LA PLATE-FORME SILICIUM du CEA-LETI - RTB - CNRS

SOMMAIRELe besoin de changement,Stratégie d’évolution : … un nouveau concept,Organisation de la plate-forme technologique,Plan d’amélioration des performances,Une plate-forme ouverte, au service des programmes,Conclusions.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

SOMMAIRELe besoin de changement,Stratégie d’évolution : … un nouveau concept,Organisation de la plate-forme technologique,Plan d’amélioration des performances,Une plate-forme ouverte, au service des programmes,Conclusions.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

LE BESOIN DE CHANGEMENTPour mieux répondre à l’attente de nos clients, denos partenaires, … en terme :d’écoute,de pro activité,de résultats,de délais.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

LE BESOIN DE CHANGEMENTPour résumer, nos clients attendent :une plate-forme flexible et accessible,des moyens de recherche attractifs,une bonne vitesse d’exécution,des résultats de qualité.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

TROIS DÉPARTEMENTS SILICIUMDisponibilitéFlexibilitéTailleLoi de MoorePerformance‘’D2NT’’NANOTECCentre deCompétenceAllianceImec, FhGConduit lesrecherches sur lamicroélectroniqueavancéePlate-formeTechnologiqueSiliciumConduit lesrecherches surl’intégrationhétérogène sursiliciumIntégrationHétérogène‘’DIHS’’MEMSCentre decompétenceComplexitéSTFreescale,….Start-up,FhG,CSEMWorkshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

SOMMAIRELe besoin de changement,Stratégie d’évolution : … un nouveau concept,Organisation de la plate-forme technologique,Plan d’amélioration des performances,Une plate-forme ouverte, au service des programmes,Conclusions.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

PLATE-FORME TECHNOLOGIQUE SILICIUMVISION : Existence et pérennité d’une plate-forme technologique,flexible, ouverte et performante regroupant l’ensemble desmoyens opérationnels du LETI.MISSION : Supporter l’ensemble des programmes de rechercheet apporter, en terme de qualité et vitesse d’exécution, dessolutions permettant à nos clients internes et externesd’atteindre l’excellence et la notoriété au niveau international.STRATEGIE :Fédérer toutes les compétences nécessaires au fonctionnementet au support de la structure opérationnelle,Mettre en place un système de temps de travail en continu etainsi assurer une plus grande utilisation des moyens mis àdisposition,Définir, proposer et mettre en œuvre un programme ambitieuxde restructuration et rationalisation des ‘Opérations’.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

SOMMAIRE• Le besoin de changement,• Stratégie d’évolution : … un nouveau concept,• Organisation de la plate-forme technologique,• Plan d’amélioration des performances,• Une plate-forme ouverte, au service des programmes,• Conclusions.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

DEPARTEMENT PLATE-FORME TECHNOLOGIQUE SILICIUMDPTSSécurité/ QA/ Gestion/ RHSDOTSSITSCPIOSFETNServiceServiceDesDesOpérationsOpérationsTechnologiquesTechnologiquesServiceServiceSupportSupportInterfaceInterfaceTechnologiqueTechnologiqueServiceServiceCaractérisationCaractérisationPhysiquePhysiqueIn-line/In-line/Off-lineOff-lineServiceService‘Facilities’‘Facilities’ExploitationExploitationTravauxTravauxNeufsNeufsEQ EQ EQ EQ EQPhotoGravureDépôtsCMPEtc…PlanningSupport technologiqueMéthodes/ FormationCarac. de surfaceCarac. en volumeMétrologie In-lineEQ EQ EQ EQ EQIngénieriedesInstallationsEquipementProcessR&DENGINEERINGLaboratoiresCentres deCompétenceWorkshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

SERVICE DES OPÉRATIONS TECHNOLOGIQUESSDOTT1 T2 T3 T4 T5130 personnes (~170 fin 2005)~25-30 % d’ingénieursFonctionnement 24h/ 24, 7j/ 7PhotoGravureDépôtCMPetc.…EquipementCoordination transverseEquipement EngineeringCompétence &AutonomieFonctionnement continuProcess R&DENGINEERINGCentres decompétenceWorkshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

MISSION DU SDOT Garantir l’existence et le bon fonctionnement en continud’une structure opérationnelle autonome, flexible etefficace : traiter les lots de R&D pour tous les standards, Développer des opérations génériques ou avecinnovation incrémentale et rationaliser les procédés, Participer aux programmes de développement les plus enamont, … en binôme avec les personnels des Labos, Accueillir à la demande des personnes externes audépartement pour intervenir sur les équipements.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

SERVICE SUPPORT & INTERFACE TECHNOLOGIQUESDOTCoordination transverseProcess EngineeringSSITPlanningSoutien TechniqueOuvertureFlexibilitéSoutien &FacilitationMéthodologie & FormationLaboratoires &Centres deCompétenceWorkshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

