Centrale de technologie du LPN - RTB - CNRS

Centrale de technologie du LPN
Nom:Laboratoire de Photonique et de Nanostructures
Genre: UPR CNRS (N°20)
Parents: SPM et STIC
Date de (re)Naissance: 2001
Laboratoire de Photonique
et de Nanostructures
Adresse: route de Nozay, 91460 Marcoussis
Web: http://www.lpn.cnrs.fr
Mensurations: 40 chercheurs, 40 ITA, 30 thésards,12 post-docs
lpn
Laboratoire de Photonique
et de Nanostructures
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Thématiques
Micro-fluidique Physique des Nanostructures Optique non linéaire et quantique
Nanofab bas coût,
Dispositifs
Applications à la bio
systemes 2D->0D, gaz e - , transport
quantique, nanomagnétisme
BIP non linéaires, solitons cavités,
contrôle de l’émission spontannée,
information quantique, sources à 1photon
Nanosciences
Materiaux et technologies
Nouveaux materiaux III-V, physics de la
croissance/ études structurales, technologies
génériques et nanotechnologies
Recherches de base
orientées télécom
Dispositifs avancés pour opto-électronique
sources ultra-rapides, traitement tout optique du
signal, cristaux photoniques, micro-électronique III-V,
photo-détection
3 µm
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Spécificités du LPN
Activités de recherche s ’appuyant toutes sur
ses moyens lourds
tirer la technologie par la recherche
mieux utiliser nos équipements coûteux
mieux répondre aux besoins de la communauté
Collabore beaucoup et depuis longtemps
+ de 60 collaborations nationales, 7 projets RNRT/RMNT , ACI,
ACN (>20), accueil de personnels externes (thésards..)
9 projets ou réseaux européens en cours (NMP+IST)
N’est pas une unité de service
nos chercheurs sont près à vous aider pour vos projets
mais ils font aussi de la recherche
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Moyens de technologie dans le réseau de centrales
• Epitaxie
pas de service d ’épitaxie, mais des équipes de chercheurs
avec un soutien technique
• Technologie
service de technologie et des ITA et chercheurs technologues
• Caractérisation
par exemple TEM (chercheur+ ITA)...
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La technologie duLPN
• Personnels:
20 ITAs technologues dont 11 dans le service de technologie,
organisé en ressources
15 Chercheurs permanents fortement impliqués dans le
développement technologique et l ’épitaxie
30 thésards et post-docs à fort impact technologique
• Salles blanches:
1000 m 2 (classe 1000) dont 300 pour l ’épitaxie
• Installations annexes:
technologie en salle grise (polissage, sciage)
moyens de caractérisation lourds(AFM,TEM,..)
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Equipements nanotechnologie
700 m2 salles blanches
20 ingénieurs et
techniciens pour 7
ressources
Lithographie électronique
1 Jeol 5DIIU 50kV + Leica 5000+ (100kV)
Lithographie optique
4 aligneurs UV
Depôts Metaux et dielectriques
7 bâtis: effet Joule, canon e, RF, PECVD
Gravure
3 réateurs RIE: SF6, SiCl4, CH4, Ar, H2, CHF3, O2
1 RIBE reactor: CH4, H2, Ar, O2; 1 ICP
Nanofib
prototype 30keV, 5nm
Traitements thermiques et collage épitaxial
Microscopie électronique à balayage
1 Hitachi S800, 1 FEG Hitachi HR
2 LaB6 and W e-gun
Caractérisation
Microscopes optiques, Dektacks, FTIR, P(I), tests
électriques …
Montage et polissage
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350 m2 salles blanches
Epitaxie et analyses
Epitaxie de Semiconducteurs (III-V)
1 MOCVD GaAs/InP
1 EJM (Ga/In/Al/As)
1 EJM multisources III-V (dont N et Sb)
1 EJM source gaz
1 EJM GaMnAs
Analyses
STM/AFM in situ et ex situ
TEM avec analyse X
FIB
2 double diffraction rayons X
PL et PLE CW et résolue en temps
effet Hall à T variable
magneto-transport basse T
FTIR
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Accueil de projets et de personnes
Projets exogènes:
le maître d ’ouvrage n’est pas au LPN, le LPN intervient au niveau des
discussions scientifiques, de la fourniture d ’échantillons ou de technologies.
Les études sont menées par d ’autres entités
2002 2004
Epitaxie 9 35
Process 17 46
Analyses 3 3
Accueils:
Total 29 84
si les projets exogènes justifient l ’investissement en formation
En 2003: 12 personnes (représentant 42 hommesxmois)
En 2004: 24 personnes (70 hommesxmois)
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Accueil de projets et de personnes
• Bien au delà des 15% d ’ouverture
initialement prévus
• La quasi totalité des projets accueillis
demande du développement
• Essentiellement avec des acteurs publics
(Labos CNRS ou universités, CEA, ONERA, ESIEE…)
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Contacts et marche à suivre
• Pour la partie épitaxie ou analyses:
contacter directement les chercheurs
• Pour les projets impliquant du process:
soit contact direct avec des chercheurs
soit contact avec centrale-techno@lpn.cnrs.fr
(Sophie Bouchoule, Giancarlo Faini,Ali Madouri)
• Pour le détail de nos ressources:
http://www.lpn.cnrs.fr
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