You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Senzory polohy,<br />
rychlosti a vibrací<br />
Evropský sociální fond.<br />
Praha & EU: Investujeme do vaší budoucnosti.<br />
P. Ripka, 2010<br />
1
Senzory polohy<br />
lineární / rotační<br />
• Dvoustavové<br />
• S kodovým výstupem : inkrementální / absolutní, optické /magnetické<br />
• Lineární<br />
– odporové<br />
– indukčnostní<br />
– kapacitní<br />
– optické<br />
– ultrazvukové<br />
2
Dvoustavové senzory polohy<br />
kontaktní:<br />
(switch)<br />
mikrospínač<br />
taktilní (vodivá guma)<br />
bezkontaktní:<br />
(proximity detector)<br />
magnetické<br />
optické<br />
elektromagnetické<br />
kapacitní ...<br />
3
Dvoustavové senzory polohy<br />
(proximity switch)<br />
dvoustavový princip:<br />
mikrospínač<br />
jazýčkový kontakt<br />
Wiegandův senzor<br />
lineární senzor polohy +<br />
komparátor:<br />
Hallův senzor<br />
magnetorezistor<br />
optická závora<br />
kapacitní<br />
...<br />
4
Jazýčkové kontakty (reed contacts)<br />
magneticky měkké kontakty<br />
ovládány polem permanentního magnetu<br />
normálně rozepnutý<br />
(i normálně sepnutý a bistabilní typ)<br />
hystereze malá je žádoucí<br />
vícenásobné zony sepnutí<br />
aplikace: otáčky (bicykl), poloha (dveře)<br />
1' 2' 6<br />
Φ 0 F 0 F 0 F<br />
3' 3 4<br />
1' 1 2' 2<br />
5 6 x<br />
a)<br />
x<br />
1 2 3<br />
b)<br />
4 5<br />
x<br />
F k<br />
I<br />
1' 1 2' 2 3<br />
4 5 6 x<br />
c)<br />
d)<br />
5
Hallův „spínač“<br />
(Hall switch)<br />
• nejrozšířenější senzor polohy<br />
• často CMOS<br />
• min. 3 vývody<br />
• různé spínací charakteristiky<br />
– vymezená frekv. oblast (dynamický typ = st)<br />
– polarita a hystereze<br />
• i diferenciální provedení<br />
• i ve smart provedení<br />
Feromagnetické magnetorezistory:<br />
AMR: Anisotropní magnetoresistance<br />
GMR: Gigantická magnetoseristance<br />
6
Hallův „spínač“<br />
Honeywell<br />
7
Inteligentní Hallův senzor<br />
V D D<br />
napájecí<br />
obvody<br />
teplotní<br />
komp.<br />
oscilátor<br />
ochranné<br />
obvody<br />
spínaná<br />
Hallova<br />
sonda<br />
A/D<br />
DSP<br />
D/A<br />
100 Ω<br />
OUT<br />
detekce<br />
úrovně<br />
napájení<br />
EPROM<br />
zámek<br />
číslicový<br />
výstup<br />
GND<br />
Micronas HAL 800:<br />
3 vývody<br />
analogový digitální mod<br />
8
Magnetorezistory<br />
• feromagnetické:<br />
– AMR (anizotropní magnetorezistance)<br />
• cilivější než Hallův senzor<br />
• citlivé v rovině chipu<br />
• výr. Philips, Honeywell, ...<br />
– příp. GMR<br />
• polovodičové: kvadratická charakteristika, vyšší B<br />
výr. Murata<br />
9
Indukční cívka (indukční senzor)<br />
• ovládána permanentním magnetem<br />
• založena na Faradayově jevu<br />
• aktivní senzor<br />
• tvar impulsu záleží na rychlosti změny B <br />
N<br />
S<br />
N<br />
S<br />
Wiegandův senzor<br />
• ovládán permanentním magnetem<br />
• založen na asymetrickém Barkhausenově skoku<br />
• je zdrojem energie (aktivní senzor)<br />
• tvar impulsu nezáleží na rychlosti změny B<br />
10
S<br />
1<br />
Wiegandův senzor<br />
B[mT]<br />
J U<br />
a)<br />
2<br />
200<br />
3<br />
100<br />
t 2<br />
t 1<br />
0<br />
1<br />
0<br />
-100<br />
-50 0 50 100<br />
2<br />
b)<br />
H [A/cm]<br />
U[V]<br />
3<br />
2<br />
