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Produktübersicht 2013 Wälzkolben Vakuumpumpen Treibmittelpumpen RUVAC WA/WS Wälzkolbenpumpen Ihre Erwartungen: ■ Saugvermögenssteigerung bei niedrigen Drücken ■ Einfache Handhabung ■ Ölfreie Gasförderung ■ Ex-Schutz gemäß ATEX Unsere Lösung: ■ Saugvermögen von 250 - 4.000 m 3 /h ■ Betriebssicher und robust ■ Verfügbar mit Flanschmotor oder mit hermetisch dichtem Antrieb ■ Für 100% O 2 -Anwendungen ■ Zertifizierung nach ATEX RL 94/9/EG Ihr Vorteil: Langlebig und zuverlässig; kombinierbar mit beliebigen Vorpumpen bzw. Vorpumpsystemen. RUVAC WH Wälzkolbenpumpen Ihre Erwartungen: ■ Flexibles Saugvermögen durch den Betrieb mit Frequenzumrichter ■ Schnelle Auspumpzeiten ■ Kompakte Bauweise ■ Ölfreie Gasförderung ■ Systemkompatibilität ■ Geringer Stromverbrauch Unsere Lösung: ■ Saugvermögen von 720 - 9.800 m 3 /h (mit Frequenzumrichter) ■ Optimale Leistungs- und Verbrauchsdaten ■ Hermetisch dichter Antrieb nach IE2 ■ Minimaler Platzbedarf ■ Innovatives Bypassventil ■ Direkter Anschluss von großen Vorvakuumpumpen via Adapter Ihr Vorteil: Eine innovative Produktreihe, leistungsstark für moderne Prozessanforderungen LEYBOJET OB Öl-Dampfstrahlpumpen Ihre Erwartungen: ■ Hochvakuum ■ Sehr hohe Vorvakuumbeständigkeit ■ Großes Saugvermögen ■ Sicher und sparsam ■ CE konforme Elektronikversorgung Unsere Lösung: ■ Saugvermögen: 6.000 - 18.000 l/s ■ Arbeitsbereich: < 10 -1 bis 10 -4 mbar ■ Stabiles Saugvermögen in tiefen Druckbereichen ■ Kein Verschleiß durch drehende Teile ■ Kompakte Bauform ■ Einfache Bedienung Ihr Vorteil: Lange Wartungsintervalle, verschleißfrei. Hoher Sicherheitsstandard. 6 Vorvakuumpumpen, Hochvakuumpumpen
Produktübersicht 2013 Treibmittelpumpen DIP Öl-Diffusionspumpen Ihre Erwartungen: ■ Stabiles Hochvakuum ■ Hohe Vorvakuumbeständigkeit ■ Großes Saugvermögen ■ Sicher und sparsam ■ CE konforme Elektronikversorgung Unsere Lösung: ■ Saugvermögen: 3.000 - 50.000 l/s ■ Arbeitsbereich: < 10 -2 bis 10 -7 mbar ■ Optimales Saugvermögen im Druckbereich < 10 -4 mbar ■ Kein Verschleiß durch drehende Teile ■ Einfache Bedienung ■ Innovative Energieeffizienzregelung (ROI < 2 Jahre) Ihr Vorteil: Lange Wartungsintervalle, verschleißfrei, hoher Sicherheitsstandard. LEYBOJET Öl-Diffusionspumpen Ihre Erwartungen: ■ Stabiles Hochvakuum ■ Hohe Vorvakuumbeständigkeit ■ Großes Saugvermögen ■ Sicher und sparsam ■ CE konforme Elektronikversorgung Unsere Lösung: ■ Saugvermögen: 12.000 l/s ■ Arbeitsbereich: < 10 -2 bis 10 -5 mbar ■ Optimales Saugvermögen im Druckbereich von 10 -2 - 10 -3 mbar ■ Kein Verschleiß durch drehende Teile ■ Einfache Bedienung ■ Innovative Energieeffizienzregelung (ROI < 2 Jahre) Ihr Vorteil: Lange Wartungsintervalle, verschleißfrei, hoher Sicherheitsstandard. Geeignet für Anwendung in Sputterprozessen. Energieeffizienzregelung Regeleinheit für Öl-Diffusionspumpen Ihre Erwartungen: ■ Kostenreduzierung durch Energieeinsparung ■ Einfache Handhabung ■ Ansteuerung durch PLC Unsere Lösung: ■ Energieeffizienzregelung: - Energieeinsparung bis zu 30% - Verbesserte Lebenszeit des Öls und der Heizpatronen ■ Einfache, visuelle Überwachung der Parameter durch grafische Oberfläche ■ Ausstattung mit USB Interface und Ethernet Ihr Vorteil: Schneller ROI (< 2 Jahre) bei bis zu 30% Energieeinsparung. Einfache und komfortable Handhabung. Optimierte Energie- und Öl-Verbrauchsdaten. Verlängerte Heizpatronenstandzeit. leybold <strong>Oerlikon</strong> Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2012 Hochvakuumpumpen 8 7
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Seite 11 und 12: Produktübersicht 2013 Solutions Va
Seite 13 und 14: Produktübersicht 2013 Hochvakuum-P
Seite 15 und 16: Produktübersicht 2013 Öle und Tre

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