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21<br />
1.5.4 Ouverture circulaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24<br />
1.5.5 Réseaux . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25<br />
2 Formation <strong>de</strong>s images en éclairage cohérent 33<br />
2.1 Double diffraction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33<br />
2.1.1 Filtrage <strong>de</strong>s fréquences spatiales . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35<br />
2.1.2 Strioscopie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35<br />
2.1.3 Contraste <strong>de</strong> phase . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36<br />
2.1.4 Détramage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36<br />
2.1.5 Reconnaissance <strong>de</strong> formes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37<br />
2.2 Fonction <strong>de</strong> transfert <strong>de</strong> modulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38<br />
3 Formation <strong>de</strong>s images en éclairage incohérent 41<br />
II Mesures <strong>2D</strong> <strong>et</strong> <strong>3D</strong> 45<br />
4 Traitement <strong>de</strong>s franges <strong>et</strong> détection numérique <strong>de</strong> phase 47<br />
4.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47<br />
4.2 L’importance <strong>de</strong> la phase . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47<br />
4.3 Le décalage <strong>de</strong> phase . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48<br />
4.3.1 Nombre d’inconnues . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48<br />
4.3.2 Principe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49<br />
3
4 TABLE DES MATIÈRES<br />
4.3.3 Polynôme caractéristique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50<br />
4.3.4 Diagramme caractéristique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50<br />
4.3.5 Algorithme N-pas ou TFD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51<br />
4.3.6 Sources d’erreur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51<br />
4.3.7 Algorithme TFD-fenêtré . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52<br />
4.3.8 Bruit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53<br />
5 Métho<strong>de</strong>s géométriques <strong>de</strong> <strong>mesures</strong> 55<br />
5.1 Lumière structurée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55<br />
5.2 Le dépliement <strong>de</strong> phase . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56<br />
5.2.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56<br />
5.2.2 Dépliement spatial . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56<br />
5.2.3 Dépliement temporel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60<br />
5.3 Métho<strong>de</strong> <strong>de</strong> la grille . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63<br />
5.3.1 Principe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63<br />
5.3.2 P<strong>et</strong>its déplacements, grands déplacements, déformations . . . . . . 64<br />
5.3.3 Mesure <strong>de</strong>s <strong>de</strong>ux composantes du déplacement . . . . . . . . . . . . 65<br />
5.3.4 Moiré . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66<br />
5.4 Déflectométrie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68<br />
6 Métho<strong>de</strong>s interférométriques 73<br />
6.1 Vecteur sensibilité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73<br />
6.1.1 Rappel sur les interférences . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73<br />
6.1.2 Interactions lumière-surface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74<br />
6.1.3 Vecteur sensibilité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75<br />
6.2 Interférométrie type Michelson . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77<br />
6.3 Interférométrie holographique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79<br />
6.3.1 Principe <strong>de</strong> l’holographie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79<br />
6.3.2 Interférométrie holographique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79<br />
6.4 Moiré interférométrique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84<br />
6.4.1 Réseau <strong>de</strong> diffraction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84<br />
6.4.2 Montage du moiré interférométrique . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84<br />
6.4.3 Mise en œuvre . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86<br />
6.5 Interférométrie différentielle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88<br />
6.6 Techniques basées sur le speckle laser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93<br />
6.6.1 Speckle objectif <strong>et</strong> speckle subjectif . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93<br />
6.6.2 Interférométrie <strong>de</strong> speckle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95<br />
6.6.3 Corrélation <strong>de</strong> speckle (Speckle photography) . . . . . . . . . . . . . 99<br />
6.7 Photoélasticimétrie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101<br />
6.7.1 Description <strong>de</strong> la lumière polarisée . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101<br />
6.7.2 Déformations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102<br />
6.7.3 La photoélasticité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103<br />
6.7.4 Lames d’on<strong>de</strong> <strong>et</strong> polariseurs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
TABLE DES MATIÈRES 5<br />
6.7.5 Isochromatiques <strong>et</strong> isoclines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108<br />
6.7.6 Décalage <strong>de</strong> phase . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
6 TABLE DES MATIÈRES
Table <strong>de</strong>s figures<br />
1.1 On<strong>de</strong> sphérique divergente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14<br />
1.2 Image d’un point par une lentille . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16<br />
1.3 Construction d’Huygens . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17<br />
1.4 Conditions d’observation <strong>de</strong> la diffraction <strong>de</strong> Fraunhofer . . . . . . . . . 18<br />
1.5 Calcul <strong>de</strong> l’amplitu<strong>de</strong> diffractée (diffraction <strong>de</strong> Fraunhofer) . . . . . . . 19<br />
1.6 Diffraction par un trou rectangulaire, <strong>de</strong> hauteur <strong>de</strong>ux fois plus gran<strong>de</strong> que<br />
la largeur. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22<br />
1.7 Amplitu<strong>de</strong> diffractée par un système <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux fentes d’Young, avec e = 5a 23<br />
1.8 Intensité diffractée par un système <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux fentes d’Young, avec e = 5a . 23<br />
1.9 Diffraction par <strong>de</strong>ux trous rectangulaires, <strong>de</strong> hauteur b <strong>de</strong>ux fois plus gran<strong>de</strong><br />
que la largeur a, <strong>et</strong> séparées par une distance égale à e = 5a. . . . . . . . . 24<br />
1.10 Tache d’Airy : figure <strong>de</strong> diffraction d’un trou circulaire. . . . . . . . . . . 25<br />
1.11 Amplitu<strong>de</strong> diffractée par un réseau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27<br />
1.12 Intensité diffractée par un réseau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28<br />
1.13 Illustration du critère <strong>de</strong> Rayleigh . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29<br />
1.14 Coupe d’un réseau miroitant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30<br />
1.15 Intensité diffractée par un réseau miroitant, pour la longueur d’on<strong>de</strong> pour<br />
laquelle il concentre la lumière dans l’ordre 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . 31<br />
2.1 Montage <strong>de</strong> double diffraction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34<br />
2.2 Tramage d’une photographie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37<br />
2.3 Reconnaissance <strong>de</strong> formes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38<br />
2.4 FTM en éclairage cohérent. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39<br />
2.5 Pupilles d’entrée <strong>et</strong> <strong>de</strong> sortie. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40<br />
3.1 Représentation <strong>de</strong> la fonction K(w) donnée par l’équation (3.7) . . . . . . 42<br />
3.2 Représentation <strong>de</strong> la FTM en éclairage incohérent. . . . . . . . . . . . . . . 43<br />
4.1 Diagramme caractéristique correspondant au polynôme 4.11 (a) Décalage<br />
<strong>de</strong> phase arbitraire b) Décalage <strong>de</strong> phase optimum. . . . . . . . . . . . . . 51<br />
4.2 Fenêtrage triangulaire opéré par l’algorithme TFD fenêtré . . . . . . . . . 52<br />
5.1 Principe <strong>de</strong> la profilométrie par projection <strong>de</strong> lumière structurée (a) Projection<br />
parallèle (b) Projection conique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56<br />
7
8 TABLE DES FIGURES<br />
5.2 Mise en œuvre <strong>de</strong> la profilométrie par projection avec un projecteur vidéo. 57<br />
5.3 Propagation d’une erreur <strong>de</strong> dépliement <strong>de</strong> phase. Le cercle est centré à<br />
l’origine <strong>de</strong> l’erreur (pixel bruité) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57<br />
5.4 Dépliement <strong>de</strong> phase par lissage spatial. À gauche, <strong>de</strong>s coupes horizontales.<br />
(a) image <strong>de</strong> phase bruitée (b) image <strong>de</strong> phase après un lissage spatial (c)<br />
image <strong>de</strong> phase lissée dépliée (d) Image <strong>de</strong> phase bruitée <strong>et</strong> dépliée . . . . . 59<br />
5.5 Numérotation <strong>de</strong>s franges par projection <strong>de</strong> masques successifs . . . . . . . 60<br />
5.6 Dépliement temporel <strong>de</strong> phase . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61<br />
5.7 Dépliement <strong>de</strong> phase en utilisant le concept <strong>de</strong> longueur d’on<strong>de</strong> synthétique 62<br />
5.8 Déplacements directs <strong>et</strong> inverses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63<br />
5.9 Translations du spectre dûs à l’eff<strong>et</strong> <strong>de</strong> moiré . . . . . . . . . . . . . . . . . 67<br />
5.10 Augmentation <strong>de</strong>s déformations par le moiré . . . . . . . . . . . . . . . . . 68<br />
5.12 Déflectométrie : remplacement <strong>de</strong> la fente par une grille (l’éclairage <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong><br />
n’est plus représenté). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69<br />
5.13 Cartographie du champ <strong>de</strong> pentes pour une pièce <strong>de</strong> germanium usinée avec<br />
un outil diamant. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70<br />
5.11 Montage <strong>de</strong> déflectométrie, utilisant une fente. S : source ponctuelle, BS :<br />
lame semi-réfléchissante, FL : lentille <strong>de</strong> champ, IL : lentille d’imagerie . . 71<br />
6.1 Différents mo<strong>de</strong>s d’interaction <strong>de</strong> la lumière sur une surface . . . . . . . . . 74<br />
6.2 Définition du vecteur sensibilité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75<br />
6.3 Principe <strong>de</strong> la mesure interférométrique <strong>de</strong> formes <strong>de</strong> surfaces . . . . . . . 77<br />
6.4 Montage interférométrique <strong>de</strong> Twymann-green pour l’étu<strong>de</strong> interférométrique<br />
<strong>de</strong> la géométrie <strong>de</strong>s surfaces réfléchissantes . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77<br />
6.5 Image interférométrique d’une cale étalon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78<br />
6.6 Carte <strong>de</strong>s écarts d’épaisseur pour la cale <strong>de</strong> la Fig. 6.5. . . . . . . . . . . . 78<br />
6.7 Montage d’enregistrement holographique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79<br />
6.8 Restitution holographique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79<br />
6.9 Deux états <strong>de</strong> la surface d’un obj<strong>et</strong> vibrant correspondant aux <strong>de</strong>ux positions<br />
extrêmes <strong>de</strong> vibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82<br />
6.10 Vecteurs sensibilité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82<br />
6.11 Intensité <strong>de</strong>s franges <strong>de</strong> Bessel (trait plein) observées en temps moyenné.<br />
En pointillé, l’intensité fictive correspondant aux franges d’interférence entre<br />
les <strong>de</strong>ux positions extrêmes <strong>de</strong>s vibrations <strong>de</strong> la surface. . . . . . . . . . . . 83<br />
6.12 Diffraction par un réseau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84<br />
6.13 Principe du moiré interférométrique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85<br />
6.14 Vecteurs sensibilité pour le moiré interférométrique . . . . . . . . . . . . . 85<br />
6.15 Eff<strong>et</strong> <strong>de</strong> relief créé par la présence <strong>de</strong> grains métalliques aux endroits exposés. 86<br />
6.16 Montage à trois miroirs pour le moiré interférométrique . . . . . . . . . . . 87<br />
6.17 Techniques <strong>de</strong> dédoublement <strong>de</strong> l’image . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89<br />
6.19 Configuration <strong>de</strong> quatre vecteurs d’on<strong>de</strong> d’éclairage possibles . . . . . . . . 90<br />
6.18 Déplacement différentiel <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux points voisins. . . . . . . . . . . . . . . . 90
TABLE DES FIGURES 9<br />
6.20 Nouveaux vecteurs sensibilité résultant <strong>de</strong> combinaisons linéaires sur les<br />
cartes <strong>de</strong> phase . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91<br />
6.21 Diffusion aléatoire <strong>de</strong> la lumière par la micro-rugosité d’une surface . . . . 94<br />
6.22 Speckle subjectif . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95<br />
6.23 Montage d’interférométrie <strong>de</strong> speckle pour la mesure <strong>de</strong>s déplacements hors<br />
plan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96<br />
6.24 Montage d’interférométrie <strong>de</strong> speckle pour la mesure <strong>de</strong>s déplacements plans. 99<br />
6.25 Dépouillement ponctuel dans le cas d’une mesure <strong>de</strong> déplacement par photographie<br />
<strong>de</strong> speckle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100<br />
6.26 Signification <strong>de</strong>s composantes du tenseur <strong>de</strong>s déformations . . . . . . . . . 102<br />
6.27 Lame biréfringente sous inci<strong>de</strong>nce normale. Les directions 1 <strong>et</strong> 2 sont celles<br />
<strong>de</strong>s directions principales simultanées du tenseur <strong>de</strong>s déformations <strong>et</strong> du<br />
tenseur permittivité diélectrique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 104<br />
6.28 Lame d’on<strong>de</strong> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105<br />
6.29 Polariseur circulaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106<br />
6.30 Passage <strong>de</strong> la lumière « circulaire » à la lumière « rectiligne » . . . . . . . 107<br />
6.31 Directions <strong>de</strong> polarisation <strong>et</strong> directions principales <strong>de</strong> déformation . . . . . 110
10 TABLE DES FIGURES
Première partie<br />
Diffraction <strong>et</strong> formation <strong>de</strong>s images<br />
11
Chapitre 1<br />
Diffraction <strong>de</strong> Fraunhofer<br />
On considère dans tout ce chapitre que la lumière est monochromatique.<br />
1.1 Amplitu<strong>de</strong> complexe d’une on<strong>de</strong> monochromatique<br />
Pour une lumière monochromatique, l’expression du champ est :<br />
f r ( −→ r , t) = R[f( −→ r ) exp(−i 2πνt)] (1.1)<br />
où f( −→ r ) est l’amplitu<strong>de</strong> complexe <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> (ce n’est autre que le « vecteur <strong>de</strong> Fresnel »<br />
bien connu <strong>de</strong>s électriciens). Une on<strong>de</strong> plane correspond à une amplitu<strong>de</strong> complexe :<br />
f( −→ r ) ∝ exp[i ( −→ k . −→ r + φ)] (1.2)<br />
où φ est un constante <strong>et</strong> où :<br />
−→ 2π k =<br />
−→ n (1.3)<br />
λ<br />
est le vecteur d’on<strong>de</strong> ( −→ n est le vecteur unitaire <strong>de</strong> la direction <strong>de</strong> propagation <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong>).<br />
La surface d’on<strong>de</strong> (ou surface équiphase) est définie par la relation :<br />
−→ k .<br />
−→ r + φ = cte (1.4)<br />
ce qui est l’équation d’une famille <strong>de</strong> plans perpendiculaires à −→ k .<br />
Si l’on prend l’origine <strong>de</strong>s phases à l’origine <strong>de</strong>s coordonnées, on a φ = 0 dans les<br />
formules ci-<strong>de</strong>ssus.<br />
Une on<strong>de</strong> sphérique divergente correspond à une amplitu<strong>de</strong> complexe :<br />
f( −→ exp[i kr + φ)]<br />
r ) ∝ (1.5)<br />
r<br />
où −→ r est le rayon vecteur allant <strong>de</strong> la source <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> vers le point d’observation. Le<br />
flux lumineux <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> varie en 1/r 2 . Il y a donc conservation <strong>de</strong> l’énergie à travers toute<br />
sphère centrée sur la source. Une on<strong>de</strong> convergente a l’amplitu<strong>de</strong> complexe conjuguée.<br />
Si l’on prend l’origine <strong>de</strong>s phases à l’origine <strong>de</strong>s coordonnées, on a φ = 0 dans la formule<br />
ci-<strong>de</strong>ssus.<br />
13
14 CHAPITRE 1. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER<br />
1.2 Développement limité <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> sphérique<br />
Pour mener à bien le calcul <strong>de</strong> la superposition <strong>de</strong>s on<strong>de</strong>s sphériques émises par les<br />
sources secondaires d’Huygens considérées sur l’obj<strong>et</strong> diffractant, il est utile au préalable<br />
<strong>de</strong> réaliser un développement limité <strong>de</strong> l’amplitu<strong>de</strong> complexe d’une on<strong>de</strong> sphérique au<br />
voisinage <strong>de</strong> son axe (Figure 1.1) :<br />
PSfrag replacements<br />
α<br />
ξ, η<br />
M<br />
Σ<br />
C<br />
d<br />
P<br />
S<br />
Fig. 1.1 – On<strong>de</strong> sphérique divergente<br />
D’après la formule (1.1), l’amplitu<strong>de</strong> complexe en M <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> sphérique divergente<br />
représentée sur la Figure 1.1 est, si l’origine <strong>de</strong>s phases est prise en C :<br />
f( −→ r ) =<br />
exp(i kr)<br />
r<br />
=<br />
exp(i k CM)<br />
CM<br />
(1.6)<br />
avec −→ r = −−→ CM.<br />
Il est clair que la variation d’amplitu<strong>de</strong> due à la présence <strong>de</strong> CM au dénominateur est<br />
négligeable <strong>de</strong>vant la variation <strong>de</strong> phase <strong>de</strong> l’exponentielle complexe, puisque d ≫ λ. Au<br />
dénominateur, on posera donc CM ≈ d.<br />
Pour x <strong>et</strong> η très p<strong>et</strong>its <strong>de</strong>vant d, on peut poser pour le point M <strong>de</strong> coordonnées (ξ, 0)<br />
dans le plan frontal passant par P :<br />
<strong>et</strong> :<br />
Soit :<br />
CM = CP + P S = d + CM [1 − cos(α)] ≈ d + d α2<br />
2<br />
α ≈ ξ d<br />
CM = d + ξ2<br />
2d<br />
(1.7)<br />
(1.8)<br />
(1.9)
1.3. TRANSPARENCE EN AMPLITUDE - CAS DE LA LENTILLE 15<br />
Pour un point M <strong>de</strong> coordonnées (ξ, η), on trouve <strong>de</strong> même :<br />
CM = d + ξ2 + η 2<br />
L’amplitu<strong>de</strong> complexe <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> au point M est donc :<br />
)<br />
exp(i kd)<br />
f(ξ, η) ≈ exp<br />
(i k ξ2 + η 2<br />
d<br />
2d<br />
En appelant −→ ρ le vecteur <strong>de</strong> coordonnées (ξ, η), on a :<br />
f( −→ ρ ) =<br />
exp(i kd)<br />
d<br />
2d<br />
exp<br />
) (i k ρ2<br />
2d<br />
(1.10)<br />
(1.11)<br />
(1.12)<br />
Le premier facteur du <strong>de</strong>uxième membre <strong>de</strong> l’équation (1.12) est l’amplitu<strong>de</strong> complexe d’un<br />
plan d’on<strong>de</strong> Π, affecté d’un coefficient <strong>de</strong> décroissance dû à la distance d. Le <strong>de</strong>uxième terme<br />
est un facteur <strong>de</strong> phase quadratique, caractéristique <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> sphérique. Il est facile <strong>de</strong> voir<br />
qu’une on<strong>de</strong> convergente aura un facteur <strong>de</strong> phase quadratique conjugué.<br />
En général, le terme <strong>de</strong> propagation exp(i kd) est <strong>de</strong> peu d’intérêt. On prend alors<br />
l’origine <strong>de</strong>s phases au niveau <strong>de</strong> l’axe où l’on travaille, c’est-à-dire en P sur la Figure 1.1.<br />
Dans ce cas, l’amplitu<strong>de</strong> complexe d’une on<strong>de</strong> sphérique divergente se réduit à :<br />
f( −→ )<br />
ρ ) = exp<br />
(i k ρ2<br />
(1.13)<br />
2d<br />
<strong>et</strong> celle d’une on<strong>de</strong> sphérique convergente à :<br />
f( −→ ρ ) = exp<br />
) (−i k ρ2<br />
2d<br />
(1.14)<br />
1.3 Transparence en amplitu<strong>de</strong> - Cas <strong>de</strong> la lentille<br />
L’eff<strong>et</strong> d’une lentille convergente ou divergente peut se décrire très simplement dans le<br />
cadre <strong>de</strong> ces approximations. Tout d’abord, considérons un obj<strong>et</strong> plan transparent éclairé<br />
par une on<strong>de</strong> inci<strong>de</strong>nte d’amplitu<strong>de</strong> complexe f i . Appelons f e l’amplitu<strong>de</strong> complexe <strong>de</strong><br />
l’on<strong>de</strong> émergente. Les fonctions f i <strong>et</strong> f e désignent ces amplitu<strong>de</strong>s respectivement juste<br />
avant <strong>et</strong> juste après l’obj<strong>et</strong>. On appellera transparence en amplitu<strong>de</strong> <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> <strong>et</strong> l’on<br />
notera t le rapport :<br />
<strong>de</strong> sorte que l’on<strong>de</strong> émergente a l’amplitu<strong>de</strong> complexe :<br />
t = f e<br />
f i<br />
(1.15)<br />
f e = t f i (1.16)
16 CHAPITRE 1. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER<br />
Une lentille divergente transforme une on<strong>de</strong> plane en une on<strong>de</strong> divergente. Si l’on prend<br />
l’origine <strong>de</strong>s phases au niveau du plan <strong>de</strong> la lentille, l’amplitu<strong>de</strong> complexe d’une on<strong>de</strong><br />
inci<strong>de</strong>nte plane est :<br />
f i = 1<br />
<strong>et</strong> l’amplitu<strong>de</strong> complexe <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> émergente est :<br />
)<br />
f e = exp<br />
(i k ρ2<br />
2f<br />
(1.17)<br />
où f est la distance focale <strong>de</strong> la lentille. Donc, la transparence en amplitu<strong>de</strong> d’une lentille<br />
divergente est :<br />
)<br />
t(ρ) = exp<br />
(i k ρ2<br />
(1.18)<br />
2f<br />
De la même façon, celle d’une lentille convergente est :<br />
)<br />
t(ρ) = exp<br />
(−i k ρ2<br />
2f<br />
(1.19)<br />
Prenons maintenant une lentille convergente éclairée par une on<strong>de</strong> sphérique issue d’un<br />
point source A (Figure 1.2) situé à une distance d avant la lentille. L’amplitu<strong>de</strong> complexe<br />
PSfrag replacements<br />
A<br />
d d ′<br />
B<br />
Fig. 1.2 – Image d’un point par une lentille<br />
<strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> inci<strong>de</strong>nte est, dans le plan <strong>de</strong> la lentille :<br />
f i (ρ) = exp<br />
<strong>et</strong> celle <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> émergente est égale à :<br />
) (i k ρ2<br />
2d<br />
)<br />
f e (ρ) = exp<br />
(−i k ρ2<br />
2d ′<br />
(1.20)<br />
(1.21)
1.4. PRINCIPE D’HUYGENS - FRESNEL 17<br />
mais elle est aussi égale à :<br />
f e (ρ) = t(ρ) f i (ρ) = exp<br />
) (−i k ρ2<br />
exp<br />
2f<br />
) (i k ρ2<br />
2d<br />
(1.22)<br />
On en déduit que nécessairement :<br />
1<br />
f = 1 d + 1 (1.23)<br />
d ′<br />
ce qui n’est rien d’autre que la loi <strong>de</strong> conjugaison <strong>de</strong>s lentilles simples.<br />
1.4 Principe d’Huygens - Fresnel<br />
C’est en 1818 qu’Augustin Jean Fresnel (1788-1827) remporte le prix <strong>de</strong> l’Académie<br />
<strong>de</strong>s Sciences <strong>de</strong> Paris avec un mémoire où, pour expliquer les phénomènes <strong>de</strong> diffraction qui<br />
constituaient le thème du concours, il fait la synthèse du principe <strong>de</strong> construction <strong>de</strong> surfaces<br />
d’on<strong>de</strong>s d’Huygens <strong>et</strong> du principe d’interférences d’Young. Le principe d’Huygens<br />
pose que tout élément d’une surface d’on<strong>de</strong> Σ(t) peut être considérée comme une source<br />
élémentaire ém<strong>et</strong>tant <strong>de</strong>s on<strong>de</strong>l<strong>et</strong>tes sphériques centrées sur c<strong>et</strong> élément, <strong>et</strong> que la surface<br />
d’on<strong>de</strong> Σ(t + dt) à un instant ultérieur n’est autre que l’enveloppes <strong>de</strong> ces on<strong>de</strong>l<strong>et</strong>tes<br />
élémentaires à c<strong>et</strong> instant (Figure 1.3). Le principe d’interférences d’Young est simple-<br />
Σ(t)<br />
P ¥<br />
Σ(t + dt)<br />
¥ M<br />
Fig. 1.3 – Construction d’Huygens<br />
ment le fait que les champs émis par les différentes on<strong>de</strong>l<strong>et</strong>tes vont interférer, c’est-à-dire<br />
s’ajouter.<br />
Nous nous bornerons ici à l’énoncé du « principe » d’Huygens-Fresnel énoncé <strong>de</strong> la<br />
manière suivante : un élément dS centré au point P <strong>de</strong> la surface d’on<strong>de</strong> Σ(t) où la champ<br />
inci<strong>de</strong>nt a l’amplitu<strong>de</strong> A ém<strong>et</strong> une on<strong>de</strong> sphérique dont l’amplitu<strong>de</strong> du en un point M <strong>de</strong><br />
la surface d’on<strong>de</strong> Σ(t + dt) est :<br />
du = − i λ<br />
exp(i kr)<br />
r<br />
K(θ) A dS (1.24)<br />
où K(θ) est un facteur d’inclinaison dépendant <strong>de</strong> l’angle entre la normale à Σ(t) en P<br />
<strong>et</strong> la direction du vecteur P −−→ M <strong>et</strong> où r = P M. L’interférence (c’est-à-dire la somme) <strong>de</strong><br />
toutes ces on<strong>de</strong>s reconstitue les surfaces d’on<strong>de</strong>s ultérieures. On supposera en outre que le<br />
facteur d’inclinaison K(θ) est très voisin <strong>de</strong> 1 quand θ est p<strong>et</strong>it.
