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Kleinstes Zeiss Mikroskop kommt von Nanoscribe

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<strong>Kleinstes</strong> <strong>Zeiss</strong> <strong>Mikroskop</strong> <strong>kommt</strong> <strong>von</strong> <strong>Nanoscribe</strong><br />

Axio Observer im Mikroformat<br />

Das kleinste <strong>Zeiss</strong> <strong>Mikroskop</strong> der Welt mit einer Gesamthöhe<br />

<strong>von</strong> gerade mal 150 μm hat <strong>Nanoscribe</strong> mit seinem 3D<br />

Laserlithografiegerät Photonic Professional hergestellt. Mit<br />

bloßem Auge ist dieser freistehende Axio Observer kaum zu<br />

sehen. Nur durch das Rasterelektronenmikroskop <strong>Zeiss</strong><br />

Ultra Plus ist das Miniaturmikroskop in seiner ganzen<br />

hochaufgelösten Qualität zu erkennen. Der dargestellte Axio<br />

Observer ist eine Kernkomponente des <strong>von</strong> <strong>Nanoscribe</strong><br />

entwickelten und weltweit verkauften Photonic Professional.<br />

Chief Science Officer und Gründungsmitglied <strong>von</strong> <strong>Nanoscribe</strong>,<br />

Dr. Michael Thiel: „Das Mikro-<strong>Mikroskop</strong> soll auf anschauliche<br />

Weise die vielen Anwendungsmöglichkeiten unseres 3D<br />

Laserlithografiegerätes Photonic Professional zeigen und unsere<br />

Nähe zur Carl <strong>Zeiss</strong> AG demonstrieren. Die Carl <strong>Zeiss</strong> Venture<br />

Beteiligungsgesellschaft mbH ist seit der Gründung eng mit<br />

<strong>Nanoscribe</strong> verbunden und seit 2008 mit ca.40% an uns<br />

beteiligt.“<br />

Neben dem <strong>Zeiss</strong> Axio Observer entstanden auf diese Weise<br />

bereits so populäre Wahrzeichen wie das Brandenburger Tor,<br />

die Freiheitsstatue, das Empire State Building oder auch der<br />

Eiffelturm im Mikroformat. Die Anwendungen der 3D<br />

Laserlithografie auf einem solch kleinen Maßstab liegen<br />

PI 2012/13<br />

19.05.2012<br />

Pressestelle<br />

Anke Werner<br />

Fon (+49) 721 60 82 88 49<br />

Fax (+49) 721 60 82 88 48<br />

E-Mail werner@nanoscribe.de<br />

Foto 1: Das <strong>Zeiss</strong> <strong>Mikroskop</strong> Axio Observer im<br />

Mikroformat (Gesamthöhe ca. 0,15 mm) wurde mit<br />

dem 3D Laserlithografiegerät Photonic Professional<br />

<strong>von</strong> <strong>Nanoscribe</strong> hergestellt.<br />

z.B. im Bereich der Mikrooptik oder integrierten Photonik. Weiterhin erschließt die Technik in der<br />

Zellbiologie, Biomimetik oder der Mikrofluidik gänzlich neue Applikationen aufgrund der Dreidimensionalität<br />

der lithografisch herstellbaren Mikro- und Nanostrukturen.<br />

Produkt<br />

Das Photonic Professional System <strong>von</strong> <strong>Nanoscribe</strong> ist ein benutzerfreundliches Laserlithografiegerät zur<br />

Herstellung dreidimensionaler Nano- und Mikrostrukturen. Die Fertigung derartiger Strukturen auf der<br />

Mikrometerskala wird durch die sogenannte 2-Photonen Polymerisation ermöglicht. Ähnlich einem Stift, der<br />

in drei Dimensionen geführt wird, beschreibt ein Laserstrahl photosensitives Material gemäß vorgegebener<br />

Raumkurven. Nach einem Entwicklerbad lassen sich diese beschriebenen Bereiche als freitragende<br />

Strukturen herauslösen.<br />

Diese Technologie des "Direkten Laserschreibens" bzw. der dreidimensionalen Laserlithografie ermöglicht es,<br />

3D Strukturen hochpräzise und reproduzierbar herzustellen. Standardmäßig können Strukturgrößen im<br />

Submikrometerbereich bis hinunter zu 150 nm hergestellt werden. Die Höhe der realisierbaren<br />

hochauflösenden Strukturen kann durch ein besonderes Dip-In Verfahren auch über den Arbeitsabstand des<br />

<strong>Mikroskop</strong>s hinaus gehen und so bis zu einigen Millimetern betragen.<br />

Die Anwendungsgebiete des Photonic Professional sind breit gefächert. Sie reichen vom Mikro Rapid<br />

Prototyping, über die Photonik, Mikrooptik, Mikrofluidik bis hin zu den Biowissenschaften. Eindrucksvolle<br />

Forschungsergebnisse wurden beispielsweise beim Einsatz <strong>von</strong> 3D Mikrogerüsten für biologische<br />

Anwendungen sowie bei photonischen Metamaterialien realisiert.


