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Modulhandbuch - Technische Fakultät - Albert-Ludwigs-Universität ...

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<strong>Modulhandbuch</strong> M.Sc. Mikrosystemtechnik – Bereich Fortgeschrittene<br />

Mikrosystemtechnik<br />

Bereich Fortgeschrittene Mikrosystemtechnik<br />

Modul / Module<br />

Aufbau- und Verbindungstechnik<br />

Fachbereich:<br />

Department<br />

Modulverantwortlicher:<br />

Responsible person<br />

Lehrveranstaltungstyp:<br />

Type of course<br />

Voraussetzungen:<br />

Preconditions<br />

Semester lt Studienplan:<br />

Term<br />

SWS:<br />

Semester week hours<br />

Arbeitsaufwand:<br />

Workload<br />

Mikrosystemtechnik<br />

Prof. J. Wilde<br />

Spezialbereich:<br />

Special field<br />

Modultyp:<br />

Module Type<br />

Sprache:<br />

Language<br />

Aufbau- und<br />

Verbindungstechnik<br />

Pflichtmodul<br />

Vorlesung mit<br />

deutsch<br />

Übung<br />

empfohlen: Voraussetzungen für diese Lehrveranstaltung sind<br />

das Grundlagenwissen zu den Fertigungstechnologien der<br />

Mikrotechniken und speziell der Dünnschichttechnik. Weiterhin<br />

werden die Grundzüge der Werkstoffwissenschaften und speziell<br />

der Metalle, Keramiken und Polymere vorausgesetzt. Im Bereich<br />

der Mechanik baut die LVA auf den elementaren Konzepten von<br />

Spannung und Dehnung und der Werkstoffmechanik auf.<br />

1<br />

ECTS-Punkte:<br />

ECTS-points<br />

5<br />

2 V + 1 Ü<br />

Turnus:<br />

Regular cycle<br />

jedes Wintersemester<br />

150 h/Semester (Vorlesung 30 h, Übung 15 h, Eigenarbeit 103 h,<br />

Kompetenznachweis 2 h)<br />

Lernziele / Educational objectives<br />

Am Beispiel der AVT wird der Realisierungsschritt von prinzipiell funktionierenden<br />

Mikrosystemen zu industriellen Produkten demonstriert. Darüber hinaus wird ein Überblick<br />

über wesentliche Technologien gegeben, welche häufig zur Realisierung von<br />

Demonstratoren im Rahmen der Masterarbeit eingesetzt werden.<br />

Die AVT ist eine komplexe Technologie, welche der Erzeugung der Hardware elektronischer<br />

Systeme dient. Diese Technologie schöpft unmittelbar aus Materialwissenschaften,<br />

Fertigungstechnik, Techni¬scher Mechanik und auch Elektrotechnik. Ziel der AVT ist der<br />

Aufbau von einsatztauglichen höher integrierten Systemen, indem ein Funktionselement<br />

integriert und kontaktiert wird und zugleich eine Barriere zum Schutz vor Umwelteinflüssen<br />

erhält.<br />

Wichtigstes Lernziel ist das Verständnis der Herstellungstechnologien für<br />

Elektronikhardware und speziell für Mikrosysteme mit Hilfe moderner industrieller<br />

Fertigungsverfahren. Schwerpunkt liegt dabei auf den Standardtechnologien für<br />

Kontaktierung, Aufbau, Montage und Schutz von Mikrosystemen. Weiteres wesentliches<br />

Lernziel ist die Kenntnis der Konzepte zur Auslegung und Optimierung der AVT in der<br />

Mikrosystemtechnik unter Berücksichtigung von Funktionalität, Lebensdauer, Stress und<br />

Einsatzbedingungen und die Fähigkeit zu ihrer Anwendung bei eigenen wissenschaftlichen<br />

Fragestellungen. Lernziel ist auch die Qualifizierung der Studierenden speziell auf die häufig<br />

bei der Masterarbeit auftretenden praktischen Fragestellungen zur AVT, welche über die<br />

reine Mikrosystemtechnik hinausgehen.

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