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4 聯 電 與 環 境<br />
PFC 減 量 目 標<br />
配 合 對 TSIA 之 承 諾 , 第 一 階 段 之 減 量 計 劃 目 標<br />
本 公 司 自 願 性 之 第 二 階 段 減 量 計 劃 目 標<br />
1998* 2010 2012<br />
台 灣 地 區 各 廠 年 度 PFC 總 排 放 量<br />
以 2009 年 為 基 準 , 全 公 司 各 廠<br />
平 均 單 位 晶 圓 面 積 PFCs 排 放 量 降<br />
33%。<br />
規 劃 中<br />
主 要 推 動 之 減 量 計 劃 及 措 施 如 下 :<br />
• 執 行 半 導 體 薄 膜 製 程 中 氣 體 取 代 計 劃 藉 由 源 頭 改<br />
PFC 減 量 成 效 示 意 圖<br />
善 以 降 低 整 體 溫 室 氣 體 排 放 量 。<br />
• 進 行 PFCs 氣 體 使 用 機 台 之 使 用 率 及 其 防 治 設 備<br />
之 削 減 率 量 測 , 以 掌 握 機 台 設 備 之 效 能 並 針 對 效 能<br />
不 佳 者 進 行 改 善 提 昇 。<br />
• 執 行 PFCs 氣 體 機 台 之 使 用 量 調 查 評 估 , 以 了 解<br />
各 機 台 之 溫 室 氣 體 排 放 量 。<br />
• 針 對 新 型 之 P F C s 氣 體 處 理 防 治 設 備 進 行 選<br />
用 評 估 , 投 資 增 設 高 效 能 之 PFCs 氣 體 處 理 防 治<br />
PFC 排 放 減 量 (ton CO 2 e)<br />
防 治 設 備 減 量<br />
效 益<br />
0<br />
500,000<br />
1,000,000<br />
C3->C2 氣 體 取<br />
代 減 量 效 益<br />
C4->C3 氣 體 取<br />
代 減 量 效 益<br />
2005 2006 2007 2008 2009<br />
設 施 , 期 能 逐 年 改 善 降 低 PFCs 氣 體 之 排 放 量 。<br />
PFC 減 量 措 施 示 意 圖<br />
註 : 排 放 量 計 算 係 採 用 IPCC 2006 年 半 導 體 產 業 之 Tier2b 計 算 公 式<br />
及 計 算 參 數 與 第 4 次 評 估 報 告 (FAR) 之 GWP 值<br />
排 放 量 較<br />
高 之 PFC<br />
氣 體<br />
製 程 機 台<br />
Chamber<br />
PFC<br />
處 理 設 備<br />
排 放 量 較<br />
低 之 PFC<br />
氣 體<br />
氣 體 取 代 計 劃<br />
用 量 調 查 評 估<br />
與 製 程 最 佳 化<br />
處 理 防 治 設 備<br />
評 估 與 設 置<br />
聯 電 推 行 成 效<br />
2009 年 統 計 本 公 司 於 製 程 氣 體 替 代 之 溫 室 氣 體 減 量<br />
成 效 估 算 約 可 降 低 33% 排 放 量 。 於 防 治 設 備 對 溫 室<br />
氣 體 減 量 成 效 , 約 可 降 低 31% 排 放 量 ,2009 年 全<br />
年 之 PFC 減 量 達 64% , 約 87 萬 公 噸 CO 2 e。<br />
2009 企 業 社 會 責 任 年 報 - 40
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