1<br />
0<br />
c) t 1<br />
t 2 11t<br />
Siemens
Indukčnostní senzory polohy<br />
Z(jω)<br />
=<br />
R<br />
+<br />
jω<br />
N<br />
Z<br />
2<br />
m<br />
=<br />
R<br />
+<br />
jω<br />
R<br />
m<br />
N<br />
+<br />
2<br />
jX<br />
m<br />
Z m ... magnetická reluktance (L = N 2 /Z m )<br />
R m ... magnetický odpor R m = l/µS<br />
X m ... ztráty vířivými proudy a hysterezí<br />
Z(jω)<br />
= R +<br />
N<br />
Z<br />
2<br />
m<br />
ωX<br />
(jω)<br />
m<br />
2<br />
+ j<br />
N<br />
Z<br />
2<br />
m<br />
ωR<br />
(jω)<br />
m<br />
2<br />
Pro malé f: R m >>X m<br />
… vířivé proudy ovlivňují Re(Z),velké f: … Im(Z)<br />
• tlumivkové / transformátorové<br />
• s otevřeným / uzavřeným magnetickým obvodem<br />
• jednoduché / diferenciální<br />
12
Senzory s vířivými proudy<br />
2ρ<br />
δ = ωµ<br />
... zeslabení na 1/e<br />
= 0.37<br />
i~<br />
δ<br />
Magnetické<br />
pole Cívka Hrníčkové magnetické jádro<br />
a)<br />
Oscilátor Demodulátor Komparátor Zesilovač<br />
Stínění<br />
13
Senzory s vířivými proudy: konstrukce<br />
fokusace pole: feritové jádro, ev. stínicí kryt<br />
14
Senzory s vířivými proudy: aplikace<br />
• lineární senzory polohy<br />
• dvoustavové senzory polohy (proximity switch)<br />
• detekce vozidel (a vodivých objektů - miny, potrubí, kabel)<br />
• diagnostika<br />
• trhliny<br />
u m<br />
• složení materiálu<br />
u 1<br />
u 2<br />
Φ<br />
i s<br />
u s<br />
bezkontaktní<br />
i w<br />
odolné špíně<br />
terčík nemusí být feromagnetický, jen vodivý<br />
vyhodnocovací obvody:<br />
LC oscilátor<br />
málo závisí na jeho parametrech (pokud d >δ )<br />
nebo cize buzený LC rezonanční obvod<br />
15
Indukčnostní senzory s proměnnou vzduchovou mezerou<br />
R<br />
m<br />
= ∑<br />
i<br />
m<br />
m m<br />
R m ... magnetický odpor R m = l/µS<br />
li<br />
lFe<br />
2d<br />
2d<br />
= + →<br />
S<br />
iSi<br />
µ<br />
0µ<br />
r<br />
SFe<br />
µ<br />
0Sd<br />
µ<br />
0Sd<br />
I(j ω)<br />
2 2<br />
= N<br />
= N<br />
µ<br />
L<br />
0<br />
R<br />
m<br />
Z(<br />
ω j )<br />
2 d<br />
µ<br />
S<br />
d<br />
= R +<br />
ω j<br />
2<br />
N<br />
Z<br />
= R +<br />
2<br />
N<br />
ω j<br />
R + jX<br />
N<br />
x<br />
a<br />
16
Diferenční indukčnostní senzor<br />
x<br />
Z 1(j ω)<br />
Z 2(j ω)<br />
U<br />
v(j ω)<br />
x<br />
U<br />
z(j ω)<br />
R<br />
U<br />
v(j ω)<br />
R<br />
linearizace hyperbolické charakteristiky<br />
17
LVDT = Linear Variable Differencial Transformer<br />
+∆l<br />
±∆l<br />
S 1<br />
L 1<br />
M 1<br />
-∆l<br />
L 2´<br />
U 2<br />
´ (jω)<br />
U V0<br />
(jω)<br />
P<br />
U z<br />
(jω)<br />
U´´<br />
2<br />
(jω)<br />
S 2<br />
I 1<br />
(jω)<br />
M 2<br />
L 2´´<br />
M ,M 1 2<br />
M 1<br />
U V0<br />
a)<br />
b)<br />
M 2<br />
Synchronní detektor:<br />
potlačí kapacitní rušivý průnik a<br />
rušení<br />
rozliší směr posuvu<br />
−M 2<br />
18
Poměrový obvod pro LVDT (AD 698)<br />
AD698<br />
BUZENÍ<br />
REFERENCE<br />
OSCILÁTOR<br />
V B<br />
SD1<br />
+<br />
A<br />
B<br />
FILTR<br />
V OUT<br />
V A<br />
SD2<br />
-<br />
LVDT<br />
19
Induktosyn<br />
výstup<br />
p<br />
x<br />
napájení do 1 jezdce<br />
měřítko<br />
jezdec<br />
x<br />
x<br />
U<br />
2<br />
= KU cos(2π<br />
) = KU cosϕ<br />
p<br />
vzáj.indukčnost M ~cosϕ<br />
