CBN Kaplama Teknolojisi ve Uygulamaları, Prof.Dr. Bilgin
CBN Kaplama Teknolojisi ve Uygulamaları, Prof.Dr. Bilgin
CBN Kaplama Teknolojisi ve Uygulamaları, Prof.Dr. Bilgin
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
ATILIM<br />
ÜNİVERSİTESİ<br />
Yöntem<br />
<strong>CBN</strong> kaplamaların elde edilmesi için ( BOREN - TÜBİTAK<br />
105 M 370) projesinde kullanılan BOR-N fiziksel<br />
buharlaştırma yöntemiyle büyütme düzeneği kullanılmıştır.<br />
Bu sistem yüksek vakum ortamında çalışan, çift<br />
magnetronlu, reaktif saçtırma yapabilen kaplama<br />
düzeneğidir. <strong>Kaplama</strong> sırasında taban malzemelere rf-voltajı<br />
uygulanabildiği gibi, taban malzemelerinin yüzey<br />
modifikasyonu için, yüzeyler mikrodalga plazmaya da maruz<br />
bırakılabilirler. Taban malzemeler istenen sıcaklığa<br />
ısıtılabilirler <strong>ve</strong> istenirse parçaların üzerine monte<br />
edilebileceği döner tabla yardımıyla taban malzemeler<br />
döndürülebilir.<br />
Kaplanan malzemelerin nitelendirilmesi için birçok farklı<br />
teknik <strong>ve</strong> analiz yöntemi kullanılmaktadır.<br />
10
Change language