1. Auftraggeber: Physikalisch-Technische Bundesanstalt ...

Weitere Magazine

Empfehlungen

Info

Leistungsbeschreibung Vergabe-Nr. Z.1531ha-1014013101 Geliefert werden soll ein Spiegelobjektiv (EUV Objektiv) für den Spektralbereich von 5 nm bis 30 nm. Mittels des EUV Objektivs soll ein mit EUV Strahlung beleuchteter Bereich auf einer Probe für ortsaufgelöste Messungen auf einen CCD-Sensor abgebildet werden. Das EUV Objektiv muss folgende optischen Spezifikationen erfüllen: Abbildungsmaßstab von Probe auf CCD-Sensor: Vergrößerung zwischen 1:9 und 1:11 Auflösungsvermögen: 10 µm bezogen auf die Objektebene bei einer Wellenlänge von 13.5 nm (für größere Wellenlängen Abbildung eventuell beugungsbegrenzt wegen kleiner Apertur) Breitbandige Transmission > 1% für den Spektralbereich von 6.5 nm bis 30 nm Objektfeld mit voller Auflösung auf der Probe mindestens 2 x 2 mm² der Design-begrenzte Abbildungsfehler soll über das gesamte Objektfeld < 1 µm sein. Numerische Apertur: größer oder gleich 0.01 Die optischen Komponenten sind bzgl. der Passe so zu fertigen und in der Baugruppe so zu justieren, dass die Auflösungsbegrenzung aufgrund von Passe- und Justageabweichungen in horizontaler und vertikaler Richtung < 7 µm ist. Die von der tatsächlichen Ausleuchtung der Apertur und der Wellenlänge abhängige Beugungsbegrenzung ist in dieser Zahl nicht berücksichtigt. Abstand des Mittelpunktes des ersten optischen Elements zur Probe: mindestens 1250 mm Richtung des Strahls (Beleuchtungsrichtung der Probe) unter 6.75° zur Probennormalen, die Apertur des EUV Objektivs soll um diesen Zentralstrahl zentriert sein Abstand zwischen Probe und CCD-Sensor < 9000 mm Oberflächenrauheit der optischen Flächen: < 0.4 nm rms Die notwendige Anzahl von Spiegeln muss in dem Objektiv montiert und zur Erreichung der geforderten Auflösung ausreichend justiert sein. Das Objektiv muss mechanisch ausreichend stabil sein, um die innere Justage beim Einbau als Baugruppe in die Beamline der PTB sicher zu erhalten. Die verwendeten Materialien müssen den Anforderungen für Ultra-Hochvakuum entsprechen. Insbesondere dürfen keinerlei Schmiermittel verwendet werden, auch nicht nominell als vakuumtauglich eingestufte. Eine weitere Detaillierung der Spezifikationen für die endgültige Ausschreibung ist vorbehalten.
Zusammenstellung der mit dem Teilnahmeantrag vorzulegenden Nachweise Vergabe-Nr. Z.1531-1014013101 • Eigenerklärung (s. Vorduck) • Erklärung zur fachlichen und technischen Leistungsfähigkeit (s. Vordruck)
Seite 1 und 2: 1. Auftraggeber: Physikalisch-Techn
Seite 3: Mit freundlichen Grüßen Im Auftra
Seite 7 und 8: Erklärung zur fachlichen und techn
Seite 9 und 10: 7. Unterrichtungs- und Prüfungsrec
Seite 11: Allgemeine Hinweise zum Verfahren V

1. Auftraggeber: Physikalisch-Technische Bundesanstalt ...

Erfolgreiche ePaper selbst erstellen

Template löschen?

Als Template speichern?