Historie<br />

Die <strong>Nanoscribe</strong> GmbH ging vor vier Jahren als erste Ausgründung des Karlsruher Instituts für<br />

Technologie(KIT) mit dem 3D Nanofabrikations-System Photonic Professional an den Start. Die 3D-<br />

Laserlithografie, zuvor nur in Form wissenschaftlicher Aufbauten einigen wenigen Forschergruppen<br />

vorbehalten, wurde Anwendern weltweit als kommerziell erhältliches 3D-Pendant zur<br />

Elektronenstrahllithografie zugänglich. Die Carl <strong>Zeiss</strong> AG hat das innovative Unternehmen vom<br />

Gründungsgedanken an begleitet, in strategischer wie auch administrativer Hinsicht gefördert und beteiligte<br />

sich im September 2008 durch einen Anteilserwerb <strong>von</strong> ca. 40%. Der Vorstandsvorsitzende der Carl <strong>Zeiss</strong><br />

AG, Prof. Dr. Michael Kaschke, sieht in der Beteiligung eine gelungene Win-Win Situation: „<strong>Nanoscribe</strong> ist<br />

eine sich gut entwickelnde und äußerst innovative Firma, ein hervorragendes Beispiel <strong>von</strong> gelungenem<br />

Innovationstransfer aus der Universität in ein Unternehmen“.<br />

Ausblick<br />

Forschungsinstitute und Universitäten rund um den Globus nutzen heute die Produkte der <strong>Nanoscribe</strong> GmbH.<br />

Die Entwicklung zum Global Player ist für <strong>Nanoscribe</strong> Geschäftsführer Martin Hermatschweiler <strong>von</strong> höchster<br />

Bedeutung: „Heute ist die <strong>Nanoscribe</strong> GmbH als Markt- und Technologieführer im Bereich der 3D<br />

Laserlithografie in einem Großteil Europas, in den USA, China und Japan mit seinen Produkten vertreten. Als<br />

nächsten Schritt planen wir, zusätzlich zum Forschungsmarkt industrielle Märkte zu erschließen. Bestimmt<br />

können wir auch bei dieser Entwicklung <strong>von</strong> den Erfahrungen der Carl <strong>Zeiss</strong> AG profitieren.“<br />

Weitere Infos und Anwendungsbeispiele: www.nanoscribe.de oder ww.facebook.com/nanoscribe<br />

Unternehmensprofil<br />

Die <strong>Nanoscribe</strong> GmbH ging Anfang 2008 als erste Ausgründung des Karlsruher Instituts für Technologie(KIT) mit dem 3D<br />

Laserlithografiesystem Photonic Professional an den Start und hat sich bis heute damit als Markt- und Technologieführer etabliert. Die<br />

Geräte kommen in vielen Ländern Europas, in den USA, China und Japan zum Einsatz.<br />

War die 3D Laserlithografie früher nur in Form wissenschaftlicher Aufbauten einigen wenigen Forschergruppen vorbehalten, wurde sie mit<br />

dem Photonic Professional erstmals Anwendern als kommerziell erhältliches 3D-Pendant zur Elektronenstrahllithografie zugänglich. Die<br />

Produktpalette <strong>von</strong> <strong>Nanoscribe</strong> umfasst neben den 3D Laserlithografiesystemen auch selbst entwickelte, maßgeschneiderte Fotolacke.<br />

Beratungsleistungen in der Abformung komplexer, polymerer dreidimensionaler Strukturen in Metalle oder Halbleiter runden das Portfolio<br />

weiter ab. Zahlreiche wissenschaftliche Publikationen, Berichte in Science und anderen Medien sowie diverse Auszeichnungen zeugen <strong>von</strong><br />

der Bedeutung dieser zukunftsweisenden Technologie, auf denen die Geräte <strong>von</strong> <strong>Nanoscribe</strong> basieren.<br />

KONTAKT<br />

<strong>Nanoscribe</strong> GmbH E-Mail werner@nanoscribe.de Tel +49 721 60 82 88 49<br />

Hermann-<strong>von</strong>-Helmholtz-Platz 1 Web www.nanoscribe.de Fax +49 721 60 82 88 48<br />

76344 Eggenstein-Leopoldshafen<br />

Germany

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