InGrid und GEMGrid: Pixelauslese mit integrierter Gasverstärkung
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Integrierte Pixeldetektoren auf Waferbasis<br />
Schema Bodenlage Gitter<br />
Herstellung am IZM<br />
Herstellung von <strong>InGrid</strong>s <strong>und</strong> <strong>GEMGrid</strong>s auf Waferbasis<br />
Unterschiede in der Herstellung:<br />
BCB anstelle von SU-8<br />
Si-Nitrid anstelle von aSi:H<br />
Dicing nach der Herstellung<br />
Erste <strong>GEMGrid</strong>s hergestellt<br />
<strong>InGrid</strong>s folgen in Kürze<br />
T. Krautscheid Integrierte <strong>Pixelauslese</strong> 5
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