FIN2a, PVD,CVD-rozdily, vyhody.pdf - FBMI
FIN2a, PVD,CVD-rozdily, vyhody.pdf - FBMI
FIN2a, PVD,CVD-rozdily, vyhody.pdf - FBMI
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
4. Depoziční zařízení<br />
– pro výzkum a vývoj<br />
– prototypy<br />
– tovární výroba<br />
Vysvětlení zkratek pro následující tabulky :<br />
IBAD - Atomic Layer Epitaxy (atomová epitaxe)<br />
ICBD – Ion Beam Cluster Deposition (depozice iontovými klustry)<br />
PE<strong>CVD</strong> – Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (plazmochemická depozice)<br />
AMBE – Accelerated Molecular Beam Epitaxy (molekulární epitaxe)<br />
IVD – Ionized Vapor Deposition (depozice v ionizovaných parách)<br />
S – Sputtering (naprašování)<br />
PLD – Pulsed Laser Deposition (pulzní laserová depozice)<br />
IBD – Ion Beam Deposition (depozice iontovým svazkem)<br />
ALE – Atomic Layer Epitaxy (atomová epitaxe)<br />
<strong>CVD</strong> – Chemical Vapor Deposition (chemická depozice z plynné fáze)<br />
LA <strong>CVD</strong>- Laser Assisted Chemical Vapor Deposition (laserem asistovaná <strong>CVD</strong>)<br />
MO <strong>CVD</strong> – Metal Organic Chemivcal Vapor Deposition (metaloorganická <strong>CVD</strong>)<br />
MBE – Molecular Beam Epitaxy (molekulární epitaxe)<br />
TE – Thermal Evaporation (napařování)
Change language