U = cosωt<br />
⇒ u2 ( t)<br />
= KU cosϕcosωt<br />
napájení do 2 jezdců<br />
( t)<br />
= u ( t)<br />
+ u ( t)<br />
= KU (cosϕ<br />
cosωt<br />
+ sinϕ<br />
sinωt)<br />
= KU cos( ωt<br />
−<br />
u<br />
2 21 22<br />
ϕ<br />
hrubá stupnice: inkrementální, jemná: měření fáze<br />
20<br />
)
Resolver<br />
Selsyn<br />
stator<br />
stator<br />
α<br />
α<br />
rotor<br />
a) b)<br />
rotor<br />
R/D converter : AD2S1200<br />
21
R/D converter : AD2S1200 22
Magnetostrikční senzory polohy<br />
elastická vlna .... v = 3000 m/s = 3µm / ns<br />
(původně zpožďovací linka)<br />
senzor<br />
torze<br />
S<br />
J<br />
posuv<br />
tlumení<br />
puls<br />
i(t)<br />
u(t)<br />
magnet<br />
trubka<br />
z magnetostrikčního<br />
materiálu<br />
max. délka až 4 m (útlum)<br />
hystereze 0.4 µm<br />
linearita 0.02 %<br />
Animace:<br />
23<br />
http://www.rdpe.com/ex/hiw-magneto.htm
Kapacitní<br />
senzory<br />
C =<br />
εS<br />
d
Kapacitní<br />
senzory<br />
C =<br />
εS<br />
d
Kapacitní senzor s proměnnou vzduchovou mezerou<br />
C =<br />
εS<br />
,<br />
d<br />
⎛ 1<br />
∆C<br />
= εS⎜<br />
−<br />
⎝ d + ∆d<br />
1 ⎞<br />
⎟<br />
d ⎠<br />
⎛ 1<br />
= Cd⎜<br />
−<br />
⎝ d + ∆d<br />
1 ⎞<br />
⎟<br />
d ⎠<br />
= C<br />
∆d<br />
−<br />
d<br />
∆d<br />
1+<br />
d<br />
∆C<br />
=<br />
C<br />
x =<br />
∆d<br />
−<br />
d<br />
∆d<br />
1+<br />
d<br />
∆d<br />
d<br />
y =<br />
f ( x)<br />
=<br />
⎡δf<br />
⎤<br />
f ( x0<br />
) + x⎢<br />
⎣δx⎥<br />
⎦<br />
Taylorova řada<br />
x<br />
f ( x)<br />
= − 1 + x<br />
x<br />
δf<br />
f (0) = 0, =<br />
δx<br />
0<br />
+<br />
1<br />
2!<br />
1<br />
2<br />
x<br />
⎡<br />
⎢<br />
⎣<br />
δ<br />
,<br />
δ<br />
δ<br />
2<br />
2<br />
f ⎤<br />
⎥<br />
⎦<br />
2<br />
x<br />
f<br />
= −<br />
x<br />
0<br />
+<br />
1<br />
3!<br />
3<br />
x<br />
δ<br />
,<br />
⎡δ<br />
⎢<br />
⎣ δ<br />
3<br />
f ⎤<br />
⎥ ⎦<br />
3<br />
x<br />
2 2<br />
3<br />
( 1+<br />
x) δx<br />
( 1+<br />
x) δx<br />
3<br />
( 1+<br />
x) 4<br />
2<br />
3<br />
f<br />
=<br />
x<br />
0<br />
3⋅2<br />
....<br />
∆C<br />
= −<br />
C<br />
∆d<br />
+<br />
d<br />
2<br />
⎛ ∆d<br />
⎞<br />
⎜ ⎟<br />
⎝ d ⎠<br />
3<br />
⎛ ∆d<br />
⎞<br />
− ⎜ ⎟<br />
⎝ d ⎠<br />
+ ....
Diferenční Kapacitní senzor s proměnnou vzduchovou<br />
mezerou<br />
∆C<br />
∆d<br />
⎛ ∆d<br />
⎞<br />
= − + ⎜ ⎟<br />
C d ⎝ d ⎠<br />
2<br />
3<br />
⎛ ∆d<br />
⎞<br />
− ⎜ ⎟<br />
⎝ d ⎠<br />
+ ....<br />
-x +x<br />
d<br />
1<br />
= d + ∆d<br />
...<br />
∆C<br />
C<br />
1<br />
∆d<br />
⎛ ∆d<br />
⎞<br />
= − + ⎜ ⎟<br />
d ⎝ d ⎠<br />
2<br />
3<br />
⎛ ∆d<br />
⎞<br />
− ⎜ ⎟<br />
⎝ d ⎠<br />
+ ....<br />
d<br />
2<br />
= d − ∆d<br />
...<br />
∆C<br />
C<br />
1<br />
− ∆d<br />
= − +<br />
d<br />
⎛<br />
⎜<br />
⎝<br />
−<br />
∆d<br />
⎞<br />
⎟<br />
d ⎠<br />
2<br />
−<br />
⎛<br />
⎜<br />
⎝<br />
−<br />
3<br />
∆d<br />
⎞<br />
⎟<br />
d ⎠<br />
+ ....<br />
C 1 C 2<br />
C<br />
1<br />
= C + ∆C<br />
,<br />
1<br />
C<br />
2<br />
= C + ∆C<br />
2<br />
C<br />
1<br />
- C<br />
2<br />
= ∆C<br />
− ∆C<br />
1<br />
2<br />
C<br />
1<br />
- C<br />
C<br />
2<br />
=<br />
∆C<br />
C<br />
1<br />
−<br />
∆C<br />
C<br />
2<br />
∆d<br />
⎛ ∆d<br />
⎞<br />
= −2<br />
− 2⎜<br />
⎟<br />
d ⎝ d ⎠<br />
3<br />
− ....