18 CHAPITRE 1. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER<br />
1.5 Diffraction <strong>de</strong> Fraunhofer<br />
Nous allons maintenant r<strong>et</strong>rouver à l’ai<strong>de</strong> <strong>de</strong> ce principe que dans le cas <strong>de</strong>s conditions<br />
<strong>de</strong> Fraunhofer, il existe une relation <strong>de</strong> transformée <strong>de</strong> Fourier entre la transparence<br />
en amplitu<strong>de</strong> <strong>de</strong> l’écran diffractant <strong>et</strong> l’amplitu<strong>de</strong> diffractée.<br />
1.5.1 Conditions d’observation<br />
Pour observer une figure <strong>de</strong> diffraction <strong>de</strong> Fraunhofer, if faut que la source<br />
soit ponctuelle, c’est-à-dire que l’on soit dans le cas <strong>de</strong> cohérence spatiale<br />
parfaite.<br />
Dans ce cas, on observe la diffraction <strong>de</strong> Fraunhofer :<br />
– soit lorsque l’on<strong>de</strong> d’éclairage est plane <strong>et</strong> l’observation <strong>de</strong> la figure <strong>de</strong> diffraction<br />
se fait à une distance gran<strong>de</strong> <strong>de</strong>vant la taille <strong>de</strong> l’ouverture diffractante (Figure 1.4<br />
haut) ;<br />
– soit lorsque l’on observe dans un plan où se forme l’image <strong>de</strong> la source, c’est-à-dire<br />
au niveau d’un point <strong>de</strong> convergence du faisceau (Figure 1.4 bas) ;<br />
On<strong>de</strong> plane<br />
plan diffractant<br />
ξ<br />
M<br />
α<br />
d « gran<strong>de</strong> »<br />
PSfrag replacements<br />
On<strong>de</strong> sphérique<br />
plan diffractant<br />
ξ<br />
M<br />
α<br />
d<br />
Fig. 1.4 – Conditions d’observation <strong>de</strong> la diffraction <strong>de</strong> Fraunhofer
1.5. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER 19<br />
On a dans ces cas :<br />
α ≈ ξ (1.25)<br />
d<br />
<strong>et</strong> les formules respectives avec les variables β <strong>et</strong> η définies dans le plan perpendiculaire à<br />
celui <strong>de</strong> la Figure 1.4 contenant l’axe optique. On suppose que les angles α <strong>et</strong> β sont p<strong>et</strong>its<br />
<strong>de</strong>vant 1.<br />
Le premier cas où intervient une on<strong>de</strong> plane nécessite évi<strong>de</strong>mment une source ponctuelle<br />
; en eff<strong>et</strong>, une on<strong>de</strong> plane s’obtient en m<strong>et</strong>tant une source ponctuelle au foyer d’une<br />
lentille.<br />
1.5.2 Amplitu<strong>de</strong> diffractée<br />
Appelons −→ r le vecteur <strong>de</strong> coordonnées (x, y) dans le plan <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> diffractant, <strong>et</strong> t( −→ r )<br />
la fonction <strong>de</strong> transparence en amplitu<strong>de</strong> <strong>de</strong> celui-ci, à support borné. Supposons c<strong>et</strong> obj<strong>et</strong><br />
éclairé par une on<strong>de</strong> sphérique convergeant au centre Ω du plan d’observation (Q) (Figure<br />
1.5). Ceci correspond aux conditions <strong>de</strong> Fraunhofer <strong>de</strong> la Figure 1.4c.<br />
r()<br />
x y<br />
(P)<br />
C<br />
O<br />
M<br />
(Q)<br />
ρ()<br />
ξ η<br />
Ω<br />
d<br />
Fig. 1.5 – Calcul <strong>de</strong> l’amplitu<strong>de</strong> diffractée (diffraction <strong>de</strong> Fraunhofer)<br />
L’amplitu<strong>de</strong> complexe inci<strong>de</strong>nte f i sur le plan (P ) où se trouve l’obj<strong>et</strong> diffractant est,<br />
si l’on prend l’origine <strong>de</strong>s phases en O :<br />
f i ( −→ ( −→ ) r<br />
2<br />
r ) ∝ exp −i k<br />
(1.26)<br />
2d<br />
L’amplitu<strong>de</strong> émergente au niveau <strong>de</strong> (P ) est donc :<br />
f e ( −→ r ) ∝ t( −→ ( −→ ) r<br />
2<br />
r ) exp −i k<br />
2d<br />
(1.27)<br />
Les sources élémentaires d’Huygens <strong>de</strong> surface dS = dx dy vont ém<strong>et</strong>tre <strong>de</strong>s on<strong>de</strong>s<br />
sphériques d’amplitu<strong>de</strong> du xy proportionnelles à dS <strong>et</strong> à f e (formule (1.24) :<br />
du xy ( −→ ρ ) ∝ − i exp(i ks)<br />
K(θ) t( −→ ( −→ ) r<br />
2<br />
r ) exp −i k dS (1.28)<br />
λ s<br />
2d
20 CHAPITRE 1. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER<br />
avec s = CM. Les variations <strong>de</strong> l’angle θ entre la normale à la surface d’on<strong>de</strong> primaire <strong>et</strong><br />
la direction d’observation sont supposées être suffisamment faibles dans les conditions <strong>de</strong><br />
Fraunhofer pour que les variations <strong>de</strong> K(θ) soient négligées. On posera donc K(θ) ≈ 1.<br />
Au voisinage du point M, l’amplitu<strong>de</strong> complexe reçue est, en faisant le développement<br />
limité (1.12) <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> sphérique <strong>et</strong> en appelant −→ ρ le vecteur <strong>de</strong> coordonnées (ξ, η) :<br />
du xy ( −→ ρ ) ∝ − i<br />
λd t(−→ r ) exp(i kd) exp<br />
[i k (−→ r − −→ ] (<br />
ρ ) 2<br />
−→ ) r<br />
2<br />
exp −i k dS<br />
2d<br />
2d<br />
= − i<br />
) ( −→ (i k ρ2<br />
r .<br />
−→ ) ρ<br />
exp −i k dS (1.29)<br />
λd t(−→ r ) exp(i kd) exp<br />
= − i<br />
λd t(−→ r ) exp(i kd) exp<br />
2d<br />
(i k ρ2<br />
2d<br />
)<br />
exp<br />
(<br />
−i 2π<br />
d<br />
−→ r .<br />
−→ ρ<br />
λd<br />
)<br />
dS<br />
Si l’on pose :<br />
exp(iφ) = exp<br />
) (i k ρ2<br />
2d<br />
l’amplitu<strong>de</strong> totale recueillie en M peut alors s’écrire :<br />
u( −→ ρ ) = ∫ (P ) du xy( −→ ρ )<br />
∝ − i<br />
λd exp(i kd) exp(iφ) ∫ t(−→ r ) exp<br />
(P )<br />
= − i<br />
( −→ρ )<br />
λd exp(i kd) exp(iφ) ̂t<br />
λd<br />
( −→ r .<br />
−→ ) ρ<br />
−i 2π dx dy<br />
λd<br />
(1.30)<br />
(1.31)<br />
On r<strong>et</strong>rouve donc le fait que l’amplitu<strong>de</strong> diffractée est proportionnelle à la transformée<br />
<strong>de</strong> Fourier <strong>de</strong> la transparence <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> diffractant. Il y a en plus un facteur <strong>de</strong> phase<br />
d’on<strong>de</strong> sphérique centrée sur l’obj<strong>et</strong> diffractant, accompagné d’un facteur d’amplitu<strong>de</strong><br />
d’on<strong>de</strong> sphérique en 1/d, un facteur <strong>de</strong> phase <strong>de</strong> quadrature avance (le facteur −i), <strong>et</strong><br />
un facteur <strong>de</strong> phase exp(i kd) introduit par la propagation <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> sur une distance d. Si<br />
l’on ne tient compte que <strong>de</strong>s variations en fonction <strong>de</strong> ρ , on obtient finalement :<br />
( −→ρ )<br />
u(ρ) ∝ exp(iφ) ̂t<br />
λd<br />
(1.32)<br />
Si l’on travaille avec les coordonnées, donc avec une fonction transparence t(x, y), l’amplitu<strong>de</strong><br />
diffractée au point (ξ, η) s’écrit <strong>de</strong> façon analogue :<br />
( ) ξ<br />
u(ξ, η) ∝ exp(iφ) ̂t<br />
λd , η<br />
λd<br />
(1.33)<br />
C<strong>et</strong>te formule s’étend naturellement aux autres cas <strong>de</strong> diffraction <strong>de</strong> Fraunhofer signalés<br />
sur la Figure 1.4.<br />
De manière plus générale, on peut dire que :
1.5. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER 21<br />
l’amplitu<strong>de</strong> diffractée, débarrassée du facteur <strong>de</strong> phase d’on<strong>de</strong> sphérique<br />
divergente, est la transformée <strong>de</strong> Fourier <strong>de</strong> l’amplitu<strong>de</strong> émergente f e ( −→ r )<br />
débarrassée du facteur <strong>de</strong> phase d’on<strong>de</strong> sphérique convergente.<br />
1.5.3 Fente unique <strong>et</strong> fentes d’Young<br />
Il est maintenant très simple d’obtenir les figures <strong>de</strong> diffraction créées par quelques<br />
obj<strong>et</strong>s diffractants simples.<br />
Une fente <strong>de</strong> largeur a <strong>et</strong> <strong>de</strong> hauteur b a une fonction <strong>de</strong> transparence :<br />
( x<br />
) ( y<br />
)<br />
t(x, y) = Π Π<br />
(1.34)<br />
a b<br />
où Π est la fonction rectangle définie par :<br />
⎧<br />
⎨ Π(u) = 1 si − 1 2 ≤ u ≤ 1 2<br />
⎩<br />
Π(u) = 0 sinon<br />
(1.35)<br />
L’amplitu<strong>de</strong> diffractée en un point <strong>de</strong> coordonnées (ξ, η) d’un plan situé à une distance d<br />
est, compte non tenu du facteur <strong>de</strong> phase sphérique (n’intervenant pas dans l’intensité) :<br />
( ) ( ) ( )<br />
ξ<br />
f(ξ, η) ∝ ̂t<br />
λd , η<br />
aξ bη<br />
= ab sinc sinc<br />
(1.36)<br />
λd<br />
λd λd<br />
Le carré du module <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te expression, c’est-à-dire l’intensité diffractée est :<br />
( ) ( )<br />
aξ bη<br />
I(ξ, η) = I(0, 0)sinc 2 sinc 2<br />
λd λd<br />
(1.37)<br />
C<strong>et</strong>te intensité ressemble à un « pavage » dont l’allure est représentée sur la Figure 1.6.<br />
L’annulation <strong>de</strong> la fonction sinus cardinal se faisant pour les arguments entiers, les abscisses<br />
ξ k d’intensité nulle sur l’axe <strong>de</strong>s ξ sont :<br />
ξ k = k λd<br />
a<br />
<strong>et</strong> les ordonnées η m d’intensité nulle sur l’axe <strong>de</strong>s η sont :<br />
η m = m λd<br />
b<br />
k ∈ Z (1.38)<br />
m ∈ Z (1.39)<br />
La tache centrale est donc <strong>de</strong>ux fois plus large <strong>et</strong> haute que les taches secondaires. D’autre<br />
part, plus la fente est allongée dans une direction, plus la figure <strong>de</strong> diffraction sera allongée<br />
dans la direction orthogonale.<br />
Le cas <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux fentes parallèles décalées d’une quantité e s’en déduit. La transparence<br />
<strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> diffractant est dans ce cas :<br />
t(x, y) =<br />
[<br />
Π<br />
( x<br />
) ( y<br />
)]<br />
Π ⋆<br />
a b<br />
[ (<br />
δ x − e ) (<br />
+ δ x + e )]<br />
2 2<br />
(1.40)
22 CHAPITRE 1. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER<br />
Fig. 1.6 – Diffraction par un trou rectangulaire, <strong>de</strong> hauteur <strong>de</strong>ux fois plus gran<strong>de</strong> que la<br />
largeur.<br />
L’amplitu<strong>de</strong> diffractée par une fente est donc simplement multipliée par la transformée <strong>de</strong><br />
Fourier (pour la variable ξ/λd) <strong>de</strong> la somme <strong>de</strong> fonctions <strong>de</strong> Dirac apparaissant dans<br />
le <strong>de</strong>uxième facteur <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te expression, soit :<br />
(<br />
exp i 2π e 2<br />
) (<br />
ξ<br />
+ exp −i 2π e λd<br />
2<br />
) (<br />
ξ<br />
= 2 cos π eξ )<br />
λd<br />
λd<br />
(1.41)<br />
On obtient donc pour l’amplitu<strong>de</strong> diffractée :<br />
(<br />
f(ξ, η) = f(0, 0) cos π eξ )<br />
sinc<br />
λd<br />
( ) ( )<br />
aξ bη<br />
sinc<br />
λd λd<br />
(1.42)<br />
Une coupe <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te amplitu<strong>de</strong> pour η = 0 est représentée sur la Fig. 1.7.
1.5. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER 23<br />
1<br />
Amplitu<strong>de</strong> diffractée<br />
0.5<br />
0<br />
-0.5<br />
-1<br />
-3<br />
-2<br />
-1<br />
0<br />
aξ/λd<br />
1<br />
2<br />
3<br />
Fig. 1.7 – Amplitu<strong>de</strong> diffractée par un système <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux fentes d’Young, avec e = 5a<br />
L’intensité détectée sera, elle, multipliée par le carré <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te fonction, donc :<br />
[ (<br />
I(0, 0)<br />
I(ξ, η) = 1 + cos 2π eξ )] ( ) ( )<br />
aξ bη<br />
sinc 2 sinc 2<br />
2<br />
λd λd λd<br />
Une coupe <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te intensité pour η = 0 est représentée sur la Fig. 1.8.<br />
1<br />
Intensité diffractée<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
-3<br />
-2<br />
-1<br />
0<br />
aξ/λd<br />
1<br />
2<br />
3<br />
Fig. 1.8 – Intensité diffractée par un système <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux fentes d’Young, avec e = 5a<br />
Elle montre <strong>de</strong>s battements dont la pério<strong>de</strong> égale à λd/e. L’aspect <strong>de</strong> la figure <strong>de</strong>
24 CHAPITRE 1. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER<br />
diffraction est représenté sur la Fig. 1.9 ; la Fig. 1.8 correspond à une coupe horizontale au<br />
centre.<br />
Fig. 1.9 – Diffraction par <strong>de</strong>ux trous rectangulaires, <strong>de</strong> hauteur b <strong>de</strong>ux fois plus gran<strong>de</strong><br />
que la largeur a, <strong>et</strong> séparées par une distance égale à e = 5a.<br />
Si la largeur <strong>de</strong>s fentes tend vers 0, la largeur du sinus cardinal dépendant <strong>de</strong> ξ tend<br />
vers l’infini, <strong>et</strong> le résultat pour la figure <strong>de</strong> diffraction <strong>de</strong>vient ce que l’on trouve lorsque<br />
l’on traite le problème dans le cadre <strong>de</strong>s interférences. En eff<strong>et</strong>, si les fentes sont infiniment<br />
étroites, il n’y a plus « que <strong>de</strong>ux on<strong>de</strong>s », <strong>et</strong> le traitement général <strong>de</strong>s interféromètres à<br />
<strong>de</strong>ux on<strong>de</strong>s s’applique.<br />
Il faut remarquer l’espèce <strong>de</strong> superposition qui existe entre la figure <strong>de</strong> diffraction<br />
d’une fente unique <strong>et</strong> les franges d’interférence liées à la présence <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux obj<strong>et</strong>s i<strong>de</strong>ntiques<br />
décalés, qui modulent c<strong>et</strong>te figure <strong>de</strong> diffraction.<br />
1.5.4 Ouverture circulaire<br />
La transparence t(x, y) d’une ouverture circulaire <strong>de</strong> rayon a est la suivante :<br />
( x<br />
t(x, y) = D<br />
a , y a)<br />
(1.43)<br />
où la fonction D est la fonction disque définie par :<br />
D(x, y) = Π( √ x 2 + y 2 /2) (1.44)<br />
où Π est la fonction rectangle définie par (1.35), page 21. L’amplitu<strong>de</strong> diffractée dans les<br />
conditions <strong>de</strong> Fraunhofer par une telle ouverture est :<br />
f(ξ, η) ∝ 2J 1(Z)<br />
Z<br />
(1.45)
1.5. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER 25<br />
avec :<br />
Z = 2π a ρ avec ρ = √ ξ<br />
λd<br />
2 + η 2 (1.46)<br />
La tache <strong>de</strong> diffraction ayant une symétrie circulaire, elle se présente donc comme une<br />
série d’anneaux concentriques, appelée tache d’Airy. L’allure <strong>de</strong> la figure <strong>de</strong> diffraction est<br />
représentée sur la Fig. 1.10.<br />
Fig. 1.10 – Tache d’Airy : figure <strong>de</strong> diffraction d’un trou circulaire.<br />
Signalons pour terminer que la figure <strong>de</strong> diffraction <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux trous d’Young est une<br />
tache d’Airy modulée par <strong>de</strong>s franges d’interférence dont la direction est orthogonale au<br />
vecteur déplacement perm<strong>et</strong>tant <strong>de</strong> passer d’un trou à l’autre, <strong>et</strong> la pério<strong>de</strong> égale à λd/e,<br />
où e est l’écartement entre les trous. La démonstration <strong>et</strong> les calculs sont i<strong>de</strong>ntiques à ceux<br />
effectués dans le cas <strong>de</strong>s franges d’Young au paragraphe précé<strong>de</strong>nt.<br />
1.5.5 Réseaux<br />
Introduction En tant qu’éléments dispersifs, les réseaux présentent par rapport aux<br />
prismes l’avantage d’être plus dispersifs s’ils sont utilisés dans un ordre élevé ; par contre<br />
ils ont eu longtemps l’inconvénient d’être moins lumineux. Aussi pendant longtemps les<br />
astronomes ont-ils préféré étudier les spectres <strong>de</strong>s sources lumineuses peu intenses avec<br />
<strong>de</strong>s spectromètres à prisme. Maintenant les réseaux miroitants (« blazés ») pallient c<strong>et</strong><br />
inconvénient <strong>et</strong> ten<strong>de</strong>nt à remplacer <strong>de</strong> plus en plus les prismes puisqu’ils sont à la fois<br />
plus dispersifs <strong>et</strong> aussi lumineux.<br />
Un réseau est un obj<strong>et</strong> diffractant dont la transparence est périodique. La pério<strong>de</strong> p<br />
s’appelle le pas du réseau. L’inverse du pas est la fréquence spatiale du réseau ; celle-ci<br />
s’exprime souvent en « traits par millimètre », ce qui correspond à l’unité : mm −1 . Bien<br />
sûr, du fait <strong>de</strong> la largeur finie L <strong>de</strong> c<strong>et</strong> obj<strong>et</strong>, la périodicité n’existe qu’à l’intérieur d’une
26 CHAPITRE 1. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER<br />
« fenêtre » <strong>de</strong> largeur L. On appelle motif la <strong>de</strong>scription <strong>de</strong> la transparence <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> sur<br />
une longueur égale au pas. La transparence τ(x) du réseau est donc la répétition périodique<br />
du motif, tronquée par une fonction rectangle <strong>de</strong> largeur L :<br />
[<br />
τ(x) = m(x) ∗ 1 ( )] x<br />
( x<br />
p pgn .Π<br />
(1.47)<br />
p L)<br />
où la fonction Π(s) vaut 1 si s est compris dans l’intervalle [−1/2, 1/2] <strong>et</strong> 0 sinon. Il<br />
est important <strong>de</strong> voir que la fonction motif m(x) est i<strong>de</strong>ntiquement nulle en <strong>de</strong>hors d’un<br />
intervalle <strong>de</strong> largeur p.<br />
Le motif peut être « plus étroit » que p. Par exemple, si le réseau est constitué d’un<br />
ensemble <strong>de</strong> fentes fines parallèles <strong>de</strong> largeur a < p, le motif est :<br />
( x<br />
m(x) = Π<br />
(1.48)<br />
a)<br />
Si la transparence du réseau a un profil sinusoïdal, le motif est :<br />
m(x) = 1 [ (<br />
1 + cos 2π x )] ( ) x<br />
.Π<br />
2<br />
p p<br />
(1.49)<br />
Le pas p est en général très inférieur à la longueur L. Le motif peut modifier l’amplitu<strong>de</strong><br />
ou la phase <strong>de</strong> la lumière inci<strong>de</strong>nte, ou encore les <strong>de</strong>ux à la fois. Dans le premier cas, on<br />
dit que le réseau est un réseau d’amplitu<strong>de</strong> ; la fonction τ(x) est réelle. Dans le second<br />
cas, on parle <strong>de</strong> réseau <strong>de</strong> phase ; la transparence τ(x) est à l’intérieur <strong>de</strong> la fenêtre <strong>de</strong><br />
largeur L une fonction complexe unimodulaire : τ(x) = exp[i φ(x)]. Le nombre <strong>de</strong> motifs<br />
par millimètre dans un réseau est toujours élevé, il est couramment <strong>de</strong> l’ordre <strong>de</strong> 100 à 1<br />
000 mais il peut atteindre 5 000 pour <strong>de</strong>s réseaux holographiques utilisés dans l’ultra-viol<strong>et</strong>.<br />
Amplitu<strong>de</strong> <strong>et</strong> intensité diffractée Dans le conditions <strong>de</strong> Fraunhofer, l’amplitu<strong>de</strong><br />
diffractée f(u) est la transformée <strong>de</strong> Fourier <strong>de</strong> la transparence <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> diffractant.<br />
Pour le cas d’un réseau dont la transparence est décrite par l’équation (1.47), on obtient :<br />
f(u) ∝ ̂τ(u) = [ ̂m(u) pgn(pu)] ⋆ L sinc(Lu) (1.50)<br />
où u est la variable <strong>de</strong> Fourier conjuguée à x, qui peut être :<br />
– α/λ si l’on fait une observation à l’infini dans la direction repérée par l’angle α par<br />
rapport à l’axe du faisceau d’éclairage du réseau ;<br />
– x/λf si l’on fait une observation au foyer d’une lentille <strong>de</strong> distance focale f, le réseau<br />
étant placé dans le faisceau <strong>de</strong> lumière parallèle avant la lentille ;<br />
– x/λd si le réseau est éclairé en lumière convergente <strong>et</strong> qu’on observe au niveau du<br />
point <strong>de</strong> convergence situé à la distance d.<br />
C<strong>et</strong>te équation donne en toute généralité l’amplitu<strong>de</strong> diffractée par un réseau (Fig. 1.11).<br />
On y voit apparaître les principales caractéristiques <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te figure <strong>de</strong> diffraction.
1.5. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER 27<br />
|̂τ(u)/̂τ(0)|<br />
1.2<br />
1<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
-0.2<br />
-0.4<br />
| ̂m(u)|<br />
−2/p −1/p 0 1/p 2/p<br />
u<br />
Fig. 1.11 – Amplitu<strong>de</strong> diffractée par un réseau<br />
1. La périodicité du réseau génère une périodicité au niveau du spectre, décrite par la<br />
fonction pgn(pu) dans l’équation (1.50). Les différents maxima d’amplitu<strong>de</strong> que l’on<br />
observe sont appelés les ordres.<br />
2. La répartition <strong>de</strong> l’amplitu<strong>de</strong> dans les différents ordres dépend <strong>de</strong> la fonction ˆm(u),<br />
donc du profil du motif. En jouant sur la fonction m(x), il est possible <strong>de</strong> jouer sur<br />
c<strong>et</strong>te répartition (cf ci-<strong>de</strong>ssous, réseau miroitant).<br />
3. Au niveau <strong>de</strong> chaque ordre, la figure <strong>de</strong> diffraction observée est celle du diaphragme<br />
limitant le réseau, sinc(Lu). C’est c<strong>et</strong>te figure <strong>de</strong> diffraction qui va déterminer principalement<br />
le pouvoir <strong>de</strong> résolution d’un spectromètre à réseau.<br />
L’intensité diffractée est la carré du module <strong>de</strong> l’amplitu<strong>de</strong> (1.50). En faisant l’hypothèse<br />
que les amplitu<strong>de</strong>s <strong>de</strong>s différents ordres ne se recouvrent pas, autrement dit : en négligeant<br />
au voisinage <strong>de</strong> l’ordre k les amplitu<strong>de</strong>s correspondant aux ordres k ′ ≠ k, on peut obtenir :<br />
|f(u)| 2 ∝ [ | ̂m(u)| 2 pgn(pu) ] ⋆ L 2 sinc 2 (Lu) (1.51)<br />
Pour l’amplitu<strong>de</strong> représentée sur la Fig. 1.11, on obtient l’intensité représentée sur la Fig.<br />
1.12.<br />
Pouvoir <strong>de</strong> résolution Si la lumière inci<strong>de</strong>nte est composée <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux radiations λ <strong>et</strong><br />
λ ′ = λ + ∆λ, les maxima du k eme ordre se trouvent respectivement en α k = kλ <strong>et</strong> p<br />
α′ k = kλ′ . p<br />
Suivant le critère <strong>de</strong> Rayleigh, on considère que <strong>de</strong>ux raies <strong>de</strong> longueur d’on<strong>de</strong> λ <strong>et</strong> λ ′<br />
sont séparées l’une <strong>de</strong> l’autre dans l’ordre k si le maximum <strong>de</strong> l’une <strong>de</strong>s taches <strong>de</strong> diffraction<br />
coïnci<strong>de</strong> avec le minimum <strong>de</strong> l’autre (Fig. 1.13) . Les positions angulaires <strong>de</strong>s maxima <strong>de</strong><br />
c<strong>et</strong> ordre doivent donc vérifier :
28 CHAPITRE 1. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER<br />
1.2<br />
1<br />
| ̂m(u)| 2<br />
|̂τ(u)/̂τ(0)| 2<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
-0.2<br />
−2/p −1/p 0 1/p 2/p<br />
u<br />
Fig. 1.12 – Intensité diffractée par un réseau<br />
k<br />
p (λ − λ′ ) ≥ λ L<br />
À la limite <strong>de</strong> résolution, le plus p<strong>et</strong>it écart en longueur d’on<strong>de</strong> correspond à :<br />
d’où un pouvoir <strong>de</strong> résolution :<br />
(λ − λ ′ ) min = p λ<br />
L k<br />
R =<br />
λ<br />
(λ − λ ′ ) min<br />
= kN<br />
N représentant le nombre total <strong>de</strong> motifs du réseau.<br />
Le pouvoir <strong>de</strong> résolution augmente avec l’ordre k <strong>et</strong> le nombre <strong>de</strong> motifs. Deux réseaux<br />
<strong>de</strong> même pas p peuvent ne pas avoir le même pouvoir <strong>de</strong> résolution. Celui <strong>de</strong> plus gran<strong>de</strong><br />
dimension aura une meilleure résolution, N étant plus grand.<br />
Pour un réseau <strong>de</strong> longueur L, il n’est pas possible d’augmenter infiniment la résolution<br />
en diminuant le pas p. En eff<strong>et</strong> pour un réseau éclairé par une on<strong>de</strong> plane d’inci<strong>de</strong>nce α i<br />
la relation entre l’angle d’inci<strong>de</strong>nce α i <strong>et</strong> les angles diffractés α d :<br />
sin α d − sin α i = k λ d<br />
donne les positions angulaires α d <strong>de</strong>s maxima lumineux en fonction <strong>de</strong>s caractéristiques<br />
du réseau. Or la différence <strong>de</strong>s sinus est au plus égale à 2 (1 si α i = 0). Le pouvoir <strong>de</strong><br />
résolution est donc borné par :
1.5. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER 29<br />
Intensité somme<br />
∆α<br />
PSfrag replacements<br />
λ λ ′<br />
kλ<br />
p kλ ′<br />
Fig. 1.13 – Illustration du critère <strong>de</strong> Rayleigh<br />
p<br />
α<br />
ou kλ<br />
p + λ L<br />
R max = 2L λ<br />
Avec un réseau donné, pour augmenter le pouvoir <strong>de</strong> résolution on a intérêt à choisir<br />
un ordre d’interférence k élevé mais dans ce cas l’intensité <strong>de</strong> la lumière analysée chute<br />
très rapi<strong>de</strong>ment (Fig. 1.12). Un compromis « pouvoir <strong>de</strong> résolution - luminosité » est donc<br />
à faire. Pour remédier à c<strong>et</strong> inconvénient on utilise <strong>de</strong>s réseaux miroitant où pratiquement<br />
toute l’énergie lumineuse diffractée est concentrée dans un seul ordre. Ces réseaux sont <strong>de</strong>s<br />
réseaux <strong>de</strong> phase. En eff<strong>et</strong>, on montre facilement qu’avec un réseau d’amplitu<strong>de</strong>, l’intensité<br />
diffractée ne peut être maximum ailleurs que pour u = 0.<br />
Réseaux miroitant Ces réseaux (appelés souvent réseaux « blazés », <strong>de</strong> l’anglais to<br />
blaze : scintiller, miroiter) sont constitués par exemple d’une succession <strong>de</strong> p<strong>et</strong>its prismes<br />
d’indice n <strong>et</strong> <strong>de</strong> hauteur p (Fig : 1.14). La section droite d’un <strong>de</strong> ces prismes est un triangle<br />
rectangle d’angle au somm<strong>et</strong> ψ faible.<br />
Il existe un déphasage ϕ entre le rayon passant au somm<strong>et</strong> d’un <strong>de</strong>s prismes <strong>et</strong> le rayon<br />
situé à l’abscisse x du somm<strong>et</strong> <strong>de</strong> ce même prisme :<br />
ϕ = 2π λ (n − 1)xψ = 2πu 0x
30 CHAPITRE 1. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER<br />
x<br />
A<br />
0<br />
A’<br />
D<br />
PSfrag replacements<br />
On<strong>de</strong> inci<strong>de</strong>nte<br />
p<br />
ψ<br />
Rayon réfracté<br />
z<br />
Fig. 1.14 – Coupe d’un réseau miroitant<br />
avec :<br />
(n − 1)ψ<br />
u 0 =<br />
λ<br />
La fonction décrivant le motif est donc :<br />
( ) x<br />
m(x) = exp(i 2πu 0 x).Π<br />
p<br />
(1.52)<br />
donc l’enveloppe <strong>de</strong> l’intensité diffractée dans les différents ordres est :<br />
| ˆm(u)| 2 ∝ sinc 2 [p(u − u 0 )]<br />
C’est précisément une enveloppe <strong>de</strong> ce type qui a été utilisée pour tracer les Figs. 1.11 <strong>et</strong><br />
1.12, avec u 0 = 1, 5/p.<br />
On remarque que si on choisit l’indice n <strong>et</strong> l’angle ψ du prisme <strong>de</strong> telle façon que :<br />
u 0 =<br />
(n − 1)ψ<br />
λ<br />
= k p<br />
alors pratiquement toute l’intensité diffractée est concentrée dans le seul ordre d’interférence<br />
k ; on obtient ainsi simultanément une bonne résolution <strong>et</strong> une gran<strong>de</strong> luminosité. La Fig.<br />
1.15 montre l’intensité obtenue dans la figure <strong>de</strong> diffraction pour k = 2. Il faut cependant<br />
noter que c<strong>et</strong>te condition dépend <strong>de</strong> la longueur d’on<strong>de</strong>. Un réseau miroitant est prévu<br />
pour être utilisé au voisinage d’une longueur d’on<strong>de</strong> précise.
1.5. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER 31<br />
1.2<br />
1<br />
| ̂m(u)| 2<br />
|̂τ(u)/̂τ(0)| 2<br />
0.8<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
-0.2<br />
−2/p −1/p 0 1/p 2/p<br />
u<br />
Fig. 1.15 – Intensité diffractée par un réseau miroitant, pour la longueur d’on<strong>de</strong> pour<br />
laquelle il concentre la lumière dans l’ordre 2
32 CHAPITRE 1. DIFFRACTION DE FRAUNHOFER
Chapitre 2<br />
Formation <strong>de</strong>s images en éclairage<br />
cohérent<br />
2.1 Double diffraction<br />
En éclairage temporellement <strong>et</strong> spatialement cohérent, c’est-à-dire si la source est ponctuelle<br />
<strong>et</strong> monochromatique, on a vu au paragraphe précé<strong>de</strong>nt que l’amplitu<strong>de</strong> diffractée par<br />
un obj<strong>et</strong> placé dans le faisceau est proportionnelle à la transformée <strong>de</strong> Fourier <strong>de</strong> la transparence<br />
en amplitu<strong>de</strong> <strong>de</strong> c<strong>et</strong> obj<strong>et</strong>. Or, la transformation <strong>de</strong> Fourier <strong>et</strong> son inverse sont<br />
très semblables. N’est-il pas possible d’illustrer ceci en faisant une double diffraction ? La<br />
réponse est que c<strong>et</strong>te double diffraction n’est autre que le montage élémentaire <strong>de</strong> projection<br />
d’un obj<strong>et</strong> à travers une lentille simple (Figure 2.1). Un obj<strong>et</strong> <strong>de</strong> transparence t( −→ r )<br />
est situé dans un faisceau convergent. Dans le plan du point <strong>de</strong> convergence, on a pour<br />
l’amplitu<strong>de</strong> complexe <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> :<br />
f( −→ ( −→ρ )<br />
ρ ) ∝ ̂t exp<br />
(i<br />
λd)<br />
kρ2<br />
(2.1)<br />
2d<br />
où l’on a fait apparaître le facteur <strong>de</strong> phase sphérique d’on<strong>de</strong> divergente centrée au centre<br />
<strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong>. La lentille <strong>de</strong> projection, <strong>de</strong> distance focale f, va modifier c<strong>et</strong>te on<strong>de</strong> sphérique divergente<br />
en une on<strong>de</strong> sphérique convergente selon la loi bien connue <strong>de</strong> l’optique géométrique<br />
(cf § 1.3, page 15) :<br />
1<br />
f = 1 d + 1 d ′ (2.2)<br />
L’amplitu<strong>de</strong> complexe émergente juste après la lentille <strong>de</strong> projection est donc :<br />
( −→ρ )<br />
)<br />
̂t exp<br />
(−i kρ2 = τ( −→ )<br />
ρ ) exp<br />
(−i kρ2<br />
λd<br />
kd ′ kd ′<br />
(2.3)<br />
en posant :<br />
τ( −→ ( −→ρ<br />
ρ ) = ̂t<br />
λd)<br />
(2.4)<br />
33
eplacements<br />
34 CHAPITRE 2. FORMATION DES IMAGES EN ÉCLAIRAGE COHÉRENT<br />
−→ ρ<br />
−→ r<br />
′<br />
−→ r<br />
d d ′<br />
t( −→ ( ) −ikr<br />
2<br />
r )× exp<br />
2d<br />
( −→ρ ) ( ) ikρ<br />
2<br />
̂t × exp<br />
λd 2d<br />
( −→ρ<br />
̂t<br />
λd)<br />
= τ( −→ ρ )× exp<br />
( −ikρ<br />
2<br />
× exp<br />
( −ikρ<br />
2<br />
2d ′ )<br />
2d ′ )<br />
̂τ<br />
( −→r ) ( )<br />
′ ikr<br />
′2<br />
× exp<br />
λd ′ 2d ′<br />
Fig. 2.1 – Montage <strong>de</strong> double diffraction<br />
Du fait du facteur <strong>de</strong> phase d’on<strong>de</strong> convergente, on se trouve au niveau <strong>de</strong> l’écran dans les<br />
conditions <strong>de</strong> Fraunhofer. L’amplitu<strong>de</strong> complexe s( −→ r ′ ) dans ce plan est donc la transformée<br />
<strong>de</strong> Fourier pour la variable −→ r ′ /λd ′ <strong>de</strong> τ( −→ ρ ) (cf la <strong>de</strong>rnière remarque du § 1.5.2,<br />
page 19), affectée d’un facteur <strong>de</strong> phase d’on<strong>de</strong> sphérique divergente. En tenant compte<br />
du fait que le carré <strong>de</strong> la transformation <strong>de</strong> Fourier est l’opérateur parité transformant<br />
f(x) en f(−x), on obtient :<br />
s( −→ ( −→ ) ( r<br />
r ′ ′<br />
) ∝ λd t −λd ∝ t − d )<br />
−→ r<br />
′<br />
λd ′ d ′<br />
(2.5)<br />
où l’on r<strong>et</strong>rouve que l’on obtient sur l’écran l’image <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> avec un grandissement −d ′ /d.<br />
Les conditions <strong>de</strong> projection montrées sur la Figure 2.1 correspon<strong>de</strong>nt en plus au montage<br />
correct pour proj<strong>et</strong>er un obj<strong>et</strong>. Il y a en eff<strong>et</strong> une règle pratique simple spécifiant que<br />
pour minimiser les aberrations géométriques dues à la lentille <strong>de</strong> projection, il convient <strong>de</strong><br />
faire dans son plan l’image <strong>de</strong> la source lumineuse, afin que le maximum d’énergie traverse<br />
la lentille en son centre <strong>et</strong> non pas près <strong>de</strong>s bords.<br />
C<strong>et</strong>te disposition en double diffraction perm<strong>et</strong> d’obtenir un résultat tout à fait remarquable<br />
: on est en présence d’un système où le signal d’entrée <strong>et</strong> le spectre sont <strong>de</strong> même<br />
nature physique (une répartition spatiale <strong>de</strong> luminance). Autrement dit, le spectre est apparent<br />
dans un espace « concr<strong>et</strong> », <strong>et</strong> il est très facile <strong>de</strong> modifier ce spectre, c’est-à-dire<br />
d’effectuer un filtrage au niveau <strong>de</strong> la lentille <strong>de</strong> projection.