MISSION DU SSIT Assurer l’interface entre la partie opérationnelle duDépartement et l’ensemble des clients internes et externes, Mettre à disposition, les outils de gestion de l’activitétechnologique des programmes de recherche, Assurer la coordination transverse procédés, rationaliserles demandes, respecter les allocations, définir les priorités Prendre en compte les besoins en terme de transfertstechnologiques (méthodologie, mise en œuvre), Définir les protocoles et conditions d’accès à la plateforme.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

SERVICE CARACTERISATION PHYSIQUE IN-LINE & OFF-LINESCPIOMorphologie & DopantsExpertise & SupportFédérationOuvertureMatériaux, Interfaces, SurfacesMétrologie/ DéfectuositéEQ EQ EQ EQ EQWorkshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

MISSION DU SCPIO Caractériser les procédés, les matériaux et lescomposants à la demande de ses clients/ partenairesinternes, industriels ou académiques, Fédérer et rationaliser les moyens de caractérisationdisponibles dans son environnement, s'ouvrir à despartenariats industriels et universitaires, Poursuivre la mise en place des fondements du pôlede caractérisation MINATEC : une plate-formeaccessible à tous les clients et une ouverture enamont, … vers la recherche fondamentale.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

SERVICE FACILITIES EXPLOITATION & TRAVAUX NEUFSSFETNIngénieriedesInstallationsExpertise, Disponibilité& RigueurWorkshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

MISSION DU SFETN Garantir la plus grande disponibilité des installationsdes salles propres et de leurs approvisionnements, Proposer aux unités accueillies des solutionsd’adaptation des salles propres à leurs projets, Assurer la cohérence et l’adaptation aux nouveauxbesoins des ‘facilities’ ainsi que la ‘mémoire’ desBâtiments 40 & 41, Piloter les travaux d’aménagement des salles propres, Assurer les interfaces techniques avec les unités deservices du CEA-Grenoble (Achats, STL, STI, FLS, ISE).Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

SOMMAIRELe besoin de changement,Stratégie d’évolution : … un nouveau concept,Organisation de la plate-forme technologique,Plan d’amélioration des performances,Une plate-forme Ouverte, au service des programmes,Conclusions.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

PLAN D’AMELIORATION DES PERFORMANCESEtabli pour adresser les principaux détracteurs : Disponibilité des installations, Disponibilité des équipements, Productivité des équipes de recherche, Taux d’utilisation des moyens.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

TAUX D’UTILISATION DES MOYENS1009080706050403020100Taux moyen~ 27 %Soit + 45%Taux moyen~ 40 %2x8Continu1357911131517212319Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

SOMMAIRELe besoin de changement,Stratégie d’évolution : … un nouveau concept,Organisation de la plate-forme technologique,Plan d’amélioration des performances,Une plate-forme Ouverte, au service des programmes,Conclusions.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

250 techniciens et ingénieursTravail en continuPlus de 6500 m2 de salle blanchePlaques 100 / 200 / 300 mm500 équipementsWorkshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

Miniaturisation et accroissement de la complexitéminiaturization300mmUn programme intégréavec STm, Freescale, PhilipsJDP avec les fournissuers d’équipementsLoi de Moorecomplexité et diversificationProjets bilatéraux avec des partenaires industrielspour adresser des marchés dédiésProcessus en100, 200 et 300 mmProjets multidisciplinaires avec la Recherche FondamentaleNanosciencesWorkshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

Miniaturisation et accroissement de la complexitéminiaturisation130nm90nm65nmbipolaire RF MEMSSourcebiopucesd’énergieBiCMOSrf CMOS+ passivesembeddedMEMSComplexité etdiversification45nm32nmFD SOICMOSmultigrilleenvironnementconscioussmart devices22nmLoi de Moore300mm-NanosciencesWorkshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

UNE PLATE-FORME TECHNOLOGIQUE PROCHE DES INDUSTRIELSSite Crolles 224h24365j/anSite CEA-LETI• Modules• Integration Technologique• Ligne piloteEquipementsPersonnelsMatériauxConnaissances• Materiaux &Modules avancésWorkshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

UNE PLATE-FORME TECHNOLOGIQUE PROCHE DE LARECHERCHE FONDAMENTALELTMCNRS-UJFPlus de 40 chercheurs basés au LétiNouveaux équipements de caractérisation« Nano-scale etching, EUV litho, nanoimprint,high K materials »Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

SOMMAIRELe besoin de changement,Stratégie d’évolution : … un nouveau concept,Organisation de la plate-forme technologique,Une plate-forme ouverte au service des programmes,Conclusions.Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

ET POUR CONCLURE,Une offre technologique Silicium très largeforte attractivité,Des moyens importants en terme de salle blanche,équipements, personnels, compétences, …Un positionnement affirmé sur le 300 mm et unecontinuité d’activité en 100 et 200 mm,Un large réseau de recherche amont,CEA-DSM, CEA-DSV, CNRS, Universités …;Workshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD

MERCI DE VOTRE ATTENTIONWorkshop Réseau National des Gdes Centrales_ 20/21-12-04_ AB - PD