Poměrová metoda<br />
C<br />
1<br />
=<br />
C<br />
0<br />
x<br />
0<br />
x<br />
0<br />
− ∆x<br />
C<br />
=<br />
C<br />
x<br />
0<br />
2 0<br />
-x +x<br />
x0<br />
+ ∆x<br />
C<br />
C<br />
0<br />
0<br />
0<br />
1<br />
− C<br />
⎜ x<br />
2<br />
0<br />
x x0<br />
x ⎟<br />
⎝ − ∆ + ∆<br />
=<br />
⎠<br />
...<br />
1<br />
+ C<br />
2<br />
C<br />
C<br />
0<br />
⎛<br />
⎜<br />
⎛<br />
⎜<br />
⎝<br />
x<br />
0<br />
x<br />
−<br />
x0<br />
+<br />
− ∆x<br />
x<br />
0<br />
x<br />
⎞<br />
⎟<br />
x ⎞<br />
0<br />
x<br />
⎟<br />
+ ∆ ⎠<br />
=<br />
=<br />
∆x<br />
x<br />
0<br />
C 1 C 2<br />
úplně odstraňuje nelinearitu a závislost na dalších parametrech (S, ε).
Kapacitní senzor s proměnnou plochou překrytí<br />
C =<br />
εS<br />
d<br />
1<br />
3<br />
x<br />
2<br />
a)<br />
C<br />
C<br />
23<br />
23<br />
-C<br />
+ C<br />
13<br />
13<br />
nebo<br />
C 13<br />
C 23<br />
−x<br />
C<br />
23<br />
b)<br />
C13<br />
+ C<br />
13<br />
C<br />
+x<br />
+ C<br />
13 23<br />
nezávisí na d, ε
Kapacitní senzor s proměnnou plochou překrytí<br />
1 2<br />
u<br />
1<br />
; u2<br />
P<br />
1<br />
2 u 1<br />
U 1<br />
1<br />
x<br />
U 3<br />
3<br />
1<br />
x<br />
1<br />
u<br />
C v<br />
13<br />
1 2<br />
3<br />
U<br />
u<br />
2<br />
x<br />
v<br />
3<br />
Reg.<br />
a)<br />
u 3<br />
d)<br />
t<br />
e)<br />
U<br />
C 13<br />
C<br />
S<br />
1<br />
C13+<br />
C<br />
23<br />
23<br />
u<br />
2 u v<br />
2<br />
−x C 23<br />
+x<br />
U<br />
P U<br />
2<br />
2<br />
2<br />
x<br />
b)<br />
c)<br />
f)<br />
rozlišovací schopnost: 1 µm, chyba 5 µm
ezkontaktní<br />
Honeywell<br />
Omega
Kapacitní bezkontaktní senzory a snímače<br />
a) nevodivá<br />
b)<br />
clonka<br />
elektroda<br />
ε r<br />
s<br />
změna kapacity malá<br />
⎛ 1 ⎞<br />
Cv<br />
= f ⎜ ε r ⎟<br />
⎝<br />
, s ⎠<br />
c)<br />
ε r<br />
stínění<br />
vodivá clonka uzeměná<br />
elektroda<br />
γ<br />
γ<br />
vodivá<br />
clonka<br />
s<br />
⎛ 1 ⎞<br />
Cv<br />
= f ⎜ ⎟<br />
⎝ 2s<br />
⎠<br />
stínění<br />
elektroda<br />
s<br />
s<br />
clonka<br />
střední<br />
stínění<br />
velká<br />
C<br />
v<br />
⎛ 1 ⎞<br />
= f ⎜ ⎟<br />
⎝ s ⎠
Aktivní stínění<br />
pouzdro<br />
zašpinění,<br />
orosení<br />
snímací<br />
elektroda<br />
kompenzační<br />
elektroda<br />
výstup<br />
napěťový sledovač<br />
stínění<br />
typicky C = 10 pF,<br />
pro d = 10 mm .. Δ C = 50 pF = 1% C
obvody pro kapacitní senzory<br />
Hlavní problém -<br />
kapacity přívodů (napěťový zdroj, měření proudu)<br />
nábojová pumpa (charge pump)<br />
lze realizovat obvodem CMOS<br />
nejsou třeba transformátory<br />
převodník C/f (multivibrátor)<br />
odpadne ADC<br />
převodník C/U<br />
kapacitní ZV odstraní frekvenční závislost<br />
rozlišovací schopnost < 1 fF
u<br />
C<br />
C<br />
C<br />
εS<br />
1<br />
1<br />
( t) = − u ( t) = d(<br />
t)<br />
U sin t<br />
2 1<br />
−<br />
S<br />
m<br />
ω<br />
lineární i pro mezerový C s
Optoelektronické senzory polohy<br />
Založené na:<br />
• změna polohy světelné stopy<br />
• zastínění (optická závora)<br />
• odraz<br />
• zrcadlový<br />
• difuzní<br />
• interference<br />
• doba šíření
PSD<br />
(Position-Sensitive photo Detectors<br />
Polohově citlivé detektory)<br />
R<br />
− R<br />
L X<br />
I<br />
A<br />
= I0<br />
; I<br />
B<br />
= I0<br />
RL<br />
R<br />
R<br />
X<br />
L<br />
I<br />
B<br />
R<br />