2.1. DOUBLE DIFFRACTION 35<br />
2.1.1 Filtrage <strong>de</strong>s fréquences spatiales<br />
Une décomposition <strong>de</strong> Fourier est essentiellement une décomposition suivant les<br />
fréquences ; un signal temporel est décomposé en ses composantes monochromatiques, <strong>et</strong><br />
un signal spatial est décomposé suivant ses fréquences spatiales. Cela signifie qu’il est<br />
décomposé en une superposition <strong>de</strong> réseaux élémentaires <strong>de</strong> fréquence spatiale −→ f , où le<br />
vecteur −→ f 0 a pour norme l’inverse du pas du réseau (<strong>de</strong> la même manière que la fréquence<br />
d’un signal temporel est l’inverse <strong>de</strong> sa pério<strong>de</strong>) <strong>et</strong> pour direction la normale aux « traits ».<br />
Ce réseau élémentaire est un réseau <strong>de</strong> phase <strong>de</strong> transparence sinusoïdale :<br />
dont la transformée <strong>de</strong> Fourier est :<br />
t−→ f 0<br />
( −→ r ) = exp(i 2π −→ f 0 . −→ r ) (2.6)<br />
̂t−→ f 0<br />
( −→ g ) = δ( −→ g − −→ f 0 ) (2.7)<br />
L’obj<strong>et</strong> élémentaire correspondant à ce réseau va donner un point lumineux dans le spectre<br />
au point −→ ρ tel que :<br />
−→ g =<br />
−→ ρ<br />
λd = −→ f 0 (2.8)<br />
Un point du spectre correspond donc à une fréquence spatiale <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong>. M<strong>et</strong>tre un obj<strong>et</strong><br />
<strong>de</strong> transparence s( −→ ρ ) dans le plan spectral va perm<strong>et</strong>tre <strong>de</strong> réaliser un filtrage <strong>de</strong> ces<br />
fréquences spatiales.<br />
2.1.2 Strioscopie<br />
On sait que le plan spectral se trouve au niveau d’un point <strong>de</strong> convergence. Le point<br />
lumineux central du spectre n’est autre que le « pic <strong>de</strong> Dirac » correspondant lors <strong>de</strong> la<br />
transformation <strong>de</strong> Fourier à la valeur moyenne <strong>de</strong> la transparence <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong>. Une pastille<br />
opaque interceptant la lumière à c<strong>et</strong> endroit va perm<strong>et</strong>tre d’observer l’obj<strong>et</strong> débarrassé d’un<br />
éclairement moyen qui peut être gênant. C<strong>et</strong>te technique est très utilisée en microscopie<br />
où elle porte le nom d’observation en champ sombre, très utile dans le cas d’obj<strong>et</strong> très<br />
transparents <strong>et</strong> peu contrastés, dont la transparence est donc :<br />
t = 1 − ɛ (2.9)<br />
dont le contraste (amplitu<strong>de</strong> <strong>de</strong> la modulation sur valeur moyenne) est <strong>de</strong> l’ordre <strong>de</strong> ɛ/(1 −<br />
ɛ) ≈ ɛ. Dans le plan spectral l’amplitu<strong>de</strong> diffractée est proportionnelle à :<br />
̂t = δ − ̂ɛ (2.10)<br />
La suppression <strong>de</strong> la tache centrale intense fait que l’on r<strong>et</strong>rouve au niveau <strong>de</strong> l’image une<br />
amplitu<strong>de</strong> proportionnelle à ɛ, <strong>de</strong> contraste unité.
36 CHAPITRE 2. FORMATION DES IMAGES EN ÉCLAIRAGE COHÉRENT<br />
2.1.3 Contraste <strong>de</strong> phase<br />
Un autre filtrage très utile en microscopie concerne l’observation d’obj<strong>et</strong>s <strong>de</strong> phase.<br />
Beaucoup <strong>de</strong> tissus biologiques sont formés avec une très grosse proportion d’eau, <strong>et</strong> leur<br />
indice ne diffère que très peu <strong>de</strong> celui du milieu où ils baignent. C’est le cas <strong>de</strong> beaucoup<br />
<strong>de</strong> cellules, qui n’apparaissent pas si l’on ne fait pas appel à <strong>de</strong>s techniques <strong>de</strong> coloration<br />
sélective ou à la technique du contraste <strong>de</strong> phase.<br />
On considère donc un obj<strong>et</strong> <strong>de</strong> phase, c’est à dire dont la transparence t( −→ r ) est donnée<br />
par :<br />
t( −→ r ) = exp[i Φ( −→ r )] (2.11)<br />
On suppose <strong>de</strong> plus que la variation <strong>de</strong> phase est très p<strong>et</strong>ite <strong>de</strong>vant 2π. On a donc :<br />
t( −→ r ) ≈ 1 + i Φ( −→ r ) (2.12)<br />
Si l’on m<strong>et</strong> au niveau du pic central <strong>de</strong> diffraction dans le plan spectral une lame déphasant<br />
le champ <strong>de</strong> π/2, l’amplitu<strong>de</strong> complexe <strong>de</strong> celui-ci va être juste après égale à :<br />
f( −→ ρ ) ∝ i δ( −→ ρ ) + i ̂Φ( −→ ρ ) (2.13)<br />
Dans le plan d’observation, on voit que les <strong>de</strong>ux termes sont maintenant susceptibles d’interférer.<br />
L’intensité observée I( −→ r ′ ) est au grandissement géométrique près :<br />
I( −→ r ′ ) ∝ 1 + Φ( −→ r ′ ) (2.14)<br />
ce qui montre que l’observation <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> <strong>de</strong> phase est possible.<br />
2.1.4 Détramage<br />
Un autre exemple simple <strong>de</strong> filtrage est celui du détramage <strong>de</strong> photographies. Les photographies<br />
paraissant dans les journaux sont tramées, c’est-à-dire que la répartition continue<br />
<strong>de</strong> gris constituant l’original <strong>de</strong> la photo est en fait remplacée par un motif périodique <strong>de</strong><br />
pas p <strong>de</strong> points noirs <strong>et</strong> blancs, telle que le niveau <strong>de</strong> gris moyenné sur un motif soit égal<br />
au niveau <strong>de</strong> gris sur la photo originale. Lors <strong>de</strong> l’observation visuelle <strong>de</strong> la photographie<br />
tramée dans le journal, l’oeil va se comporter comme un filtre passe-bas <strong>et</strong> ignorer la haute<br />
fréquence spatiale correspondant au pas <strong>de</strong> la trame. Si t(x, y) est la transparence d’une<br />
diapositive noir <strong>et</strong> blanc originale, <strong>et</strong> t t (x, y) celle d’une diapositive tramée, on peut faire<br />
l’approximation :<br />
[ ( ) ( x y<br />
t t (x, y) ∝ t(x, y) pgn pgn ⋆ m(x, y) (2.15)<br />
p p)]<br />
où la répartition continue <strong>de</strong> transparence est remplacée par une répétition périodique <strong>de</strong><br />
motifs <strong>de</strong> transparence m(x, y), affectés d’un coefficient proportionnel à la transparence <strong>de</strong><br />
la diapositive initiale au point correspondant au centre du motif (Figure 2.2). Dans le plan
2.1. DOUBLE DIFFRACTION 37<br />
m(x,y)<br />
t(x,<br />
y<br />
).pgn()<br />
x p<br />
pgn()<br />
y p<br />
y<br />
y<br />
p/2<br />
p/2<br />
0 x<br />
x<br />
Fig. 2.2 – Tramage d’une photographie<br />
spectral, le champ f(ξ, η) sera donc :<br />
f(ξ, η) ∝ [̂t(u, v) ⋆ pgn(pu) pgn(pv) ] ̂m(u, v) (2.16)<br />
avec u = ξ/λd <strong>et</strong> v = η/λd.<br />
La fonction motif m(x, y) est une fonction étroite dont la transformée <strong>de</strong> Fourier,<br />
large, va lentement moduler le spectre f(ξ, η). Le point important est que celui-ci est<br />
constitué du spectre <strong>de</strong> la photographie initiale répété aux noeuds d’un maillage carré <strong>de</strong><br />
pas λd/p. Pour détramer la diapositive, il suffira donc <strong>de</strong> placer un diaphragme ne laissant<br />
passer que le spectre central correspondant à l’ordre 0 <strong>de</strong>s réseaux orthogonaux <strong>de</strong> tramage.<br />
2.1.5 Reconnaissance <strong>de</strong> formes<br />
Le filtrage linéaire que l’on peut effectuer dans le plan spectral perm<strong>et</strong> <strong>de</strong> faire une<br />
opération <strong>de</strong> convolution d’un obj<strong>et</strong> avec un autre. Soit t( −→ r ) la transparence d’un obj<strong>et</strong><br />
donné, une empreinte digitale, par exemple. Soit s( −→ r ) un obj<strong>et</strong> comportant une série<br />
d’empreintes digitales dont chacune a la transparence t i ( −→ r ), à comparer avec la première :<br />
s( −→ r ) = ∑ i<br />
t i ( −→ r − −→ r i ) (2.17)<br />
où −→ r i repère la position du centre <strong>de</strong> chacune <strong>de</strong>s empreintes. Supposons que l’on ait réalisé<br />
un filtre <strong>de</strong> transparence ̂t − , où t − ( −→ r ) = t(− −→ r ). Placé dans le plan spectral, ce filtre va<br />
réaliser le produit ŝ, ̂t − qui par transformation <strong>de</strong> Fourier va donner dans le plan image<br />
l’amplitu<strong>de</strong> h( −→ r ) :<br />
h( −→ r ) = s( −→ r ) ⋆ t(− −→ r ) = ∑ i<br />
[t i ( −→ r − −→ r i ) ⋆ t(− −→ r )] (2.18)<br />
Si l’une <strong>de</strong>s empreintes t i est égale à t, le produit <strong>de</strong> convolution (qui <strong>de</strong>vient à ce moment<br />
un produit d’autocorrélation) va avoir un maximum très n<strong>et</strong> pour −→ r = −→ r i . Dans les<br />
autres cas, le maximum est très peu marqué (Figure 2.3). Sur l’écran, on observe une série
38 CHAPITRE 2. FORMATION DES IMAGES EN ÉCLAIRAGE COHÉRENT<br />
t<br />
^-<br />
Fig. 2.3 – Reconnaissance <strong>de</strong> formes<br />
<strong>de</strong> taches brillantes centrées aux différents points repérés par −→ r i , c’est-à-dire à l’endroit<br />
où l’on observerait point central <strong>de</strong> l’image géométrique <strong>de</strong> t i s’il n’y avait pas le filtre<br />
adapté. La tache correspondant à la bonne empreinte est beaucoup plus intense que les<br />
autres. On peut ainsi localiser l’empreinte digitale à reconnaître dans une série d’empreintes<br />
ressemblantes.<br />
2.2 Fonction <strong>de</strong> transfert <strong>de</strong> modulation<br />
Nous allons faire dans ce paragraphe le lien avec ce qui a été vu dans la première partie,<br />
à savoir la relation <strong>de</strong> convolution qui existe entre l’obj<strong>et</strong> <strong>et</strong> l’image dans un instrument<br />
d’optique linéaire <strong>et</strong> invariant par translation. Chaque point obj<strong>et</strong> donne au niveau du plan<br />
image une tache <strong>de</strong> diffraction liée à la forme du diaphragme d’ouverture, généralement<br />
circulaire. Dans le cas d’un éclairage cohérent temporellement <strong>et</strong> spatialement, les figures <strong>de</strong><br />
diffraction correspondant à tous les points obj<strong>et</strong>s vont s’additionner en amplitu<strong>de</strong>. L’amplitu<strong>de</strong><br />
d(x ′ , y ′ ) dans la tache <strong>de</strong> diffraction d’un point unique est donc la réponse impulsionnelle<br />
ou fonction <strong>de</strong> Green du système. Si l’on néglige le grandissement transversal<br />
inessentiel du système (<strong>et</strong> donc si l’on confond x, y <strong>et</strong> x ′ , y ′ ), on a entre l’amplitu<strong>de</strong> obj<strong>et</strong><br />
Ω(x, y) <strong>et</strong> l’amplitu<strong>de</strong> image i(x, y) la relation <strong>de</strong> convolution suivante :<br />
i = Ω ⋆ d (2.19)<br />
Dans le cas d’une ouverture circulaire, la fonction <strong>de</strong> Green d(x, y) (bizarrement appelée<br />
par les opticiens réponse percussionnelle) est la fonction 2J 1 (Z)/Z dont le carré va donner<br />
la tache d’Airy caractéristique <strong>de</strong>s systèmes à symétrie circulaire. Nous avions signalé que<br />
c<strong>et</strong>te propriété <strong>de</strong> convolution peut aussi se traduire dans l’espace <strong>de</strong>s fréquences spatiales
2.2. FONCTION DE TRANSFERT DE MODULATION 39<br />
par une relation <strong>de</strong> filtrage linéaire :<br />
î = ̂Ω ̂d (2.20)<br />
Si l’on reprend l’exemple d’un système à symétrie circulaire limité par un diaphragme <strong>de</strong><br />
rayon a, on sait que l’amplitu<strong>de</strong> diffractée d(x, y) est proportionnelle à la transformée <strong>de</strong><br />
Fourier <strong>de</strong> la fonction disque D(ξ/a, η/a)pour les variables <strong>de</strong> Fourier x/λd <strong>et</strong> y/λd,<br />
soit :<br />
d(x, y) ∝ ̂D<br />
( ax<br />
λd , ay )<br />
(2.21)<br />
λd<br />
donc :<br />
( λdu<br />
̂d(u, v) = D<br />
a , λdv )<br />
(2.22)<br />
a<br />
La fonction <strong>de</strong> filtrage ̂d intervenant dans la formule (2.19) prend un sens tout à fait concr<strong>et</strong>.<br />
Elle exprime que la transformée <strong>de</strong> Fourier <strong>de</strong> la répartition d’amplitu<strong>de</strong> <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> est<br />
« tronçonnée » par un diaphragme circulaire (Figure 2.4). L’instrument d’optique joue le<br />
rôle d’un filtre passe-bas, <strong>et</strong> la fréquence spatiale maximale <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> u c (l’indice c étant<br />
la pour indiquer une fréquence <strong>de</strong> coupure) qui peut traverser l’instrument est égale à :<br />
u c = a λd<br />
(2.23)<br />
Les fréquences spatiales inférieures sont transmises sans altérations. On voit que, comme il<br />
se doit, l’instrument d’optique est entièrement caractérisé par la donnée <strong>de</strong> sa fonction <strong>de</strong><br />
Green d, ou ce qui revient au même, par sa transformée <strong>de</strong> Fourier ̂d, qui n’est autre que<br />
le « gain » <strong>de</strong> l’instrument. On appelle ̂d : fonction <strong>de</strong> transfert <strong>de</strong> modulation (en abrégé<br />
FTM). En éclairage cohérent, la FTM est donc réduite à une fonction cercle (Figure 2.4).<br />
Toutes les fréquences spatiales sont donc transmises sans distorsion jusqu’à une certaine<br />
1<br />
PSfrag replacements<br />
a<br />
λd<br />
Fig. 2.4 – FTM en éclairage cohérent.<br />
valeur. Toutes les fréquences spatiales supérieures à c<strong>et</strong>te valeur sont coupées. Il s’agit donc<br />
d’un filtre passe-bas idéal. (Notons pour mémoire que ce filtre idéal n’a pas d’analogue dans
40 CHAPITRE 2. FORMATION DES IMAGES EN ÉCLAIRAGE COHÉRENT<br />
un système temps/fréquence. On montre en eff<strong>et</strong> qu’un tel filtre n’est pas causal, c’est-àdire<br />
qu’il correspond à un système qui ne respecte pas le principe d’antériorité <strong>de</strong> la cause<br />
sur l’eff<strong>et</strong>).<br />
La fréquence spatiale maximale transmissible u c = 1/p min où p min est la pério<strong>de</strong> minimale<br />
d’un réseau élémentaire, donc pratiquement la taille minimale d’un détail visible.<br />
C<strong>et</strong>te fréquence <strong>de</strong> coupure est calculable connaissant la position <strong>et</strong> la taille du diaphragme<br />
d’ouverture ramené à l’espace obj<strong>et</strong>, c’est-à-dire <strong>de</strong> la pupille d’entrée. Alternativement,<br />
on peut la calculer à partir <strong>de</strong> la position <strong>et</strong> <strong>de</strong> la taille <strong>de</strong> la pupille <strong>de</strong> sortie. Si l’on se<br />
réfère au montage <strong>de</strong> double diffraction <strong>de</strong> la Figure 2.1, page 34, on a :<br />
p ′ min = λd′<br />
n ′ a ′ (2.24)<br />
où l’on a fait intervenir le grandissement géométrique, <strong>et</strong> où l’on « prime » les gran<strong>de</strong>urs<br />
se référant à l’espace image. On fait intervenir l’indice n ′ <strong>et</strong> le rayon a ′ <strong>de</strong> la pupille <strong>de</strong><br />
sortie, <strong>et</strong> la distance d ′ entre c<strong>et</strong>te pupille <strong>et</strong> le plan d’observation (Figure 2.5).<br />
PSfrag replacements<br />
p min<br />
α a<br />
a ′ α ′<br />
d<br />
d ′<br />
p max<br />
Fig. 2.5 – Pupilles d’entrée <strong>et</strong> <strong>de</strong> sortie.<br />
En posant :<br />
on obtient :<br />
sin α ≈ a′<br />
d ′ (2.25)<br />
n ′ p ′ min sin α ′ = λ (2.26)<br />
On reconnaît dans le premier membre l’invariant <strong>de</strong> la relation <strong>de</strong>s sinus d’Abbe. On en<br />
déduit :<br />
np min sin α = n ′ p ′ min sin α ′ = λ (2.27)
Chapitre 3<br />
Formation <strong>de</strong>s images en éclairage<br />
incohérent<br />
Nous abordons ici le cas <strong>de</strong> l’éclairage en lumière spatialement incohérente. Il n’y a<br />
donc nulle part dans le système considéré <strong>de</strong> point <strong>de</strong> convergence image d’une source<br />
ponctuelle. C’est le cas par exemple <strong>de</strong> l’observation d’obj<strong>et</strong>s lumineux par eux-mêmes.<br />
Ici, chaque point source donne lui aussi une tache <strong>de</strong> diffraction (tache d’Airy dans le cas<br />
d’une ouverture circulaire) d’intensité :<br />
D(x ′ , y ′ ) = |d(x ′ , y ′ )| 2 (3.1)<br />
où d(x ′ , y ′ ) est l’amplitu<strong>de</strong> diffractée par la pupille <strong>de</strong> sortie, image dans l’espace image<br />
du diaphragme d’ouverture. La différence avec le cas <strong>de</strong> l’éclairage cohérent est que maintenant,<br />
toutes ces taches vont s’ajouter en intensité pour former l’image. Soit Ω(x, y)<br />
l’amplitu<strong>de</strong> obj<strong>et</strong>, <strong>et</strong> :<br />
O(x, y) = |Ω(x, y)| 2 (3.2)<br />
l’intensité émise par l’obj<strong>et</strong>. En prenant ici aussi égal à 1 le grandissement transversal, on<br />
a pour l’intensité I dans l’image :<br />
I = O ⋆ D (3.3)<br />
à comparer avec la formule (2.19) dans le cas <strong>de</strong> l’éclairage cohérent. Une différence essentielle<br />
est aussi qu’il n’y a pas <strong>de</strong> plan spectral accessible. La relation <strong>de</strong> convolution<br />
s’interprète aussi dans l’espace <strong>de</strong>s fréquences spatiales, mais celui-ci est un espace abstrait<br />
qui n’est pas réalisé physiquement comme dans le cas cohérent. En particulier, il<br />
n’est pas question <strong>de</strong> faire du filtrage <strong>de</strong> fréquences spatiales <strong>de</strong> manière aussi pratique. La<br />
transformation <strong>de</strong> Fourier <strong>de</strong> la formule (3.3) donne :<br />
Î = Ô ̂D (3.4)<br />
Dans le cas <strong>de</strong> l’ouverture circulaire, il est facile <strong>de</strong> déterminer quelle est la fonction <strong>de</strong><br />
transfert dans l’espace <strong>de</strong>s fréquences spatiales. On a :<br />
d(x, y) ∝ 2J 1(Z)<br />
Z<br />
41<br />
(3.5)
42 CHAPITRE 3. FORMATION DES IMAGES EN ÉCLAIRAGE INCOHÉRENT<br />
avec Z = 2πa √ x 2 + y 2 /λd, ce qui est la transformée <strong>de</strong> Fourier <strong>de</strong> la transparence D(x/a, y/a)<br />
représentant le trou <strong>de</strong> rayon a qu’est la pupille <strong>de</strong> sortie. Donc :<br />
( ) ( )<br />
λdw λdw<br />
̂D(u, v) = K(w) = F(|d| 2 ) = D ⋆ D<br />
(3.6)<br />
a a<br />
où w = √ u 2 + v 2 est le module du vecteur fréquence spatiale. Il s’agit donc <strong>de</strong> l’autoconvolution<br />
<strong>de</strong> la fonction <strong>de</strong> transfert <strong>de</strong> modulation en éclairage cohérent. Il s’agit<br />
d’une fonction radiale représentée par une surface <strong>de</strong> révolution dont la génératrice a pour<br />
équation :<br />
K(w) = 2 [arccos(t) − t √ ]<br />
1 − t<br />
π<br />
2 avec t = λdw<br />
(3.7)<br />
2a<br />
dont le développement limité au voisinage <strong>de</strong> 0 est :<br />
Ceci est illustré sur les Figures 3.1 <strong>et</strong> 3.2.<br />
1<br />
K(w) ≈ 1 − 2t<br />
π<br />
(3.8)<br />
On voit que si la FTM en éclairage cohérent<br />
0.8<br />
K(w)<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
0<br />
0.2<br />
0.4<br />
0.6<br />
0.8<br />
1<br />
1.2<br />
Fig. 3.1 – Représentation <strong>de</strong> la fonction K(w) donnée par l’équation (3.7)<br />
est avec <strong>de</strong>s unités ad hoc représentée par une fonction cercle <strong>de</strong> rayon unité, la FTM<br />
en éclairage incohérent est représentée par une fonction dont l’extension est double : la<br />
fréquence <strong>de</strong> coupure est double dans le cas incohérent. Il faut néanmoins remarquer que<br />
maintenant les fréquences voisines <strong>de</strong> la fréquence <strong>de</strong> coupure sont fortement atténuées.<br />
Le résultat précé<strong>de</strong>nt ne veut donc pas dire que le pouvoir <strong>de</strong> résolution d’un instrument<br />
d’optique est double en éclairage incohérent par rapport à l’éclairage cohérent.<br />
Signalons pour clore ce suj<strong>et</strong> que le contrôle <strong>de</strong>s objectifs d’appareils d’optique se fait en<br />
prenant comme obj<strong>et</strong> <strong>de</strong>s mires <strong>de</strong> type réseau, <strong>et</strong> donc ne contenant qu’une seule fréquence
43<br />
̂D(u, v)<br />
v<br />
u<br />
Fig. 3.2 – Représentation <strong>de</strong> la FTM en éclairage incohérent.<br />
spatiale. On peut mesurer dans ce cas la valeur <strong>de</strong> la fréquence <strong>de</strong> coupure <strong>et</strong> l’atténuation<br />
propre à chaque fréquence.
44 CHAPITRE 3. FORMATION DES IMAGES EN ÉCLAIRAGE INCOHÉRENT
Deuxième partie<br />
Mesures <strong>2D</strong> <strong>et</strong> <strong>3D</strong><br />
45
Chapitre 4<br />
Traitement <strong>de</strong>s franges <strong>et</strong> détection<br />
numérique <strong>de</strong> phase<br />
4.1 Introduction<br />
Les métho<strong>de</strong>s optiques <strong>de</strong> mesure <strong>de</strong> champs cinématiques (champs <strong>de</strong> déplacement, <strong>de</strong><br />
déformation, <strong>de</strong> pente, <strong>de</strong> courbure, d’élévation. . . ) connaissent une gran<strong>de</strong> effervescence<br />
<strong>de</strong>puis 10 ans, grâce à la diminution du coût <strong>de</strong>s ordinateurs, à la diminution du coût <strong>de</strong><br />
l’acquisition vidéo (caméras CCD analogiques <strong>et</strong> numériques), <strong>et</strong> grâce à l’augmentation<br />
<strong>de</strong>s puissances <strong>de</strong> traitement.<br />
On assiste à un véritable renouveau <strong>de</strong> métho<strong>de</strong>s « classiques », comme l’interférométrie<br />
ou le moiré, que le traitement manuel <strong>et</strong> laborieux <strong>de</strong>s images qu’elles fournissent cantonnait<br />
dans une utilisation qualitative.<br />
Les progrès récents sont liés à l’automatisation intensive <strong>de</strong>s procédures <strong>de</strong> dépouillement<br />
<strong>de</strong> franges, qui perm<strong>et</strong>tent d’obtenir <strong>de</strong>s cartographies pleinement quantitatives en quelques<br />
secon<strong>de</strong>s. La quantité d’information obtenue est énorme, <strong>et</strong> une taille d’image <strong>de</strong> 1024 × 1024<br />
est aujourd’hui courante, ce qui correspond à plus d’un million <strong>de</strong> points <strong>de</strong> <strong>mesures</strong>.<br />
L’abondance <strong>de</strong> ces points <strong>de</strong> mesure fait que <strong>de</strong> nombreux post-traitements comme<br />
<strong>de</strong>s lissages spatiaux sont possibles. Les systèmes commerciaux utilisent bien entendu ces<br />
possibilités, sans que l’utilisateur sache toujours très bien la nature exacte <strong>de</strong> ces posttraitements.<br />
Cela explique qu’actuellement la plus gran<strong>de</strong> faiblesse <strong>de</strong>s systèmes commerciaux<br />
soit leur manque <strong>de</strong> traçabilité (impossibilité d’évaluer correctement une incertitu<strong>de</strong><br />
<strong>de</strong> mesure).<br />
4.2 L’importance <strong>de</strong> la phase<br />
Les métho<strong>de</strong>s optiques que nous considérerons par la suite fournissent <strong>de</strong>s figures <strong>de</strong><br />
franges (holographie, interférométrie, moiré, speckle) ou <strong>de</strong> lignes (métho<strong>de</strong> <strong>de</strong> la grille).<br />
Fondamentalement, l’image que va pouvoir acquérir une caméra <strong>et</strong> qui va être numérisée<br />
47
48CHAPITRE 4. TRAITEMENT DES FRANGES ET DÉTECTION NUMÉRIQUE DE PHASE<br />
se présente sous la forme d’un champ d’intensité :<br />
I(φ, A, γ) = A [1 + γ frgn(φ)] , (4.1)<br />
où A est l’intensité moyenne <strong>et</strong> γ est le contraste (ou la visibilité). Ces <strong>de</strong>ux gran<strong>de</strong>urs<br />
ne sont jamais strictement constantes, mais lentement variables sur l’ensemble du champ.<br />
La fonction frgn est 2π-périodique <strong>et</strong> représente le profil <strong>de</strong>s franges. Dans les cas les plus<br />
simples, comme l’interférométrie à <strong>de</strong>ux on<strong>de</strong>s, c<strong>et</strong>te fonction se réduit à un cosinus, <strong>et</strong> l’on<br />
r<strong>et</strong>rouve la formule classique :<br />
I(φ, A, γ) = A [1 + γ cos(φ)] , (4.2)<br />
Dans d’autres cas, comme le moiré, les variations d’intensité n’ont pas un profil sinusoïdal,<br />
<strong>et</strong> la fonction frgn adm<strong>et</strong> un développement en série <strong>de</strong> Fourier qui n’est pas limité à son<br />
premier terme.<br />
Pour toutes les métho<strong>de</strong>s que nous allons considérer, le mesuran<strong>de</strong> (déplacement, déformation,<br />
forme, <strong>et</strong>c.) est directement relié à la phase φ. C<strong>et</strong>te dépendance peut prendre la forme<br />
d’une simple relation <strong>de</strong> proportionnalité, comme dans le cas d’un contrôle d’épaisseur par<br />
interférométrie Michelson, ou peut être plus complexe. Néanmoins, le premier paramètre<br />
à extraire <strong>de</strong> l’image est la phase.<br />
Le traitement <strong>de</strong>s franges est le processus perm<strong>et</strong>tant <strong>de</strong> passer du champ d’intensité<br />
décrit par l’équation 4.1 au champ <strong>de</strong> phase correspondant. C<strong>et</strong>te première étape ne donne<br />
que la phase modulo 2π, il faut souvent continuer le traitement par un « dépliement <strong>de</strong><br />
phase » visant à rétablir la continuité du champ <strong>de</strong> phase en supprimant les sauts <strong>de</strong> 2π.<br />
4.3 Le décalage <strong>de</strong> phase<br />
4.3.1 Nombre d’inconnues<br />
Dans l’équation 4.1, il y a un nombre infini d’inconnues, puisque la forme <strong>de</strong> la fonction<br />
frgn, déterminée par une infinité <strong>de</strong> coefficients <strong>de</strong> Fourier, n’est pas connue a priori.<br />
L’intensité moyenne A <strong>et</strong> le contraste γ sont également inconnus, ainsi que, bien entendu,<br />
la phase φ que l’on cherche. Par ailleurs, A <strong>et</strong> γ peuvent varier d’un point à un autre.<br />
Dans le cas idéalement simplifié d’un champ d’intensité décrit par l’équation 4.2, il<br />
y a trois inconnues. L’enregistrement du seul champ d’intensité ne perm<strong>et</strong> donc pas <strong>de</strong><br />
remonter à la phase, puisqu’il n’y a qu’une équation pour trois inconnues. Il est donc<br />
nécessaire d’avoir d’autres équations pour résoudre le problème. Ces autres informations<br />
sont à chercher soit au voisinage du pixel où l’on cherche à évaluer la phase (approche<br />
spatiale), soit au niveau du même pixel mais sur <strong>de</strong>s enregistrements différents (approche<br />
temporelle). Pour obtenir ces informations supplémentaires, une <strong>de</strong>s métho<strong>de</strong>s les plus<br />
efficaces qui est maintenant adoptée par les systèmes <strong>de</strong> <strong>mesures</strong> disponibles aujourd’hui<br />
est le décalage <strong>de</strong> phase.<br />
Avant d’en présenter le principe, signalons qu’il y aura toujours un choix à faire par<br />
l’utilisateur du <strong>de</strong>gré <strong>de</strong> simplification <strong>de</strong> ce problème à nombre infini d’inconnues. Ce
4.3. LE DÉCALAGE DE PHASE 49<br />
choix concerne principalement le profil <strong>de</strong>s franges : jusqu’à quel ordre les harmoniques<br />
indésirables (c’est-à-dire autres que l’ordre +1) doivent-ils être éliminés ?<br />
4.3.2 Principe<br />
Le décalage <strong>de</strong> phase consiste à disposer <strong>de</strong> plusieurs échantillons I k , k = 0, 1,. . . , M-1,<br />
séparés par un déphasage constant δ :<br />
I k = I(φ + kδ), (4.3)<br />
Ces points d’échantillonnages perm<strong>et</strong>tent <strong>de</strong> déterminer la meilleure sinusoï<strong>de</strong> les interpolant,<br />
<strong>et</strong> donc le déphasage φ. La formule perm<strong>et</strong>tant <strong>de</strong> passer <strong>de</strong> l’ensemble <strong>de</strong>s intensités<br />
{I k } à la phase φ s’appelle l’algorithme. La forme générale <strong>de</strong>s algorithmes <strong>de</strong> détection <strong>de</strong><br />
phase est :<br />
⎡<br />
M−1 ∑<br />
˜φ = arctan ⎢<br />
⎣ ∑<br />
k=0<br />
M−1<br />
k=0<br />
⎤<br />
b k I k<br />
⎥<br />
⎦ , (4.4)<br />
a k I k<br />
où ˜φ est la phase mesurée, dans l’intervalle [−π, π]. L’équation (4.4) peut également être<br />
interprétée comme le calcul <strong>de</strong> l’argument <strong>de</strong> la combinaison linéaire complexe :<br />
S(φ) =<br />
M−1<br />
∑<br />
k=0<br />
c k I k , (4.5)<br />
où c k = a k + i b k . L’intensité I peut être développée en série <strong>de</strong> Fourier comme suit :<br />
I(φ) =<br />
+∞∑<br />
m=−∞<br />
α m exp(i mφ), (4.6)<br />
<strong>et</strong> par conséquent la somme S(φ) peut elle aussi être développée pour donner :<br />
S(φ) =<br />
L’intensité est réelle, <strong>et</strong> donc :<br />
+∞∑<br />
m=−∞<br />
s m exp(i mφ) =<br />
+∞∑<br />
m=−∞<br />
S m (φ). (4.7)<br />
α m = α ∗ −m (4.8)<br />
Sans perte <strong>de</strong> généralité, on peut supposer que α 1 = α −1 est un réel positif. Cela signifie<br />
simplement que l’origine <strong>de</strong>s phases est prise au niveau d’une frange brillante, <strong>et</strong> donc<br />
l’harmonique fondamental <strong>de</strong> l’intensité s’écrit cos φ comme dans la formule 4.2.<br />
Pour déterminer le bon algorithme, l’idée est <strong>de</strong> choisir l’ensemble <strong>de</strong>s coefficients {c k ,<br />
k = 0 . . . M − 1} <strong>de</strong> telle sorte que toutes les composantes S m s’annulent, sauf S 1 . Dans ce<br />
cas, prendre l’argument <strong>de</strong> S(φ) donnera directement φ.
