i âθâ
i âθâ
i âθâ
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Przestrzenna zdolność<br />
rozdzielcza EBSD<br />
Zależy:<br />
• od rodzaju<br />
materiału<br />
• od źródła<br />
elektronów<br />
(FEG z<br />
termoemisją!)<br />
Zależność zdolności rozdzielczej od<br />
napięcia przyspieszającego dla Al, Cu i Ag<br />
=20 µm; Map2; Step=0.2 µm; Grid330x116<br />
Cu, ECAP step size 200 nm FEI FEGSEM