X x I<br />
= =<br />
A L −<br />
=<br />
I<br />
0<br />
RL<br />
L I<br />
0<br />
L<br />
x<br />
I<br />
I<br />
− I<br />
+ I<br />
I<br />
− I<br />
I<br />
L − x<br />
−<br />
L<br />
x<br />
L<br />
A B A B<br />
= = = 1−<br />
2<br />
A<br />
B<br />
0<br />
x<br />
L
CCD a CMOS obrazové snímače<br />
amplifier<br />
transistor<br />
column<br />
bus<br />
transistor<br />
microlens<br />
photodiode<br />
red<br />
color<br />
filter<br />
reset<br />
transistor<br />
row<br />
select<br />
bus<br />
silicon<br />
substrate<br />
n +<br />
potential<br />
well<br />
CMOS: pixel tvořen fotodiodou a MOS tranzistorem,<br />
napěťový výstup. Výběr řádku-sloupce spínacími<br />
tranzistory. Umožňuje zpracování obrazu na stejném<br />
chipu.
CCD = Charge Coupled Devices<br />
Optoelektronické senzory s nábojově vázanou strukturou: pixel tvořen CMOS<br />
kondenzátorem, ve kterém se vztvoří náboj úměrný expozici. Pixely se postupně<br />
vyčítají pomocí analogového nábojového posuvného registru
Inkrementální senzor polohy<br />
λMin = 7 µm<br />
Interpolátory:<br />
až 50 nm
Inkrementální senzor<br />
polohy<br />
λ<br />
posuvné<br />
měřítko<br />
U<br />
optika<br />
u<br />
λMin = 7 µm<br />
rysky<br />
pevné<br />
clony<br />
D 1 D 2<br />
t<br />
A<br />
U A<br />
Interpolátory:<br />
B<br />
až 50 nm<br />
λ/4<br />
referenční<br />
značka<br />
D 1 D 2<br />
U B<br />
C<br />
U C<br />
D 1 D 2<br />
Kvadraturní<br />
??<br />
výstupy<br />
U A<br />
U B<br />
U D<br />
a)<br />
L<br />
Q<br />
A O<br />
B<br />
t<br />
G<br />
L<br />
I<br />
O<br />
B<br />
C<br />
K<br />
K<br />
t<br />
Ý<br />
princip<br />
čtyřnásobné<br />
D<br />
Q<br />
b) t<br />
interpolace<br />
c)<br />
Č<br />
Í<br />
T<br />
A<br />
Č
Kódový absolutní senzor polohy<br />
position<br />
α<br />
[00101]<br />
i magnetické provedení<br />
[00000]<br />
Grayův kód
Senzor clonicího typu (scanner)<br />
spojka<br />
laser<br />
rotující<br />
hranol<br />
Fotodetektor a<br />
předzesilovač<br />
cíl<br />
t<br />
budič<br />
motoru<br />
displej<br />
dvojitá<br />
derivace<br />
oscilátor<br />
systému<br />
čítač<br />
hradlo<br />
t
Odrazný senzor s amplitudovou modulací<br />
aperture<br />
Rec 2<br />
Em Rec 3<br />
Rec 1<br />
V<br />
=<br />
V<br />
V<br />
2<br />
2<br />
−V<br />
+ V<br />
1<br />
1<br />
Pro malé vzdálenosti
Triangulační senzory<br />
cíl<br />
+y -y<br />
y=0<br />
y<br />
o<br />
Θ<br />
laserová<br />
dioda<br />
-i<br />
A<br />
i<br />
i=0<br />
+i<br />
C<br />
detektor<br />
x i<br />
x 0<br />
x s<br />
Pro střední vzdálenosti<br />
Difusní odraz<br />
??<br />
Úhel Θ typicky<br />
nastaven na 30° −50°
Pro největší vzdálenosti<br />
Time of flight:<br />
1. Přímá metoda - světlo uletí 30 cm za 1 ns = rozlišení 1 cm na 1 km<br />
2. Metoda frekvenční modulace<br />
Používá se i pro ultrazvuk a radar
Interferometrické senzory polohy<br />
referenční zrcadlo<br />
polopropustná<br />
měřicí<br />
plocha<br />
zrcadlo<br />
u<br />
λ/2<br />
laser<br />
45°<br />
u<br />
∆x<br />
světlý<br />
pruh<br />
tmavý<br />
pruh<br />
∆x<br />
Michelsonův interfermetr
Odporové senzory polohy<br />
I<br />
R v<br />
R 1<br />
−<br />
+<br />
R z<br />
R 2<br />
U 2<br />
R<br />
R V<br />
R V<br />
R V<br />
A<br />
R v →∞<br />
R D<br />
U 2<br />
R D<br />
I<br />
a) b)<br />
Potenciometrické uspořádání potlačuje změny ρ
Odporové senzory polohy - úskalí<br />
