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CNRS et Recherche Technologique - RTB - CNRS

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CNRS et Recherche

Technologique


Les grands défis d

scientifiques

Nanosciences, , Nanotechnologies,

Nanosystèmes

Systèmes matériels hétérogh

rogènes

La microélectronique ultime


Objectifs

Positionner la recherche française aise au plus

haut niveau au niveau recherche

fondamentale et au niveau valorisation

Exploiter au mieux les compétences des

divers pôles p

de recherche du territoire

Mener une politique d’investissementd

coordonnée e et durable


Les mesures

• Des moyens technologiques compétitifs, mis en réseau, ouverts à

la communauté nationale et répartis sur quelques sites : Les

grandes centrales du 1er cercle

• Des centrales spécifiques essentiellement Nanosciences

• Un programme de recherche : défis scientifiques et technologiques,

projets phares, Brevets (PI), etc…

• Un dispositif de veille scientifique (OMNT) création d’une UMS


Réseau National des Grandes Centrales Technologiques

Nano Opto Electronique rapide

Microsystèmes

IEMN

Lille

Nano Photonique

Nanoélectronique

Nanophysique

IEF/LPN

Paris

Sud

FEMTO-ST

Besançon

Microsystèmes

Microtechnologies

LAAS

Toulouse

Micro et Nano-systèmes

Grenoble

CEA-LETI / MINATEC

MicroNanoélectronique

Systèmes sur la puce


Les grandes

Centrales

Technologiques

1 er cercle

81/62

IEF

LPN

Ile de France

IEMN

Nord

116/72

180/103

Est

FEMTO

100/50

« recherches sur

l’ensemble d’une

filière

technologique »

Total CNRS : 926/526

>6500m2

150/90

LAAS

Sud-Ouest

Rhône

Alpes

LETI

MINATEC

CEA-CNRS

300/149


Les moyens et infrastructures

x


Les Grandes Centrales

Pôle Rhône Alpes : LETI et FMNT

Plate-forme LETI MINATEC : 4000 m 2 (8500 m 2 au total)

Moyens technologiques souples FMNT

Plate-forme « souple » en gestation à Grenoble (DRFMC/FMNT)


Pôle Ile de France : LPN et IEF



LPN : 1000 m 2 28 ITA

IEF : 510 m 2 (+ 340 m 2 ) 11 ITA


Pôle du Nord : IEMN


1700 m 2 28 ITA


Pôle du Sud Ouest : LAAS


500 m 2 (+ 500 m 2 ) 2000 m 2 25 ITA


Pôle Grand Est : FEMTO

À terme 500m2 10 ITA


1er cercle Vs 2ème cercle


Budget moyen 1er cercle (ex : IEMN, LPN, LAAS, ….)

Fonctionnement : 900 à 1200 K€ K

Investissements : 3500 – 5000 K€ K /an (avec RTB)

Budget moyen 2ème 2

cercle (ex : Lyon, Grenoble,

Montpellier, Paris, Saclay, .. )

(ex : Lyon, Grenoble, Nancy-Strasbourg,

Fonctionnement : 100 à 350 K€ K

Investissements : 250-400 K€ K /an sauf Nancy-Strasbourg (+)


Mise en réseaur

Accueil


Ouverture des grandes centrales à la communauté nationale


Formation pour et par la recherche


Lisibilité internationale (intégration

à des plateformes

européennes)

ennes)


Coordination nationale (Ministère Recherche , CNRS, CEA)


Création de groupes de travail sur la recherche technologique


L’accueil en 2003



LPN

71 actions (essentiellement projets portés s par labos extérieurs)

IEF

6 projets portés s par labos extérieurs

11 prestations


IEMN

9 projets portés s par labos extérieurs

12 prestations

LAAS

12 projets portés s par labos extérieurs

8 prestations

Total : CNRS : 56 post docs et 126 doctorants


Le programme de Recherche


Le programme de recherche RTB

Micro-Nano : 5 grandes th

5 grandes thématiques

Micro-Nanoélectronique

Photonique / Optoélectronique

Nanotechnologies

Intégration des technologies

Micro-Nanosystèmes

/ bio-systèmes


Micro-Nanoélectronique


Silicium : CMOS ultime

CMOS double grille sub 32-22nm


III-V : Dispositifs hyper fréquences

« terahertz » (100 GHz-1 THz)

Puissance


Intégration de Puissance


Électronique de spin, nanomagnétisme

HEMT métamorphique sur

GaAs 60 nm

Nano-composant balistique en T

MOS silicium

Double grille

(avec LETI)


Photonique - Optoélectronique




Composants optoélectroniques rapides

Nanophotonique, nano-optique

non linéaire et quantique

Vers le tout optique

Distribution d’horloge

optique sur SOI

Matrice de commutation 4 x 4 ultra-large bande

Laser VCSEL InP

accordable à 1,55µm

Laser VCSEL GaAs

« AlOx » à 1,55µm

Circuits intégrés

photoniques


Nanotechnologies


Technologies de miniaturisation : Top down sub 10 nm et bottom up



Adressage des nano-objets

Electronique moléculaire

Nano – FIB 5 nm

Technologie de Nano-impression

Ilots quantiques Ge/Si

Architecture de circuits moléculaires


Intégration des technologies


Opto / Si : interconnexions optiques, cellules solaires, …


Mémoires MRAM


Integration RF

Intégration hétérogène de micro-lasers

InP couplés à des guides BIP silicium

N

S

S

N

N

S

S

N

N

S

Intégration

monolithique de

Lasers GaAs sur Si

Substrate

Vers des MRAM

à très haute intégration

1 Tbit/in_

Intégration de MEMS RF sur des circuits Intégrés Si

Technologie post processing BCB/ Filières Faible bruit et

de puissance


Micro - Nano - Bio - Systèmes





Micro-Nanosystèmes

MOEMS

Micro-laboratoires

Biopuces (ADN, protéines)

Microlaboratoire :

Dispositif

microfluidique

Microgyromètre

Vibrant métallique

Nanoélectrodes interdigitées pour la

détection de biomolécules

Fabrication de biopuces par synthèse directe d’ADN


Les actions Internationales

30 projets FP5 en cours

10 IP FP6

11 ReX

2 Marie Curie

5 Medea-Eureka


Les participations au projet

18 RMNT

11 RNRT

PIR Microfluidique

25 ACI

Propositions ACI Nanosciences

IEMN 18 projets

LPN 13 projets

FMNT 11 projets (incluant LETI)

IEF 7 projets

FEMTO 6 projets

LAAS 5 projets


Production scientifique

réseau

Revues 399

Conférences Internationales 496

Conférences Invitées : 92

Brevets : 24


Conclusions

Pour le CNRS : programme très s important

Retard dans l’exl

exécution du programme

Le réseau r

est en voie d’êd

’être crée

Mutualisation de la formation

Échange pour la politique d’investissementd

Des exemples qui fonctionnent bien

Groupe de travail de recherche technologique

Coordination avec centrales spécifiques

Nécessité de pérennisation p

(TGE/TGI)

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