Entwicklung und Erprobung eines Aufbaus zur gezielten ... - GSI

Kapitel 3
Der X-Y-Tisch
Da der Ionenstrahl mit Hilfe der magnetischen Strahlablenkung nur über einen Bereich von
etwa einem Quadratmillimeter ausgelenkt werden kann, muss die Probe bei der
Bestrahlung größerer Flächen vor dem Austrittsfenster des Strahls bewegt werden können.
Hierzu dient der selbst konstruierte X-Y-Tisch, der sich auf dem Endflansch des
Strahlrohres befindet, und in den die Proben während der Bestrahlung eingesetzt werden
(siehe Abb. 3.1).
Endflansch des
Strahlrohres
Vakuumfenster
Führungsschienen
DC-Motor
Abb. 3.1 Schematische Darstellung des X-Y-Tisches (links: Seitenansicht; rechts: Draufsicht)
3.1 Aufbau
Der Tisch besteht aus zwei übereinander liegenden Formteilen aus Metall, die auf den
Endflansch des Strahlrohres montiert sind. Diese Teile sind mit ihrer Unterlage jeweils über
Führungsschienen verbunden, so dass sie gegen diese in eine Richtung frei bewegt werden
können. Da diese beiden Bewegungsrichtungen senkrecht zueinander stehen, können
Proben, die sich im oberen Formteil des Tisches befinden, durch entsprechende
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Positionssensor