• konečný vst. odpor elektroniky ⇒ nelinearita<br />
• ztrátový výkon P = U 2 /R ⇒ oteplení, odběr<br />
• kontakt (vliv nečistot a chem. produktů)<br />
• šum<br />
• drift (dlouhodobě 0.1 .. 1 %)<br />
• dynamické vlast. (odskakování, tření)<br />
• reprodukovatelnost (< 0.1 %)<br />
• linearita dráhy (1 % .. 20 ppm)<br />
• šum dráhy (pro velká R)<br />
• odolnost vůči vibracím<br />
• životnost (typ. 10 6 - +10 8 cyklů)
Lineární potenciometr<br />
LONG STROKE LINEAR POTENTIOMETERS<br />
SPECIFICATIONS<br />
Total Resistance: 5000 Ohms ± 20%<br />
Linearity: ±1% S<br />
Hysteresis: ±0.001" (0.025 mm)<br />
Repeatability: ±0.0005" (0.012 mm)<br />
Incremental Sensitivity: 0.00005"<br />
Power Rating: 0.75 watts/stroke inch<br />
Temp. Range: -65 to 105°C (-85 to 221°F)<br />
Operating Force: 450 grams (1 Lb) maximum<br />
Shaft: 0.236" (6 mm) diameter with 1¼4-28 threaded end adapter<br />
Life: 100 million operations up to 12" stroke-derated proportionally for longer units (standard rate of<br />
travel 2"/sec)<br />
Omega
Navijákový senzor polohy s<br />
viceotáčkovým potenciometrem
Senzory mechanického kmitavého pohybu (vibrací)<br />
- relativní = senzor polohy + vnější vztažný bod … často bezkontaktní<br />
- absolutní = uvnitř vztažný bod + relativní senzor polohy<br />
elektrodynamický senzor vibrací (geofon)<br />
piezoelektrické (~) a kapacitní (=) akcelerometry<br />
v<br />
a<br />
------<br />
Akcelerometry pro inerciální navigaci<br />
akcelerometry s elektromechanickou zpětnou vazbou<br />
(servoakcelerometry)
Absolutní senzory kmitavého pohybu<br />
k<br />
Měřený<br />
objekt<br />
seismická<br />
hmotnost<br />
m<br />
M<br />
b<br />
x(t)<br />
m - hmotnost<br />
k - tuhost pružiny<br />
b – tlumení (viskozní)<br />
y(t)<br />
z(t)<br />
Pevný bod<br />
(event.<br />
myšlený)<br />
A<br />
Pohybová rce soustavy:<br />
Setrvačná<br />
síla<br />
2<br />
d z dx<br />
m + b + kx =<br />
2<br />
dt dt<br />
z(t) = x(t) + y(t)<br />
2<br />
d x dx<br />
m + b + kx =<br />
2<br />
dt dt<br />
přepoklad:<br />
řešení<br />
y(t)<br />
x(t)<br />
=<br />
=<br />
Tlumicí síla<br />
Y(jω)e<br />
X(jω)e<br />
jωt<br />
j( ωt−ϕ)<br />
0<br />
2<br />
d y<br />
−m<br />
2<br />
dt<br />
Direktivní<br />
síla
Amplitudová charakteristika:<br />
Zanedbáme-li tlumení, rovnice se zjednoduší na<br />
d 2<br />
= −<br />
0<br />
2<br />
y<br />
2<br />
dt<br />
2<br />
d x<br />
2<br />
dt<br />
− ω x<br />
y( t)<br />
= y0<br />
sinωt<br />
x( t)<br />
= x0<br />
sinωt<br />
2<br />
− ω y<br />
0<br />
2<br />
2<br />
sin ωt<br />
= ω x0<br />
sin ωt<br />
− ω0<br />
x0<br />
sin ωt<br />
kde:<br />
x<br />
y<br />
0<br />
0<br />
=<br />
2<br />
ω<br />
2<br />
ω −ω<br />
2<br />
0<br />
B =<br />
b<br />
kr<br />
ω 0<br />
=<br />
b<br />
b kr<br />
= 2mω<br />
k<br />
m<br />
0<br />
- poměrné tlumení<br />
- kritické tlumení<br />
- rezonanční frekvence
ω〉〉 ω , B<br />
0<br />
<<br />
1<br />
x = ω y<br />
2 2<br />
0 0<br />
/ω0<br />
-amplituda x 0 přímo úměrná 2. derivaci y(t)<br />
- režim měření zrychlení<br />
- princip AKCELEROMETRU<br />
ω〈〈ω 0<br />
x(t) = - y(t) a z(t)=0 … m je v klidu (seismická hmotnost)<br />
- režim měření amplitudy
Elektrodynamický senzor vibrací<br />
4<br />
5<br />
3<br />
1<br />
2<br />
y<br />
y<br />
2<br />
d y<br />
2<br />
dt<br />
1 - snímací cívka<br />
2 – tlumicí vinutí<br />
3 – válcovitá část magnetic. obvodu<br />