50CHAPITRE 4. TRAITEMENT DES FRANGES ET DÉTECTION NUMÉRIQUE DE PHASE<br />
4.3.3 Polynôme caractéristique<br />
Le polynôme caractéristique est défini à partir <strong>de</strong>s coefficients {c k } par :<br />
P (x) =<br />
M−1<br />
∑<br />
k=0<br />
c k x k . (4.9)<br />
À partir <strong>de</strong> là, il est facile d’écrire le m-ième coefficient <strong>de</strong> Fourier <strong>de</strong> S(φ) :<br />
M−1 ∑<br />
S m (φ) = α m<br />
k=0<br />
c k exp[im(φ + kδ)]<br />
= α m exp(imφ) M−1 ∑<br />
c k [exp(imδ)] k<br />
k=0<br />
= α m exp(imφ)P (ζ m ),<br />
(4.10)<br />
où ζ = exp(iδ). Sur c<strong>et</strong>te expression, on peut voir qu’annuler S m (φ) implique que P (ζ m ) =<br />
0. Donc la factorisation du polynôme caractéristique contient le monôme x − ζ m .<br />
Prenons un exemple, <strong>et</strong> supposons que l’on veuille éliminer les harmoniques m = 0,<br />
m = −1, m = ±2 <strong>et</strong> m = ±3. Dans ce cas, le polynôme caractéristique va s’écrire<br />
P (x) = c M−1 (x − 1)(x − ζ −1 )(x − ζ 2 )(x − ζ −2 )(x − ζ 3 )(x − ζ −3 ), (4.11)<br />
où c M−1 est une constante que l’on peut choisir arbitrairement.<br />
Jusqu’à présent, nous n’avons pas mentionné <strong>de</strong> condition sur la valeur du décalage <strong>de</strong><br />
phase δ. Cependant, un choix judicieux va perm<strong>et</strong>tre <strong>de</strong> minimiser le nombre d’échantillons<br />
nécessaires à la détermination <strong>de</strong> la phase. Pour le montrer, il est pratique d’introduire la<br />
notion <strong>de</strong> diagramme caractéristique.<br />
4.3.4 Diagramme caractéristique<br />
Le diagramme caractéristique est la représentation <strong>de</strong>s racines du polynôme caractéristique<br />
sur le cercle unité du plan complexe. L’emplacement <strong>de</strong> ces racines est conventionnellement<br />
représenté par un point (racine simple) ou un point entouré d’un ou plusieurs cercles (racines<br />
multiples).<br />
En reprenant l’exemple du paragraphe précé<strong>de</strong>nt, si la valeur <strong>de</strong> δ est arbitraire on<br />
obtient pour le polynôme caractéristique correspondant à l’équation (4.11 ) un diagramme<br />
du type <strong>de</strong> celui représenté sur la Fig. 4.1 (a). Dans ce cas, il y a 6 racines, le <strong>de</strong>gré du<br />
polynôme est égal à 6 <strong>et</strong> il a 7 coefficients. Il faut donc 7 échantillons déphasés <strong>de</strong> l’intensité.<br />
Si δ = 2π/5, le diagramme caractéristique correspond à celui représenté sur la Fig. 4.1<br />
(b) qui montre que le polynôme caractéristique a <strong>de</strong>ux racines <strong>de</strong> moins. Ce choix <strong>de</strong> la<br />
valeur <strong>de</strong> δ ramène le nombre d’échantillons nécessaires <strong>de</strong> 7 à 5.
4.3. LE DÉCALAGE DE PHASE 51<br />
PSfrag replacements<br />
m = 0<br />
m = 1<br />
m = 2<br />
m = 3<br />
m = −1<br />
m = −2<br />
m = −3<br />
Fig. 4.1 – Diagramme caractéristique correspondant au polynôme 4.11 (a) Décalage <strong>de</strong><br />
phase arbitraire b) Décalage <strong>de</strong> phase optimum.<br />
4.3.5 Algorithme N-pas ou TFD<br />
En règle générale, si l’on veut éliminer les harmoniques jusqu’à l’ordre j, il faut choisir<br />
δ = 2π/N avec N = j +2. L’algorithme obtenu est appelé « algorithme N-pas » (N-buck<strong>et</strong><br />
algorithm). On a :<br />
P N (x) = ζ N−1 ∏<br />
(x − ζ k )<br />
k=0<br />
k≠1<br />
= ζ xN −1<br />
x−ζ<br />
= 1 + ζ −1 x + ζ −2 x 2 + . . . + ζ −(N−1) x N−1 .<br />
(4.12)<br />
C<strong>et</strong>te équation montre que c k = ζ −k = exp(−i 2kπ/N), c’est-à-dire a k = cos(2kπ/N) <strong>et</strong><br />
b k = − sin(2kπ/N). Ainsi l’algorithme final est :<br />
⎡<br />
⎤<br />
N−1 ∑<br />
I k sin(2kπ/N)<br />
k=0<br />
˜φ = − arctan ⎢<br />
⎥<br />
⎣ N−1 ∑<br />
⎦ . (4.13)<br />
I k cos(2kπ/N)<br />
k=0<br />
Il est immédiat <strong>de</strong> voir que c<strong>et</strong> algorithme correspond en fait au calcul <strong>de</strong> l’argument du<br />
premier coefficient <strong>de</strong> la transformée <strong>de</strong> Fourier discrète du jeu <strong>de</strong>s valeurs {I k }.<br />
Le nombre total d’échantillons requis par c<strong>et</strong> algorithme pour un décalage <strong>de</strong> 2π/N est<br />
M = N.<br />
4.3.6 Sources d’erreur<br />
La non-linéarité du détecteur introduit <strong>de</strong>s harmoniques dans un signal a priori sinusoïdal,<br />
comme un signal d’interférence à <strong>de</strong>ux on<strong>de</strong>s. Il suffit dans ce cas <strong>de</strong> prendre un<br />
nombre suffisant d’échantillons avec un algorithme N-pas.
52CHAPITRE 4. TRAITEMENT DES FRANGES ET DÉTECTION NUMÉRIQUE DE PHASE<br />
0<br />
π<br />
2π<br />
Fig. 4.2 – Fenêtrage triangulaire opéré par l’algorithme TFD fenêtré<br />
Une autre source d’erreur importante peut être une mauvaise calibration du dispositif<br />
<strong>de</strong> décalage <strong>de</strong> phase, c’est-à-dire que le décalage réel est δ ′ = δ(1 + ɛ).<br />
Par ailleurs, l’intensité moyenne A peut varier légèrement au cours d’un décalage <strong>de</strong><br />
phase.<br />
L’eff<strong>et</strong> <strong>de</strong> ces <strong>de</strong>ux <strong>de</strong>rnières causes d’erreur est minimisée par l’utilisation <strong>de</strong> l’algorithme<br />
TFD-fenêtré.<br />
4.3.7 Algorithme TFD-fenêtré<br />
On peut montrer que le moyen <strong>de</strong> réduire les eff<strong>et</strong>s d’une mauvaise calibration du<br />
décaleur <strong>de</strong> phase <strong>et</strong> d’une variation <strong>de</strong> l’intensité moyenne est <strong>de</strong> doubler toutes les racines<br />
du polynôme caractéristique. Le polynôme que l’on obtient ainsi à partir <strong>de</strong> celui <strong>de</strong><br />
l’algorithme N-pas est donc proportionnel à P N (x) 2 , où P N (x) est le polynôme <strong>de</strong> l’algorithme<br />
N-pas. Il est commo<strong>de</strong> <strong>de</strong> choisir comme facteur <strong>de</strong> proportionnalité la quantité<br />
ζ −1 pour obtenir une symétrie hermitique <strong>de</strong>s coefficients. On obtient tous calculs faits :<br />
P (x) = ζ −1 P N (x) 2 =<br />
3π<br />
2N−2<br />
∑<br />
k=0<br />
4π<br />
t k ζ −k−1 x k , (4.14)<br />
où {t k , k = 0, . . . , 2N −2} = {1, 2, . . . , N −1, N, N −1, . . . , 2, 1}. Ces coefficients peuvent se<br />
comprendre comme un fenêtrage triangulaire <strong>de</strong> la série d’échantillons <strong>de</strong> l’intensité (Fig.<br />
4.2). À partir <strong>de</strong> (4.14), on trouve que l’algorithme s’écrit :<br />
⎡<br />
⎤<br />
N−1 ∑<br />
k(I k−1 − I 2N−k−1 ) sin(2kπ/N)<br />
φ = arctan ⎢<br />
⎣ − k=1<br />
⎥<br />
NI N−1 + N−1 ∑<br />
⎦ . (4.15)<br />
k(I k−1 + I 2N−k−1 ) cos(2kπ/N)<br />
k=1<br />
Il est immédiat <strong>de</strong> voir que c<strong>et</strong> algorithme correspond en fait au calcul <strong>de</strong> l’argument du<br />
<strong>de</strong>uxième coefficient <strong>de</strong> la transformée <strong>de</strong> Fourier discrète du jeu <strong>de</strong>s valeurs {I k } fenêtré<br />
par les coefficients {t k }.<br />
Le nombre total d’échantillons requis par c<strong>et</strong> algorithme pour un décalage <strong>de</strong> 2π/N est<br />
M = 2N − 1.
4.3. LE DÉCALAGE DE PHASE 53<br />
4.3.8 Bruit<br />
L’enregistrement d’une image d’intensité s’accompagne toujours <strong>de</strong> bruit. Pour évaluer<br />
le rapport signal sur bruit, il faut considérer que le signal est la partie modulée <strong>de</strong> l’intensité,<br />
c’est-à-dire le terme Aγ cos φ. La puissance locale du signal est donc A 2 γ 2 cos 2 φ <strong>et</strong> donc la<br />
puissance moyenne P s est :<br />
P s = A2 γ 2<br />
(4.16)<br />
2<br />
Pour un bruit additif sur l’intensité, c’est-à-dire si l’intensité enregistrée s’écrit :<br />
I enreg = A(1 + γ cos φ) + b (4.17)<br />
où b est un bruit dont la puissance est donnée par la variance σ 2 :<br />
P b = σ 2 (4.18)<br />
Le rapport signal sur bruit SNR au niveau <strong>de</strong> l’enregistrement <strong>de</strong> l’intensité est donc :<br />
SNR = P s<br />
P b<br />
= A2 γ 2<br />
2σ 2 (4.19)<br />
On peut montrer que la variance du bruit sur la phase obtenue par détection avec un<br />
algorithme employant M échantillons est :<br />
σ 2 φ =<br />
1<br />
Mη 2 SNR = 2σ 2<br />
Mη 2 A 2 γ 2 (4.20)<br />
où η est un coefficient numérique compris entre 0 <strong>et</strong> 1 <strong>et</strong> caractéristique <strong>de</strong> l’algorithme<br />
employé. Pour l’algorithme N-pas, on a :<br />
<strong>et</strong> pour l’algorithme TFD-fenêtré, on a :<br />
√<br />
3<br />
η =<br />
2<br />
η = 1<br />
√ (<br />
1 − 1<br />
2N<br />
1<br />
) (<br />
1 + 1 )<br />
2N 2<br />
Les premières valeurs <strong>de</strong> η correspondantes sont regroupées dans la Table 4.1. La mesure<br />
expérimentale du bruit sur l’intensité peut se faire en enregistrant <strong>de</strong>ux images successives<br />
<strong>de</strong> la même scène. La soustraction <strong>de</strong> ces <strong>de</strong>ux images ne comporte que la différence <strong>de</strong>s<br />
bruits présents dans chacune d’elles, dont la variance est égale à 2σ 2 puisque les bruits sur<br />
<strong>de</strong>ux images successives sont statistiquement indépendants.<br />
La mesure expérimentale du bruit sur la phase peut se faire <strong>de</strong> la même manière, en<br />
dépouillant <strong>de</strong>ux <strong>mesures</strong> indépendantes <strong>de</strong> la phase si cela est possible.<br />
Une autre métho<strong>de</strong> est envisageable pour évaluer le bruit sur la phase, qui consiste à<br />
faire un lissage spatial (filtrage passe-bas) sur le champ <strong>de</strong> phase, <strong>et</strong> à soustraire les champs<br />
<strong>de</strong> phase lissés <strong>et</strong> non lissés. Ceci ne donnera le bon résultat que s’il n’y a pas <strong>de</strong> « bruit<br />
spatial », comme dans une technique <strong>de</strong> speckle, par exemple.
54CHAPITRE 4. TRAITEMENT DES FRANGES ET DÉTECTION NUMÉRIQUE DE PHASE<br />
Tab. 4.1 – Premières valeurs <strong>de</strong> η pour l’algorithme TFD-fenêtré<br />
N η<br />
3 0,923381<br />
4 0,911685<br />
5 0,903877<br />
6 0,898317<br />
7 0,894167<br />
8 0,890954<br />
∞ √ 3/2 = 0, 86603
Chapitre 5<br />
Métho<strong>de</strong>s géométriques <strong>de</strong> <strong>mesures</strong><br />
5.1 Profilométrie par projection <strong>de</strong> lumière structurée<br />
La profilométrie par projection <strong>de</strong> lumière structurée consiste à éclairer un obj<strong>et</strong> dont<br />
on veut connaître la forme par un système <strong>de</strong> traits parallèles alternativement lumineux<br />
<strong>et</strong> sombres (Fig. 5.1). Sur l’obj<strong>et</strong>, l’information <strong>de</strong> hauteur z par rapport à une surface <strong>de</strong><br />
référence est transformée en une information <strong>de</strong> déplacement u x <strong>de</strong> la frange, <strong>et</strong> on a dans<br />
le cas le plus simple <strong>de</strong> la projection collimatée (Fig. 5.1a),) :<br />
z =<br />
u x<br />
tan(θ)<br />
(5.1)<br />
en considérant que la direction <strong>de</strong>s franges est parallèle à l’axe y. L’intensité recueillie par<br />
une caméra est<br />
{<br />
[ ]}<br />
2πx<br />
I(x, y) = A(x, y) 1 + γ(x, y)frgn<br />
p + ψ(x, y)<br />
(5.2)<br />
oùp est la pério<strong>de</strong> initiale <strong>de</strong>s franges <strong>et</strong> ψ(x, y) est la modulation <strong>de</strong> phase causée par les<br />
variations <strong>de</strong> hauteur :<br />
ψ(x, y) = 2πu x 2πz tan θ<br />
= (5.3)<br />
p p<br />
Les techniques <strong>de</strong> détection <strong>de</strong> phase vues en première partie perm<strong>et</strong>tent d’évaluer le champ<br />
<strong>de</strong> phase modulo 2π, c’est-à-dire qu’elles fournissent :<br />
ϕ(x, y) = ψ(x, y) MOD 2π (5.4)<br />
soit la phase repliée dans l’ intervalle ] − π, π]. Pour obtenir la hauteur z(x, y) à partir <strong>de</strong><br />
ϕ(x, y), un dépliement <strong>de</strong> phase est nécessaire.<br />
55
56 CHAPITRE 5.<br />
MÉTHODES GÉOMÉTRIQUES DE MESURES<br />
Sfrag replacements<br />
observation<br />
source<br />
u x<br />
θ<br />
franges proj<strong>et</strong>ées<br />
z<br />
surface <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong><br />
surface <strong>de</strong> référence<br />
(a)<br />
(b)<br />
Fig. 5.1 – Principe <strong>de</strong> la profilométrie par projection <strong>de</strong> lumière structurée (a) Projection<br />
parallèle (b) Projection conique<br />
5.2 Le dépliement <strong>de</strong> phase<br />
5.2.1 Introduction<br />
Une fois que la phase est détectée, il faut procé<strong>de</strong>r au dépliement <strong>de</strong> phase pour<br />
représenter le mesuran<strong>de</strong> physique (longueur, déplacement, pente, <strong>et</strong>c. . . ). déplier la phase<br />
signifie supprimer les sauts <strong>de</strong> 2π présents, en ajoutant ou supprimant localement le multiple<br />
<strong>de</strong> 2π adéquat. La procédure est triviale dans le cas unidimensionnel : il suffit <strong>de</strong><br />
contrôler la différence <strong>de</strong> phase entre <strong>de</strong>ux pixels voisins. Si c<strong>et</strong>te différence est en valeur<br />
arithmétique plus gran<strong>de</strong> que π, par exemple, on rajoute (ou soustrait, selon le signe <strong>de</strong><br />
c<strong>et</strong>te différence) 2π à la valeur <strong>de</strong> la phase du <strong>de</strong>uxième pixel <strong>et</strong> à tous les pixels suivants.<br />
C<strong>et</strong>te procédure est beaucoup plus difficile à appliquer au cas bidimensionnel, pour<br />
plusieurs raisons. Une <strong>de</strong>s principales est que certaines fois, il n’y a pas suffisamment d’information<br />
dans l’image pour réaliser le dépliement <strong>de</strong> phase. C’est le cas lorsque différentes<br />
zones <strong>de</strong> l’image sont déconnectées, c’est-à-dire séparées par une zone <strong>de</strong> pixels invali<strong>de</strong>s<br />
(où n’apparaît aucune frange, <strong>et</strong> donc où la phase n’est pas calculable). Il n’y a donc pas <strong>de</strong><br />
chemin qui relie les zones, <strong>et</strong> donc aucun moyen <strong>de</strong> connaître le multiple <strong>de</strong> 2π à introduire<br />
dans une zone par rapport à l’autre. Un autre cas où le dépliement spatial <strong>de</strong>vient impossible<br />
est celui où les obj<strong>et</strong>s étudiés en profilométrie comportent <strong>de</strong>s variations <strong>de</strong> hauteur<br />
par sauts.<br />
Deux stratégies existent pour le dépliement <strong>de</strong> phase : spatiale <strong>et</strong> temporelle. Il faut<br />
cependant noter que la stratégie temporelle n’est pas toujours possible.<br />
5.2.2 Dépliement spatial<br />
On parle <strong>de</strong> dépliement spatial <strong>de</strong> phase quand une seule carte <strong>de</strong> phase est utilisée.<br />
Les problèmes rencontrés sont évoqués dans le paragraphe précé<strong>de</strong>nt. Comme la procédure
5.2. LE DÉPLIEMENT DE PHASE 57<br />
Projecteur vidéo<br />
Sfrag replacements<br />
P<br />
Surface <strong>de</strong> référence<br />
A<br />
C<br />
θ<br />
S<br />
O<br />
Caméra CCD<br />
Fig. 5.2 – Mise en œuvre <strong>de</strong> la profilométrie par projection avec un projecteur vidéo.<br />
B<br />
<strong>de</strong> dépliement suit un chemin, les erreurs dues par exemple au bruit (un saut <strong>de</strong> 2π n’est<br />
pas détecté ou à l’inverse un saut est détecté alors qu’il n’a pas lieu d’être) se propagent<br />
le long du chemin (Fig. 5.3).<br />
Fig. 5.3 – Propagation d’une erreur <strong>de</strong> dépliement <strong>de</strong> phase. Le cercle est centré à l’origine<br />
<strong>de</strong> l’erreur (pixel bruité)<br />
Diverses stratégies existent pour tenter <strong>de</strong> remédier à ce type <strong>de</strong> problèmes. Une <strong>de</strong>s
58 CHAPITRE 5.<br />
MÉTHODES GÉOMÉTRIQUES DE MESURES<br />
métho<strong>de</strong>s les plus simples est la suivante. Le processus <strong>de</strong> lissage spatial est un processus<br />
local qui peut donc réaliser un dépliement local, sur les quelques pixels <strong>de</strong> largeur du filtre.<br />
Il doit même l’être pour que les sauts ne soient pas arrondis. Dans ce cas, il est possible<br />
<strong>de</strong> soustraire la phase bruitée à la phase lissée spatialement, <strong>de</strong> conserver en mémoire le<br />
résultat <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te soustraction, <strong>et</strong> <strong>de</strong> déplier le champ <strong>de</strong> phase lissé, ce qui est bien plus<br />
facile. Après, il suffit <strong>de</strong> rajouter la différence gardée en mémoire pour obtenir le dépliement<br />
<strong>de</strong> la carte <strong>de</strong> phase bruitée. Ce processus est illustré sur la Fig. 5.4.
5.2. LE DÉPLIEMENT DE PHASE 59<br />
(a)<br />
(b)<br />
(c)<br />
PSfrag replacements<br />
(d)<br />
Fig. 5.4 – Dépliement <strong>de</strong> phase par lissage spatial. À gauche, <strong>de</strong>s coupes horizontales. (a)<br />
image <strong>de</strong> phase bruitée (b) image <strong>de</strong> phase après un lissage spatial (c) image <strong>de</strong> phase<br />
lissée dépliée (d) Image <strong>de</strong> phase bruitée <strong>et</strong> dépliée
60 CHAPITRE 5.<br />
MÉTHODES GÉOMÉTRIQUES DE MESURES<br />
5.2.3 Dépliement temporel<br />
Co<strong>de</strong>s <strong>de</strong> Gray<br />
Un co<strong>de</strong> <strong>de</strong> Gray 1 est une série <strong>de</strong> 2 n nombres ordonnés <strong>de</strong> manière telle que seul un<br />
bit change dans leur représentation en binaire lorsque l’on passe successivement <strong>de</strong> l’un à<br />
l’autre ; exemple pour n = 3 : 000, 001, 011, 010, 110, 111,101,100. L’intérêt <strong>de</strong> n’avoir<br />
qu’un seul bit qui change lors d’une transition perm<strong>et</strong> <strong>de</strong> stabiliser la détection <strong>de</strong> celle-ci.<br />
Pour le dépliement <strong>de</strong> phase, le processus est illustré sur la Fig. 5.5.<br />
PSfrag replacements<br />
décimal<br />
binaire<br />
0<br />
000<br />
1<br />
2 3 4 5 6 7<br />
001 011<br />
010<br />
110<br />
111 101<br />
100<br />
masque #3<br />
0<br />
0 0<br />
0<br />
1<br />
1 1<br />
1<br />
masque #2<br />
0<br />
0 1 1 1 1 0<br />
0<br />
masque #1<br />
0<br />
1 1 0 0 1 1<br />
0<br />
franges<br />
Fig. 5.5 – Numérotation <strong>de</strong>s franges par projection <strong>de</strong> masques successifs<br />
C’est actuellement la procédure la plus utilisée dans les systèmes commerciaux. Le<br />
nombre total <strong>de</strong> masques à proj<strong>et</strong>er est égal à INT(log 2 F ) + 1, où F est le nombre total <strong>de</strong><br />
franges dans le champ. Par exemple, si le décalage <strong>de</strong> phase temporel nécessite 5 images <strong>et</strong><br />
si F = 240, un total <strong>de</strong> 13 images est nécessaire (5 images décalées en phase <strong>et</strong> 8 masques,<br />
2 8 = 256).<br />
Dépliement multifréquence<br />
Dans c<strong>et</strong>te approche, plusieurs images avec différentes fréquences <strong>de</strong> franges sont utilisées.<br />
Pour chaque fréquence spatiale, un décalage <strong>de</strong> phase temporel est réalisé pour<br />
évaluer le champ <strong>de</strong> phase modulo 2π. Le nombre total <strong>de</strong> franges dans le champ est<br />
augmenté 1 par 1 <strong>de</strong> 1 à F , la frange centrale restant au centre du champ. On voit<br />
qu’il est donc impossible <strong>de</strong> travailler en décalage <strong>de</strong> phase spatial puisque les premières<br />
fréquences spatiales sont très basses. La phase dépliée est obtenue en faisant les différences<br />
ϕ i+1 (x, y) − ϕ i (x, y) entre les phases détectées pour les fréquences spatiales <strong>de</strong> i <strong>et</strong> i + 1<br />
1 Du nom <strong>de</strong> Franck Gray <strong>de</strong>s Bell Labs, qui a déposé un brev<strong>et</strong> à ce suj<strong>et</strong> en 1953. À noter que le<br />
Français Émile Baudot a utilisé un système analogue en télégraphie en 1878.
