TRACTIUNE ELECTRICA
TRACTIUNE ELECTRICA
TRACTIUNE ELECTRICA
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
MICROSISTEME ELECTROMECANICE<br />
O a treia variantă apelează la realizarea microelementelor mecanice<br />
înaintea microelectronicii. În SUA a fost dezvoltată tehnologia iMEMS<br />
(Integrated Microelectromechanical Systems), patentată de Sandia National<br />
Laboratories, care presupune fabricarea MEMS utilizând una din metodele<br />
prezentate anterior, urmând ca elementele de microelectronică să fie<br />
procesate pe aceeaşi plachetă de siliciu.<br />
2007-2008 CET - CURS 9 40