4 – permanentní magnet<br />
5 - membrána<br />
- seismická hmotnost = hmotnost cívky 1 + hmotnost vinutí 2<br />
- viskózní tlumení – tvořeno inkukovanými proudy ve vinutí 2<br />
- indukované napětí u = Blv<br />
je úměrné rychlosti pohybu cívky<br />
- univerzálnost<br />
GEOFONY<br />
- užití: vibrace strojů, stavebních konstrukcí, střežení chráněných prostor<br />
- levné f r = 1 .. 100 Hz, m = 20g .. 5 kg
Absolutní senzory zrychlení - Akcelerometry<br />
- měření zrychlení kmit. pohybu v širokém rozmezí kmitočtů => velká vlastní<br />
rezonanční frekvence<br />
- nejvhodnější - piezoelektrické snímání polohy seismic. hmotnosti vůči pouzdru<br />
senzoru … velké k, malé m ……………. Ale nefunguje =<br />
- amplitudová frekvenční charakteristika:<br />
A[dB]<br />
30<br />
ω 0<br />
=<br />
k<br />
m<br />
20<br />
10<br />
a<br />
pracovní oblast<br />
Frekvenční charakteristika<br />
piezoelektrického<br />
akcelerometru:<br />
a) ideální, b) skutečná<br />
0<br />
−10<br />
b<br />
0,001 0,01 0,1 1<br />
ω<br />
ω n
Piezoelektrický akcelerometr (~)<br />
Smyková deformace<br />
-zmenšení citlivosti na rušivé vlivy (deformace základny pouzdra, teplotní<br />
dilatace, akustické efekty)<br />
• delta shear akcelerometr se smykovým namáháním:<br />
2<br />
3<br />
4<br />
2<br />
1 - základna<br />
2 - segmenty<br />
3 - trn<br />
4 – piezokeramické destičky<br />
1<br />
- seismická hmotnost = prstenec + segmenty<br />
- k – tuhost – piezokeramické elementy<br />
fa. Bruel -Kjaer<br />
Max. 20 000 g
Mikromechanický akcelerometr<br />
- Realizován technologií MEMS<br />
2 5 3<br />
1<br />
m<br />
4<br />
a<br />
U A<br />
U B<br />
U C<br />
R<br />
U B<br />
NS<br />
NO<br />
SD<br />
Z<br />
- základ – destička z polykrystalického křemíku<br />
0V<br />
U A<br />
U C<br />
0V<br />
REF<br />
G<br />
1MHz<br />
- 2 pružné tětivy 2 zakotvené na monokrystalickém křemíkovém substrátu 1<br />
-zuby hřebínku = střední pohyblivá elektroda<br />
ADXL 02, ADXL 50 .. Elektrostaticky kompenzované<br />
ADXL 202 .. Dvouosý nekompenzovaný<br />
C DP
Senzory rychlosti pohybu<br />
- Derivace výstupního signálu senzoru polohy<br />
- Přímé měření:<br />
• přímé měření rychlosti posuvného pohybu<br />
• senzory úhlové rychlosti<br />
• korelační princip měření<br />
• relativní senzory zrychlení úhlového pohybu
Přímé měření rychlosti posuvného pohybu<br />
- typy<br />
1. elektrodynamické<br />
1<br />
ds<br />
dt<br />
2<br />
- s pohyblivou cívkou<br />
- pracují na principu indukčního<br />
zákona:<br />
S<br />
u = Blv<br />
J<br />
3<br />
2. elektromagnetické<br />
u(t)<br />
- s pohyblivým magnetem<br />
nebo částí mag. obvodu<br />
- pracují na principu<br />
Faradayova zákonu:<br />
dΦ<br />
u = −N<br />
dt<br />
snímací cívka<br />
permanentní<br />
magnet<br />
feromagnetické<br />
těleso<br />
S<br />
J<br />
x(t)
Senzory úhlové rychlosti<br />
- tachometry = stejnosměrné točivé stroje<br />
S<br />
2<br />
U<br />
ω c<br />
1<br />
J<br />
1<br />
2r<br />
ω c<br />
h<br />
U<br />
(2NhrΦ)<br />
ω<br />
- tachometry s více pólovými dvojicem<br />
tachodynama - umožňují indikaci směru otáčení<br />
-náhlé změny rychlosti = přídavné chyby způsobené indukčností cívky<br />
-nutný komutátor<br />
• tachoalternátory s rotujícími permanentními magnety:<br />
- vinutý stator<br />
- rotor s několika pólovými dvojicemi z permanentních magnetů<br />
- bez kartáčů<br />
=<br />
c<br />
