TRACTIUNE ELECTRICA

More documents

Recommendations

Info

Tehnologiile utilizate în realizarea MEMS: MICROSISTEME ELECTROMECANICE Fotolitogravura este o tehnică fotografică utilizată la transferul modelului pe suprafaţa unui subtrat-suport, de obicei siliciu. Acesta se acoperă cu o peliculă subţire din dioxid de siliciu. Utilizând un procedeu asemănător developării filmelor foto se pot obţine succesiv diferite straturi care duc în final la structura 3D a MEMS Dacă în cazul circuitelor integrate stratul de dioxid de siliciu serveste ca suport în procesul de dopare cu impurităţi (în scopul modificării conductibilităţii locale), în MEMS acesta constituie stratul asupra căruia se intervine prin prelucrări sau prin depuneri de alte substraturi în vederea obţinerii structurii finale a MEMS. Microprelucrarea implică îndepărtarea unor părţi din substratul suport utilizând agenţi de lucru pentru obţinerea unor găuri, caneluri sau canale. Prelucrarea se poate face în mediu umed (pentru substrat suport de siliciu sau cuarţ) sau uscat (pentru substrat de siliciu, metal, plastic sau material ceramic). 2007-2008 CET - CURS 9 36
MICROSISTEME ELECTROMECANICE Metode de prelucrare a microsistemelor electromecanice SM (surface micromachining) implică acţiunea la suprafaţa substratului-suport, utilizându-l ca fundaţie. Substrat suport Depunerea unui strat de polimer Depunerea unui strat de oxid Etapele de realizare a unei microgrinzi. Forma finala 2007-2008 CET - CURS 9 37
Page 1 and 2: VEHICULE ELECTRICE TRACTIUNE: exerc
Page 3 and 4: Vehicule electrice Autonome (poseda
Page 5 and 6: instalatii fixe: VEHICULE ELECTRICE
Page 7 and 8: instalatii mobile, reprezentate de
Page 9 and 10: Propulsia: Cu motoare electrice rot
Page 11 and 12: suspensie elastica roata motoare pu
Page 13 and 14: VEHICULE ELECTRICE Acţionarea vehi
Page 15 and 16: (0.4...3)kV c.c. RPF VTC = M M = VE
Page 17 and 18: M 3~ ≤ 25kV c.a., 50(16 2/3, 25,
Page 19 and 20: F t F f F f (v) F t (v) 2007-2008 C
Page 21 and 22: Acronim: MEMS - in SUA MST (Microsy
Page 23 and 24: Cap de citire driver Senzori de pre
Page 25 and 26: SISTEM DE DESCHIDERE A AIRBAG-ULUI
Page 27 and 28: Observatii: In ultimii 10 ani s-au
Page 29 and 30: Senzor de masurare a tensiunii arte
Page 31 and 32: Principiu de functionare Incalzire
Page 33 and 34: BIOMICROSISTEME ELECTROMECANICE Exe
Page 35: MICROSISTEME ELECTROMECANICE Propri
Page 39 and 40: Asamblare şi integrare de sistem M
Page 41: Concepţie Îndepărtarea straturil

TRACTIUNE ELECTRICA

Create successful ePaper yourself

Delete template?

Save as template?