5.2. LE DÉPLIEMENT DE PHASE 61<br />
franges dans le champ. En eff<strong>et</strong>, le fait que la variation du nombre <strong>de</strong> franges ne dépasse<br />
pas 1 <strong>et</strong> que la frange centrale reste au même endroit perm<strong>et</strong> d’assurer que la différence <strong>de</strong><br />
phase entre <strong>de</strong>ux pas successifs est dans l’intervalle [−π, π]. La procédure est illustrée sur<br />
la Fig. 5.6. Comme on peut voir, le nombre total d’images d’intensité requises est MF , où<br />
M est le nombre d’images pour l’algorithme <strong>de</strong> décalage <strong>de</strong> phase choisi.<br />
Sfrag replacements<br />
Intensité<br />
Somme <strong>de</strong>s différences <strong>de</strong> phase<br />
5π<br />
4π<br />
3π<br />
2π<br />
π<br />
0<br />
−π<br />
−2π<br />
−3π<br />
−4π<br />
−5π<br />
Phase<br />
π<br />
0<br />
−π<br />
π<br />
0<br />
−π<br />
π<br />
0<br />
−π<br />
Différences <strong>de</strong> phase<br />
π<br />
0<br />
−π<br />
π<br />
0<br />
−π<br />
π<br />
0<br />
−π<br />
π<br />
π<br />
0<br />
0<br />
−π<br />
−π<br />
π<br />
π<br />
0 0<br />
−π<br />
−π<br />
Fig. 5.6 – Dépliement temporel <strong>de</strong> phase<br />
Longueur d’on<strong>de</strong> synthétique<br />
Il est finalement possible d’employer le concept <strong>de</strong> « longueur d’on<strong>de</strong> synthétique »,<br />
en utilisant simplement <strong>de</strong>ux fréquences spatiales (hautes, donc autorisant le décalage <strong>de</strong><br />
phase spatial) légèrement différentes. Si chacun <strong>de</strong>s champs <strong>de</strong> phase correspondant est<br />
obtenu par décalage <strong>de</strong> phase spatial, le nombre d’images d’intensité nécessaires tombe à
62 CHAPITRE 5.<br />
MÉTHODES GÉOMÉTRIQUES DE MESURES<br />
2.<br />
Plus précisément, le champ <strong>de</strong> phase obtenu par soustraction <strong>de</strong>s <strong>de</strong>ux champs <strong>de</strong> phase<br />
correspondant aux <strong>de</strong>ux fréquences spatiales légèrement différentes va être à variation<br />
spatiale lente. On peut donc s’en servir pour numéroter les franges. Le pas <strong>de</strong>s franges est<br />
modifié par un rapport (L − 1)/L entre les <strong>de</strong>ux images, c’est-à-dire qu’on règle ce pas <strong>de</strong><br />
manière à avoir L franges dans la largeur du champ sur la première image <strong>et</strong> L − 1 sur la<br />
<strong>de</strong>uxième. Donc la différence <strong>de</strong>s champs <strong>de</strong> phase correspondants va varier <strong>de</strong> 2π toutes<br />
les L franges. En divisant c<strong>et</strong>te phase par 2π/L, on obtient un champ qui varie <strong>de</strong> L toutes<br />
les L franges. La partie entière <strong>de</strong> ce champ perm<strong>et</strong> donc <strong>de</strong> numéroter chaque frange. À<br />
cause du bruit, il y a quelques problèmes au voisinage <strong>de</strong>s sauts <strong>de</strong> 2π. Il suffit alors <strong>de</strong><br />
numéroter les <strong>de</strong>mi-franges d’abord paires, puis impaires selon le processus indiqué sur la<br />
Fig. 5.7.<br />
PSfrag replacements<br />
phase no 1<br />
π<br />
−π<br />
-4<br />
numéro <strong>de</strong> <strong>de</strong>mi-frange<br />
-3 -2 -1 0 1 2 3<br />
4<br />
phase no 2<br />
π<br />
−π<br />
différence <strong>de</strong> phaseπ<br />
+2π/L −π<br />
partie entière <strong>de</strong> la<br />
division par π/L<br />
multipliée par 2<br />
π<br />
phase #1 −π<br />
−π<br />
-4<br />
-2<br />
0<br />
2<br />
4<br />
π<br />
différence <strong>de</strong> phase<br />
−π<br />
partie entière <strong>de</strong> la<br />
division par π/L<br />
multipliée par 2, plus 1<br />
-3<br />
-1<br />
1<br />
3<br />
point central<br />
Fig. 5.7 – Dépliement <strong>de</strong> phase en utilisant le concept <strong>de</strong> longueur d’on<strong>de</strong> synthétique
5.3.<br />
MÉTHODE DE LA GRILLE 63<br />
5.3 Mesure <strong>de</strong> déplacements : métho<strong>de</strong> <strong>de</strong> la grille<br />
5.3.1 Principe<br />
Le phénomène fondamental dans les métho<strong>de</strong>s <strong>de</strong> grille ou <strong>de</strong> moiré est la déformation<br />
solidaire d’une grille collée, déposée ou gravée sur la surface d’un échantillon. On supposera<br />
que la grille suit fidèlement les déplacement <strong>et</strong> les déformations du substrat sur lequel<br />
elle est déposée. La grille joue le rôle d’une porteuse ayant un vecteur fréquence spatiale<br />
−→ F =<br />
−→ n /p, où<br />
−→ n est le vecteur unitaire normal aux traits <strong>et</strong> p est la pério<strong>de</strong> (pas) <strong>de</strong> la<br />
grille. L’intensité I( −→ R ) réfléchie au point −→ R = (X, Y ) par c<strong>et</strong>te grille dans l’état initial<br />
non déformé peut être décrite par :<br />
I i ( −→ [<br />
R ) = A 1 + γ frgn(2π −→ F . −→ ]<br />
R )<br />
(5.5)<br />
Le profil du trait est décrit par la fonction frgn.<br />
La déformation <strong>de</strong> la structure étudiée est décrite mathématiquement par le champ<br />
<strong>de</strong>s déplacements −→ U ( −→ R ). Une particule matérielle située au point géométrique −→ R sera<br />
emmenée au point −→ r = −→ R + −→ U ( −→ R ) par la déformation. On peut considérer le champ <strong>de</strong>s<br />
déplacements directs −→ U ( −→ R ), mais aussi le champ <strong>de</strong>s déplacements inverses −→ u ( −→ r ) défini<br />
sur la configuration déformée, <strong>et</strong> ramenant la structure dans son état initial. La relation<br />
entre ces <strong>de</strong>ux champs est :<br />
PSfrag replacements<br />
−→ −→ U ( R ) = −<br />
−→ u (<br />
−→ r ) = −<br />
−→ −→ −→ −→ u [ R + U ( R )] (5.6)<br />
<strong>et</strong> est illustrée sur la Figure 5.8.<br />
−→ u (<br />
−→ r )−→U<br />
(<br />
−→ R )<br />
−→ −→ −→ −→<br />
• r = R + U ( R )<br />
−→ R =<br />
−→ r +<br />
−→ u (<br />
−→ r )<br />
•<br />
Fig. 5.8 – Déplacements directs <strong>et</strong> inverses<br />
L’intensité du signal lumineux observé dans l’état déformé au point −→ r sera celle observée<br />
au point −→ R dans l’état non déformé, parce que la particule matérielle est la même,<br />
donc la partie <strong>de</strong> grille qui y est accolée n’a pas changé. Ainsi, l’intensité I f ( −→ r ) réfléchie<br />
par la grille déformée dans l’état final est :<br />
I f ( −→ r ) = I i ( −→ R ) = I i [ −→ r + −→ u ( −→ r )] (5.7)<br />
soit :<br />
avec :<br />
I f ( −→ {<br />
r ) = A 1 + γ frgn[2π −→ F . −→ r + φ n ( −→ }<br />
r )]<br />
φ i ( −→ r ) = 2π −→ F . −→ u ( −→ r ) = 2π u i<br />
p<br />
(5.8)<br />
(5.9)
64 CHAPITRE 5.<br />
MÉTHODES GÉOMÉTRIQUES DE MESURES<br />
où u i , i = x, y est la composante du déplacement suivant la direction x ou y selon que<br />
les traits sont alignés suivant y ou x respectivement. Donc, le champ <strong>de</strong>s déplacements<br />
inverses apparaît comme un signal <strong>de</strong> modulation <strong>de</strong> phase <strong>de</strong> la porteuse.<br />
C<strong>et</strong>te modulation peut donc être évaluée par les métho<strong>de</strong>s <strong>de</strong> détection <strong>de</strong> phase vues<br />
précé<strong>de</strong>mment. Vu la présence d’une porteuse, la technique <strong>de</strong> décalage spatial <strong>de</strong> phase<br />
est ici évi<strong>de</strong>mment une métho<strong>de</strong> à utiliser préférentiellement. Il faudra dans ce cas régler<br />
le grandissement <strong>de</strong> l’objectif <strong>de</strong> la caméra <strong>de</strong> manière à ce qu’un nombre entier <strong>de</strong> pixels<br />
correspon<strong>de</strong>nt à l’intervalle entre <strong>de</strong>ux traits. l’algorithme à choisir sera l’algorithme TFDfenêtré,<br />
puisqu’au fur <strong>et</strong> à mesure <strong>de</strong>s déplacements <strong>et</strong> <strong>de</strong>s déformations, le pas <strong>de</strong> la grille<br />
va varier <strong>et</strong> que la condition d’un décalage <strong>de</strong> 2π/N entre pixels ne sera pas toujours<br />
vérifiée.<br />
Si la caméra comporte P pixels suivant une direction, <strong>et</strong> que l’on a choisi un algorithme<br />
avec un décalage <strong>de</strong> phase <strong>de</strong> 2π/N, il faudra P/N traits au total dans la largeur L du<br />
champ suivant c<strong>et</strong>te direction. Une pério<strong>de</strong> p correspond donc à une longueur égale à NL/P<br />
<strong>de</strong> la largeur totale du champ. Si la détection <strong>de</strong> phase se fait avec une sensibilité <strong>de</strong> 2π/S,<br />
la sensibilité sur la mesure du déplacement est :<br />
δU = p S = NL<br />
P S<br />
Rapporté à la dimension du champ visé, cela donne :<br />
δU<br />
L = N P S<br />
(5.10)<br />
(5.11)<br />
Pour une caméra <strong>de</strong> 1024 pixels, un algorithme décalant à π/2 <strong>et</strong> un niveau <strong>de</strong> bruit<br />
perm<strong>et</strong>tant une détection <strong>de</strong> phase à 2π/100, on obtient une résolution sur les déplacements<br />
<strong>de</strong> 4/100 000 = 1/25 000 du champ, soit 40 µm pour un champ <strong>de</strong> 1 m ou 4 µm pour un<br />
champ <strong>de</strong> 100 mm.<br />
On rappelle que dans le cas du décalage spatial <strong>de</strong> phase avec l’algorithme TFD-fenêtré<br />
utilisant 2N − 1 pixels, la résolution spatiale est également <strong>de</strong> 2N − 1 pixels.<br />
5.3.2 P<strong>et</strong>its déplacements, grands déplacements, déformations<br />
Il n’a pas été fait pour le moment d’hypothèse sur l’amplitu<strong>de</strong> du champ <strong>de</strong> déplacement.<br />
Si les déplacements sont grands, la phase mesurée est directement proportionnelle au<br />
déplacement inverse, <strong>et</strong> c’est au mécanicien d’appliquer les formules ad hoc pour calculer<br />
par dérivation les déformations.<br />
Dans le cadre <strong>de</strong> l’hypothèse <strong>de</strong>s p<strong>et</strong>its déplacements <strong>et</strong> <strong>de</strong>s p<strong>et</strong>ites déformations, on<br />
peut faire l’approximation :<br />
−→ u (<br />
−→ r ) =<br />
−→ u (<br />
−→ R ) = −<br />
−→ U (<br />
−→ r ) = −<br />
−→ U (<br />
−→ R ) (5.12)<br />
<strong>et</strong> on obtient alors :<br />
φ i (x, y) = − 2π p U i(x, y) (5.13)
5.3.<br />
MÉTHODE DE LA GRILLE 65<br />
faisant intervenir les composantes du déplacement direct.<br />
Dans le cas <strong>de</strong>s p<strong>et</strong>its déplacements, il importe <strong>de</strong> ne pas mélanger les déformations<br />
réelles avec les déformations liées à <strong>de</strong>s aberrations géométriques <strong>de</strong> l’objectif <strong>de</strong> prise <strong>de</strong><br />
vue. Un moyen simple d’éliminer ces aberrations est <strong>de</strong> prendre une image dans l’état<br />
initial, <strong>et</strong> <strong>de</strong> soustraire les champs <strong>de</strong> phase détectés dans les états final <strong>et</strong> initial.<br />
Dans le cas <strong>de</strong>s p<strong>et</strong>ites déformations, le tenseur <strong>de</strong>s déformations <strong>de</strong> Cauchy ɛ ij peut<br />
être évalué par différentiation numérique, selon :<br />
⎧<br />
⎪⎨<br />
⎪⎩<br />
ɛ xx = ∂U x<br />
∂x = − p ∂φ x<br />
2π ∂x<br />
ɛ yy = ∂U y<br />
∂y = − p ∂φ y<br />
2π ∂y<br />
ɛ xy = 1 ( ∂Ux<br />
2 ∂y + ∂U )<br />
y<br />
∂x<br />
= − p ( ∂φx<br />
4π ∂y + ∂φ )<br />
y<br />
∂x<br />
(5.14)<br />
À cause du bruit inévitable présent dans les images <strong>de</strong> phase, la différentiation numérique<br />
doit s’accompagner d’un lissage spatial pour pouvoir obtenir <strong>de</strong>s résultats exploitables.<br />
L’expérience montre que ce nombre K doit être très important (20 à 40, voire plus). Il faut<br />
cependant se rendre compte qu’un lissage spatial sur un rayon <strong>de</strong> K pixels réduit d’autant<br />
la résolution spatiale. Il s’agit là <strong>de</strong> la principale limitation <strong>de</strong> la métho<strong>de</strong> <strong>de</strong> grille.<br />
5.3.3 Mesure <strong>de</strong>s <strong>de</strong>ux composantes du déplacement<br />
La métho<strong>de</strong> <strong>de</strong> la grille ne perm<strong>et</strong> a priori <strong>de</strong> mesurer qu’une seule composante du<br />
déplacement. Il est cependant possible d’utiliser une grille croisée pour perm<strong>et</strong>tre la mesure<br />
simultanée <strong>de</strong>s <strong>de</strong>ux composantes. Dans ce cas, un traitement d’image simple va perm<strong>et</strong>tre<br />
<strong>de</strong> séparer les informations suivant x <strong>et</strong> suivant y.<br />
Supposons que l’algorithme utilisé utilise un décalage <strong>de</strong> 2π/N. L’idée est <strong>de</strong> faire un<br />
moyennage glissant sur une longueur égale à la pério<strong>de</strong> du signal que l’on cherche à éliminer.<br />
En eff<strong>et</strong>, considérons le signal :<br />
f(x) = A + B cos(2πfx) (5.15)<br />
Une moyenne spatiale glissante suivant la direction x correspond à faire un produit <strong>de</strong><br />
convolution avec la fonction 1/p × Π(x/p). Dans l’espace <strong>de</strong> Fourier, cela revient à multiplier<br />
le spectre <strong>de</strong> f(x) par sinc(pu) qui s’annule pour la fréquence f = 1/p qui est celle<br />
présente dans le signal f(x), où il ne restera plus que la valeur moyenne A.<br />
Pour éliminer les traits verticaux (respectivement : horizontaux), on fait donc avec<br />
l’image un produit <strong>de</strong> convolution avec un noyau constitué <strong>de</strong> N pixels égaux à 1/N ,<br />
disposés sur une ligne horizontale (respectivement : verticale).
66 CHAPITRE 5.<br />
MÉTHODES GÉOMÉTRIQUES DE MESURES<br />
5.3.4 Moiré<br />
On présente l’eff<strong>et</strong> <strong>de</strong> moiré dans c<strong>et</strong>te section, bien que les concepts présentés soient<br />
communs à toutes les techniques où une porteuse spatiale est présente.<br />
Le moiré n’est pas en lui-même une technique <strong>de</strong> mesure. C’est simplement un eff<strong>et</strong> qui<br />
vient ou non se surajouter à la technique <strong>de</strong> la grille, <strong>et</strong> qui modifie le contenu spectral <strong>de</strong>s<br />
informations délivrées par c<strong>et</strong>te technique.<br />
Le moiré est l’eff<strong>et</strong> non-linéaire <strong>de</strong> battement entre <strong>de</strong>ux signaux <strong>de</strong> fréquences spatiales<br />
voisines. C<strong>et</strong> eff<strong>et</strong> non-linéaire peut être obtenu <strong>de</strong> différentes façons (multiplication,<br />
opération XOR, <strong>et</strong>c). Prenons l’exemple <strong>de</strong> la superposition <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux transparents <strong>de</strong> transparence<br />
t 0 ( −→ r ) <strong>et</strong> t 1 ( −→ r ) :<br />
t i ( −→ r ) = 1 2 [1 + cos(2π−→ f i . −→ r )] (5.16)<br />
où les vecteurs fréquence spatiale −→ f 0 <strong>et</strong> −→ f 1 sont voisins. Les spectres correspondants sont :<br />
̂t i ( −→ u ) = 1 2 δ(−→ u ) + 1 4 [δ(−→ u + −→ f i ) + δ( −→ u − −→ f i )] (5.17)<br />
La transparence résultante sera :<br />
soit au niveau spectral :<br />
t = t 0 t 1 (5.18)<br />
̂t = ̂t 0 ⋆ ̂t 1 (5.19)<br />
ce qui donne :<br />
̂t( −→ u ) = 1 4 δ(−→ u )<br />
+ 1 8 [δ(−→ u + −→ f 0 ) + δ( −→ u + −→ f 1 ) + δ( −→ u − −→ f 0 ) + δ( −→ u − −→ f 1 )]<br />
+ 1 16 [δ(−→ u + −→ f 0 − −→ f 1 ) + δ( −→ u − −→ f 0 + −→ f 1 )<br />
(5.20)<br />
+ 1 16 [δ(−→ u + −→ f 0 + −→ f 1 ) + δ( −→ u − −→ f 0 − −→ f 1 )<br />
où l’on r<strong>et</strong>rouve les fréquences −→ 0 , −→ f 0 <strong>et</strong> −→ f 1 , mais également la fréquence −→ f 0 + −→ f 1 qui est<br />
approximativement double <strong>de</strong> −→ f 0 ou −→ f 1 , <strong>et</strong> surtout la fréquence −→ f 0 − −→ f 1 qui elle est proche<br />
<strong>de</strong> zéro. On appellera signal <strong>de</strong> moiré la composante basse fréquence correspondant à c<strong>et</strong>te<br />
différence :<br />
I m ( −→ r ) = A + B cos[2π( −→ f 0 − −→ f 1 ). −→ r ] (5.21)<br />
L’intérêt du moiré rési<strong>de</strong> précisément dans c<strong>et</strong>te translation qui est réalisée dans l’espace<br />
<strong>de</strong>s fréquences. Si la grille 1 est la grille déformée (c’est-à-dire que dans l’espace <strong>de</strong> Fourier<br />
il y a un lobe élargi autour <strong>de</strong> la fréquence nominale −→ f 1 ), <strong>et</strong> la grille 0 une référence non<br />
déformée, l’eff<strong>et</strong> <strong>de</strong> la multiplication va être une translation <strong>de</strong> l’information contenue dans
5.3.<br />
MÉTHODE DE LA GRILLE 67<br />
les lobes autour <strong>de</strong> −→ f 1 <strong>et</strong> − −→ f 1 vers l’origine. C<strong>et</strong> eff<strong>et</strong> est représenté sur la Fig. 5.9. Sur c<strong>et</strong>te<br />
figure est aussi représenté un cercle représentant le pouvoir <strong>de</strong> résolution <strong>de</strong> l’instrument<br />
d’optique faisant l’acquisition <strong>de</strong> l’image. Dans le cas présenté, le moiré perm<strong>et</strong> à c<strong>et</strong><br />
appareil <strong>de</strong> voir une information qui correspond au départ à <strong>de</strong>s fréquences spatiales trop<br />
élevées pour lui : il ne « résout » pas les traits, alors qu’il voit bien les franges <strong>de</strong> moiré.<br />
Sfrag replacements<br />
Vecteurs <strong>de</strong> translation<br />
− −→ f 0<br />
−→<br />
f0 − −→ f 0<br />
−→<br />
f0<br />
Spectre <strong>de</strong>s franges<br />
spectre <strong>de</strong>s traits <strong>de</strong> moiré spectre <strong>de</strong>s traits<br />
(fréquences négatives − −→ f (fréquences positives −→ 1 )<br />
f 1 )<br />
Pouvoir <strong>de</strong> résolution <strong>de</strong> l’instrument<br />
Fig. 5.9 – Translations du spectre dûs à l’eff<strong>et</strong> <strong>de</strong> moiré<br />
Cela perm<strong>et</strong> d’utiliser <strong>de</strong>s grilles <strong>de</strong> pas très fin (jusqu’à 40 traits par millimètre), ce<br />
qui augmente la sensibilité <strong>de</strong> la mesure <strong>de</strong>s déplacements. Par contre, la mise en œuvre<br />
est compliquée par l’emploi d’une grille <strong>de</strong> référence qui doit être mise soigneusement en<br />
contact avec la grille se déformant, pour éviter l’apparition <strong>de</strong> franges parasite liées au non<br />
parallélisme <strong>de</strong>s <strong>de</strong>ux grilles.<br />
Un <strong>de</strong>s eff<strong>et</strong>s spectaculaires du moiré est <strong>de</strong> magnifier considérablement les déformations,<br />
c’est-à-dire que la déformation <strong>de</strong>s franges <strong>de</strong> moiré est très supérieure à la déformation<br />
<strong>de</strong>s traits <strong>de</strong> la grille active. C<strong>et</strong> eff<strong>et</strong> est expliqué par la Fig. 5.10, où l’on voit qu’une<br />
variation <strong>de</strong> fréquence spatiale liée à la déformation <strong>de</strong> la grille va donner une beaucoup<br />
plus gran<strong>de</strong> variation du pas <strong>de</strong>s franges <strong>de</strong> moiré que <strong>de</strong>s traits <strong>de</strong> la grille.
68 CHAPITRE 5.<br />
MÉTHODES GÉOMÉTRIQUES DE MESURES<br />
pério<strong>de</strong> spatiale<br />
PSfrag replacements<br />
p = 1 f<br />
f 1 − f 0<br />
f 1<br />
fréquence spatiale<br />
Fig. 5.10 – Augmentation <strong>de</strong>s déformations par le moiré<br />
5.4 Mesure <strong>de</strong> pentes : déflectométrie<br />
La déflectométrie est une métho<strong>de</strong> <strong>de</strong> mesure <strong>de</strong> champs <strong>de</strong> pente sur un obj<strong>et</strong> quasi<br />
plan. Son principe est représenté sur la Fig. 5.11. L’obj<strong>et</strong> est illuminé avec un faisceau<br />
<strong>de</strong> lumière collimaté sous inci<strong>de</strong>nce normale, à partir d’une source S placée au foyer <strong>de</strong> la<br />
lentille <strong>de</strong> champ FL. Après réflexion, tous les rayons ayant une direction <strong>de</strong> propagation<br />
donnée (par exemple, les rayons réfléchis aux points A <strong>et</strong> B, où la pente locale θ est<br />
i<strong>de</strong>ntique) convergent dans le plan focal au même point situé à la distance d <strong>de</strong> l’axe<br />
optique. Si une fente est positionnée à c<strong>et</strong> endroit, l’écran ne recevra <strong>de</strong> lumière qu’en<br />
provenance <strong>de</strong>s points ayant c<strong>et</strong>te même pente θ : une ligne d’isovaleur <strong>de</strong> pentes est<br />
observée sur l’écran.<br />
La forme <strong>de</strong> la surface est décrite par la fonction w(x, y) où w est la distance (flèche) par<br />
rapport à un plan <strong>de</strong> référence. La pente locale a <strong>de</strong>ux composantes : ∂w/∂x <strong>et</strong> ∂w/∂y.<br />
Dans le cas <strong>de</strong> la Fig. 5.11, ce qui est observé sur l’écran est la ligne d’isovaleur <strong>de</strong> la<br />
composante y <strong>de</strong> la pente : θ = ∂w/∂y. Si une fente alignée avec l’axe y est utilisée, c’est<br />
l’autre composante <strong>de</strong> la pente, ∂w/∂x qui sera observée.<br />
La relation entre d <strong>et</strong> la distance focale f est :<br />
<strong>et</strong> donc la composante y <strong>de</strong> la pente est donnée par :<br />
2θ ≈ tan(2θ) = d/f (5.22)<br />
∂w<br />
∂y<br />
≈ θ = d/2f (5.23)<br />
Pour avoir en une seule fois un ensemble plus important d’informations, la fente peut être<br />
remplacée par un ensemble <strong>de</strong> fentes, donc une grille, comme indiqué sur la Fig. 5.12. Sur
5.4.<br />
DÉFLECTOMÉTRIE 69<br />
c<strong>et</strong>te figure, les traits <strong>de</strong> la grille sont supposés être orientés parallèlement à l’axe <strong>de</strong>s x,<br />
<strong>de</strong> manière à ce que les pentes suivant y soient mesurées. Ce qui est observé sur l’écran<br />
ressemble à <strong>de</strong>s franges d’interférence, à la différence que ces franges sont incomparablement<br />
plus stables vis-à-vis <strong>de</strong>s vibrations parasites. En eff<strong>et</strong>, ces vibrations n’induisent que <strong>de</strong>s<br />
translations <strong>de</strong> corps soli<strong>de</strong> au niveau <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong>, qui ne modifient pas les pentes.<br />
PSfrag replacements<br />
Grille<br />
Décalage <strong>de</strong> phase<br />
Écran dépoli<br />
Fig. 5.12 – Déflectométrie : remplacement <strong>de</strong> la fente par une grille (l’éclairage <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong><br />
n’est plus représenté).<br />
En pratique, c’est une bonne idée <strong>de</strong> remplacer la grille d’analyse alternativement<br />
opaque <strong>et</strong> transparente (motif binaire) par un obj<strong>et</strong> <strong>de</strong> transparence sinusoïdale. Dans<br />
ce cas, l’intensité observée sur l’écran sera modulée par les valeurs <strong>de</strong>s pentes :<br />
I(x, y) = I 0 {1 + γ cos [ϕ(x, y)]} (5.24)<br />
où I 0 est l’intensité moyenne, γ est toujours le contraste, <strong>et</strong> ϕ(x, y) la phase donnée par :<br />
ϕ(x, y) = 2π d p<br />
= 2π<br />
2θf<br />
p<br />
(5.25)<br />
où p est le pas <strong>de</strong> la grille. L’expression ci-<strong>de</strong>ssus est valable quand une ligne transparente<br />
<strong>de</strong> la grille est placée au niveau <strong>de</strong> l’axe optique. Si la grille est déplacée <strong>de</strong> u, la phase est<br />
modifiée comme suit :<br />
ϕ(x, y) −→ ϕ(x, y) + 2π u (5.26)<br />
p<br />
Donc un décalage <strong>de</strong> phase peut être réalisé simplement par translation <strong>de</strong> la grille d’analyse<br />
dans le plan focal <strong>de</strong> la lentille <strong>de</strong> champ. Le champ <strong>de</strong> phase obtenu peut être relié au<br />
champ <strong>de</strong>s pentes locales à l’ai<strong>de</strong> <strong>de</strong>s équations (5.23) and (5.25) :<br />
∂w<br />
∂y = θ = ϕ 2π × p<br />
2f<br />
(5.27)<br />
Un exemple <strong>de</strong> résultat sur la mesure du champ <strong>de</strong> pentes pour une pièce <strong>de</strong> germanium <strong>de</strong><br />
100 mm <strong>de</strong> diamètre usinée avec un outil diamant est présenté sur la Fig. 5.13. Rappelons
70 CHAPITRE 5.<br />
MÉTHODES GÉOMÉTRIQUES DE MESURES<br />
qu’une pente <strong>de</strong> 1 microradian correspond à une variation d’altitu<strong>de</strong> <strong>de</strong> 1 nanomètre par<br />
millimètre.<br />
Fig. 5.13 – Cartographie du champ <strong>de</strong> pentes pour une pièce <strong>de</strong> germanium usinée avec<br />
un outil diamant.<br />
Par rapport à la technique <strong>de</strong> l’interférométrie, l’intérêt <strong>de</strong> la déflectométrie est :<br />
– l’insensibilité aux vibrations, dont il a déjà été fait mention ;<br />
– la possibilité <strong>de</strong> régler la sensibilité. En eff<strong>et</strong>, celle-ci dépend du pas p <strong>de</strong> la grille<br />
d’analyse. On peut donc augmenter c<strong>et</strong>te valeur si la surface présente <strong>de</strong>s variations<br />
<strong>de</strong> hauteurs <strong>et</strong> donc <strong>de</strong>s pentes importantes, pour diminuer le nombre <strong>de</strong> franges observées.<br />
Ceci n’est pas possible en interférométrie où la distance entre <strong>de</strong>ux franges<br />
dépend <strong>de</strong> la longueur d’on<strong>de</strong> <strong>et</strong> n’est donc pas modifiable dans <strong>de</strong> gran<strong>de</strong>s proportions.
5.4.<br />
DÉFLECTOMÉTRIE 71<br />
PSfrag replacements<br />
θ<br />
2θ<br />
y<br />
A<br />
FL<br />
IL<br />
A ′<br />
Observation<br />
x<br />
B<br />
Obj<strong>et</strong><br />
f<br />
S<br />
BS<br />
B ′<br />
Écran dépoli<br />
Fig. 5.11 – Montage <strong>de</strong> déflectométrie, utilisant une fente. S : source ponctuelle, BS : lame<br />
semi-réfléchissante, FL : lentille <strong>de</strong> champ, IL : lentille d’imagerie
72 CHAPITRE 5. MÉTHODES GÉOMÉTRIQUES DE MESURES
Chapitre 6<br />
Métho<strong>de</strong>s interférométriques<br />
6.1 Interférences à <strong>de</strong>ux on<strong>de</strong>s <strong>et</strong> vecteur sensibilité<br />
6.1.1 Rappel sur les interférences<br />
La phase ψ(t) = ωt + φ d’une on<strong>de</strong> électromagnétique, dans le domaine visible, oscille à<br />
une fréquence <strong>de</strong> l’ordre du térahertz (10 14 Hz). Aucun récepteur n’est capable d’enregistrer<br />
les variations temporelles <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te phase à <strong>de</strong>s fréquences aussi élevées. C’est pourquoi on<br />
a recours au phénomène <strong>de</strong>s interférences, dont le but principal est d’éliminer par un<br />
phénomène <strong>de</strong> battement le terme en ωt présent dans ψ.<br />
Considérons <strong>de</strong>ux on<strong>de</strong>s électromagnétiques d’amplitu<strong>de</strong>s E 1 (t) = A 1 cos(ωt + φ 1 ) <strong>et</strong><br />
E 2 (t) = A 2 cos(ωt + φ 2 ). L’intensité mesurée par un détecteur ne recevant que l’on<strong>de</strong> 1<br />
seule est proportionnelle à la moyenne temporelle du carré du champ E 1 (t) :<br />
I 1 ∝ E1(t) 2 = A2 1<br />
2 [1 + cos(2ωt + 2φ 1)] = A2 1<br />
2<br />
(6.1)<br />
<strong>et</strong> <strong>de</strong> même pour I 2 , d’où l’on déduit A 1 ∝ √ 2I 1 <strong>et</strong> A 2 ∝ √ 2I 2 . Si les <strong>de</strong>ux on<strong>de</strong>s interfèrent,<br />
on a :<br />
E 2 (t) = [E 1 (t) + E 2 (t)] 2<br />
= A2 1<br />
soit pour l’intensité I détectée :<br />
2 [1 + cos(2ωt + 2φ 1)] + A2 2<br />
2 [1 + cos(2ωt + 2φ 2)]<br />
+A 1 A 2 [cos(2ωt + φ 1 + φ 2 ) + cos(φ 1 − φ 2 )]<br />
(6.2)<br />
soit :<br />
I ∝ E 2 (t) = A2 1<br />
2 + A2 2<br />
2 + A 1A 2 cos(φ 1 − φ 2 ) (6.3)<br />
I = I 0 (1 + γ cos Φ) (6.4)<br />
73
74 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
θ<br />
PSfrag replacements<br />
PSfrag replacements<br />
PSfrag replacements<br />
Réseau<br />
θ<br />
Réseau<br />
θ<br />
Réseau<br />
(a) Réflection spéculaire<br />
(b) Diffusion<br />
(c) Diffraction sur un réseau<br />
Fig. 6.1 – Différents mo<strong>de</strong>s d’interaction <strong>de</strong> la lumière sur une surface<br />
où I 0 = I 1 + I 2 <strong>et</strong> où le contraste γ est donné par :<br />
<strong>et</strong> la phase Φ <strong>de</strong>s franges d’interférences est :<br />
γ = 2√ I 1 I 2<br />
I 1 + I 2<br />
(6.5)<br />
Φ = ψ 1 − ψ 2 = φ 1 − φ 2 (6.6)<br />
Dans la suite, nous noterons toujours ψ la phase d’une on<strong>de</strong> électromagnétique, y compris<br />
le facteur temporel ωt, φ c<strong>et</strong>te phase débarrassée <strong>de</strong> ce facteur temporel, <strong>et</strong> Φ la phase<br />
d’une frange d’interférence. On notera avec la l<strong>et</strong>tre ∆ la variation d’une gran<strong>de</strong>ur entre<br />
<strong>de</strong>ux états ; par exemple, ∆Φ désignera la variation <strong>de</strong> la phase d’une frange d’interférence<br />
entre <strong>de</strong>ux états.<br />
6.1.2 Interactions lumière-surface<br />
Selon le mo<strong>de</strong> d’interaction entre la lumière inci<strong>de</strong>nte <strong>et</strong> la surface, l’interférométrie<br />
peut se m<strong>et</strong>tre en œuvre <strong>de</strong> différentes manières, mises en évi<strong>de</strong>nce sur la Fig. 6.1.<br />
Dans le premier cas (Fig. 6.1(a)), la surface est un miroir. Toute l’énergie inci<strong>de</strong>nte sur la<br />
surface repart dans une direction bien déterminée, donnée par la loi <strong>de</strong> Snell-Descartes<br />
(angle <strong>de</strong> réflexion égal à l’angle d’inci<strong>de</strong>nce). Si la surface d’on<strong>de</strong> inci<strong>de</strong>nte est « lisse »,<br />
c’est-à-dire sans variation spatiale aléatoire (typiquement : plane ou sphérique), la surface<br />
d’on<strong>de</strong> réfléchie est lisse elle aussi.<br />
Dans le <strong>de</strong>uxième cas (Fig. 6.1(b)), la lumière est diffusée dans tout un <strong>de</strong>mi-espace.<br />
L’observateur peut se trouver n’importe où. Comme l’énergie est répartie dans une gran<strong>de</strong><br />
zone, un système d’observation situé au voisinage d’une direction donnée recueillera peu
6.1. VECTEUR SENSIBILITÉ 75<br />
d’énergie. C<strong>et</strong>te configuration (§ 6.6), qui correspond à ce qu’il est coutume d’appeler l’interférométrie<br />
<strong>de</strong> speckle (plus correctement : l’interférométrie en lumière diffuse), nécessite<br />
donc une source laser <strong>de</strong> puissance importante. Le gros intérêt <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te configuration est<br />
qu’aucune préparation <strong>de</strong> la surface est nécessaire ; il suffit qu’elle soit suffisamment diffusante<br />
; si ce n’est pas le cas, une simple pulvérisation <strong>de</strong> peinture blanc mat est suffisante.<br />
Un inconvénient d’opérer ainsi en lumière diffuse est que les surfaces d’on<strong>de</strong> diffusées sont<br />
aléatoires, c’est-à-dire que leur surface est très acci<strong>de</strong>ntée. Cela se traduira par un bruit<br />
spatial très important lors <strong>de</strong>s <strong>mesures</strong> <strong>de</strong> champ <strong>de</strong> phase <strong>de</strong> franges d’interférences.<br />
Dans le troisième cas (Fig. 6.1(c)), un réseau <strong>de</strong> diffraction est déposé par moulage sur<br />
la surface, <strong>de</strong> manière à ce que le premier ordre diffracté soit normal à la surface. Cela se<br />
produit quand :<br />
sin θ = λ p<br />
(6.7)<br />
où p est la pério<strong>de</strong> du réseau. Dans ce cas, une fraction importante <strong>de</strong> l’énergie repart<br />
vers un observateur situé dans la direction normale, <strong>et</strong> les surfaces d’on<strong>de</strong>s diffractées dans<br />
c<strong>et</strong>te direction sont lisses. L’intérêt <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te configuration se révèlera après que nous ayons<br />
introduit le vecteur sensibilité.<br />
Pour un angle <strong>de</strong> 45˚<strong>et</strong> une longueur d’on<strong>de</strong> <strong>de</strong> 633 nm, on obtient avec l’équation<br />
(6.7) une fréquence spatiale du réseau égale à f = 1/p = 1117 traits par millimètre.<br />
6.1.3 Vecteur sensibilité<br />
Lorsqu’un point d’une surface éclairée par <strong>de</strong> la lumière monochromatique est soumis<br />
PSfrag replacements<br />
à un p<strong>et</strong>it déplacement caractérisé par un vecteur −→ u , la variation <strong>de</strong> phase du faisceau<br />
provenant <strong>de</strong> la source <strong>et</strong> renvoyé vers l’observateur est calculée par la variation du chemin<br />
optique entre la source S <strong>et</strong> l’observateur T (Fig. 6.2).<br />
P<br />
S<br />
−→ k e<br />
−→ u<br />
− −→ −→ g<br />
k o<br />
M<br />
−→ k o<br />
T<br />
Fig. 6.2 – Définition du vecteur sensibilité
76 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
Le chemin optique l entre la source <strong>et</strong> le point d’observation est :<br />
l = n(SM + MT ) ≈ SM + MT (6.8)<br />
si l’on considère que la propagation a lieu dans l’air d’indice n ≈ 1. La variation <strong>de</strong> ce<br />
chemin optique est :<br />
∆l = ∆SM + ∆MT (6.9)<br />
correspondant à une variation <strong>de</strong> phase :<br />
∆φ = 2π λ<br />
∆l (6.10)<br />
Or on peut écrire :<br />
SM 2 = −−→ SM 2 (6.11)<br />
soit : {<br />
SM.∆SM = −−→ SM.∆ −−→ SM = −−→ SM. −→ u<br />
SM.∆T M = −−→ T M.∆T −−→ M = −−→ T M. −→ u<br />
(6.12)<br />
d’où l’on tire : ⎧⎪ ⎨<br />
⎪ ⎩<br />
∆SM =<br />
∆T M =<br />
−−→ SM<br />
SM .−→ u<br />
−−→ T M<br />
T M .−→ u<br />
(6.13)<br />
Comme les vecteurs d’on<strong>de</strong> du faisceau d’éclairage −→ k e <strong>et</strong> celui du faisceau d’observation −→ k o<br />
ont pour expression : ⎧⎪ ⎨<br />
−→<br />
ke = 2π −−→ SM<br />
λ SM<br />
⎪ ⎩<br />
−→<br />
ko = − 2π −−→ T M<br />
λ T M<br />
le résultat pour la variation <strong>de</strong> phase ∆φ est donc :<br />
(6.14)<br />
∆φ = ( −→ k e − −→ k o ). −→ u (6.15)<br />
On pose :<br />
−→ g =<br />
−→ k e − −→ k o (6.16)<br />
<strong>et</strong> on appelle ce vecteur le vecteur sensibilité . Il est aligné selon la bissectrice <strong>de</strong>s directions<br />
<strong>de</strong>s vecteurs −→ k e <strong>et</strong> −→ k o . On a avec c<strong>et</strong>te notation :<br />
∆φ = −→ g . −→ u (6.17)<br />
Donc le vecteur sensibilité indique la composante du déplacement à laquelle la métho<strong>de</strong> <strong>de</strong><br />
mesure sera sensible : la composante parallèle à −→ g .
