TRACTIUNE ELECTRICA
TRACTIUNE ELECTRICA
TRACTIUNE ELECTRICA
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
MICROSISTEME ELECTROMECANICE<br />
HARM (high-aspect-ratio micromachining) este o tehnologie de fabricaţie a<br />
MEMS ce implică microprelucrarea ca un prim pas, pentru obţinerea unei cavităţi<br />
cu o anumită configuraţie, urmată de formarea microstructurii prin injectarea de<br />
material în cavitatea respectivă.<br />
Substratul de PMMA<br />
Umplerea cavităţii<br />
Fotolitogravura<br />
Micropinionul<br />
Cavitatea obţinută<br />
2007-2008<br />
Etapele de realizare a unui micropinion utilizând<br />
tehnica LIGA.<br />
CET - CURS 9 38