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Produktübersicht 2013<br />

Hochvakuum-Pumpsysteme<br />

Vakuumlösungen für Spezialanwendungen<br />

PT-Systeme / TURBOLAB<br />

Hochvakuum-Pumpsysteme<br />

Ihre Erwartungen:<br />

■ Hochvakuum-Pumpsysteme für<br />

Industrie und Forschung<br />

■ Mit ölgedichteter oder trockener<br />

Vorvakuumpumpe für kohlenwasserstofffreies<br />

Vakuum<br />

■ Kompakte und bedienerfreundliche<br />

Lösung<br />

Unsere Lösung:<br />

■ Saugvermögen 33 - 600 l/s<br />

■ Endvakuum bis 10 -10 mbar<br />

■ Voll ständig montiert als Tischversion<br />

mit Turbo-Molekularpumpe, Frequenzwandler<br />

und Vorvakuumpumpe<br />

■ Steuergerät zum automatischen oder<br />

manuellen Betrieb optional erhältlich<br />

Ihr Vorteil:<br />

Anschlussfertig konfektionierte Hochvakuum-Pumpsysteme aus bewährten<br />

Komponenten. Verschiedene Konfigurationen zur individuellen Vakuumbedarf-<br />

Abdeckung.<br />

UNIVEX<br />

Experimentier- und Beschichtungsanlagen<br />

Ihre Erwartungen:<br />

■ Flexible Laboranlagen für die<br />

Vakuum-Beschichtung<br />

■ Systeme für die universitäre und<br />

industrielle Forschung<br />

■ Ergebnisse übertragbar in große<br />

Anlagen oder die Serienproduktion<br />

■ Hoher Reproduktionsgrad<br />

Unsere Lösung:<br />

■ Universelle Systeme zur Erzeugung<br />

von Funktionsschichten<br />

■ Modulare Systemkonzeption, breites<br />

Zubehörprogramm<br />

■ Individuelle Systemlösungen nach<br />

Kundenspezifikation<br />

■ Variable Kammergrößen<br />

Ihr Vorteil:<br />

Einfache Bedienung und Handhabung durch frei zugängliche Vakuumkammern.<br />

Manuelle oder vollautomatische Prozesskontrolle und Anlagensteuerung.<br />

CVD Cube<br />

Thermischer Reaktor für CVD Anwendungen<br />

Ihre Erwartungen:<br />

■ Anspruchsvolle CVD Anwendungen<br />

■ Schnelle, reproduzierbare Ergebnisse<br />

■ Hohe Sicherheit<br />

Unsere Lösung:<br />

■ Betriebsfertiges System (Plug & Play)<br />

■ USB Anschluss an den Reaktor<br />

■ Bedienerfreundliche Handhabung<br />

und Software zur Programmierung,<br />

Durchführung und Steuerung von<br />

Experimenten<br />

■ Einstellbare Massen für die Gase<br />

z.B. Ar, H 2<br />

, CH 4<br />

, C 2<br />

H 4<br />

, N 2<br />

Ihr Vorteil:<br />

Äußerst kompaktes Tischgerät für die chemische Gasphasenabscheidung zur<br />

Herstellung von Graphenen, Kohlenstoffnanoröhren, Kohlenstofffasern.<br />

leybold<br />

<strong>Oerlikon</strong> Leybold Hochvakuum-Systeme, Vacuum Gesamtkatalog Vakuumlösungen 2012 für Spezialanwendungen 14 13

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