6.2.<br />
INTERFÉROMÉTRIE TYPE MICHELSON 77<br />
PSfrag Surface replacements <strong>de</strong> référence<br />
−→ k o<br />
−→ g<br />
−→ k e<br />
Surface testée<br />
Fig. 6.3 – Principe <strong>de</strong> la mesure interférométrique <strong>de</strong> formes <strong>de</strong> surfaces<br />
Lame semi-réfléchissante<br />
Surface <strong>de</strong> référence<br />
PSfrag replacements Surface testée<br />
Source ponctuelle<br />
Observation<br />
Fig. 6.4 – Montage interférométrique <strong>de</strong> Twymann-green pour l’étu<strong>de</strong> interférométrique<br />
<strong>de</strong> la géométrie <strong>de</strong>s surfaces réfléchissantes<br />
6.2 Interférométrie type Michelson<br />
On appelera Interférométrie type Michelson un montage où <strong>de</strong>s on<strong>de</strong>s d’éclairage <strong>et</strong><br />
d’observation sont planes, <strong>et</strong> où l’interaction avec la surface étudiée est une réflexion. La<br />
séparation <strong>de</strong>s faisceaux d’éclairage <strong>et</strong> <strong>de</strong> référence se fait avec une lame semi-réfléchissante.<br />
Le principe en est représenté sur la Fig. 6.3. Le montage classique <strong>de</strong> Twymann-Green<br />
est représenté sur la Fig. 6.4. La norme du vecteur sensibilité est g = 2k = 4π/λ. On a une<br />
variation <strong>de</strong> phase φ lorsque ge = φ, où e est l’écart <strong>de</strong> la surface par rapport au plan <strong>de</strong><br />
référence. On en tire :<br />
e = φ<br />
2π × λ (6.18)<br />
2<br />
Il y a donc une frange à chaque variation <strong>de</strong> λ/2 <strong>de</strong> la hauteur par rapport à la surface <strong>de</strong><br />
référence. Rappelons qu’il faut déplier la phase pour avoir la cartographie <strong>de</strong>s hauteurs.
78 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
Pour une longueur d’on<strong>de</strong> λ = 633 nm <strong>et</strong> une mesure <strong>de</strong> phase à λ/100, la résolution<br />
sur la mesure <strong>de</strong> hauteur sera donc <strong>de</strong> 3 nm.<br />
Un exemple <strong>de</strong> résultat sur une mesure <strong>de</strong> cale étalon est présenté sur les Figs. 6.5 <strong>et</strong><br />
6.6. Des franges <strong>de</strong> coin d’air (inclinaison du miroir <strong>de</strong> référence) ont été introduites pour<br />
servir <strong>de</strong> porteuse pour la mise en œuvre du décalage <strong>de</strong> phase spatial. La phase dépliée a<br />
été directement graduée en écart d’épaisseur en utilisant la formule 6.18, après soustraction<br />
<strong>de</strong> la variation <strong>de</strong> phase linéaire correspondant aux franges <strong>de</strong> coin d’air.<br />
Fig. 6.5 – Image interférométrique d’une cale étalon<br />
Fig. 6.6 – Carte <strong>de</strong>s écarts d’épaisseur pour la cale <strong>de</strong> la Fig. 6.5.
6.3.<br />
INTERFÉROMÉTRIE HOLOGRAPHIQUE 79<br />
6.3 Interférométrie holographique<br />
6.3.1 Principe <strong>de</strong> l’holographie<br />
L’holographie consiste à enregistrer sur un support photographique à grain très fin les<br />
interférences entre <strong>de</strong>ux on<strong>de</strong>s : une on<strong>de</strong> d’éclairage direct, dite on<strong>de</strong> <strong>de</strong> référence, <strong>et</strong><br />
PSfrag replacements<br />
une on<strong>de</strong> correspondant à la lumière diffusée par l’obj<strong>et</strong> holographié, dite on<strong>de</strong> obj<strong>et</strong>. Le<br />
montage expérimental est représenté sur la Fig. 6.7.<br />
Faisceau <strong>de</strong> référence<br />
Miroir<br />
Obj<strong>et</strong><br />
Lumière diffusée :<br />
on<strong>de</strong> obj<strong>et</strong><br />
Laser<br />
Lame semi-réfléchissante<br />
Miroir<br />
Hologramme<br />
PSfrag replacements<br />
Fig. 6.7 – Montage d’enregistrement holographique<br />
Après développement <strong>de</strong> la plaque holographique, celle-ci est éclairée par l’on<strong>de</strong> <strong>de</strong><br />
référence qui a servi à l’enregistrement (Fig. 6.8).<br />
Miroir<br />
Image virtuelle<br />
B<br />
M<br />
M<br />
Laser<br />
Miroir<br />
A<br />
Observateur<br />
Fig. 6.8 – Restitution holographique<br />
6.3.2 Interférométrie holographique<br />
L’holographie, par la reconstruction parfaite <strong>de</strong>s on<strong>de</strong>s électromagnétique qu’elle perm<strong>et</strong>,<br />
ouvre la possibilité d’un type particulier d’interférométrie : l’interférométrie à divi-
80 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
sion temporelle, en faisant interférer <strong>de</strong>ux on<strong>de</strong>s ayant existé à <strong>de</strong>s moments différents. On<br />
peut par exemple faire interférer la lumière issue d’un obj<strong>et</strong> <strong>et</strong> celle issue du même obj<strong>et</strong><br />
déformé. Il y a <strong>de</strong>ux manières <strong>de</strong> réaliser ceci : l’interférométrie par double exposition où<br />
<strong>de</strong>ux hologrammes successifs <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> sont réalisés avant <strong>et</strong> après modification <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong>,<br />
<strong>et</strong> où les <strong>de</strong>ux images virtuelles obtenues interfèrent à la restitution, <strong>et</strong> l’interférométrie<br />
en temps réel, où l’image virtuelle obtenue à la restitution <strong>de</strong> l’hologramme interfère avec<br />
l’obj<strong>et</strong> lui-même. Dans ce <strong>de</strong>rnier cas, on observe les franges d’interférence « en temps<br />
réel », c’est-à-dire qu’une modification <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> va se répercuter instantanément au niveau<br />
<strong>de</strong> l’interférogramme observé. Signalons que l’interférogramme <strong>de</strong>s obj<strong>et</strong>s peut se<br />
faire à travers <strong>de</strong>s vitres ou <strong>de</strong>s hublots présentant <strong>de</strong>s défauts, puisque les distorsions <strong>de</strong><br />
phase introduites seront i<strong>de</strong>ntiques lors <strong>de</strong>s <strong>de</strong>ux expositions, <strong>et</strong> se compenseront lors <strong>de</strong>s<br />
interférences. En eff<strong>et</strong>, soit ψ la phase introduite par un hublot d’observation, <strong>et</strong> A <strong>et</strong> A’<br />
les amplitu<strong>de</strong>s complexes qu’on recueillerait venant <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> sans hublot. On reconstruit<br />
en holographie interférométrique l’amplitu<strong>de</strong> complexe :<br />
B = A exp(i ψ) + A ′ exp(i ψ) = (A + A ′ ) exp(i ψ)<br />
Or, le système d’observation n’étant pas sensible à la phase, l’eff<strong>et</strong> du hublot est éliminé.<br />
C’est toujours le vecteur sensibilité qui détermine en un point la composante du déplacement<br />
pouvant être mesurée. On voit que pour avoir accès aux trois composantes du déplacement,<br />
il faut faire au moins trois <strong>mesures</strong>, c’est-à-dire en pratique qu’il faut observer l’obj<strong>et</strong> selon<br />
trois points <strong>de</strong> vue différents, ce qui donne trois valeurs différentes connues −→ g 1 , −→ g 2 <strong>et</strong> −→ g 3<br />
<strong>de</strong> −→ g . Cela donne pour chaque point où l’on a repéré l’ordre <strong>de</strong> la frange d’interférence<br />
observée en ce point trois valeurs <strong>de</strong> la phase φ 1 , φ 2 <strong>et</strong> φ 3 <strong>de</strong> la phase φ. On obtient donc<br />
un système linéaire <strong>de</strong> trois équations à trois inconnues :<br />
⎧<br />
⎨<br />
⎩<br />
φ 1 = −→ g 1 . −→ u<br />
φ 2 = −→ g 2 . −→ u<br />
φ 3 = −→ g 3 . −→ u<br />
perm<strong>et</strong>tant <strong>de</strong> déterminer les composantes inconnues <strong>de</strong> −→ u . Plusieurs remarques s’imposent<br />
ici. Tout d’abord, la différence <strong>de</strong>s points <strong>de</strong> vue que l’on peut avoir sur l’obj<strong>et</strong> est limitée<br />
en pratique par la taille <strong>de</strong> l’hologramme, puisque l’on regar<strong>de</strong> en fait l’image virtuelle <strong>de</strong><br />
l’obj<strong>et</strong> à travers celui-ci. Les valeurs −→ g 1 , −→ g 2 <strong>et</strong> −→ g 3 sont donc peu différentes <strong>et</strong> le système<br />
ci-<strong>de</strong>ssus est « mal conditionné », c’est-à-dire que la précision sur la solution u est très<br />
fortement tributaire <strong>de</strong> celle sur les <strong>mesures</strong> <strong>de</strong> −→ g 1 , −→ g 2 <strong>et</strong> −→ g 3 . On peut améliorer ceci en<br />
faisant plus <strong>de</strong> trois <strong>mesures</strong> <strong>et</strong> en obtenant un système « sur-déterminé » (ou redondant)<br />
qui se résout par minimisation d’une certaine fonction d’erreur. La <strong>de</strong>uxième remarque est<br />
que c<strong>et</strong>te métho<strong>de</strong> nécessite <strong>de</strong> connaître l’ordre absolu <strong>de</strong>s franges, ce qui nécessite <strong>de</strong><br />
connaître un point <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> dont le déplacement est nul, ce qui est très souvent illusoire<br />
en réalité. La troisième remarque est que l’exploitation quantitative tridimensionnelle <strong>de</strong><br />
l’interférométrie holographique ne peut s’envisager qu’avec l’ai<strong>de</strong> <strong>de</strong> systèmes informatisés<br />
d’acquisition <strong>et</strong> <strong>de</strong> dépouillement d’images.
6.3.<br />
INTERFÉROMÉTRIE HOLOGRAPHIQUE 81<br />
Interférométrie holographique en temps réel<br />
Le principe est <strong>de</strong> faire interférer l’on<strong>de</strong> diffusée par l’obj<strong>et</strong> dans un état non déformé,<br />
ayant été enregistrée par holographie, avec l’on<strong>de</strong> diffusée par l’obj<strong>et</strong> réel déformé. La<br />
procédure est la suivante :<br />
– on réalise un hologramme <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> dans un état non déformé ;<br />
– on développe c<strong>et</strong> hologramme ;<br />
– on le repositionne dans la position exacte qu’il avait lors <strong>de</strong> l’enregistrement, avec<br />
une précision inférieure au micromètre ;<br />
– on opère la restitution <strong>de</strong> l’hologramme en gardant l’éclairage <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong>.<br />
On observe donc simultanément à travers l’hologramme l’obj<strong>et</strong> réel <strong>et</strong> son image restituée ;<br />
si l’obj<strong>et</strong> est déformé, on verra apparaître en temps réel <strong>de</strong>s franges d’iso-déplacement (en<br />
fait : d’iso-composante du déplacement le long du vecteur sensibilité).<br />
Interférométrie holographique par double exposition<br />
On fait interférer dans ce cas <strong>de</strong>ux images <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> prises à <strong>de</strong>s instants différents. La<br />
procédure est la suivante :<br />
– on réalise un hologramme <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> dans un état non déformé ;<br />
– sans déplacer la plaque holographique, on réalise un <strong>de</strong>uxième exposition pour enregistrer<br />
l’hologramme dans l’état déformé ;<br />
– on développe c<strong>et</strong> hologramme ;<br />
– on opère la restitution <strong>de</strong> l’hologramme.<br />
On voit apparaître <strong>de</strong>s franges statiques liées aux déplacements <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> entre les <strong>de</strong>ux<br />
expositions, dont la position peut néanmoins varier en fonction <strong>de</strong> la position <strong>de</strong> l’œil <strong>de</strong><br />
l’observateur, dans la mesure où le vecteur sensibilité dépend <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te position.<br />
Interférométrie holographique en temps moyenné<br />
La technique en temps moyenné est une technique d’étu<strong>de</strong> <strong>de</strong>s vibrations<br />
De la même manière que pour une cor<strong>de</strong> tendue, certaines fréquences d’excitation<br />
donnent lieu pour une structure vibrante à un phénomène <strong>de</strong> résonance. Pour les fréquences<br />
<strong>de</strong> résonance, l’amplitu<strong>de</strong> <strong>de</strong>s vibrations <strong>de</strong> la plaque passe par un maximum ; on parle <strong>de</strong><br />
mo<strong>de</strong> propre ou simplement <strong>de</strong> mo<strong>de</strong> <strong>de</strong> la structure. L’étu<strong>de</strong> <strong>de</strong>s mo<strong>de</strong>s propres d’une<br />
plaque perm<strong>et</strong> entre autres <strong>de</strong> déterminer <strong>de</strong> manière simple les propriétés élastiques<br />
<strong>et</strong>/ou viscoélastiques du matériau constituant c<strong>et</strong>te plaque (modules <strong>de</strong> rigidité, absorption<br />
mécanique...). Un mo<strong>de</strong> propre est caractérisé par sa fréquence (fréquence modale) <strong>et</strong> la<br />
forme <strong>de</strong> la plaque lorsqu’elle atteint son extremum <strong>de</strong> déformation. Plus précisément, la<br />
flèche z( −→ r , t) en chaque point −→ r en fonction du temps t est <strong>de</strong> la forme :<br />
z( −→ r , t) = a( −→ r ) sin(ωt + ψ)<br />
où ψ ne dépend pas <strong>de</strong> −→ r : tous les points <strong>de</strong> la plaque vibrent en phase. La déformée<br />
extrême décrite par a( −→ r ) s’appelle le mo<strong>de</strong>. Les courbes a( −→ r ) = 0 s’appellent lignes
82 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
nodales. Elles sont l’extension au cas <strong>de</strong>s surfaces <strong>de</strong>s nœuds apparaissant sur une cor<strong>de</strong><br />
vibrante en résonance.<br />
Comme la vitesse <strong>de</strong>s points <strong>de</strong> la surface est minimale lorsque la flèche est maximale,<br />
la plaque passe plus <strong>de</strong> temps au voisinage <strong>de</strong>s <strong>de</strong>ux déformées extrêmes que dans les<br />
positions intermédiaires. Un hologramme <strong>de</strong> la plaque, exposé pendant un temps grand<br />
<strong>de</strong>vant la pério<strong>de</strong> <strong>de</strong> vibration, va donner une figure <strong>de</strong> franges d’interférence correspondant<br />
approximativement PSfrag replacements à une double exposition qui aurait été réalisée avec les <strong>de</strong>ux déformées<br />
extrêmes (Fig. 6.9).<br />
Franges A d’isovaleur <strong>de</strong> la flèche, peu brillantes<br />
B<br />
Lignes nodales : franges brillantes<br />
Fig. 6.9 – Deux états <strong>de</strong> la surface d’un obj<strong>et</strong> vibrant correspondant aux <strong>de</strong>ux positions<br />
extrêmes <strong>de</strong> vibration<br />
Plus précisément, l’intensité enregistrée sera la moyenne temporelle <strong>de</strong> l’intensité instantanée<br />
:<br />
I( −→ r , t) ∝ 1 + cos[φ(t)] (6.19)<br />
où φ(t) est la phase <strong>de</strong>s franges d’interférences. Dans un montage d’étu<strong>de</strong> <strong>de</strong> vibrations,<br />
on a en général un éclairage oblique à un angle α <strong>et</strong> une observation normale à la surface<br />
(Fig. 6.10) ṖSfrag replacements<br />
α<br />
−→ k o<br />
z<br />
−→ k e<br />
La phase <strong>de</strong>s franges est dans ce cas :<br />
φ( −→ r , t) = −→ g . −→ u ( −→ r , t) =<br />
Surface<br />
Fig. 6.10 – Vecteurs sensibilité<br />
2π(1 + cos α)<br />
λ<br />
u z ( −→ r , t) = 2π u z( −→ r , t)<br />
u 0<br />
(6.20)<br />
où l’on a noté u z ( −→ r , t) le déplacement normal à la surface <strong>et</strong> u 0 = λ/(1 + cos α). Lors <strong>de</strong><br />
la vibration, ce déplacement est donné par :<br />
u z ( −→ r , t) = U( −→ r ) sin(ωt) (6.21)
6.3.<br />
INTERFÉROMÉTRIE HOLOGRAPHIQUE 83<br />
où U( −→ r ) est l’amplitu<strong>de</strong> <strong>de</strong> la vibration au point −→ r . Dans la moyenne temporelle <strong>de</strong><br />
l’équation 6.19 apparaît donc la moyenne <strong>de</strong> la fonction cos[2πU( −→ r ) sin(ωt)/u 0 ]. En se<br />
servant <strong>de</strong> l’i<strong>de</strong>ntité :<br />
∫<br />
1 2π<br />
cos[a sin(x)]dx = J 0 (a) (6.22)<br />
2π 0<br />
on obtient pour l’intensité moyenne observée :<br />
I( −→ [<br />
r , t) ∝ 1 + J 0 2π U(−→ ]<br />
r )<br />
u 0<br />
(6.23)<br />
On a représenté c<strong>et</strong>te intensité, normalisée, sur la Fig. 6.11, <strong>et</strong> en pointillés l’intensité<br />
sinusoïdale <strong>de</strong>s franges qui correspondrait à l’interférence entre les <strong>de</strong>ux positions extrêmes<br />
<strong>de</strong> la vibration, comme cela est suggéré sur la Fig. 6.9. On voit d’une part que le contraste<br />
<strong>de</strong>s franges <strong>de</strong> Bessel est plus faible que celui <strong>de</strong>s franges sinusoïdales, <strong>et</strong> d’autre part<br />
que la position <strong>de</strong>s maxima est légèrement différente. Le passage d’une frange à l’autre ne<br />
correspond donc plus tout-à-fait à une variation d’amplitu<strong>de</strong> <strong>de</strong> λ/(1 + cosα).<br />
1<br />
0.8<br />
I/I0<br />
0.6<br />
0.4<br />
0.2<br />
0<br />
0<br />
1<br />
2<br />
3<br />
2π U( −→ r )/u 0<br />
4<br />
5<br />
6<br />
Fig. 6.11 – Intensité <strong>de</strong>s franges <strong>de</strong> Bessel (trait plein) observées en temps moyenné. En<br />
pointillé, l’intensité fictive correspondant aux franges d’interférence entre les <strong>de</strong>ux positions<br />
extrêmes <strong>de</strong>s vibrations <strong>de</strong> la surface.
84 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
6.4 Moiré interférométrique<br />
6.4.1 Réseau <strong>de</strong> diffraction<br />
Le moiré interférométrique utilise comme capteur un réseau <strong>de</strong> diffraction déposé sur<br />
la surface dont on veut connaître les déformations.<br />
La formule <strong>de</strong> la diffraction par un réseau (« formule <strong>de</strong>s réseaux ») est :<br />
sin θ 1 − sin θ 2 = m λ p<br />
(6.24)<br />
où m est un nombre entier appelé ordre <strong>de</strong> diffraction, <strong>et</strong> p est le pas du réseau (Fig. 6.12).<br />
On peut écrire l’équation précé<strong>de</strong>nte :<br />
k(sin θ 1 − sin θ 2 ) = m 2π p<br />
= 2πmf (6.25)<br />
où k = 2π/λ est la norme du vecteur d’on<strong>de</strong> <strong>et</strong> f = 1/p est la fréquence spatiale du réseau.<br />
Cela s’écrit encore :<br />
∆k t = 2πmf (6.26)<br />
où ∆k t est la différence <strong>de</strong>s composantes tangentielles <strong>de</strong>s vecteurs d’on<strong>de</strong> inci<strong>de</strong>nts <strong>et</strong><br />
diffractés. Cela peut s’interpréter en disant que la différence <strong>de</strong>s composantes tangentielles<br />
<strong>de</strong>s vecteurs d’on<strong>de</strong> appartient au réseau réciproque.<br />
PSfrag replacements<br />
θ 1<br />
θ 2<br />
Réseau <strong>de</strong> diffraction<br />
Fig. 6.12 – Diffraction par un réseau<br />
6.4.2 Montage du moiré interférométrique<br />
La surface sur laquelle on a déposé un réseau <strong>de</strong> fréquence f 0 est éclairée par <strong>de</strong>ux<br />
faisceaux collimatés <strong>de</strong> telle manière que l’ordre 1 du premier faisceau <strong>et</strong> l’ordre -1 du<br />
<strong>de</strong>uxième soient diffractés selon la normale à la surface (Fig. 6.13).
6.4. MOIRÉ INTERFÉROMÉTRIQUE 85<br />
PSfrag replacements<br />
x<br />
Faisceau collimaté inci<strong>de</strong>nt 2<br />
α<br />
Écran<br />
α<br />
Faisceaux diffractés<br />
(ordres +1 <strong>et</strong> -1)<br />
Cela se traduit par la condition :<br />
Faisceau collimaté inci<strong>de</strong>nt 1<br />
Réseau<br />
Fig. 6.13 – Principe du moiré interférométrique<br />
k sin α = 2πf 0 (6.27)<br />
Quand l’obj<strong>et</strong> se déforme, une différence <strong>de</strong> marche va être introduite entre les <strong>de</strong>ux rayons<br />
diffractés en un point donné. Soit −→ u le vecteur déplacement <strong>de</strong> ce point. La variation <strong>de</strong><br />
phase pour le premier rayon diffracté va être :<br />
<strong>et</strong> celle pour le <strong>de</strong>uxième rayon va être :<br />
∆φ 1 = −→ g 1 . −→ u (6.28)<br />
∆φ 2 = −→ g 2 . −→ u (6.29)<br />
où l’on fait intervenir les vecteurs sensibilité <strong>de</strong> la même manière que pour l’interférométrie<br />
holographique (Fig. 6.14). La variation <strong>de</strong> la différence <strong>de</strong> phase est donc :<br />
∆(φ 2 − φ 1 ) = −→ g . −→ u = ( −→ k 2 − −→ k 1 ). −→ u = 2k sin α u x = 4πf 0 u x (6.30)<br />
en tenantPSfrag compte replacements <strong>de</strong> relation (6.27). La géométrie <strong>de</strong> ces différents vecteurs est indiquée<br />
sur la Fig. 6.14. Le vecteur <strong>de</strong> sensibilité global −→ g est donc dans le plan du réseau. La<br />
composante du déplacement qui est mesurée est donc la composante u x du déplacement.<br />
−→ k 1<br />
−→ g 1<br />
α<br />
−→ k 0<br />
−→ −→ k 2 g 2<br />
−→ g<br />
Fig. 6.14 – Vecteurs sensibilité pour le moiré interférométrique
86 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
L’intensité sur l’écran est donc au niveau <strong>de</strong> l’image du point considéré :<br />
I ∝ 1 + cos[∆(φ 2 − φ 1 )] = 1 + cos(4πf 0 u x ) = 1 + cos(φ) = 1 + cos(4πf 0 u x ) (6.31)<br />
Les franges qui sont observées correspon<strong>de</strong>nt aux lignes d’isophase φ = cte, avec :<br />
φ = 4π u x<br />
p<br />
(6.32)<br />
6.4.3 Mise en œuvre<br />
Dépôt du réseau<br />
Le réseau est déposé par moulage.<br />
D’abord, un réseau maître est réalisé en relief. Cela peut être fait en exposant une<br />
émulsion photosensible dans un champ <strong>de</strong> franges d’interférences rectilignes. Lors du développement,<br />
la précipitation <strong>de</strong>s grains d’argent métallique aux endroits exposés fait que lors du séchage<br />
<strong>de</strong> l’émulsion, le r<strong>et</strong>rait y sera moindre (Fig. 6.15).<br />
Fig. 6.15 – Eff<strong>et</strong> <strong>de</strong> relief créé par la présence <strong>de</strong> grains métalliques aux endroits exposés.<br />
Le moulage se fait après avoir déposé une couche réfléchissante (en aluminium, par<br />
exemple) sur le réseau maître. Une couche <strong>de</strong> colle époxy<strong>de</strong> est déposée sur le substrat, puis<br />
le réseau maître aluminisé est placé au-<strong>de</strong>ssus c<strong>et</strong>te couche <strong>et</strong> pressé. Après polymérisation<br />
<strong>de</strong> la colle, le réseau maître est r<strong>et</strong>iré. La couche d’aluminium reste collé sur le substrat,<br />
réalisant un réseau réfléchissant en relief.<br />
Le réseau utilisé est souvent un réseau à traits croisés orthogonaux, qui perm<strong>et</strong>tra <strong>de</strong><br />
déterminer les <strong>de</strong>ux composantes du vecteur déplacement en tout point.<br />
Montage typique<br />
Un montage typique dit « à trois miroirs » est représenté sur la Fig. 6.16. Dans ce<br />
montage, on occulte d’abord les parties C <strong>et</strong> D du faisceau d’éclairage pour avoir sur<br />
l’échantillon <strong>de</strong>ux faisceaux d’éclairage dans un plan vertical, ce qui perm<strong>et</strong>tra <strong>de</strong> faire<br />
apparaître les lignes d’isodéplacement vertical. Ensuite, on occulte les parties A <strong>et</strong> B du<br />
faisceau pour avoir <strong>de</strong>ux faisceaux inci<strong>de</strong>nts sur l’échantillon dans le plan horizontal, ce<br />
qui perm<strong>et</strong>tra d’observer les franges d’isodéplacement horizontal.
