Modulhandbuch - Technische Fakultät - Albert-Ludwigs-Universität ...

Modulhandbuch M.Sc. Mikrosystemtechnik – Mikromechanik
Modul / Module
Mikromechanik
Fachbereich:
Department
Modulverantwortlicher:
Responsible person
Lehrveranstaltungstyp:
Type of course
Voraussetzungen:
Preconditions
Semester lt Studienplan:
Term
SWS:
Semester week hours
Arbeitsaufwand:
Workload
Mikrosystemtechnik
Spezialbereich:
Special field
Konstruktion
Prof. P. Woias
Modultyp:
Module Type
Pflichtmodul
Vorlesung mit Sprache:
Übung
Language deutsch
Die Vorlesung baut auf den Vorlesungen "Technische Mechanik",
"Konstruktion & CAD, "Mikrosystemtechnik I&II", sowie "Grundlagen
der Werkstoffwissenschaften" auf. Kenntnisse in Statik
(aus "Technischer Mechanik") sind dafür unmittelbare Voraussetzung.
1
ECTS-Punkte:
ECTS-points
5
2 V + 2 Ü
Turnus:
Regular cycle
jedes Wintersemester
150 h/Semester (Vorlesung 30 h, Übung 30 h, Eigenarbeit 88 h,
Kompetenznachweis 2 h)
Lernziele / Educational objectives
Ziel und Anspruch ist die Vermittlung einer „technischen Mikromechanik", analog zu
Grundlagen-Veranstaltungen über technische Mechanik, wie sie z.B. im
Maschinenbaustudium vermittelt werden.
Lehrinhalt / Content of teaching
Während in "Konstruktion & CAD" vor allem Konstruktionsmethodik vermittelt wird, hat die
Veranstaltung "Konstruktion II" die Lösung praktischer Probleme der Mikrosystemtechnik
zum Ziel. Die Studierenden erhalten zunächst einen "Schnelldurchgang" in den Grundlagen
der Elastizitätstheorie. Darauf aufbauend werden in der Folge "Mikrokonstruktionselemente"
besprochen, aus denen typische Mikrostrukturen zusammengesetzt sind (Biegebalken,
Platten, etc.). Dieser Teil der Vorlesung zielt nach dem allgemeinen Teil spezifisch auf die
Mikrosystemtechnik und berücksichtigt im Detail reale konstruktive Probleme (z.B.
Mehrschichtsysteme, Temperatureffekte, etc.).
Die Vorlesung hat folgende inhaltliche Schwerpunkte:
• Technische Mechanik - Festigkeitslehre
• mechanische Konstruktionselemente (Biegebalken, Membranen, Torsionsfedern)
• konstruktive Grundlagen zu Mikroaktoren
• Technologie des Bulk- und Surface-Mirkomachining
• Beispiele zur Konstruktion mikromechanischer und mikrofluidischer Komponenten
Inhalt der Übung:
In der Übung erfolgt die Vertiefung der Vorlesungsinhalte mit Hilfe geeigneter Aufgaben,
vorzugsweise anhand praktischer Beispiele aus der Mikrotechnik. Des Weiteren werden im
etwa zwei- bis dreiwöchigen Rhythmus Konstruktionsaufgaben vergeben. Es ist dabei