N .. počet závitů
• Impulsní senzory rychlosti:<br />
- vycházejí z definičních vztahů:<br />
v =<br />
ds<br />
dt<br />
ω =<br />
dϕ<br />
dt<br />
- jedná se o způsob detekce polohy značky:<br />
a), c) indukční senzor<br />
b) Wiegandův senzor<br />
d) Dvoustavové senzory<br />
polohy<br />
e) senzor na principu<br />
vířivých proudů<br />
f) optoelektronický senzor
Korelační princip měření rychlosti<br />
- vychází ze vztahu:<br />
v<br />
=<br />
∆x<br />
∆t<br />
∆x<br />
- vzdálenost 2 senzorů snímajících difúzní obraz světelného záření od náhodně<br />
rozložených nerovností na povrchu zkoumaného objektu<br />
- vzorky signálu: 1. senzoru<br />
2. senzoru<br />
s<br />
s<br />
1<br />
2<br />
(nT<br />
(nT<br />
V<br />
V<br />
)<br />
)<br />
- hledáme v záznamu s (nT ) opožděnou repliku 1. senzoru tj.<br />
- úloha se řeší hledáním zpoždění τ<br />
s (nT )<br />
2 V<br />
1<br />
=<br />
V<br />
− τ<br />
D<br />
N<br />
2<br />
= ∑ n =<br />
[s<br />
1 2<br />
(nTV<br />
) −s<br />
1(nTV<br />
− τ)]<br />
- střední kvadratická hodnota rozdílu<br />
- N – počet vzorků
D<br />
=<br />
∑<br />
N<br />
n=<br />
1<br />
s<br />
N<br />
2<br />
N<br />
2<br />
2<br />
(nTV<br />
) − 2∑<br />
s<br />
− τ +<br />
=<br />
∑ 1 V<br />
− τ<br />
n 1 2(nTV<br />
)s1(nTV<br />
) s (nT )<br />
n=<br />
1<br />
- první a poslední člen odpovídají energii (proto jsou >0)<br />
D – minimální, když 2. člen (číslicová verze korelace) je maximální tj.<br />
N<br />
∑<br />
R12(<br />
τ)<br />
= s2(nTV<br />
)s1(nTV<br />
− τ)<br />
= max<br />
n=<br />
1<br />
- rychlost určíme podle vzorce:<br />
v =<br />
∆x<br />
τ<br />
max<br />
S 1 S 2<br />
∆x<br />
v<br />
R 12(τ)<br />
τ max<br />
τ
Senzor úhlové rychlosti na principu Coriolisovy síly<br />
F<br />
2m<br />
→<br />
× ω<br />
→<br />
v<br />
=<br />
r<br />
ω i<br />
v r<br />
V n<br />
R<br />
KD<br />
U v<br />
V d<br />
Z
-Dual Axis Angular Rate Sensor (Berkeley)<br />
kruhová konstrukce umožňuje simultánní 2-osé měření<br />
Min 1.2 /sec, 20Hz bandwidth<br />
-Butterfly-Gyro“ (SensoNor)<br />
2 bloky vibrující v protifázi (fork gyro)<br />
(menší offset a závislost na lin. vibracích)<br />
approximately 0.1 /sec at 50 Hz bandwidth
(YAZDI N., AYAZI F., NAJAFI K)<br />
(DELPHI INTELLEK)<br />
Gyroscopes with vibrating ring<br />
Scanning Electron Photomicrograph of thesensor
Optický vláknový gyroskop<br />
Ω<br />
Φ<br />
Φ<br />
Φ 1 11<br />
12<br />
R<br />
ΩR<br />
n<br />
c<br />
R<br />
u<br />
R<br />
t<br />
−<br />
=<br />
=<br />
+<br />
+<br />
2π 2π<br />
ΩR<br />
n<br />
c<br />
R<br />
u<br />
R<br />
t<br />
+<br />
=<br />
=<br />
−<br />
−<br />
2π 2π<br />
2<br />
2<br />
2<br />
2<br />
2<br />
2<br />
2<br />
2<br />
4<br />
4<br />
2<br />
2<br />
n<br />
c<br />
ΩR<br />
R<br />
Ω<br />
n<br />
c<br />
ΩR<br />
ΩR<br />
n<br />
c<br />
R<br />
ΩR<br />
n<br />
c<br />
R<br />
t<br />
π<br />
π<br />
π<br />
π<br />
≅<br />
−<br />
=<br />
+<br />
−<br />
−<br />
=<br />
∆<br />
Ω<br />
c<br />
n<br />
R<br />
t<br />
n<br />
c<br />
λ<br />
π<br />
λ<br />
π<br />
ϕ<br />
2<br />
2<br />
2 = 8<br />
∆<br />
=<br />
∆<br />
2<br />
1<br />
c<br />
v<br />
n<br />
c<br />
v<br />
n<br />
c<br />
u<br />
+<br />
+<br />
=<br />
+
Gyroskop s optickými vlákny<br />
Z zdroj<br />
D dělič svazku<br />
P polarizátor<br />
S kolimační optika<br />
F optický filtr<br />
FM fázový modulátor<br />
Sagnacův interferometr