6.4. MOIRÉ INTERFÉROMÉTRIQUE 87<br />
Sfrag replacements<br />
Échantillon testé<br />
Réseau<br />
y<br />
z<br />
x<br />
z<br />
y<br />
x<br />
Miroirs<br />
A<br />
L 1<br />
Miroirs<br />
Réseau<br />
B<br />
L 2<br />
C<br />
A<br />
D<br />
B<br />
Écran<br />
Laser<br />
Fig. 6.16 – Montage à trois miroirs pour le moiré interférométrique
88 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
Sensibilité <strong>et</strong> champ <strong>de</strong> la mesure<br />
Les ordres <strong>de</strong> gran<strong>de</strong>ur sur la sensibilité peuvent être trouvés rapi<strong>de</strong>ment. Pour un faisceau<br />
d’éclairage à 45˚, l’ordre 1 <strong>de</strong> diffraction normal à la surface correspond à la relation<br />
sin(π/4) = λ/p. Avec λ = 500 nm, on obtient p = 707 nm soit une fréquence spatiale du<br />
réseau à réaliser <strong>de</strong> 1400 traits/mm. Une variation <strong>de</strong> phase <strong>de</strong> 2π correspond d’après la<br />
formule (6.32) à un déplacement p 2π = 350 nm. Si l’on utilise le balayage <strong>de</strong> phase, c<strong>et</strong>te<br />
sensibilité peut <strong>de</strong>scendre dans le domaine nanométrique. Il faut cependant signaler la<br />
sensibilité du montage aux vibrations. Un déplacement du réseau causé par <strong>de</strong>s vibrations<br />
dans le champ <strong>de</strong>s on<strong>de</strong>s inci<strong>de</strong>ntes va rajouter un terme <strong>de</strong> phase <strong>de</strong> l’ordre <strong>de</strong> u/λ où u<br />
est l’amplitu<strong>de</strong> du déplacement. Les variations d’indice (causées par <strong>de</strong>s eff<strong>et</strong>s thermiques<br />
ou <strong>de</strong>s déplacement d’air) le long du chemin <strong>de</strong> propagation <strong>de</strong>s faisceaux d’éclairage va<br />
également perturber la mesure. Notons que c<strong>et</strong>te sensibilité n’est pas adaptable, puisqu’intervient<br />
au premier chef la longueur d’on<strong>de</strong> <strong>de</strong> la lumière. Des déplacement <strong>de</strong> quelques<br />
micromètres donnent naissance à <strong>de</strong>s figures <strong>de</strong> franges extrêmement serrées.<br />
Le champ <strong>de</strong> la mesure maximum que l’on peut obtenir <strong>de</strong> manière économique est <strong>de</strong><br />
l’ordre <strong>de</strong> 50 mm × 50 mm.<br />
6.5 Interférométrie différentielle<br />
Le principe <strong>de</strong> l’interférométrie différentielle est <strong>de</strong> faire interférer la lumière venant <strong>de</strong><br />
<strong>de</strong>ux points voisins <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong>, séparés par un vecteur <strong>de</strong> translation δ −→ r . Le système d’observation<br />
<strong>de</strong> la zone étudiée comporte à c<strong>et</strong> eff<strong>et</strong> un dispositif dédoubleur, qui fait interférer<br />
la lumière venant du point −→ r avec celle venant du point −→ r + δ −→ r . Ce dispositif peut être<br />
un biprisme placé <strong>de</strong>vant l’objectif <strong>de</strong> la caméra d’observation, soit un interféromètre <strong>de</strong><br />
Michelson. La Fig. 6.17(a) montre le principe du dédoublement par biprisme. La partie<br />
du faisceau passant par la partie supérieure du biprisme est déviée vers le bas. L’image<br />
<strong>de</strong>s points A <strong>et</strong> B est A 1 <strong>et</strong> B 1 ; inversement, la partie du faisceau passant par la partie<br />
inférieure du biprisme forme l’image A 2 B 2 .<br />
La Fig. 6.17(b) montre comment un interféromètre <strong>de</strong> Michelson dédouble géométriquement<br />
une image. Il est pratique <strong>de</strong> m<strong>et</strong>tre le miroir mobile sur un dispositif à trois cales<br />
piézoélectriques : celui-ci perm<strong>et</strong>tra en eff<strong>et</strong> <strong>de</strong> choisir une direction <strong>de</strong> dédoublement (selon<br />
x ou y) <strong>et</strong> éventuellement <strong>de</strong> réaliser le décalage <strong>de</strong> phase temporel par un mouvement <strong>de</strong><br />
piston.
6.5.<br />
INTERFÉROMÉTRIE DIFFÉRENTIELLE 89<br />
PSfrag replacements<br />
B<br />
A 2<br />
A 1<br />
A<br />
B 1<br />
B 2<br />
PSfrag replacements<br />
A<br />
B<br />
B 1<br />
(a) Utilisation d’un biprisme<br />
Miroir mobile<br />
Lame séparatrice<br />
B 2<br />
A 1<br />
A<br />
A 2<br />
A 1 A 2<br />
Miroir fixe<br />
(b) Utilisation d’un interféromètre <strong>de</strong> Michelson<br />
Fig. 6.17 – Techniques <strong>de</strong> dédoublement <strong>de</strong> l’image
90 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
PSfrag replacements<br />
y<br />
y<br />
x<br />
x<br />
θ<br />
−→ k D<br />
θ<br />
−→ k H<br />
−→ −→ k 0<br />
k 0<br />
−→ k G<br />
PSfrag replacements<br />
−→ k B<br />
Fig. 6.19 – Configuration <strong>de</strong> quatre vecteurs d’on<strong>de</strong> d’éclairage possibles<br />
δl<br />
r + u<br />
r<br />
•<br />
r + δr + u + δu<br />
δr<br />
r + δr<br />
•<br />
1<br />
2<br />
3<br />
4<br />
Fig. 6.18 – Déplacement différentiel <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux points voisins.<br />
Si le vecteur déplacement au point −→ r est égal à −→ u <strong>et</strong> celui au point −→ r + δ −→ r à −→ u + δ −→ u<br />
(Fig. 6.18), la variation <strong>de</strong> la phase <strong>de</strong>s franges d’interférences est :<br />
soit :<br />
∆Φ = ∆φ 2 − ∆φ 1 = −→ g .( −→ u + δ −→ u ) − −→ g . −→ u (6.33)<br />
∆Φ = −→ g .δ −→ u (6.34)<br />
On peut éclairer la zone d’étu<strong>de</strong> avec <strong>de</strong>s faisceaux ayant successivement différentes orientations,<br />
comme par exemple celles indiquées sur la Fig. 6.19. Dans ce cas, on enregistre<br />
quatre cartes <strong>de</strong> phase <strong>de</strong> franges d’interférences dans l’état initial, puis quatre cartes dans<br />
l’état final. On en déduit quatre cartes <strong>de</strong> variations <strong>de</strong> phase, que l’on peut appeler ∆Φ G ,<br />
∆Φ D , ∆Φ H , ∆Φ B , indicées par la direction du faisceau d’éclairage (G : gauche, D : droite,<br />
H : haut <strong>et</strong> B : bas).
6.5.<br />
INTERFÉROMÉTRIE DIFFÉRENTIELLE 91<br />
PSfrag replacements<br />
−→ k H<br />
−→ g H<br />
θ<br />
−→ g y<br />
−→ k B<br />
−→ g B<br />
PSfrag replacements<br />
(a) Soustraction <strong>de</strong>s vecteurs sensibilité<br />
−→ k H<br />
−→ g H<br />
θ<br />
θ<br />
−→ g z<br />
−→ k B<br />
−→ g B<br />
(b) Addition <strong>de</strong>s vecteurs sensibilité<br />
Fig. 6.20 – Nouveaux vecteurs sensibilité résultant <strong>de</strong> combinaisons linéaires sur les cartes<br />
<strong>de</strong> phase<br />
Des combinaisons linéaires numériques <strong>de</strong> ces cartes perm<strong>et</strong>tent <strong>de</strong> découpler les informations<br />
planes <strong>et</strong> hors-plan. Par exemple :<br />
∆Φ G − ∆Φ D = ( −→ g G − −→ g D ).δ −→ u (6.35)<br />
C<strong>et</strong>te différence fait apparaître un nouveau vecteur sensibilité égal à la différence <strong>de</strong>s<br />
vecteurs sensibilité correspondant à chacune <strong>de</strong>s cartes <strong>de</strong> phases.<br />
De manière générale, on a (Fig. 6.20) :<br />
⎧<br />
−→ g G − −→ g D = −→ k G − −→ k D = −→ g x<br />
⎪⎨ −→ g B − −→ g H = −→ k B − −→ k H = −→ g y<br />
−→ g G +<br />
⎪⎩<br />
−→ g D = −→ k G + −→ k D − 2 −→ k 0 = −→ (6.36)<br />
g z<br />
−→ g B + −→ g H = −→ k B + −→ k H − 2 −→ k 0 = −→ g z<br />
On voit donc que par combinaison linéaire <strong>de</strong>s cartes <strong>de</strong> phase, on peut faire apparaître<br />
<strong>de</strong>s vecteurs sensibilités orientés selon les axes x, y <strong>et</strong> z. Si l’on note ̂x, ŷ <strong>et</strong> ẑ les vecteurs
92 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
unitaires portés par les axes x, y <strong>et</strong> z, on a :<br />
⎧<br />
⎨<br />
−→ g x = s ‖̂x<br />
−→ g y = s ‖ ŷ<br />
⎩ −→ g z = s ⊥ ẑ<br />
(6.37)<br />
Les sensibilités correspondantes sont :<br />
⎧<br />
⎪⎨ s ‖ = 2k sin θ = 4π λ sin θ<br />
⎪⎩<br />
s ⊥ = −2k(1 + cos θ) = − 4π λ (1 + cos θ) (6.38)<br />
Par ailleurs, il y a au moins <strong>de</strong>ux possibilités pour orienter δ −→ r , vecteur <strong>de</strong> translation<br />
entre les <strong>de</strong>ux images : soit parallèlement à l’axe <strong>de</strong>s x, soit parallèlement à l’axe <strong>de</strong>s y.<br />
On a dans le premier cas δ −→ r = δl ̂x <strong>et</strong> :<br />
⎧<br />
δu x = ∂u x<br />
∂x δl<br />
⎪⎨<br />
δu y = ∂u y<br />
∂x δl<br />
(6.39)<br />
⎪⎩ δu z = ∂u z<br />
∂x δl<br />
Dans le <strong>de</strong>uxième cas, on a δ −→ r = δl ŷ <strong>et</strong> :<br />
⎧<br />
δu x = ∂u x<br />
∂y δl<br />
⎪⎨<br />
δu y = ∂u y<br />
∂y δl<br />
(6.40)<br />
⎪⎩ δu z = ∂u z<br />
∂y δl<br />
Donc finalement si l’on fait huit <strong>mesures</strong> dans l’état initial (quatre orientations pour l’illumination<br />
<strong>et</strong> <strong>de</strong>ux orientations pour le dédoublement <strong>de</strong> l’image), on a avec les vecteurs sensibilité<br />
−→ g x , −→ g y <strong>et</strong> −→ g z la possibilité <strong>de</strong> mesurer toutes les dérivées ∂u i /∂j, avec j = x, y, z.<br />
Donc on pourra en déduire les composantes du tenseur <strong>de</strong> déformations ɛ ij (cf § 6.7.2) :<br />
⎧<br />
ɛ xx = ∂u x<br />
∂x<br />
⎪⎨<br />
ɛ yy = ∂u y<br />
⎪⎩<br />
ɛ xy = 1 2<br />
∂y<br />
[ ∂ux<br />
∂y + ∂u y<br />
∂x<br />
]<br />
(6.41)<br />
On pourra également en déduire les <strong>de</strong>ux composantes <strong>de</strong>s pentes ∂u z /∂x <strong>et</strong> ∂u z /∂y, cellesci<br />
pouvant être obtenues <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux manières indépendantes.<br />
L’interférométrie différentielle est finalement une technique qui possè<strong>de</strong> plusieurs avantages<br />
:
6.6. TECHNIQUES BASÉES SUR LE SPECKLE LASER 93<br />
1. C’est une technique complète, qui donne <strong>de</strong>s informations sur la cinématique dans le<br />
plan <strong>et</strong> la cinématique hors-plan.<br />
2. C’est une technique insensible aux vibrations. En eff<strong>et</strong> <strong>de</strong>s vibrations parasites vont<br />
générer <strong>de</strong>s translations i<strong>de</strong>ntiques pour <strong>de</strong>ux points voisins.<br />
3. C’est une technique qui donne directement <strong>de</strong>s gran<strong>de</strong>urs dérivées. En eff<strong>et</strong>, les<br />
déformations sont d’habitu<strong>de</strong> les gran<strong>de</strong>urs recherchées. Si l’on ne dispose que d’une<br />
métho<strong>de</strong> <strong>de</strong> mesure <strong>de</strong> déplacements, la dérivation numérique <strong>de</strong> ceux-ci, qui sont<br />
bruités, va introduire un niveau <strong>de</strong> bruit inacceptable. La quantité <strong>de</strong> bruit augmente<br />
en eff<strong>et</strong> considérablement lors d’une dérivation numérique.<br />
Pour terminer, signalons que les montages différentiels peuvent également être mis en<br />
œuvre dans le cas <strong>de</strong> l’interférométrie en lumière diffuse, c’est-à-dire en interférométrie<br />
<strong>de</strong> speckle (section ci-<strong>de</strong>ssous). On parle alors souvent <strong>de</strong> shearographie, d’après le terme<br />
anglais. Le terme français correct est évi<strong>de</strong>mment : interférométrie différentielle en lumière<br />
diffuse.<br />
6.6 Techniques basées sur le speckle laser<br />
6.6.1 Speckle objectif <strong>et</strong> speckle subjectif<br />
Le speckle<br />
Le speckle (ou granularité laser) est un bruit spatial présent dans l’intensité lumineuse<br />
diffusée par une surface matérielle « rugueuse », c’est-à-dire non polie, lorsque la source<br />
est monochromatique. Le speckle donne un aspect granulaire à c<strong>et</strong>te surface.<br />
Au niveau microscopique, une surface présente en général <strong>de</strong>s irrégularités <strong>de</strong> forme<br />
d’amplitu<strong>de</strong> supérieure ou égale à la longueur d’on<strong>de</strong> <strong>de</strong> la lumière visible. Quand une<br />
surface <strong>de</strong> ce type est éclairée par <strong>de</strong> la lumière laser, c’est-à-dire parfaitement monochromatique,<br />
la lumière d’on<strong>de</strong> diffusée subit un déphasage aléatoire spatialement à cause <strong>de</strong><br />
la différence <strong>de</strong> chemin optique liée à la micro-rugosité (Fig. 6.21).
94 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
on<strong>de</strong> d’éclairage<br />
¡ ¡<br />
PSfrag replacements<br />
P<br />
¡ ¡<br />
¡ ¡<br />
M<br />
•<br />
¡ ¡<br />
¡ ¡<br />
¡ ¡<br />
¡ ¡<br />
surface<br />
¡ ¡<br />
¡ ¡<br />
¡ ¡<br />
Fig. 6.21 – Diffusion aléatoire <strong>de</strong> la lumière par la micro-rugosité d’une surface<br />
En un point quelconque d’observation M, les amplitu<strong>de</strong>s <strong>de</strong>s contributions venant <strong>de</strong><br />
tous les points P <strong>de</strong> la surface vont s’additionner. L’amplitu<strong>de</strong> complexe du champ observé<br />
en M sera la superposition <strong>de</strong>s contributions <strong>de</strong> toutes les sources diffusantes élémentaires<br />
sur la surface. La surface d’on<strong>de</strong> diffusée par la surface a une forme très torturée correspondant<br />
à <strong>de</strong>s variations <strong>de</strong> phase importantes <strong>et</strong> <strong>de</strong> hautes fréquences spatiales.<br />
Speckle objectif<br />
Quand le speckle est considéré au niveau d’un plan situé dans le même espace que la<br />
surface diffusante, par exemple en exposant une plaque holographique à la lumière diffusée,<br />
on a un speckle objectif.<br />
On peut montrer dans ces conditions que la loi <strong>de</strong> probabilité <strong>de</strong> l’intensité dans le<br />
champ <strong>de</strong> speckle est :<br />
P (I) = 1 exp<br />
(− I )<br />
I 0 I 0<br />
où I 0 est une constante. L’intensité la plus probable est donc le noir. Il est immédiat <strong>de</strong><br />
vérifier que :<br />
〈I〉 = I 0<br />
où les croch<strong>et</strong>s angulaires désignent l’opération <strong>de</strong> moyenne statistique.<br />
La variance <strong>de</strong> l’intensité se trouve en calculant (avec <strong>de</strong>ux intégrations par parties) :<br />
〈 〉 I<br />
2<br />
= 1 ∫ ∞<br />
I 2 exp<br />
(− I )<br />
dI = 2I0<br />
2 I 0 I 0<br />
<strong>et</strong> donc :<br />
0<br />
σ 2 I = 〈 I 2〉 − 〈I〉 2 = 2I 2 0 − I2 0 = I2 0<br />
Le rapport signal sur bruit du speckle objectif est donc égal à 1, si l’on considère la valeur<br />
moyenne comme le signal <strong>et</strong> les fluctuations aléatoires centrées comme le bruit.
6.6. TECHNIQUES BASÉES SUR LE SPECKLE LASER 95<br />
Dans le cas du speckle objectif, la taille caractéristique <strong>de</strong>s grains <strong>de</strong> speckle est donnée<br />
par :<br />
σ s ∼ λd<br />
(6.42)<br />
a<br />
où a est la taille <strong>de</strong> la surface diffusante <strong>et</strong> d la distance d’observation<br />
Speckle subjectif<br />
Le speckle subjectif est celui qui s’observe au niveau d’une image du diffuseur qui est<br />
formée à travers un système optique (Fig 6.22).<br />
Source<br />
PSfrag replacements<br />
D<br />
Fig. 6.22 – Speckle subjectif<br />
La différence principale avec le speckle objectif est que la taille du grain <strong>de</strong> speckle est<br />
c<strong>et</strong>te fois-ci déterminée par l’ouverture <strong>de</strong> la pupille <strong>de</strong> sortie. En fait, la taille <strong>de</strong> ce grain<br />
est celui <strong>de</strong> la tache <strong>de</strong> diffraction correspondant à c<strong>et</strong>te pupille <strong>de</strong> sortie, soit :<br />
σ s ∼ λd<br />
Φ<br />
(6.43)<br />
où c<strong>et</strong>te fois d est la distance entre la pupille <strong>de</strong> sortie <strong>et</strong> le plan image <strong>et</strong> Φ le diamètre<br />
<strong>de</strong> c<strong>et</strong>te pupille.<br />
L’enregistrement d’une figure <strong>de</strong> speckle s’accompagne toujours <strong>de</strong> la formation d’une<br />
image sur un récepteur, <strong>et</strong> donc ce qui est enregistré est toujours une figure <strong>de</strong> speckle<br />
subjectif. Dans le cas <strong>de</strong> l’emploi <strong>de</strong> capteurs matriciels (capteurs CCD, par exemple), il<br />
est convenable <strong>de</strong> choisir l’ouverture <strong>de</strong> l’objectif <strong>de</strong> prise <strong>de</strong> vue <strong>de</strong> manière à avoir une<br />
taille <strong>de</strong> grain <strong>de</strong> speckle <strong>de</strong> la taille d’un pixel.<br />
6.6.2 Interférométrie <strong>de</strong> speckle<br />
Mesure <strong>de</strong> déplacements hors plan<br />
Un montage classique pour c<strong>et</strong>te mesure est représenté sur la Fig. 6.23. c’est en fait<br />
un montage très semblable à celui <strong>de</strong> l’holographie, en ce sens que l’on fait interférer une
96 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
on<strong>de</strong> obj<strong>et</strong> <strong>et</strong> une on<strong>de</strong> <strong>de</strong> référence. L’on<strong>de</strong> <strong>de</strong> référence est envoyée directement dans<br />
PSfrag replacements<br />
caméra par l’intermédiaire <strong>de</strong>s lames semi-réfléchissantes BS1 <strong>et</strong> BS2. L’on<strong>de</strong> obj<strong>et</strong> est<br />
l’on<strong>de</strong> diffusée par l’obj<strong>et</strong>. Dans le cas présenté sur la Fig. 6.23, on voit que la composante<br />
mesuréeD<br />
du déplacement n’est pas tout-à-fait la composante normale mais la composante<br />
u g dirigée suivant la bissectrice <strong>de</strong>s directions d’observation <strong>et</strong> d’éclairage.<br />
Source<br />
Surface<br />
testée<br />
BS1<br />
Laser<br />
−→ k e<br />
−→ k o<br />
− −→ k o<br />
α<br />
Caméra<br />
BS2<br />
−→ k e<br />
−→ g<br />
Fig. 6.23 – Montage d’interférométrie <strong>de</strong> speckle pour la mesure <strong>de</strong>s déplacements hors<br />
plan<br />
Les surfaces d’on<strong>de</strong>s qui interfèrent au niveau du capteur sont :<br />
– une surface d’on<strong>de</strong> plane ou faiblement sphérique correspondant à l’on<strong>de</strong> <strong>de</strong> référence ;<br />
– une surface d’on<strong>de</strong> aléatoire correspondant à l’on<strong>de</strong> obj<strong>et</strong><br />
L’intensité reçue par le capteur dans l’état initial, non déformé, <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> est <strong>de</strong> la forme :<br />
I i (x, y) = I 0(x, y)<br />
{1 + m(x, y) cos[ψ(x, y)]} (6.44)<br />
2<br />
où ψ(x, y) est la phase aléatoire <strong>de</strong> haute fréquence résultant <strong>de</strong> ces interférences.<br />
Lorsque l’obj<strong>et</strong> se déplace ou se déforme, les points <strong>de</strong> sa surface se déplacent. L’une<br />
<strong>de</strong>s on<strong>de</strong>s participant aux interférences se déphase. L’intensité reçue dans c<strong>et</strong> état final est<br />
alors :<br />
I f (x, y) = I 0(x, y)<br />
{1 + m(x, y) cos[ψ(x, y) + φ(x, y)]} (6.45)<br />
2<br />
où φ(x, y) est le déphasage créé par le déplacement du point obj<strong>et</strong> (x o , y o ) correspondant<br />
aux coordonnées (x, y) sur le capteur. Ce déphasage est donné par :<br />
φ(x, y) = −→ g . −→ u (x o , y o ) = 4π ( α<br />
)<br />
λ u g cos<br />
(6.46)<br />
2
6.6. TECHNIQUES BASÉES SUR LE SPECKLE LASER 97<br />
où −→ u (x o , y o ) est le vecteur déplacement en ce point. Les <strong>de</strong>ux intensités I i (x, y) <strong>et</strong> I f (x, y)<br />
correspon<strong>de</strong>nt chacune à un champ <strong>de</strong> speckle.<br />
La différence <strong>de</strong> ces <strong>de</strong>ux intensités est (on n’écrit plus la dépendance en (x, y) pour<br />
simplifier) :<br />
(<br />
I f − I i ∝ m sin ψ + φ ) ( ) φ<br />
sin<br />
(6.47)<br />
2 2<br />
Le premier terme sinusoïdal <strong>de</strong> ce produit varie avec une haute fréquence : c’est encore<br />
une fois un terme <strong>de</strong> speckle. Le <strong>de</strong>uxième terme varie lui avec une basse fréquence ; c’est<br />
le terme d’interférence que l’on observerait en interférométrie holographique par double<br />
exposition, par exemple. Ce terme basse fréquence vient moduler le contraste du speckle.<br />
Le résultat est que l’on observe <strong>de</strong>s franges d’interférences « bruitées par le speckle »<br />
La pério<strong>de</strong> du terme <strong>de</strong> contraste est celle <strong>de</strong> la fonction | sin(φ/2)|, soit 2π. D’après<br />
la formule (6.46), on a donc une frange chaque fois que la composante u g du déplacement<br />
varie <strong>de</strong> λ/[2 cos(α/2)]. Si α ≈ 0, u g ≈ u z où z est la coordonnée normale à la surface <strong>de</strong><br />
l’obj<strong>et</strong> <strong>et</strong> on r<strong>et</strong>rouve bien une frange pour un déplacement normal égal à λ/2 comme en<br />
interférométrie <strong>de</strong> type Michelson.<br />
En résumé, c<strong>et</strong>te technique est très similaire à la technique d’interférométrie type<br />
Michelson, sauf que l’une <strong>de</strong>s surfaces d’on<strong>de</strong> qui interfèrent est aléatoire, <strong>et</strong> que la<br />
conséquence est un aspect très bruité <strong>de</strong>s franges d’interférence que l’on obtient. Le gros<br />
intérêt est cependant que c<strong>et</strong>te métho<strong>de</strong> <strong>de</strong> mesure <strong>de</strong> déplacement hors-plan est applicable<br />
à toute surface non parfaitement polie, ce qui est le cas <strong>de</strong> la majorité <strong>de</strong>s surfaces d’obj<strong>et</strong>s<br />
industriels <strong>et</strong> qu’aucune préparation <strong>de</strong> ces surfaces n’est nécessaire en général.<br />
C<strong>et</strong>te technique peut également s’utiliser en temps moyenné pour l’étu<strong>de</strong> <strong>de</strong>s vibrations<br />
(cf § 6.3.2). C’est d’ailleurs l’une <strong>de</strong>s principales applications <strong>de</strong> la métho<strong>de</strong>.<br />
Décorrélation<br />
En faisant la différence I f − I i dans l’équation (6.47), on a supposé que le terme ψ(x, y)<br />
ne variait pas. Cela suppose que le déplacement latéral <strong>de</strong>s points <strong>de</strong> la surface est bien plus<br />
p<strong>et</strong>it que la taille caractéristique <strong>de</strong>s grains <strong>de</strong> speckle. Dans le cas contraire, le contraste <strong>de</strong>s<br />
franges chute très vite puisque l’on soustrait <strong>de</strong>s intensités qui ne sont plus corrélées. On<br />
parle <strong>de</strong> décorrélation <strong>de</strong>s figures <strong>de</strong> speckle. C’est un <strong>de</strong>s points qui limitent l’application<br />
<strong>de</strong> c<strong>et</strong>te métho<strong>de</strong>.<br />
Mesure <strong>de</strong> déplacements plan<br />
Pour mesurer une composante dans le plan <strong>de</strong> la surface <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong> du vecteur déplacement,<br />
une disposition <strong>de</strong>s vecteurs sensibilité du type <strong>de</strong> celle utilisée pour le moiré interférométrique<br />
(Fig. 6.14) est nécessaire. On utilise donc une disposition analogue à celle indiquée sur la<br />
Fig. 6.24. L’équation reliant l’amplitu<strong>de</strong> du déplacement <strong>et</strong> la phase <strong>de</strong>s franges d’interférence<br />
est la même que pour le moiré interférométrique. En quelque sorte, il s’agit ici<br />
<strong>de</strong> moiré interférométrique avec <strong>de</strong>s surface d’on<strong>de</strong> aléatoires issues <strong>de</strong> la diffusion sur la
98 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
surface, au lieu <strong>de</strong> surfaces d’on<strong>de</strong> quasi planes issues <strong>de</strong> la diffraction par un réseau sur la<br />
surface. Encore une fois, l’intérêt est l’absence <strong>de</strong> préparation <strong>de</strong> surface.
6.6. TECHNIQUES BASÉES SUR LE SPECKLE LASER 99<br />
Surface<br />
testée<br />
Laser<br />
Caméra<br />
PSfrag replacements<br />
D<br />
Source<br />
Fig. 6.24 – Montage d’interférométrie <strong>de</strong> speckle pour la mesure <strong>de</strong>s déplacements plans.<br />
Pour les raisons <strong>de</strong> décorrélation <strong>de</strong> speckle indiquées ci-<strong>de</strong>ssus, il ne faut pas que<br />
les déplacements excè<strong>de</strong>nt le rayon <strong>de</strong> corrélation du champ <strong>de</strong> speckle. Dans les cas <strong>de</strong><br />
déplacements plus importants, une autre technique évoquée ci-<strong>de</strong>ssous doit être utilisée.<br />
6.6.3 Corrélation <strong>de</strong> speckle (Speckle photography)<br />
Nous avons choisi <strong>de</strong> présenter c<strong>et</strong>te technique <strong>de</strong> mesure <strong>de</strong> déplacement ici alors que<br />
ce n’est pas une technique interférométrique, mais géométrique.<br />
Quand une surface diffusante est éclairée par un laser, elle apparaît donc revêtue d’un<br />
motif aléatoire <strong>de</strong> grains lumineux. Quand elle se déplace, ces grains se déplacent <strong>et</strong> peuvent<br />
ainsi constituer un marquage <strong>de</strong> la surface. Cela peut servir à mesurer un déplacement par<br />
une métho<strong>de</strong> <strong>de</strong> corrélation.<br />
On considère donc un obj<strong>et</strong> diffusant éclairé, <strong>et</strong> on enregistre sur une diapositive son<br />
image revêtue d’un speckle subjectif. Ensuite, on déforme c<strong>et</strong> obj<strong>et</strong>. Les points <strong>de</strong> la surface<br />
se déplacent donc légèrement. On enregistre alors le nouveau motif <strong>de</strong> speckle sur la même<br />
photographie. Localement, c’est-à-dire dans une zone où le vecteur déplacement est à peu<br />
près constant <strong>et</strong> égal à −→ u = (u x , u y , u z ) mais où il y a beaucoup <strong>de</strong> grains <strong>de</strong> speckle, la<br />
transparence en amplitu<strong>de</strong> <strong>de</strong> la diapositive une fois développée est :<br />
t(x, y) = sp(x, y) ⋆ [δ(x, y) + δ(x − u x , y − u y )]<br />
où sp(x, y) est l’intensité <strong>de</strong> la figure <strong>de</strong> speckle dans la première exposition, x <strong>et</strong> y étant<br />
les coordonnées dans le plan <strong>de</strong> l’obj<strong>et</strong>. Chaque grain <strong>de</strong> speckle est donc dédoublé.
100 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
Quand la diapositive est placée dans un faisceau laser (Fig 6.25), l’amplitu<strong>de</strong> diffractée<br />
a(ξ, η) par c<strong>et</strong>te p<strong>et</strong>ite zone dans les conditions <strong>de</strong> Fraunhofer est proportionnelle à<br />
la transformée <strong>de</strong> Fourier <strong>de</strong> sa transparence en amplitu<strong>de</strong>. En notant u = ξ/λD <strong>et</strong><br />
v = η/λD, on a :<br />
a(ξ, η) ∝ ̂t(u, v)<br />
= ̂f(u, v){1 + exp[−i 2π(uu x + vu y )]}<br />
= 2 ̂f(u, v) exp[−i π(uu x + vu y )] cos[π(uu x + vu y )]<br />
PSfrag replacements<br />
D<br />
M<br />
Source<br />
faisceau laser<br />
écran d’observation<br />
Fig. 6.25 – Dépouillement ponctuel dans le cas d’une mesure <strong>de</strong> déplacement par photographie<br />
<strong>de</strong> speckle<br />
L’intensité diffractée est ainsi :<br />
I(ξ, η) = | ̂f(u, v)| 2 × 1 2 {1 + cos[2π(uu x + vu y )]}<br />
On obtient une modulation par la fonction {1 + cos[2π(ξu x + ηu y )/λD]}/2 <strong>de</strong> la tache <strong>de</strong><br />
diffraction large <strong>de</strong> la figure <strong>de</strong> speckle non dédoublée. On peut alors mesurer les pério<strong>de</strong>s<br />
spatiales p ξ <strong>et</strong> p η <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te modulation, <strong>et</strong> remonter aux composantes du déplacement par :<br />
⎧<br />
⎪⎨<br />
⎪⎩<br />
u x = λD<br />
p ξ<br />
u y = λD<br />
p η<br />
On peut ainsi dépouiller point par point la photographie <strong>et</strong> obtenir le champ <strong>de</strong> déplacement<br />
sur l’obj<strong>et</strong>.
