15.01.2013 Views

CBN Kaplama Teknolojisi ve Uygulamaları, Prof.Dr. Bilgin

CBN Kaplama Teknolojisi ve Uygulamaları, Prof.Dr. Bilgin

CBN Kaplama Teknolojisi ve Uygulamaları, Prof.Dr. Bilgin

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

ATILIM<br />

ÜNİVERSİTESİ<br />

<strong>CBN</strong> <strong>Kaplama</strong> Sistemi<br />

BOR-N PVD Sistemi<br />

Alt Birimler:<br />

� Vakum Odacığı<br />

� Kontrol Paneli<br />

� Gazlar<br />

� Bilgisayar<br />

* Bu Sistem BOREN <strong>ve</strong><br />

TUBITAK Desteği ile<br />

Türkiye’de tasarlanmış <strong>ve</strong><br />

İmal edilmiştir<br />

15

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!