TRACTIUNE ELECTRICA
TRACTIUNE ELECTRICA
TRACTIUNE ELECTRICA
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Concepţie<br />
Îndepărtarea<br />
straturilor de<br />
umplutură<br />
CICLUL COMPLET DE FABRICAŢIE A MEMS.<br />
CAD, Modelare<br />
şi simulare<br />
Transferul<br />
modelului<br />
Control Secţionare<br />
Tehnici de fotolitogravură<br />
Cicluri multiple<br />
Plachetă<br />
individuală<br />
MICROSISTEME ELECTROMECANICE<br />
Depunerea<br />
straturilor<br />
adiţionale<br />
Asamblare<br />
Generarea<br />
modelului (măştii)<br />
Substrat de siliciu<br />
Încapsulare<br />
şi testare<br />
2007-2008 CET - CURS 9 41