1. Auftraggeber: Physikalisch-Technische Bundesanstalt ...

Leistungsbeschreibung
Vergabe-Nr. Z.1531ha-1014013101
Geliefert werden soll ein Spiegelobjektiv (EUV Objektiv) für den Spektralbereich von 5 nm bis
30 nm. Mittels des EUV Objektivs soll ein mit EUV Strahlung beleuchteter Bereich auf einer
Probe für ortsaufgelöste Messungen auf einen CCD-Sensor abgebildet werden.
Das EUV Objektiv muss folgende optischen Spezifikationen erfüllen:
Abbildungsmaßstab von Probe auf CCD-Sensor:
Vergrößerung zwischen 1:9 und 1:11
Auflösungsvermögen:
10 µm bezogen auf die Objektebene bei einer Wellenlänge von 13.5 nm (für größere
Wellenlängen Abbildung eventuell beugungsbegrenzt wegen kleiner Apertur)
Breitbandige Transmission > 1% für den Spektralbereich von 6.5 nm bis 30 nm
Objektfeld mit voller Auflösung auf der Probe mindestens 2 x 2 mm²
der Design-begrenzte Abbildungsfehler soll über das gesamte Objektfeld < 1 µm sein.
Numerische Apertur: größer oder gleich 0.01
Die optischen Komponenten sind bzgl. der Passe so zu fertigen und in der
Baugruppe so zu justieren, dass die Auflösungsbegrenzung aufgrund von Passe- und
Justageabweichungen in horizontaler und vertikaler Richtung < 7 µm ist.
Die von der tatsächlichen Ausleuchtung der Apertur und der Wellenlänge abhängige
Beugungsbegrenzung ist in dieser Zahl nicht berücksichtigt.
Abstand des Mittelpunktes des ersten optischen Elements zur Probe:
mindestens 1250 mm
Richtung des Strahls (Beleuchtungsrichtung der Probe) unter 6.75° zur
Probennormalen, die Apertur des EUV Objektivs soll um diesen Zentralstrahl zentriert
sein
Abstand zwischen Probe und CCD-Sensor < 9000 mm
Oberflächenrauheit der optischen Flächen: < 0.4 nm rms
Die notwendige Anzahl von Spiegeln muss in dem Objektiv montiert und zur Erreichung der
geforderten Auflösung ausreichend justiert sein. Das Objektiv muss mechanisch ausreichend
stabil sein, um die innere Justage beim Einbau als Baugruppe in die Beamline der PTB
sicher zu erhalten.
Die verwendeten Materialien müssen den Anforderungen für Ultra-Hochvakuum
entsprechen. Insbesondere dürfen keinerlei Schmiermittel verwendet werden, auch nicht
nominell als vakuumtauglich eingestufte.
Eine weitere Detaillierung der Spezifikationen für die endgültige Ausschreibung ist
vorbehalten.