6.7.<br />
PHOTOÉLASTICIMÉTRIE 101<br />
6.7 Photoélasticimétrie<br />
6.7.1 Description <strong>de</strong> la lumière polarisée<br />
La <strong>de</strong>scription <strong>de</strong>s phénomènes liés à la polarisation fait intervenir la nature vectorielle<br />
du champ électromagnétique, qui implique que le vecteur champ électrique peut avoir<br />
différentes orientations dans l’espace. Les composantes du vecteur champ électrique d’une<br />
on<strong>de</strong> plane monochromatique sont, dans un repère orthonormé situé dans le plan d’on<strong>de</strong> :<br />
] [<br />
=<br />
E y<br />
[<br />
Ex<br />
E x0 cos( −→ k . −→ r − ωt)<br />
E y0 cos( −→ k . −→ r − ωt + φ)<br />
]<br />
{[<br />
= R<br />
Le vecteur <strong>de</strong> composantes complexes :<br />
[<br />
E x0<br />
E y0 exp(i φ)<br />
E x0<br />
E y0 exp(i φ)<br />
}]<br />
exp[i ( −→ k . −→ r − ωt)] (6.48)<br />
]<br />
exp(i −→ k . −→ r ) (6.49)<br />
est la représentation complexe <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> polarisée. Très souvent, la dépendance <strong>de</strong> phase<br />
<strong>de</strong> type on<strong>de</strong> plane donnée par le facteur exp(i −→ k . −→ r ) est inessentielle, <strong>et</strong> on s’intéresse<br />
uniquement à la représentation réduite :<br />
−→ E =<br />
[<br />
E x0<br />
E y0 exp(i φ)<br />
]<br />
(6.50)<br />
Pour une position −→ r donnée dans l’espace, la formule (6.48) décrit <strong>de</strong> manière paramétrique<br />
la « trajectoire » décrite par l’extrémité du vecteur champ électrique dans le<br />
plan d’on<strong>de</strong>. Selon les valeurs <strong>de</strong> E x0 , E y0 <strong>et</strong> φ, c<strong>et</strong>te trajectoire va être un segment <strong>de</strong> droite<br />
(φ = 0), un cercle (E x0 = E y0 , <strong>et</strong> φ = π/2) ou une ellipse. L’on<strong>de</strong> sera respectivement dite<br />
polarisée linéairement, circulairement ou elliptiquement.<br />
Dans le cas général d’une lumière non monochromatique, du fait <strong>de</strong> la succession<br />
aléatoire <strong>de</strong> trains d’on<strong>de</strong>s dont la polarisation peut varier, la lumière est un mélange<br />
statistique d’états <strong>de</strong> polarisation. La lumière dite naturelle est non polarisée. Tous les<br />
cas intermédiaires sont possibles entre la lumière naturelle <strong>et</strong> la lumière complètement<br />
polarisée.<br />
Pour la lumière parfaitement polarisée ou parfaitement monochromatique, la <strong>de</strong>scription<br />
par l’amplitu<strong>de</strong> complexe vectorielle est suffisante. En ne s’intéressant qu’au rapport<br />
<strong>de</strong>s intensités suivant les axes x <strong>et</strong> y, nous décrirons une on<strong>de</strong> polarisée rectilignement<br />
suivant l’axe <strong>de</strong>s x par le vecteur : [ ] 1<br />
0<br />
<strong>et</strong> une on<strong>de</strong> polarisée rectilignement suivant l’axe <strong>de</strong>s y par le vecteur :<br />
[ ]<br />
0<br />
1
102 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
La polarisation dite « circulaire gauche » où l’extrémité du vecteur champ électrique décrit<br />
un cercle (dans le sens trigonométrique ¡¡ lorsqu’on voit le plan d’on<strong>de</strong> venir vers soi »)<br />
sera décrite par :<br />
[ ] 1<br />
i<br />
<strong>et</strong> la polarisation « circulaire droite » par :<br />
[ 1<br />
−i<br />
]<br />
Tout état <strong>de</strong> polarisation parfaite décrit par un vecteur colonne à <strong>de</strong>ux composantes complexes<br />
peut être considéré soit comme la superposition <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux états <strong>de</strong> polarisations rectilignes<br />
orthogonales, soit comme la superposition <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux états <strong>de</strong> polarisations circulaires<br />
gauche <strong>et</strong> droite, avec <strong>de</strong>s coefficients complexes intervenant dans la combinaison linéaire<br />
<strong>de</strong>s états <strong>de</strong> base.<br />
6.7.2 Déformations<br />
La déformation d’un milieu sous l’eff<strong>et</strong> d’un chargement est décrite par le tenseur <strong>de</strong>s<br />
déformations ɛ ij dont la définition est :<br />
ɛ ij = 1 ( ∂ui<br />
+ ∂u )<br />
j<br />
(6.51)<br />
2 ∂x j ∂x i<br />
où le champ <strong>de</strong> vecteurs −→ u = (u x , u y ) est le champ <strong>de</strong>s déplacements sous l’eff<strong>et</strong> du<br />
chargement. On voit que la matrice <strong>de</strong>s composantes du tenseur <strong>de</strong>s déformations ɛ ij est<br />
symétrique. La signification physique <strong>de</strong>s différentes composantes du tenseur <strong>de</strong>s déformations<br />
est présentée sur la Fig. 6.26 montrant la déformation d’un carré <strong>de</strong> côté unité, à une « rotation<br />
soli<strong>de</strong> » près.<br />
PSfrag replacements<br />
D<br />
Source<br />
ɛ yy<br />
1<br />
1<br />
ɛ xy<br />
ɛ xx<br />
ɛ xy<br />
1<br />
Fig. 6.26 – Signification <strong>de</strong>s composantes du tenseur <strong>de</strong>s déformations
6.7.<br />
PHOTOÉLASTICIMÉTRIE 103<br />
Les composantes ɛ xx <strong>et</strong> ɛ yy sont les extensions dans les directions x <strong>et</strong> y respectivement.<br />
La composante ɛ xy s’appelle la déformation <strong>de</strong> cisaillement dans le repère Oxy. En fait, la<br />
variation totale <strong>de</strong> l’angle du repère indiqué sur la Fig. 6.26 est en fait le double ; c’est pourquoi<br />
les mécaniciens travaillent souvent avec la déformation <strong>de</strong> cisaillement « d’ingénieur »<br />
ɛ s = 2ɛ xy .<br />
La Fig. 6.26 montre la signification <strong>de</strong>s composantes du tenseur ɛ ij dans un repère<br />
particulier. Dans un autre repère, les composantes changent, <strong>de</strong> la même manière que les<br />
composantes cartésiennes d’un vecteur dépen<strong>de</strong>nt du repère où elles sont exprimées. En<br />
particulier, il existe un repère orthonormé où la matrice <strong>de</strong>s composantes ɛ ij est diagonale :<br />
c’est le repère principal <strong>de</strong>s déformations. Dans ce repère, le cisaillement est nul ; l’un <strong>de</strong>s<br />
axes du repère principal est indiqué sur la Fig. 6.26 : c’est l’axe 1. Les valeurs propres<br />
ɛ 11 = ɛ 1 <strong>et</strong> ɛ 22 = ɛ 2 correspondantes sont appelées les déformations principales. D’autre<br />
part, dans un repère situé à 45˚du repère principal, la déformation <strong>de</strong> cisaillement est au<br />
contraire maximale. Notons ɛ smax c<strong>et</strong>te déformation. On montre que :<br />
ɛ smax = |ɛ 2 − ɛ 1 | (6.52)<br />
6.7.3 La photoélasticité<br />
La photoélasticimétrie est une métho<strong>de</strong> <strong>de</strong> mesure qui perm<strong>et</strong> <strong>de</strong> déterminer en tout<br />
point <strong>de</strong> la surface d’une pièce soumise à <strong>de</strong>s efforts :<br />
– les directions principales <strong>de</strong> déformation ;<br />
– la valeur <strong>de</strong> la déformation maximale ɛ smax .<br />
Elle est basée sur le phénomène <strong>de</strong> biréfringence provoquée (ou artificielle). Un milieu<br />
transparent optiquement isotrope <strong>de</strong>vient optiquement anisotrope si il est soumis à une<br />
déformation. Tous les matériaux sont a priori susceptibles <strong>de</strong> présenter ce phénomène, mais<br />
certains ont une sensibilité très supérieure aux autres. Ces matériaux sont dits photoélastiques.<br />
L’anisotropie optique se manifeste par le fait que les vecteurs champ <strong>et</strong> induction électrique<br />
−→ E <strong>et</strong><br />
−→ D ne sont plus toujours colinéaires, c’est-à-dire que l’on a :<br />
−→ D = ɛ(<br />
−→ E ) = ɛ0 ɛ r ( −→ E ) (6.53)<br />
où les tenseurs permittivité diélectrique ɛ <strong>et</strong> permittivité diélectrique relative ɛ r ne sont<br />
plus proportionnels au tenseur i<strong>de</strong>ntité.<br />
On s’intéressera ici uniquement au cas où une lame <strong>de</strong> matériau anisotrope est soumise<br />
à une déformation dans son plan, <strong>et</strong> éclairée par une on<strong>de</strong> plane sous inci<strong>de</strong>nce normale<br />
(Fig. 6.27).
104 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
PSfrag replacements<br />
D<br />
Source<br />
O<br />
2<br />
O<br />
1<br />
Fig. 6.27 – Lame biréfringente sous inci<strong>de</strong>nce normale. Les directions 1 <strong>et</strong> 2 sont celles <strong>de</strong>s<br />
directions principales simultanées du tenseur <strong>de</strong>s déformations <strong>et</strong> du tenseur permittivité<br />
diélectrique.<br />
On peut montrer que la lumière inci<strong>de</strong>nte va être décomposée en <strong>de</strong>ux polarisations qui<br />
vont se propager avec <strong>de</strong>s vitesses différentes, correspondant à <strong>de</strong>s indices n 1 <strong>et</strong> n 2 . Ces<br />
polarisations orthogonales sont parallèles aux directions <strong>de</strong>s vecteurs propres du tenseur<br />
permittivité diélectrique, directions qui sont elles-mêmes confondues avec les directions<br />
principales <strong>de</strong>s déformations.<br />
Le déphasage entre les composantes émergentes 2 <strong>et</strong> 1 <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> est :<br />
φ = φ 2 − φ 1 = 2π (n 2 − n 1 )e<br />
λ<br />
(6.54)<br />
où n 1 <strong>et</strong> n 2 sont les indices correspondant aux directions principales <strong>de</strong>s tenseurs diélectriques<br />
<strong>et</strong> <strong>de</strong> déformation, e est l’épaisseur traversée <strong>et</strong> λ est la longueur d’on<strong>de</strong> dans le vi<strong>de</strong> <strong>de</strong> la<br />
lumière utilisée. Par <strong>de</strong>s considérations <strong>de</strong> symétrie, on peut montrer que :<br />
n 2 − n 1 = A(ɛ 2 − ɛ 1 ) (6.55)<br />
où ɛ 1 <strong>et</strong> ɛ 2 sont toujours les valeurs principales <strong>de</strong>s déformations, <strong>et</strong> A est une constante<br />
ne dépendant que <strong>de</strong> la nature du matériau. À partir <strong>de</strong>s équations (6.54) <strong>et</strong> (6.55), on<br />
obtient donc :<br />
φ = 2π Ae<br />
λ (ɛ 2 − ɛ 1 ) = 2π Ae<br />
λ ɛ s max<br />
(6.56)<br />
Pour un milieu mécaniquement isotrope, les déformations sont reliées aux contraintes σ ij<br />
par les relations valables dans le repère principal :<br />
⎧<br />
ɛ 1 = 1 E (σ 1 − νσ 2 − νσ 3 )<br />
⎪⎨<br />
ɛ 2 = 1 E (σ 2 − νσ 3 − νσ 1 )<br />
(6.57)<br />
⎪⎩<br />
ɛ 3 = 1 E (σ 3 − νσ 1 − νσ 2 )
6.7.<br />
PHOTOÉLASTICIMÉTRIE 105<br />
où E <strong>et</strong> ν sont respectivement le module d’Young <strong>et</strong> le coefficient <strong>de</strong> Poisson du matériau.<br />
La différence <strong>de</strong>s contraintes ɛ smax = ɛ 2 − ɛ 1 est :<br />
ɛ smax = 1 + ν<br />
E<br />
(σ 2 − σ 1 ) = σ s max<br />
G<br />
où :<br />
σ smax = σ 2 − σ 1<br />
2<br />
est la contrainte maximale <strong>de</strong> cisaillement, <strong>et</strong> où :<br />
G =<br />
E<br />
2(1 + ν)<br />
(6.58)<br />
est le module <strong>de</strong> cisaillement.<br />
On voit à partir <strong>de</strong>s équations (6.56) <strong>et</strong> (6.58) que dans un milieu mécaniquement<br />
isotrope, le déphasage φ peut aussi s’exprimer en fonction <strong>de</strong> la contrainte maximale <strong>de</strong><br />
cisaillement par :<br />
φ = 2π Ae<br />
λG σ s max<br />
(6.59)<br />
6.7.4 Lames d’on<strong>de</strong> <strong>et</strong> polariseurs<br />
Une lame d’on<strong>de</strong> est réalisée avec une lame biréfringente uniaxe à face parallèles, dont<br />
les faces sont taillées parallèlement à l’axe optique (Fig. 6.28). Pour une inci<strong>de</strong>nce normale,<br />
il existe <strong>de</strong>ux directions orthogonales <strong>de</strong> polarisation pour la lumière inci<strong>de</strong>nte, qui vont se<br />
propager à <strong>de</strong>s vitesses différentes. Les indices correspondant sont notés n o <strong>et</strong> n e <strong>et</strong> appelés<br />
indices ordinaire <strong>et</strong> extraordinaire.<br />
PSfrag replacements<br />
D<br />
Source<br />
axe lent<br />
axe rapi<strong>de</strong><br />
Fig. 6.28 – Lame d’on<strong>de</strong><br />
La polarisation parallèle à l’axe optique correspondant au rayon extraordinaire va se<br />
propager à la vitesse c/n e , <strong>et</strong> la polarisation orthogonale va se propager à la vitesse c/n o .<br />
Selon les valeurs respectives <strong>de</strong> c/n e <strong>et</strong> c/n o , les axes sont appelés axe lent <strong>et</strong> axe rapi<strong>de</strong>.<br />
Les <strong>de</strong>ux rayons ne se propageant pas à la même vitesse dans la lame, il apparaît à la sortie<br />
un déphasage égal à :<br />
φ = 2π (n e − n o )h<br />
(6.60)<br />
λ
106 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
PSfrag où hreplacements<br />
est l’épaisseur <strong>de</strong> la lame. Quand φ = π/2+kπ, k entier, on parle <strong>de</strong> lame quart d’on<strong>de</strong>.<br />
Quand φ = (2k + 1)π, on parle <strong>de</strong> lame <strong>de</strong>mi-on<strong>de</strong>. Noter qu’une lame n’est <strong>de</strong>mi-on<strong>de</strong><br />
ou quart d’on<strong>de</strong><br />
D<br />
que pour une longueur d’on<strong>de</strong> donnée. C<strong>et</strong>te dépendance vis-à-vis <strong>de</strong> la<br />
longueur d’on<strong>de</strong> Sourcesera d’autant plus faible que l’épaisseur <strong>de</strong> la lame sera faible, c’est-à-dire<br />
que l’ordre k dans la formule ci-<strong>de</strong>ssus sera p<strong>et</strong>it, puisque ∂φ/∂λ est proportionnel à h.<br />
L’ensemble formé par un polariseur suivi d’une lame quart d’on<strong>de</strong> dont les axes sont à<br />
45˚<strong>de</strong> l’axe du polariseur réalise un polariseur circulaire (Fig.).<br />
a) A axe lent b)<br />
2<br />
1<br />
1<br />
2<br />
polariseur<br />
P<br />
P<br />
Fig. 6.29 – Polariseur circulaire<br />
[<br />
−→ 1 A 0 ∝<br />
0<br />
]<br />
(P,A)<br />
=<br />
Après passage d’une lumière non polarisée à travers le polariseur, l’amplitu<strong>de</strong> complexe<br />
−→ A 0 <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> est la suivante dans les repères (P, A) <strong>et</strong> (1, 2) :<br />
√<br />
2<br />
2<br />
[ 1<br />
−1<br />
]<br />
(1,2)<br />
(6.61)<br />
Après traversée <strong>de</strong> la lame quart-d’on<strong>de</strong>, elle <strong>de</strong>vient −→ A 1 . Pour fixer les idées, on suppose<br />
qu’il s’introduit sur la direction 2 un r<strong>et</strong>ard <strong>de</strong> phase égal à +π/2 à 2π près), c’est-à-dire<br />
que la composante complexe suivant l’axe 2 est multipliée par i. Dans ce cas, on obtient :<br />
−→ A 1 ∝<br />
√<br />
2<br />
2<br />
[<br />
1<br />
−i<br />
]<br />
(1,2)<br />
(6.62)<br />
ce qui est bien la représentation d’une on<strong>de</strong> polarisée circulairement. Il s’agit plus précisément<br />
d’une polarisation circulaire droite.<br />
Si l’on place maintenant la même lame avant le polariseur, on va obtenir un analyseur<br />
circulaire, qui ne laissera passer que la lumière polarisée circulaire gauche. En eff<strong>et</strong>,<br />
considérons une lumière polarisée circulaire droite :<br />
[ ]<br />
−→ 1 A 0 ∝<br />
(6.63)<br />
−i<br />
Après traversée <strong>de</strong> la lame quart d’on<strong>de</strong>, son amplitu<strong>de</strong> complexe est :<br />
[ ]<br />
−→ 1 A 1 ∝ = √ [ ]<br />
1<br />
2<br />
1<br />
0<br />
(1,2)<br />
(1,2)<br />
(P,A)<br />
(6.64)
6.7.<br />
PHOTOÉLASTICIMÉTRIE 107<br />
Elle est donc éteinte par le polariseur aligné avec la direction P . Inversement, une on<strong>de</strong><br />
polarisée circulaire gauche d’amplitu<strong>de</strong> :<br />
[ ]<br />
−→ 1 A 0 ∝<br />
(6.65)<br />
i<br />
a après la lame l’amplitu<strong>de</strong> :<br />
−→ A 1 ∝<br />
[<br />
1<br />
−1<br />
]<br />
(1,2)<br />
(1,2)<br />
= √ [<br />
0<br />
2<br />
1<br />
]<br />
(P,A)<br />
(6.66)<br />
qui correspond à une polarisation rectiligne alignée avec P .<br />
On peut tourner d’un angle arbitraire un polariseur circulaire : cela ne change en rien<br />
ses propriétés. On peut donc tourner d’un quart <strong>de</strong> tour l’analyseur circulaire ci-<strong>de</strong>ssus.<br />
On obtient finalement les configurations (Fig. 6.30, en haut) :<br />
– polariseur suivi d’une lame quart d’on<strong>de</strong> orientée à 45˚: polariseur circulaire droit ;<br />
– lame quart d’on<strong>de</strong> tournée <strong>de</strong> 90˚ suivie d’un polariseur tourné <strong>de</strong> 90˚ : analyseur<br />
circulaire gauche.<br />
1<br />
2<br />
1<br />
A<br />
P<br />
PSfrag replacements<br />
2<br />
D<br />
1<br />
2<br />
A<br />
Source<br />
P<br />
2<br />
1<br />
Fig. 6.30 – Passage <strong>de</strong> la lumière « circulaire » à la lumière « rectiligne »<br />
Si aucun obj<strong>et</strong> biréfringent n’est placé entre ces <strong>de</strong>ux polariseurs circulaires, la lumière ne<br />
traverse pas le <strong>de</strong>uxième. On a une configuration analogue au « polariseur <strong>et</strong> analyseur<br />
rectilignes croisés » utilisée pour observer <strong>de</strong>s obj<strong>et</strong>s polarisants sur fond noir.<br />
Si l’on fait maintenant basculer simultanément les <strong>de</strong>ux lames quart d’on<strong>de</strong> <strong>de</strong> 45˚, la<br />
lumière ne passe toujours pas. En eff<strong>et</strong>, on se r<strong>et</strong>rouve dans la configuration « polariseur
108 CHAPITRE 6.<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
<strong>et</strong> analyseur rectilignes croisés », puisque les lames quart d’on<strong>de</strong> n’interviennent plus (Fig.<br />
6.30, en bas).<br />
6.7.5 Isochromatiques <strong>et</strong> isoclines<br />
La photoélasticimétrie peut être utilisée en transmission ou en réflexion. Le premier cas<br />
consiste en la réalisation d’un modèle <strong>de</strong> la structure à étudier dans une plaque <strong>de</strong> matériau<br />
photoélastique, qui sera observé en transmission ; le <strong>de</strong>uxième cas correspond au collage sur<br />
c<strong>et</strong>te structure (en général opaque) d’une feuille <strong>de</strong> matériau photoélastique, en utilisant<br />
une colle métallisée. Il faut noter qu’on peut travailler sur <strong>de</strong>s surfaces planes ou gauches,<br />
en utilisant la technique du galbage d’une feuille souple <strong>de</strong> polymère photoélastique en<br />
cours <strong>de</strong> polymérisation. L’exploitation est la même, à condition <strong>de</strong> tenir compte du fait<br />
que l’épaisseur traversée dans la technique par réflexion est égale à <strong>de</strong>ux fois l’épaisseur <strong>de</strong><br />
la feuille photoélastique.<br />
L’idée <strong>de</strong> la photoélasticimétrie est <strong>de</strong> créer en tout point <strong>de</strong>s interférences entre les<br />
<strong>de</strong>ux composantes émergentes qui sont déphasées.<br />
Deux types d’observation sont possibles : en polarisation rectiligne <strong>et</strong> en polarisation<br />
circulaire. En pratique, on passe d’un type d’observation à l’autre en basculant solidairement<br />
les lames quart d’on<strong>de</strong> constituant les polariseurs circulaires comme suggéré sur la<br />
Fig. 6.30.<br />
La photoélasticimétrie a été très utilisée dans l’industrie, en particulier aéronautique.<br />
Cependant, la difficulté <strong>de</strong> la préparation <strong>de</strong> la surface <strong>et</strong> le développement <strong>de</strong>s techniques<br />
<strong>de</strong> speckle n<strong>et</strong>tement plus faciles à m<strong>et</strong>tre en œuvre en ont fortement réduit l’usage. Par<br />
contre, <strong>et</strong> pour <strong>de</strong>s raisons évi<strong>de</strong>ntes (matériau transparent), elle est toujours utilisée dans<br />
l’industrie du verre pour la détection <strong>de</strong> contraintes résiduelles après cuisson.<br />
Polarisation circulaire — franges isochromatiques<br />
En polarisation circulaire gauche, l’amplitu<strong>de</strong> complexe <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> inci<strong>de</strong>nte est en un<br />
point donné :<br />
[ ]<br />
−→ 1 A 0 ∝<br />
(6.67)<br />
i<br />
Après traversée du matériau, où un déphasage φ est introduit sur la composante 2, elle<br />
<strong>de</strong>vient :<br />
[ ] [ ] [ ]<br />
−→ 1<br />
1 1 A 1 ∝<br />
= g + d<br />
(6.68)<br />
i exp(i φ) i −i<br />
où l’on a décomposé −→ A 1 en somme <strong>de</strong> <strong>de</strong>ux polarisations circulaires droite <strong>et</strong> gauche. L’analyseur<br />
circulaire complémentaire (donc droit) ne laissera passer que la <strong>de</strong>uxième composante,<br />
<strong>et</strong> l’on détectera une intensité I proportionnelle au carré du module <strong>de</strong> d. On a le<br />
système : {<br />
g + d = 1<br />
(6.69)<br />
g − d = exp(i φ)<br />
(1,2)
6.7.<br />
PHOTOÉLASTICIMÉTRIE 109<br />
On en déduit facilement :<br />
d = 1 (<br />
2 [1 − exp(i φ)] = −i exp i φ ) ( ) φ<br />
sin<br />
2 2<br />
(6.70)<br />
Par conséquent, l’intensité reçue est :<br />
I = I 0 sin 2 ( φ<br />
2<br />
)<br />
= I 0<br />
(1 − cos φ) (6.71)<br />
2<br />
On r<strong>et</strong>rouve l’expression habituelle pour l’interférométrie à <strong>de</strong>ux on<strong>de</strong>s, sauf que l’origine<br />
<strong>de</strong>s phases correspond à une frange noire.<br />
Une observation en lumière blanche perm<strong>et</strong> <strong>de</strong> déterminer la frange d’ordre 0, seule<br />
frange vraiment obscure. En eff<strong>et</strong>, en lumière blanche, on observe en fait la superposition<br />
<strong>de</strong> réseaux <strong>de</strong> franges qui ne coïnci<strong>de</strong>nt pas, puisque le déphasage φ dépend <strong>de</strong> la longueur<br />
d’on<strong>de</strong>. Seule le frange d’ordre 0 a une position indépendante <strong>de</strong> celle-ci, <strong>et</strong> donc correspond<br />
à une frange noire pour toutes les longueurs d’on<strong>de</strong>.<br />
Les franges obtenues s’appellent franges isochromatiques, ce qui fait allusion justement<br />
à l’observation en lumière blanche où les franges d’ordre non nul sont irisées.<br />
Le réseau <strong>de</strong>s isochromatiques visualise le lieu <strong>de</strong>s points où la déformation <strong>de</strong> cisaillement<br />
maximal est constante. Ceci peut paraître une limitation <strong>de</strong> la technique, puisqu’on<br />
n’a pas accès aux composantes ɛ xx ou ɛ yy , mais en fait la déformation maximale <strong>de</strong> cisaillement<br />
est une gran<strong>de</strong>ur dimensionnante, c’est-à-dire que le dimensionnement d’une<br />
structure doit entre autres vérifier que c<strong>et</strong>te déformation <strong>de</strong> cisaillement n’excè<strong>de</strong> pas une<br />
valeur limite <strong>de</strong> rupture. La visualisation <strong>et</strong> la mesure expérimentale <strong>de</strong> c<strong>et</strong>te déformation<br />
est donc extrêmement utile.<br />
Polarisation rectiligne — franges Isoclines<br />
En polarisation rectiligne maintenant, l’amplitu<strong>de</strong> complexe <strong>de</strong> l’on<strong>de</strong> inci<strong>de</strong>nte est :<br />
[<br />
−→ 1 A 0 ∝<br />
0<br />
]<br />
(P,A)<br />
(6.72)<br />
On note α l’angle entre la direction du polariseur <strong>et</strong> la direction principale <strong>de</strong> déformation<br />
1 (Fig 6.31).
110<br />
PSfrag replacements<br />
CHAPITRE 6.<br />
D<br />
Source<br />
2<br />
A<br />
MÉTHODES INTERFÉROMÉTRIQUES<br />
1<br />
α<br />
P<br />
Fig. 6.31 – Directions <strong>de</strong> polarisation <strong>et</strong> directions principales <strong>de</strong> déformation<br />
Dans le repère principal <strong>de</strong>s déformations, c<strong>et</strong>te amplitu<strong>de</strong> complexe est donc :<br />
[ ]<br />
−→ cos α<br />
A 0 ∝<br />
− sin α<br />
(1,2)<br />
Après traversée du matériau, elle <strong>de</strong>vient :<br />
[<br />
]<br />
−→ cos α<br />
A 1 ∝<br />
− sin α exp(i φ)<br />
(1,2)<br />
(6.73)<br />
(6.74)<br />
L’analyseur effectue une projection sur la direction A, ce qui donne une amplitu<strong>de</strong> complexe<br />
:<br />
⎡<br />
⎤<br />
[<br />
]<br />
0<br />
−→ 0<br />
(<br />
A 2 ∝<br />
= ⎣<br />
cos α sin α − sin α cos α exp(i φ) −i sin(2α) exp i φ ) ( ) φ ⎦<br />
sin<br />
(1,2)<br />
2 2<br />
(1,2)<br />
(6.75)<br />
L’intensité détectée I est proportionnelle au carré du module <strong>de</strong> la composante suivant A,<br />
soit :<br />
( ) φ<br />
I = I 0 sin 2 (2α) sin 2 (6.76)<br />
2<br />
On obtient donc finalement :<br />
I = I 0 × 1 2 (1 − cos φ) × 1 [1 − cos(4α)] (6.77)<br />
2<br />
Par comparaison avec l’équation 6.71, on voit qu’au réseau <strong>de</strong>s isochromatiques se superpose<br />
un réseau <strong>de</strong> franges sombres : il s’agit du réseau <strong>de</strong>s franges isoclines, lieu <strong>de</strong>s points<br />
où cos(4α) = 1, <strong>et</strong> donc où α = k π/2.<br />
Le réseau <strong>de</strong>s isoclines matérialise donc le lieu <strong>de</strong>s points où les directions principales<br />
<strong>de</strong> déformation sont parallèle <strong>et</strong> perpendiculaire à la direction du polariseur.<br />
Ce sont les points où la lumière ne « voit » pas la biréfringence du matériau, puisque<br />
la direction <strong>de</strong> la polarisation coïnci<strong>de</strong> précisément avec une direction principale optique.<br />
Entre polariseur <strong>et</strong> analyseur croisés, ces points font donc partie d’une frange sombre.
6.7.<br />
PHOTOÉLASTICIMÉTRIE 111<br />
6.7.6 Décalage <strong>de</strong> phase<br />
Un décalage <strong>de</strong> phase est très facile à faire sur le réseau <strong>de</strong> franges isoclines. En eff<strong>et</strong>,<br />
si l’on tourne solidairement l’ensemble polariseur <strong>et</strong> analyseur croisés, on fait varier l’angle<br />
α.<br />
On peut donc réaliser un décalage <strong>de</strong> phase temporel <strong>de</strong> pas δ = 2π/N en prenant<br />
plusieurs images avec une rotation <strong>de</strong> c<strong>et</strong> ensemble d’un angle π/2N entre chaque image.<br />
Le décalage <strong>de</strong> phase sur les franges isochromatiques est plus délicat, puisqu’il n’y a<br />
aucun moyen <strong>de</strong> faire varier φ <strong>de</strong> manière contrôlée. Il existe cependant <strong>de</strong>s solutions, mais<br />
qui ne seront pas considérées ici.