CNRS et Recherche Technologique - RTB - CNRS
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<strong>CNRS</strong> <strong>et</strong> <strong>Recherche</strong><br />
<strong>Technologique</strong>
Les grands défis d<br />
scientifiques<br />
Nanosciences, , Nanotechnologies,<br />
Nanosystèmes<br />
Systèmes matériels hétérogh<br />
rogènes<br />
La microélectronique ultime
Objectifs<br />
Positionner la recherche française aise au plus<br />
haut niveau au niveau recherche<br />
fondamentale <strong>et</strong> au niveau valorisation<br />
Exploiter au mieux les compétences des<br />
divers pôles p<br />
de recherche du territoire<br />
Mener une politique d’investissementd<br />
coordonnée e <strong>et</strong> durable
Les mesures<br />
• Des moyens technologiques compétitifs, mis en réseau, ouverts à<br />
la communauté nationale <strong>et</strong> répartis sur quelques sites : Les<br />
grandes centrales du 1er cercle<br />
• Des centrales spécifiques essentiellement Nanosciences<br />
• Un programme de recherche : défis scientifiques <strong>et</strong> technologiques,<br />
proj<strong>et</strong>s phares, Brev<strong>et</strong>s (PI), <strong>et</strong>c…<br />
• Un dispositif de veille scientifique (OMNT) création d’une UMS
Réseau National des Grandes Centrales <strong>Technologique</strong>s<br />
Nano Opto Electronique rapide<br />
Microsystèmes<br />
IEMN<br />
Lille<br />
Nano Photonique<br />
Nanoélectronique<br />
Nanophysique<br />
IEF/LPN<br />
Paris<br />
Sud<br />
FEMTO-ST<br />
Besançon<br />
Microsystèmes<br />
Microtechnologies<br />
LAAS<br />
Toulouse<br />
Micro <strong>et</strong> Nano-systèmes<br />
Grenoble<br />
CEA-LETI / MINATEC<br />
MicroNanoélectronique<br />
Systèmes sur la puce
Les grandes<br />
Centrales<br />
<strong>Technologique</strong>s<br />
1 er cercle<br />
81/62<br />
IEF<br />
LPN<br />
Ile de France<br />
IEMN<br />
Nord<br />
116/72<br />
180/103<br />
Est<br />
FEMTO<br />
100/50<br />
« recherches sur<br />
l’ensemble d’une<br />
filière<br />
technologique »<br />
Total <strong>CNRS</strong> : 926/526<br />
>6500m2<br />
150/90<br />
LAAS<br />
Sud-Ouest<br />
Rhône<br />
Alpes<br />
LETI<br />
MINATEC<br />
CEA-<strong>CNRS</strong><br />
300/149
Les moyens <strong>et</strong> infrastructures<br />
x
Les Grandes Centrales<br />
Pôle Rhône Alpes : LETI <strong>et</strong> FMNT<br />
Plate-forme LETI MINATEC : 4000 m 2 (8500 m 2 au total)<br />
Moyens technologiques souples FMNT<br />
Plate-forme « souple » en gestation à Grenoble (DRFMC/FMNT)<br />
<br />
Pôle Ile de France : LPN <strong>et</strong> IEF<br />
<br />
<br />
LPN : 1000 m 2 28 ITA<br />
IEF : 510 m 2 (+ 340 m 2 ) 11 ITA<br />
<br />
Pôle du Nord : IEMN<br />
<br />
1700 m 2 28 ITA<br />
<br />
Pôle du Sud Ouest : LAAS<br />
<br />
500 m 2 (+ 500 m 2 ) 2000 m 2 25 ITA<br />
<br />
Pôle Grand Est : FEMTO<br />
À terme 500m2 10 ITA
1er cercle Vs 2ème cercle<br />
<br />
Budg<strong>et</strong> moyen 1er cercle (ex : IEMN, LPN, LAAS, ….)<br />
Fonctionnement : 900 à 1200 K€ K<br />
Investissements : 3500 – 5000 K€ K /an (avec <strong>RTB</strong>)<br />
Budg<strong>et</strong> moyen 2ème 2<br />
cercle (ex : Lyon, Grenoble,<br />
Montpellier, Paris, Saclay, .. )<br />
(ex : Lyon, Grenoble, Nancy-Strasbourg,<br />
Fonctionnement : 100 à 350 K€ K<br />
Investissements : 250-400 K€ K /an sauf Nancy-Strasbourg (+)
Mise en réseaur<br />
Accueil<br />
<br />
Ouverture des grandes centrales à la communauté nationale<br />
<br />
Formation pour <strong>et</strong> par la recherche<br />
<br />
Lisibilité internationale (intégration<br />
à des plateformes<br />
européennes)<br />
ennes)<br />
<br />
Coordination nationale (Ministère <strong>Recherche</strong> , <strong>CNRS</strong>, CEA)<br />
<br />
Création de groupes de travail sur la recherche technologique
L’accueil en 2003<br />
<br />
<br />
LPN<br />
71 actions (essentiellement proj<strong>et</strong>s portés s par labos extérieurs)<br />
IEF<br />
6 proj<strong>et</strong>s portés s par labos extérieurs<br />
11 prestations<br />
<br />
IEMN<br />
9 proj<strong>et</strong>s portés s par labos extérieurs<br />
12 prestations<br />
LAAS<br />
12 proj<strong>et</strong>s portés s par labos extérieurs<br />
8 prestations<br />
Total : <strong>CNRS</strong> : 56 post docs <strong>et</strong> 126 doctorants
Le programme de <strong>Recherche</strong>
Le programme de recherche <strong>RTB</strong><br />
Micro-Nano : 5 grandes th<br />
5 grandes thématiques<br />
Micro-Nanoélectronique<br />
Photonique / Optoélectronique<br />
Nanotechnologies<br />
Intégration des technologies<br />
Micro-Nanosystèmes<br />
/ bio-systèmes
Micro-Nanoélectronique<br />
<br />
Silicium : CMOS ultime<br />
CMOS double grille sub 32-22nm<br />
<br />
III-V : Dispositifs hyper fréquences<br />
« terahertz » (100 GHz-1 THz)<br />
Puissance<br />
<br />
Intégration de Puissance<br />
<br />
Électronique de spin, nanomagnétisme<br />
HEMT métamorphique sur<br />
GaAs 60 nm<br />
Nano-composant balistique en T<br />
MOS silicium<br />
Double grille<br />
(avec LETI)
Photonique - Optoélectronique<br />
<br />
<br />
<br />
Composants optoélectroniques rapides<br />
Nanophotonique, nano-optique<br />
non linéaire <strong>et</strong> quantique<br />
Vers le tout optique<br />
Distribution d’horloge<br />
optique sur SOI<br />
Matrice de commutation 4 x 4 ultra-large bande<br />
Laser VCSEL InP<br />
accordable à 1,55µm<br />
Laser VCSEL GaAs<br />
« AlOx » à 1,55µm<br />
Circuits intégrés<br />
photoniques
Nanotechnologies<br />
<br />
Technologies de miniaturisation : Top down sub 10 nm <strong>et</strong> bottom up<br />
<br />
<br />
Adressage des nano-obj<strong>et</strong>s<br />
Electronique moléculaire<br />
Nano – FIB 5 nm<br />
Technologie de Nano-impression<br />
Ilots quantiques Ge/Si<br />
Architecture de circuits moléculaires
Intégration des technologies<br />
<br />
Opto / Si : interconnexions optiques, cellules solaires, …<br />
<br />
Mémoires MRAM<br />
<br />
Integration RF<br />
Intégration hétérogène de micro-lasers<br />
InP couplés à des guides BIP silicium<br />
N<br />
S<br />
S<br />
N<br />
N<br />
S<br />
S<br />
N<br />
N<br />
S<br />
Intégration<br />
monolithique de<br />
Lasers GaAs sur Si<br />
Substrate<br />
Vers des MRAM<br />
à très haute intégration<br />
1 Tbit/in_<br />
Intégration de MEMS RF sur des circuits Intégrés Si<br />
Technologie post processing BCB/ Filières Faible bruit <strong>et</strong><br />
de puissance
Micro - Nano - Bio - Systèmes<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
Micro-Nanosystèmes<br />
MOEMS<br />
Micro-laboratoires<br />
Biopuces (ADN, protéines)<br />
Microlaboratoire :<br />
Dispositif<br />
microfluidique<br />
Microgyromètre<br />
Vibrant métallique<br />
Nanoélectrodes interdigitées pour la<br />
détection de biomolécules<br />
Fabrication de biopuces par synthèse directe d’ADN
Les actions Internationales<br />
30 proj<strong>et</strong>s FP5 en cours<br />
10 IP FP6<br />
11 ReX<br />
2 Marie Curie<br />
5 Medea-Eureka
Les participations au proj<strong>et</strong><br />
18 RMNT<br />
11 RNRT<br />
PIR Microfluidique<br />
25 ACI<br />
Propositions ACI Nanosciences<br />
IEMN 18 proj<strong>et</strong>s<br />
LPN 13 proj<strong>et</strong>s<br />
FMNT 11 proj<strong>et</strong>s (incluant LETI)<br />
IEF 7 proj<strong>et</strong>s<br />
FEMTO 6 proj<strong>et</strong>s<br />
LAAS 5 proj<strong>et</strong>s
Production scientifique<br />
réseau<br />
Revues 399<br />
Conférences Internationales 496<br />
Conférences Invitées : 92<br />
Brev<strong>et</strong>s : 24
Conclusions<br />
Pour le <strong>CNRS</strong> : programme très s important<br />
R<strong>et</strong>ard dans l’exl<br />
exécution du programme<br />
Le réseau r<br />
est en voie d’êd<br />
’être crée<br />
Mutualisation de la formation<br />
Échange pour la politique d’investissementd<br />
Des exemples qui fonctionnent bien<br />
Groupe de travail de recherche technologique<br />
Coordination avec centrales spécifiques<br />
Nécessité de pérennisation p<br />
(TGE/TGI)
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